多光束耦合裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種多光束耦合裝置。多光束耦合裝置具備相移部、疊加部、觀測部及相位控制部。相移部通過使多個激光各自的相位位移，生成多個位移激光。疊加部通過將多個位移激光的每一個和參照光疊加，生成多個疊加激光。觀測部生成與觀測疊加激光的每一個時出現(xiàn)的空間的干涉圖形相關(guān)的干涉圖形信息。相位控制部基于對疊加激光的每一個得到的干涉圖形信息，反饋控制相移部進行的相移，由此，將多個位移激光設(shè)定為希望的狀態(tài)。
【專利說明】多光束耦合裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及多光束耦合裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在專利文獻I (US專利第7，884，997號)及專利文獻2 (日本特開2005 — 294409號公報)中記載有將多個激光耦合而得到高強度的激光輸出的相干光耦合裝置。
[0003]在專利文獻I中，為了檢測多個激光間的相位差，采用“光外差方式”。具體而言，將由主振蕩器輸出的基本激光分束為參照光和多個激光。參照光的頻率通過移頻器(optical frequency shifter)位移。通過將移頻后的參照光和各激光疊加,產(chǎn)生差拍(拍頻)?；谠摬钆牡挠^測，求多個激光間的相位差。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1: US專利第7，884，997號
[0007]專利文獻2:(日本)特開2OO5 - 294409號公報
[0008]在采用光外差方式的情況下，要求在參照光和激光之間頻率不同，因此，如上述，移頻器是不可缺少的。但是，這成為裝置復(fù)雜和高成本的原因。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的一個目的在于，以簡易的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)可以控制多個激光各自的相位的多光束耦合裝置。
[0010]下面，使用在“用于實施發(fā)明的方式”中所使用的序號、符號說明“用于解決課題的技術(shù)方案”。這些序號、符號是為了明確“權(quán)利要求書”的記述和“用于實施發(fā)明的方式”的對應(yīng)關(guān)系而以帶括弧的方式附加。但是，在“權(quán)利要求書”所記述的發(fā)明的技術(shù)范圍的解釋中沒有使用這些序號、符號。
[0011]在本發(fā)明一方面提供多光束耦合裝置(I)。該多光束耦合裝置(I)具備相移部
(50)、疊加部(70)、觀測部(80)、相位控制部(90)。相移部(50)通過使多個激光(Bb — 1、Bb — 2、Bb — 3)各自的相位位移，生成多個位移激光(Be — 1、Be — 2、Be — 3)。疊加部
(70)通過將多個位移激光(Be - UBc - 2,Be 一 3)的每一個和參照光(Br)疊加，生成多個疊加激光(Bs — 1、Bs — 2、Bs — 3)。觀測部(80)生成與觀測多個疊加激光(Bs — 1、Bs 一 2、Bs — 3)的每一個時出現(xiàn)的空間的干涉圖形的干涉圖形信息(PTN1、PTN2、PTN3)。相位控制部(90)基于對多個疊加激光(Bs — 1、Bs — 2、Bs 一 3)的每一個得到的干涉圖形信息(PTN1、PTN2、PTN3)，反饋控制相移部(50)的相移，由此，將多個位移激光(Be — 1、Be 一 2、Be — 3)設(shè)定為希望的狀態(tài)。
[0012]觀測部(80)還可以具備以觀測多個疊加激光(Bs — l、Bs — 2,Bs — 3)的每一個的方式設(shè)置的多個觀測裝置(81 — 1、81 — 2、81 — 3)。另外，多個觀測裝置(81 — 1、81 —2、81 — 3)各自的(81 -1)還可以具備在多個觀測位置觀測對應(yīng)的一個疊加激光(Bs -i)的強度的多個傳感器(82 -1l、82 -12)。該情況下，干涉圖形信息(PTN1、PTN2、PTN3)包含在多個觀測位置分別觀測的強度(Ail、Ai2)。
