專利名稱：具有流體隔離阻障的傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢測工業(yè)流體的屬性以進行過程控制的傳感器。具體而言，本發(fā)明涉及在工業(yè)流體和傳感器導(dǎo)線之間具有隔離的傳感器。
背景技術(shù)：
工業(yè)變送器用于檢測諸如壓力、溫度、流速和pH的流體參數(shù)，并將所檢測到的流體參數(shù)值傳輸?shù)街T如控制系統(tǒng)的較遠的位置。這些變送器包括安置在變送器中或者靠近變送器的傳感器。所述傳感器具有檢測表面，所述檢測表面接觸工業(yè)流體，以及電傳感導(dǎo)線。為了保證各傳感器的準確、可靠操作，使用了不同類型的隔離。電傳感器導(dǎo)線不與工業(yè)流體接觸而流體隔離以避免腐蝕導(dǎo)線。所述傳感表面與安裝應(yīng)力機械地隔離，以減小由于機械應(yīng)力而導(dǎo)致的傳感器的電輸出中的誤差，尤其是在溫度極端的情況下。傳感器的電學(xué)電路自工業(yè)液體電學(xué)隔離以避免游離接地電流所導(dǎo)致的誤差。這三種類型的絕緣需要在較寬的操作溫度范圍中穩(wěn)定并有效以使用在工業(yè)變送器中。
將傳感器以傳感器導(dǎo)線抗腐蝕、足夠的機械應(yīng)力隔離以及電隔離的方式安置在變送器中是比較困難的。由于工業(yè)變送器使用在較寬的操作溫度范圍，這個問題加劇了。當溫度升高時，昂貴的玻璃—金屬密封可能泄漏，安裝部件以不同速率膨脹，從而導(dǎo)致機械應(yīng)力，并且電泄漏隨著溫度增加而增加。
尤其是，當傳感器被小型化并具有大約5mm(0.2英寸)的矩形橫截面尺寸時，就難于在傳感器安裝塊中準確加工出對應(yīng)的矩形開口，所述傳感器安裝塊以較小的間隙固定到小型化傳感器橫截面，所述較小間隙可以被可靠密封。
傳感器膜盒被設(shè)置用于在封裝中提供應(yīng)力隔離、流體隔離和電隔離，所述封裝的尺寸為小型化傳感器而調(diào)整并適于在工業(yè)變送器中使用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了一種適合用于工業(yè)過程流體變送器的傳感器膜盒。
所述傳感器膜盒包括具有傳感器安裝孔的塊，所述塊傳感器安裝孔長度自第一外部塊表面延展到塊中的壓力腔中。所述塊還包括流體入口孔，所述流體入口孔自第二外部塊表面延展到壓力腔中。所述塊包括兩個半塊，所述半塊沿著接合或者匹配表面縱向地通過傳感器安裝孔。
傳感器膜盒也包括傳感器，所述傳感器具有經(jīng)過傳感器安裝孔的傳感器頸。所述傳感器具有懸于壓力腔中的流體檢測表面以及壓力腔外部的傳感器電連接。傳感器頸通過間隙自傳感器安裝孔分離，所述間隙圍繞傳感器頸在連續(xù)的路徑中延展。密封接頭填充間隙以將傳感器頸結(jié)合到傳感器安裝孔。
這些和其它特征以及優(yōu)點將從說明書已經(jīng)相關(guān)附圖中變得非常明顯。


圖1示出了傳感器膜盒的等大視圖；圖2示出圖1中所示傳感器膜盒的前部截面圖；圖3示出圖1中所示傳感器膜盒的側(cè)面截面圖；圖4示出了圖1的傳感器膜盒中的示例釬焊腔的傾斜部分視圖；圖5示出圖4中所示釬焊腔中所形成的示例傳感器釬焊連接；圖6示出安裝在隔離器組件上的傳感器膜盒；圖7示出了具有壓力環(huán)的傳感器膜盒的等大視圖；圖8示出了一體形成有隔離器組件的傳感器膜盒；圖9示出了用于傳感器膜盒的模制塊的前部視圖；圖10示出了圖9的模制塊沿著線10-10’的截面圖；圖11示出了圖9的模制塊沿著線11-11’的截面圖；圖12示出了圖9的模制塊中的傳感器的安裝的前部截面細節(jié)。
具體實施例方式
在下述實施例中，微型陶瓷傳感器具有通過傳感器安裝孔的傳感器頸。傳感器頸和傳感器安裝孔之間的間隙填充以密封材料，所述密封材料可以是釬焊連接或者是密封化合物。微型陶瓷傳感器通常具有大約5mm(0.2英寸)的較小尺寸的矩形橫截面。