[0013]干涉圖形參數(shù)(Ri)基于在多個觀測位置分別觀測的強度(Ail、Ai2)定義。該情況下，相位控制部(90)還可以以與多個疊加激光(Bs — l、Bs — 2、Bs — 3)分別相關(guān)的干涉圖形參數(shù)(Ri)與目標值(Rt) —致的方式反饋控制相移部(50)進行的相移。
[0014]多個傳感器(82 — il、82 — i2)的數(shù)量還可以為2個。2個傳感器(82 — il、82 —?2)觀測兩處觀測位置各自的的強度(Ail、Ai2)。該情況下，干涉圖形參數(shù)(Ri)取決于兩處觀測位置之間的強度之比、或梯度、或差。
[0015]相位控制部(90)還可以以兩處觀測位置各自的強度(Ail、Ai2)相等或為規(guī)定的值的方式反饋控制相移部(50)。
[0016]本發(fā)明的多光束耦合裝置(I)還可以具備放大多個位移激光(Be -UBc- 2、Be - 3)的每一個的光束放大部(60)。
[0017]本發(fā)明的多光束耦合裝置(I)還可以具備生成基本激光(Ba)的激光振蕩器(10)、和將基本激光(Ba)分束為多個激光(Bb — 1、Bb — 2、Bb 一 3)和參照光(Br)的分束部(20)。
[0018]在本發(fā)明的多光束耦合裝置(I)中，由分束部(20)生成的參照光(Br)也可以不通過移頻器而達到疊加部(70)。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，能夠以簡易的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)能夠控制多個激光各自的相位的多光束耦合
>J-U ρ?α裝直。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是表示本發(fā)明實施方式的多光束耦合裝置的構(gòu)成例的方框圖；
[0021]圖2是表示本發(fā)明實施方式的多光束耦合裝置的其它構(gòu)成例的方框圖；
[0022]圖3示意性表示參照光和激光的疊加；
[0023]圖4示意性表示觀測疊加激光時出現(xiàn)的干涉圖形；
[0024]圖5表示相位的變化帶來的干涉圖形的位移；
[0025]圖6表示X方向上的疊加激光的強度分布；
[0026]圖7是表示本發(fā)明實施方式的觀測部的構(gòu)成例的方框圖；
[0027]圖8是用于說明本發(fā)明實施方式的相位控制的概念圖；
[0028]圖9表示本發(fā)明實施方式的觀測部及相位控制部的構(gòu)成例；
[0029]圖10是用于說明本發(fā)明實施方式的相位控制的概念圖。

【具體實施方式】
[0030]參照附圖面，說明本發(fā)明的實施方式。
[0031]圖1是表示本發(fā)明實施方式的多光束耦合裝置I的構(gòu)成例的方框圖。多光束耦合裝置I具備激光振蕩器10、分束部20、光束擴展部30、相移部50、光束放大部60、疊加部70、觀測部80、及相位控制部90。
[0032]激光振蕩器10作為主振蕩器(master oscillator)發(fā)揮功能,生成、輸出基本激光Ba。
[0033]分束部20接收由激光振蕩器10輸出的基本激光Ba并將該基本激光Ba分束為參照光(reference beam)Br和多個對象激光Bb。例如,如圖1所示，分束部20具備光束分離器(beam splitter) 21、22、23和反射鏡24。光束分離器21將基本激光Ba分束為兩個激光。其中一方為參照光Br，另一方入射到光束分離器22。光束分離器22再將接收到的激光分束為兩個激光。其中一方為對象激光Bb — I,另一方入射到光束分離器23。光束分離器23再將接收到的激光分束為兩個激光。其中一方為對象激光Bb - 2，另一方入射到反射鏡24。由反射鏡24反射的激光為對象激光Bb - 3。另外，在本例中，生成三條對象激光Bb — I?Bb — 3，但其數(shù)量不限于三條。另外，光束的分束也可以使用光纖。
[0034]光束擴展部30接收由分束部20輸出的參照光Br，并擴展該參照光Br的光束尺寸。更詳細而言，光束擴展部30具備反射鏡31和光束擴展器(beam expander) 32。參照光Br通過反射鏡31反射，入射到光束擴展器32。光束擴展器32擴展參照光Br的光束尺寸。光束尺寸擴展后的參照光Br被供給向后述的疊加部70 (光束分離器71)。另外,優(yōu)選光束尺寸擴展后的參照光Br為平面波。
[0035]另一方面，由分束部20輸出的對象激光Bb — l、Bb — 2、Bb — 3作為一例，分別通過反射鏡40 - 1,40 - 2,40 - 3反射，入射到相移部50。作為其它例，對象激光Bb — 1、Bb — 2、Bb — 3利用纖維入射到相移部50。另外，從分束部20至相移部50之間還可以包含光束擴展器、指向修正、波前修正等。
[0036]相移部50接收多個對象激光Bb — I?Bb — 3。相移部50以可以對對象激光Bb — I?Bb — 3各自的相位進行位移的方式構(gòu)成。例如，如圖1所不，相移部50具備相移器51 — I?51 — 3。作為各相移器51,例如使用壓電鏡(pieso — actuator mirrorsystem)。作為其它例，使用透射型的相移器。相移器51 — 1、51 — 2、51 — 3分別接收對象激光Bb — 1、Bb — 2、Bb — 3，以可對這些對象激光Bb — 1、Bb — 2、Bb — 3的相位進行位移的方式配置。相移器51 - 1,51 - 2,51 一 3各自的相移量可通過控制信號CONl、C0N2、C0N3控制。相移后的對象激光Bb — 1、Bb — 2、Bb — 3分別是位移激光Be — 1、Be — 2、Be — 3。即相移部50通過進行對象激光Bb — 1、Bb — 2、Bb — 3各自的相移，生成位移激光Be — l、Bc — 2,Be - 3。該相移部50的相移可通過控制信號CONl?C0N3來控制。此夕卜，這些控制信號CONl?C0N3由后述的位控制部90生成。
[0037]光束放大部60接收由相移部50輸出的位移激光Be — I?Be — 3，并對這些位移激光Be — I?Be — 3的分別進行放大。例如,如圖1所不，光束放大部60具備放大器(power amplifier)61 — 1、61 — 2、61 — 3。放大器 61 — 1、61 — 2、61 — 3 分別放大位移激光Be - K Be - 2、Be - 3。放大后的位移激光Be — 1、Be — 2、Be — 3向后述的疊加部70 (光束分離器71)供給。另外，光束放大部60還包含光束擴展器、指向修正、波前修正坐寸ο
[0038]疊加部70接收由光束擴展部30輸出的參照光Br，另外，接收由光束放大部60輸出的多個位移激光Be - UBc - 2,Be - 3。而且，疊加部70通過將多個位移激光Be — 1、Be - 2,Be - 3的每一個和參照光Br疊加，生成多個疊加激光Bs - UBs - 2,Bs 一 3。例如，如圖1所示，疊加部70具備光束分離器71。光束分離器71對位移激光Be - K Be -
2、Be — 3的每一個進行分束。分束后的位移激光Be — 1、Be — 2、Be — 3和參照光Br的行進方向一致，通過這些的疊加而生成疊加激光Bs - UBs - 2、Bs - 3。
[0039]另外，在本實施方式中，在分束部20和疊加部70之間的光路上未設(shè)置移頻器(optical frequency shifter)。由分束部20生成的參照光Br不通過移頻器而達到疊加部70。另外，對象激光Bb — I?Bb — 3及位移激光Be — I?Be — 3也不通過移頻器。因此，參照光Br和位移激光Be — I?Be — 3各自的頻率實質(zhì)上一致。
[0040]多個疊加激光Bs — I?Bs — 3被輸入觀測部80。在此，如圖2所示，在疊加部70和觀測部80之間還可以設(shè)置光束擴展器75 — 1、75 — 2、75 — 3。光束擴展器75 — 1、75 - 2,75 - 3擴展疊加激光Bs — 1、Bs — 2、Bs — 3各自的光束尺寸。該情況的光束尺寸擴展后的疊加激光Bs — I?Bs — 3被輸入觀測部80。
[0041]觀測部80進行疊加激光Bs — I?Bs — 3各自的觀測。觀測面與平面波即參照光Br的波面平行。
[0042]在此，考慮參照光Br和位移激光的干涉。圖3概念性表示參照光Br和位移激光Be的疊加。圖4表示觀測面的疊加激光Bs -1(i = 1、2、3)的光斑的例子。在該光斑內(nèi)，參照光Br的相位一樣，但位移激光Be -1的相位未必一樣。因此，若觀測位移激光Be -1和參照光Br的疊加即疊加激光Bs -1，則因干涉而出現(xiàn)圖4所示的“空間的干涉圖形(干涉條紋)”。干涉條紋的重復(fù)方向(發(fā)生強弱的方向)參照下面“X方向”。