當具有這種較小尺寸和緊密間距公差時，很難在不是圓形的并且具有較尖的拐角的塊中精確加工出孔。為了克服上述問題，所述塊由兩個半塊組成，所述半塊可以彼此相同也可以彼此不相同。兩個半塊具有接合或者匹配表面，所述表面在形成完整的塊后彼此接合在一起。在接合前，每個匹配表面提供開口表面，所述開口表面可以方便地注射模制而成或者使用數(shù)控銑床加工以提供通常為矩形的半腔，所述半腔的形狀用于容納傳感器頸。當加工時，在銑床中可以使用普通商用切割刀頭，不需要設(shè)計定制刀頭或者使用外部切割工藝。當進行模制時，可以使用簡單模具。在固體塊內(nèi)非常難于加工或者模制的內(nèi)壓腔使用傳統(tǒng)工具刀片加工，所述傳統(tǒng)工具刀片在半塊的接合表面切割刀開口表面中。可選地，可以很方便地進行模制。為了方便地組裝半塊，可以提供定位孔和銷、或者模制定位窩。如果需要，諸如在傳感器密封過程中協(xié)助定位的爪也可以很方便地形成到傳感器安裝孔中?？蛇x的爪有助于間隙形成得更均勻并在傳感器釬焊連接方面具有更高的生產(chǎn)量。實現(xiàn)了塊中的傳感器安裝孔與陶瓷傳感器體之間的直接釬焊密封。所述爪趨于在大約中心位置保持傳感器，從而允許密封材料整個圍繞傳感器頸的周長流動。一旦密封材料完全圍繞傳感器頸流動，毛細作用使得進一步將傳感器頸居于傳感器安裝孔的中心，保證圍繞周向的密封材料的厚度的均勻。均勻厚度傳感器釬焊連接或者密封化合物連接提供了流體絕緣的高質(zhì)量密封。
所述傳感器具有檢測表面，所述傳感表面自傳感密封接頭隔開并懸在塊中的壓力腔中，保證了較好的機械應(yīng)力隔離。傳感器體優(yōu)選地為非導(dǎo)電陶瓷材料，保證所述塊與電傳感器電路之間的較好的電隔離。避免使用了昂貴的玻璃-金屬密封，所形成的傳感器膜盒具有較寬的操作溫度范圍。
如果需要，“井(well)”可以被包括在圍繞傳感器安裝孔的外部塊表面中。所述井可以填充準確測量量的釬焊材料微粒。所述密封使用將傳感器保持位的銷固化，并且釬焊材料熔化并流入所述間隙中，不會有多余量的釬焊材料溢入壓力腔。所述銷然后在傳感器膜盒被使用之前移除。
當使用密封化合物時，所述井用于協(xié)助視覺檢測密封混合物的填充水平。
示例傳感器膜盒20顯示在圖1-3中。圖1示出了傳感器膜盒20的等大視圖。圖2示出了傳感器膜盒20的前部截面圖。圖3示出了傳感器膜盒20的側(cè)面截面圖。圖3中的視圖通常沿著塊24的半塊26、28之間的接合表面。
如圖1-3中所示，傳感器膜盒20包括具有傳感器安裝孔30的塊24，傳感器安裝孔長度32自外部塊表面34延展至塊24中的壓力腔36。外部塊表面34處于井35的底部。將結(jié)合圖4-5對井35進行更為詳細的說明。
塊24可以使用任何合適的材料和成形方法來形成，但是塊24如所示那樣形成為兩個半塊26、28，并在接合表面22、23接合在一起。半塊26、28可以通過使用粉末金屬、注射粉末金屬或者其它已知工藝銑制而成。在一個優(yōu)選實施例中，半塊26、28由鎳200形成并在大約980攝氏度通過金鎳釬焊而接合。作為選擇，半塊26、28可以由合金46形成，或者銀銅釬焊可以用于接合半塊26、28。
在另外的實施例中，半塊26、28可以由陶瓷形成。當半塊26、28是陶瓷時，它們可以通過反應(yīng)粘結(jié)或者化學(xué)粘結(jié)而彼此接合在一起，例如，在美國專利4,050,956 de Bruin等的專利中所示。其它已知陶瓷粘結(jié)工藝也可以被使用。
為了在接合過程中定位半塊26、28的方便，半塊26、28可以設(shè)有定位孔37和銷(或者管)38。銷38在釬焊過程中在半塊26、28之間延展以保證半塊26、28的精確定位，尤其是圍繞傳感器安裝孔30。在一個優(yōu)選實施例中，兩個定位銷38由直徑為1/16英寸、長度為0.100英寸的鎳管制造。塊24的總尺寸優(yōu)選地大約小于25mm(1英寸)。
在半塊26、28被釬焊在一起的同時流體入口管40被釬焊到塊24。在優(yōu)選實施例中，陶瓷管42設(shè)置在流體入口管40和所述塊24之間。陶瓷管40電絕緣并在流體入口管40與所述塊24之間提供電隔離。釬焊連接44將流體入口管密封至陶瓷管42，釬焊連接46將陶瓷管42密封至塊24。流體入口管40中空并開口朝向塊24中的壓力腔36，以將流體傳輸?shù)綁毫η?6。流體入口管40具有遠端48，所述遠端48可連接至流體源。提供到遠端48的流體通過流體入口管40至壓力腔36，在壓力腔36中流體與傳感器50的變濕的部分相接觸。典型地，提供到遠端48的流體是隔離器流體，諸如硅油，所述隔離器流體將壓力連通至傳感器50，所述傳感器50典型地為壓力傳感器。
所述傳感器50具有位于傳感器安裝孔30中的傳感器頸52。傳感器頸52通過傳感器釬焊連接58被釬焊至傳感器安裝孔30。傳感器釬焊連接58在傳感器頸52與傳感器安裝孔30之間填充釬焊腔59。在一些應(yīng)用中，傳感器頸52可以噴涂金屬以加速釬焊。將結(jié)合圖4、5中的示例對傳感器釬焊連接58和釬焊腔59進行更詳細的說明。
傳感器細長并具有懸于壓力腔36中的流體檢測表面54。流體檢測表面54與傳感器頸52分離。流體傳感器表面54與傳感器頸52之間的空間對流體檢測表面54提供機械應(yīng)力隔離。
傳感器50具有傳感器電連接56，所述傳感器電連接56在塊24之外可連接獲取。典型地，電連接56被連接到帶狀電纜(在圖1-3中未示出)。傳感器50典型地為絕對壓力傳感器，所述絕對壓力傳感器的外體由陶瓷材料形成。外體優(yōu)選地包括單晶藍寶石層形式的氧化鋁。傳感器結(jié)構(gòu)的示例如美國同時待審專利申請09/477,689 2000年1月6日申請的標題為“Pressure sensor capsule with improved isolation”，以及美國專利6,089,097(授予Frick等)。
圖4示出了圖1的半塊26的上端的傾斜部分視圖。圖4中所示的半塊26的特征也包括在半塊28中，為了清楚起見，傳感器釬焊連接58沒有顯示在圖4中，但是單獨顯示在下面的圖5中。
多個爪70圍繞傳感器頸52設(shè)置在傳感器安裝孔30之內(nèi)。每個爪70在小于傳感器安裝孔長度32之上延展，形成相鄰于爪70的間隙72。
圖5示出了傳感器釬焊連接58的示例，所述傳感器釬焊連接58可以形成在圖4中所示的傳感器安裝孔30中。傳感器釬焊連接58填充靠近爪70的間隙72，并將傳感器頸52接合至傳感器安裝孔30。傳感器釬焊連接58具有的壁圍繞周長80的厚度通常是均勻的。但是，傳感器釬焊連接58具有槽口84，在槽口傳感器釬焊連接58的厚度被減小，爪70突入通常是均勻的厚度中。傳感器釬焊連接58圍繞臨近于爪的傳感器頸52的周長80而完全延展。在周長80上(換言之，在爪70之間的間隙中)，傳感器釬焊連接58的均勻厚度處于0.025至0.076毫米(0.001至0.003英寸)的范圍中。圍繞周長80的傳感器釬焊連接58的厚度允許了最佳的間隔，來使得傳感器釬焊連接的芯吸和毛細作用最大化，同時保持傳感器安裝孔30中的傳感器頸52的緊密定位。傳感器安裝孔30通常是矩形的并具有安置在其拐角的八(8)個爪70，如圖所示。八爪70將傳感器放置在傳感器安裝孔30的中心，這樣在釬焊后，傳感器50被定位。通過使用銷82(參考圖2-3)或者其它裝置來臨時支撐傳感器50的質(zhì)量，并依靠爪70和圍繞周長80的毛細作用而將傳感器50安置在傳感器安裝孔30的中心，使得定位成為可能。在釬焊完成之后，銷82被移除。
所述爪70垂直于傳感器50的長度來放置傳感器50，以使得傳感器釬焊連接58中的毛細作用最優(yōu)化。包括小銷82的夾具(未示出)將傳感器50安置在相對塊24的正確高度上。夾具也將塊24保持在位，這樣傳感器50在傳感器安裝孔30中用于釬焊定位。
井35被安置臨近于傳感器安裝孔30。井35提供凹處來保持釬焊材料珠在位，同時所述塊和傳感器安置在真空爐中以進行加熱。傳感器釬焊連接58優(yōu)選地為金鍺釬焊，所述金鍺釬焊在450攝氏度流出井35并進入傳感器釬焊連接58。圍繞傳感器頸52的傳感器釬焊連接58的釬焊溫度比半塊26、28的接合表面22、23之間的塊釬焊連接25的釬焊溫度要低很多。傳感器釬焊連接58可以在半塊26、28之間不熔化塊釬焊連接25而完成。其它諸如感應(yīng)或者焊炬的釬焊方法也可以使用。