[0043]圖5表示相位的變化帶來的干涉圖形的位移。若位移激光Be -1的相位變化，則與此對應(yīng)，觀測面上的干涉圖形向X方向位移。反而言之，通過控制由上述的相移部50進行的相移，使位移激光Be -1的相位變化，由此可以使觀測面上的干涉圖形向X方向位移。
[0044]圖6表示觀測面上的X方向的疊加激光Bs -1的強度分布。橫軸表示X方向的位置，縱軸表示激光強度。如圖6所示，激光強度的強弱因干涉而在X方向重復(fù)出現(xiàn)。具體而言，在位移激光Be -1和參照光Br為同相的X位置，激光強度為最大，在它們?yōu)槟嫦嗟腦位置，激光強度為最小。這樣，觀測與干涉圖形(干涉條紋)對應(yīng)的空間的強度分布。若位移激光Be -1的相位變化，則與此對應(yīng)，觀測面上的強度分布在X方向位移。反而言之，通過控制上述的相移部50進行的相移，使位移激光Be -1的相位變化，可以使觀測面上的強度分布在X方向位移。
[0045]觀測部80通過疊加激光Bs -1的觀測，生成與該疊加激光Bs — i的空間的干涉圖形相關(guān)的“干涉圖形信息PTNi”。干涉圖形信息PTNi只要反映干涉圖形即可，即可以是如圖4及圖5所示的二維圖像數(shù)據(jù)，也可以是圖6所示的X方向的強度分布數(shù)據(jù)。另外，分別對疊加激光Bs — i(i = 1、2、3)的每一個獲得干涉圖形信息PTNi。即，觀測部80通過觀測各疊加激光Bs -UBs- 2、Bs — 3，分別生成干涉圖形信息PTNU PTN2、PTN3。觀測部80將這些干涉圖形信息PTN1、PTN2、PTN3向相位控制部90輸出。
[0046]相位控制部90接收干涉圖形信息PTNl?PTN3。通過參照這些干涉圖形信息PTNl?PTN3，相位控制部90可以掌握多個位移激光Be — I?Be — 3間的相位關(guān)系。因此，相位控制部90可以以得到希望的相位關(guān)系的方式反饋控制相移部50的各相移器51 -1?51 — 3。具體而言，相位控制部90以位移激光Be — 1、Be — 2、Be — 3分別成為希望的狀態(tài)的方式生成控制信號C0N1、C0N2、C0N3，將這些控制信號C0N1、C0N2、C0N3向各相移器51 — 1、51 - 2、51 - 3輸出。這樣，相位控制部90基于對疊加激光Bs — 1、Bs — 2、Bs - 3的每一個獲得的干涉圖形信息PTN1、PTN2、PTN3，反饋控制由相移部50進行的相移，由此，將多個位移激光Be — l、Bc — 2、Be — 3設(shè)定為希望的狀態(tài)。
[0047]典型而言，相位控制部90基于干涉圖形信息PTNl?PTN3進行模式匹配，由此使位移激光Be — I?Be — 3各自的相位相互一致。通過將相位一致的多個位移激光Be -1?Be — 3彼此耦合，可以得到高強度的激光輸出。
[0048]下面，說明觀測部80及相位控制部90的構(gòu)成例。
[0049]如圖7所示，觀測部80具備觀測裝置81 — 1、81 — 2、81 — 3。觀測裝置81 — 1、81 — 2、81 — 3分別以觀測各疊加激光Bs — UBs 一 2、Bs — 3的方式設(shè)置。而且，觀測裝置81 — 1、81 - 2、81 - 3生成各干涉圖形信息PTNl、PTN2、PTN3。
[0050]各觀測裝置81 — i (i = 1、2、3)在多個觀測位置觀測對應(yīng)的一個疊加激光Bs — i的強度。因此，觀測裝置81 — i具備多個傳感器82 — i j (j = I?η ;n為2以上的整數(shù))。作為傳感器82，例如使用光電二極管。多個傳感器82 — ij配置于各不同相的X位置，且沿著X方向整齊排列。通過使用這樣的多個傳感器82 — ij，觀測裝置81 — i可在不同的X位置測量疊加激光Bs -1的強度。
[0051]圖8概念性表示多個傳感器82 -1j進行的疊加激光Bs — i的強度的測量。與已有的圖6相同，橫軸表示X方向的位置，縱軸表示激光強度。如圖8所示，傳感器82 — ij測量位置Xij的疊加激光Bs -1的強度Aij。即，對于疊加激光Bs -1，作為信息獲得多個位置XiI?Xin各自的強度AiI?Ain。這樣的多個位置Xil?Xin各自的強度Ail?Ain反映疊加激光Bs — i的空間的干涉圖形(強度分布)。因此，在多個位置Xil?Xin的每一位置觀測到的強度Ail?Ain作為與疊加激光Bs -1相關(guān)的干涉圖形信息PTNi使用。