圖6示出了諸如圖1-3中所示的安裝到隔離器組件90的傳感器膜盒20的傳感器膜盒。隔離器組件90包括隔離器支撐板92，隔離器隔膜被焊接或者釬焊到隔離器板92的底面。傳感器膜盒20的管40被焊接或者釬焊到支撐板92。填充管96也被焊接或者釬焊到支撐板92。在將傳感器膜盒20組裝到隔離器組件90之后，填充管96的內(nèi)部通道和腔、隔離器支撐板92和傳感器膜盒20中被抽真空。在抽真空之后，整個組件被填充隔離器流體，諸如硅油，填充管96夾斷以及焊接關(guān)閉。圖6中的裝置然后被安裝到壓力變送器(此處未示出)，可柔韌印刷電路連接到傳感器50上的觸點56。
圖7示出了傳感器膜盒98的等大視圖，所述傳感器膜盒98被調(diào)整包括圍繞傳感器安裝孔30的支撐環(huán)104。在傳感器膜盒98中，各半塊26、28被修改以具有半圓柱部分100、102，所述半圓柱部分100、102容納支撐環(huán)104。傳感器膜盒98的壓力完善性通過添加支撐環(huán)而得以加強。支撐環(huán)104優(yōu)選地包括不銹鋼環(huán)，所述不銹鋼環(huán)釬焊到圍繞傳感器安裝孔30的塊上的半圓柱部分100、102。
圖8示出了與隔離器組件122一體形成的傳感器膜盒120。傳感器膜盒120在半塊146、148沿著接合表面以釬焊連接150釬焊在一起時形成。傳感器安裝孔130可以包括可選的爪，所述可選爪結(jié)合圖4-5在上述中進行了說明。圖8中的傳感器釬焊連接132與圖1-3中所示的傳感器釬焊連接58相似。壓力腔134通過流體通道136連接至隔離器隔膜138的后側(cè)。流體通道136包括變窄部分137，所述變窄部分137在隔離器隔膜138膜與傳感器腔134之間提供耐火性能。
隔離器隔膜138連接至半塊146。填充管126通過釬焊連接釬焊至半塊148。然后，半塊146在釬焊連接150釬焊至半塊148。與圖2-3中銷82相似的銷(未在圖8中顯示)臨時插入填充管126以支撐傳感器128，同時傳感器128通過傳感器釬焊連接132被釬焊至傳感器安裝孔130。接著，抽真空，然后傳感器膜盒120和隔離器組件122中的腔和通道被填充諸如硅油的隔離器流體156。最后，填充管126被夾斷并使用焊縫154焊接閉合以在整個組件中密封受控量的隔離器流體156。當壓力施加到隔離器隔膜138時，壓力通過隔離器流體156被傳輸?shù)絺鞲衅?34。
可變形印刷電路140被添加，以將傳感器128上的觸點142連接至電路(未示出)。柔韌印刷電路140通過供給管126上的焊接連接144支撐。
傳感器膜盒220的另外的實施例顯示在圖9-12中。如圖9-12中所示，傳感器膜盒220包括塊224，所述塊224通常具有矩形傳感器安裝孔230，傳感器安裝孔長度232(圖12)自外部塊表面234延展至塊224中的壓力腔236。外部塊表面234位于井235的底部。將結(jié)合圖12對井235進行詳細說明。
塊224可以使用任何合適的成形技術(shù)形成，但是，塊224如所述那樣以兩半塊226、228形成，并在接合表面222、223接合在一起。半塊226、228可以通過注射成形或者其它已知的成形工藝形成。在優(yōu)選實施例中，半塊226、228由塑料形成并通過溶劑粘結(jié)或者粘結(jié)劑接合在一起。半塊226、228優(yōu)選地為相同的匹配部分。特別是當它們由塑料形成時，半塊226、228包括徑向支撐半盤227和縱向支撐軌229。半盤227和支撐軌229提供結(jié)構(gòu)支撐以幫助在壓力腔236中容納壓力。
為了在連接過程中定位半塊226、228的方便，半塊226、228優(yōu)選地設(shè)有凸起的定位窩237和凹陷的定位窩238。定位窩237在半塊226、228結(jié)合過程中套入定位窩238以保證在半塊226、228的接合過程中精確地定位，優(yōu)選地圍繞傳感器安裝孔230。在優(yōu)選布置中，兩個定位窩237、238直徑大約是1/16英寸，并在注射成形過程中與半塊226、228一體形成。塊224的總的尺寸優(yōu)選地大約小于25毫米(1英寸)。
流體入口管240在注射成形過程中一體形成到半塊226、228。流體入口管240電絕緣并對傳感器250提供從連接管(未示出)的電隔離。流體入口管240中空并在塊224中朝壓力腔236敞開以將流體傳輸?shù)綁毫η?36。每個流體入口管240具有可以連接到流體源的遠端248。如果需要，流體可以被安置以流經(jīng)傳感器膜盒220，或者流體入口管之一可以可選地塞上。提供到遠端248的流體流經(jīng)流體入口管240至壓力腔236，在壓力腔236中，流體與傳感器250的變濕的部分相接觸。典型地，提供到遠端248的流體是隔離器流體，諸如硅油，其將壓力傳輸?shù)絺鞲衅?50，所述傳感器250典型地為壓力傳感器。