[0052]在此，導(dǎo)入“干涉圖形參數(shù)Ri”。干涉圖形參數(shù)Ri基于在多個位置Xil?Xin的每一位置觀測到的強度Ail?Ain定義,表示為Ri = f (Xij, Aij)。最簡單的情況下,僅使用兩個傳感器82 -1l、82 -12，基于2點Xil，Xi2的強度Ail，Ai2定義干涉圖形參數(shù)Ri。例如，干涉圖形參數(shù)Ri取決于2點間的強度之比:Ri = fl(Ai2/Ail)?；蚋缮鎴D形參數(shù)Ri取決于2點間的梯度:Ri = f2((Ai2 - Ail)/(Xi2 一 Xil))?；蚋缮鎴D形參數(shù)Ri取決于2點間的強度之差:Ri = f3 (Ai2 -Ail)0
[0053]可以說這樣的干涉圖形參數(shù)Ri也反映疊加激光Bs -1的空間的干涉圖形(強度分布)。若位移激光Be -1的相位變化，則與它相應(yīng)地，干涉圖形參數(shù)Ri也變化。反而言之，通過控制由上述相移部50進行的相移，使位移激光Be -1的相位變化，由此可以使干涉圖形參數(shù)Ri變化。
[0054]相位控制部90根據(jù)干涉圖形信息PTN1、PTN2、PTN3可以得到與疊加激光Bs — 1、Bs — 2、Bs — 3分別相關(guān)的干涉圖形參數(shù)1?1、1?2、1?3。通過參照這些干涉圖形參數(shù)Rl、R2、R3，相位控制部90可以掌握多個位移激光Be - UBc- 2,Be 一 3間的相位關(guān)系。因此，相位控制部90可以以得到希望的相位關(guān)系的方式反饋控制相移部50的各相移器51 — I?51 - 3。
[0055]典型而言，相位控制部90進行位移激光Be — I?Be — 3各自的相位相互一致的反饋控制。具體而言，設(shè)定某一目標值Rtl、Rt2、Rt3。而且，相位控制部90以干涉圖形參數(shù)Rl、R2、R3與各目標值Rtl、Rt2、Rt3 一致的方式反饋控制由相移部50進行的相移。換言之，相位控制部90通過將干涉圖形參數(shù)Ri控制在目標值Rti，在希望的位置鎖定位移激光Be — i的相位。
[0056]目標值Rtl、Rt2、Rt3也可以預(yù)先設(shè)定在寄存器等電路中。目標值Rtl、Rt2、Rt3也可以根據(jù)外部信號設(shè)定。目標值Rtl、Rt2、Rt3也可以是共通的值。目標值Rtl、Rt2、Rt3也可以從多個值中選擇。目標值Rtl、Rt2、Rt3也可以是連續(xù)可變的。
[0057]另外,傳感器82 — ij可以沿X方向可動地設(shè)計。通過使傳感器82 — ij的X位置物理地移動，可以使鎖定位移激光Be -1的相位的值(鎖定值)變化?；蜴i定值也可以通過對干涉圖形信息進行信號處理并輸入來變更。例如，通過調(diào)節(jié)傳感器82的內(nèi)部電阻及偏壓等，可以變更傳感器82的輸出電壓，由此，可以改變鎖定值。
[0058]圖9表示觀測部80及相位控制部90的構(gòu)成之一例。各觀測裝置81 — i僅具備兩個傳感器82 -1l、82 -12，對疊加激光Bs — i測量2點強度Ail、Ai2。即，干涉圖形信息PTNi為強度Ail、Ai2。由于傳感器82的數(shù)量最小，所以構(gòu)成簡單而優(yōu)選。
[0059]相位控制部90具備連接于觀測裝置81 -1的差動放大器91 一 i。該差動放大器91 -1基于干涉圖形信息PTNi生成控制信號CONi。具體而言，從各傳感器82 — il、82 —i2輸出與觀測強度Ail、Ai2對應(yīng)的兩個信號，且將這兩個信號輸入差動放大器91 一 i的兩個輸入端子。而且，差動放大器91 -1以強度差Ri = Ai2 - Ail為規(guī)定的目標值Rti的方式生成控制信號CONi。
[0060]例如，規(guī)定的目標值Rti被設(shè)定為“O”。這與如圖10所示，以2點強度Ail、Ai2 —致的方式進行反饋控制的情況等效。即，差動放大器91 -1以強度Ail、Ai2相等的方式反饋控制控制信號CONi (相移器51 — i)。圖10所示的控制簡單，優(yōu)選。