傳感器250具有傳感器頸252，所述傳感器頸252安置在傳感器安裝孔230中。傳感器頸252通過密封化合物258連接至傳感器安裝孔230。密封化合物258填充傳感器頸252和傳感器安裝孔230之間的密封腔259。在一些應(yīng)用中，傳感器頸252或者傳感器安裝孔230可以涂底漆或者蝕刻以方便粘結(jié)。密封化合物258可以使用皮下注射器針頭作為液體施加，然后允許累積或者固化。井235允許視覺觀察到使用密封化合物258填充密封腔259的完成。可以使用諸如RTV(室溫硫化橡膠)的密封化合物或者環(huán)氧樹脂，這依賴應(yīng)用的需要。密封腔259長且窄以抵抗當壓力腔236受壓時傳感器250的移動。密封腔256的底部設(shè)有一個或者多個圍繞傳感器頸252的脊或者爪260。脊或者爪260如所示薄且錐化，并且在當傳感器250受壓到位時變形，從而在密封腔256的底部形成暫時密封。通過脊或者爪260形成的密封在密封化合物258固化時使得密封化合物258的泄漏最小化。
傳感器250長且具有懸于壓力腔236中的流體檢測表面254。流體檢測表面254自傳感器頸252分離。流體檢測表面54與傳感器頸252之間的間隙提供機械應(yīng)力隔離。
傳感器250具有傳感器電連接256，所述電連接256可以自塊224的外部獲取連接。典型地，電連接256連接到帶狀電纜(圖9-12中未示出)。傳感器250典型地為絕對壓力傳感器，外體由陶瓷材料形成。外體優(yōu)選地包括以單晶藍寶石層形式的氧化鋁。傳感器結(jié)構(gòu)的示例如美國同時待審專利申請09/477,689 2000年1月6日申請的標題為“Pressure sensor capsulewith improved isolation”，以及美國專利6,089,097(授予Frick等)。
盡管對本發(fā)明的一些實施例進行了展示和說明，本領(lǐng)域技術(shù)人員將會理解在不偏離本發(fā)明的原理和實質(zhì)的情況下，可對這些實施例進行改變，其范圍也落入本發(fā)明的權(quán)利要求及其等同物所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種傳感器膜盒，包括具有傳感器安裝孔的塊，所述傳感器安裝孔長度自第一外部塊表面延展到塊中的壓力腔中；所述塊還包括流體入口孔，所述流體入口孔自第二外部塊表面延展到壓力腔中；所述塊包括兩個半塊，所述半塊沿著匹配表面縱向地通過傳感器安裝孔；傳感器，所述傳感器具有經(jīng)過傳感器安裝孔的傳感器頸、懸于壓力腔中的流體檢測表面以及壓力腔外部的傳感器電連接；傳感器頸通過間隙自傳感器安裝孔分離，所述間隙圍繞傳感器頸在連續(xù)的路徑中延展；以及傳感器釬焊連接，所述傳感器釬焊連接填充所述間隙以將傳感器頸接合到傳感器安裝孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，傳感器釬焊連接包括金和鍺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，間隙中的傳感器釬焊連接的厚度在0.025至0.076毫米即0.001至0.003英寸范圍中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，第一外部塊表面包括井形狀，所述井形狀的體積至少等于傳感器釬焊連接的體積。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，還包括多個爪，所述爪安置在傳感器安裝孔中以支撐傳感器頸，每個爪延展小于傳感器安裝孔的長度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，還包括塊釬焊連接，所述塊釬焊連接接合半塊的匹配表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器膜盒，其特征在于，傳感器釬焊連接的熔化溫度低于塊釬焊連接的熔化溫度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，所述傳感器頸包括陶瓷材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器膜盒，其特征在于，所述陶瓷材料包括氧化鋁。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳感器膜盒，其特征在于，所述氧化鋁包括單晶藍寶石層。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳感器膜盒，其特征在于，所述氧化鋁被金屬化。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳感器膜盒，其特征在于，所述塊包括合金46。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳感器膜盒，其特征在于，所述塊包括鎳200合金。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，還包括支撐環(huán)，所述支撐環(huán)安裝在圍繞傳感器安裝孔的塊上。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，還包括管，所述管密封在流體入口孔中并適于將流體傳輸?shù)綁毫η恢小?br> 16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的傳感器膜盒，其特征在于，還包括連接到所述管的隔離器隔膜組件。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，還包括隔離器隔膜，所述隔離器隔膜在流體入口孔之上安裝到第二外部塊表面上。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器膜盒，其特征在于，還包括柔韌電路，所述柔韌電路電連接傳感器電連接并機械地支撐在塊上。
19.一種傳感器膜盒，包括具有傳感器安裝孔的塊，所述傳感器安裝孔長度自第一外部塊表面延展到塊中的壓力腔中；所述塊還包括流體入口孔，所述流體入口孔自第二外部塊表面延展到壓力腔中；所述塊包括兩個半塊，所述半塊沿著匹配表面縱向地通過傳感器安裝孔；傳感器，所述傳感器具有經(jīng)過傳感器安裝孔的傳感器頸、懸于壓力腔中的流體檢測表面以及壓力腔外部的傳感器電連接；傳感器頸通過間隙自傳感器安裝孔分離，所述間隙圍繞傳感器頸在連續(xù)的路徑中延展；以及密封化合物，所述密封混合物填充所述間隙以將傳感器頸接合到傳感器安裝孔。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的傳感器膜盒，其特征在于，所述半塊是塑料半塊。
全文摘要
一種傳感器膜盒(20、98、120、220)，適合用于在工業(yè)過程流體變送器中。傳感器膜盒(20、98、120、220)包括具有傳感器安裝孔(30、130、230)的塊(24、224)。所述塊(24、224)包括兩個半塊(26、28；146、148；226、228)，所述半塊(26、28；146、148；226、228)沿匹配表面(22、23；222、223)縱向地經(jīng)過傳感器安裝孔而接合。傳感器(50、128、250)具有傳感器頸(25、252)，所述傳感器頸(25、252)經(jīng)過傳感器安裝孔(30、130、230)。所述傳感器頸(52、252)密封至傳感器安裝孔(30、130、230)。
文檔編號G01L9/12GK1633588SQ02824262
公開日2005年6月29日 申請日期2002年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月15日
發(fā)明者詹姆士·L·格拉韋爾, 佛瑞德·C·西特勒, 大衛(wèi)·A·布羅登 申請人:羅斯蒙德公司