[0061]另外，在圖10所示的控制的情況下，在強度Ail、Ai2—致時，強度分布的波峰(或波谷)來到位置Xil、Xi2的中間點。因此，即使在疊加激光Bs — I?Bs — 3間“最大值強度的絕對值”不同的情況下，也能夠進行可靠的相位控制。
[0062]另外，通過調(diào)節(jié)傳感器位置或強度分布，也可以將位置Xil、Χ?2的中間點設(shè)在強度分布的極大和極小的中間地點。例如，將位置xil、Χ?2的間隔設(shè)定在強度圖形變化周期的一半。由此，對相位的變動帶來的強度分布的變動可以更加提高靈敏度，優(yōu)選。
[0063]如以上說明，根據(jù)本實施方式，基于“空間的干涉圖形”進行相位控制。由于不是現(xiàn)有的光外差方式，所以不需要移頻器。即，與目前相比以簡單的結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)相位控制。這也帶來成本的降低。
[0064]另外，通過耦合放大后的多個位移激光Be - UBc - 2、Bc — 3，可得到高強度的激光輸出。另外，作為相干耦合的一例，考慮實施使輸出段的位移激光Be - UBc - 2、Be -3間的相位差為零的控制。本實施方式可適用于相干光耦合裝置及高輸出激光系統(tǒng)。
[0065]以上，本發(fā)明的實施方式通過參照附圖進行了說明。但本發(fā)明不限定于上述的實施方式，在不脫離宗旨的范圍內(nèi)可以由從業(yè)者適當變更。
[0066]本申請基于2012年I月20日申請的日本專利出愿2012 — 009972主張優(yōu)先權(quán)，在此引用其全部的公開。
【權(quán)利要求】
1.一種多光束耦合裝置，其具備: 相移部，其通過使多個激光各自的相位位移，生成多個位移激光； 疊加部，其通過將所述多個位移激光的每一個和參照光疊加，生成多個疊加激光；觀測部，其生成與觀測所述多個疊加激光的每一個時出現(xiàn)的空間的干涉圖形相關(guān)的干涉圖形信息； 相位控制部，其基于對所述多個疊加激光的每一個得到的所述干涉圖形信息，反饋控制由所述相移部進行的相移，由此，將所述多個位移激光設(shè)定為希望的狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的多光束耦合裝置，其中， 所述觀測部具備以觀測所述多個疊加激光的每一個的方式設(shè)置的多個觀測裝置，所述多個觀測裝置分別具備在多個觀測位置觀測對應(yīng)的一個疊加激光的強度的多個傳感器， 所述干涉圖形信息包含在所述多個觀測位置分別觀測的所述強度。
3.如權(quán)利要求2所述的多光束耦合裝置，其中， 基于在所述多個觀測位置分別觀測的所述強度定義干涉圖形參數(shù)， 所述相位控制部以與所述多個疊加激光分別相關(guān)的所述干涉圖形參數(shù)與目標值一致的方式反饋控制所述相移部進行的所述相移。
4.如權(quán)利要求3所述的多光束耦合裝置，其中， 所述多個傳感器的數(shù)量為2個， 所述2個傳感器觀測兩處觀測位置各自的所述強度， 所述干涉圖形參數(shù)取決于所述兩處觀測位置之間的所述強度之比、或梯度、或差。
5.如權(quán)利要求4所述的多光束耦合裝置，其中， 所述相位控制部以所述兩處觀測位置各自的所述強度相等或為規(guī)定的值的方式反饋控制所述相移部進行的所述相移。
6.如權(quán)利要求1?5中任一項所述的多光束耦合裝置，其中， 還具備放大所述多個位移激光的每一個的光束放大部。
7.如權(quán)利要求1?6中任一項所述的多光束耦合裝置，其中，還具備: 激光振蕩器，其生成基本激光； 分束部，其將所述基本激光分束為所述多個激光和所述參照光。
8.如權(quán)利要求7所述的多光束耦合裝置，其中， 通過所述分束部生成的所述參照光不通過移頻器而達到所述疊加部。
【文檔編號】G01J9/02GK104169777SQ201380005287
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2013年1月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月20日
【發(fā)明者】濱本浩一, 山田隆弘, H.喬斯羅詹, 古瀬裕章, 藤田雅之, 井澤靖和, 河仲準二, 宮永憲明 申請人:三菱重工業(yè)株式會社, 財團法人激光技術(shù)綜合研究所, 國立大學法人大阪大學