40將裝載于測(cè)試梭331、332的半導(dǎo)體元件朝向下方按壓而實(shí)現(xiàn)。當(dāng)然，半導(dǎo)體元件是通過(guò)測(cè)試插座TS '與測(cè)試器電連接。
[0039]第二元件移動(dòng)器350將當(dāng)前位于右側(cè)的測(cè)試梭331、332中的、測(cè)試結(jié)束的各半導(dǎo)體元件一邊按照測(cè)試結(jié)果來(lái)分類(lèi)一邊放入位于復(fù)測(cè)(retest)位置RP、放入位置IP、固定位置FP的用戶(hù)托盤(pán)CT。復(fù)測(cè)位置RP是將復(fù)測(cè)對(duì)象即半導(dǎo)體元件放入用戶(hù)托盤(pán)CT的位置。放入位置IP是將通過(guò)了測(cè)試的半導(dǎo)體元件放入用戶(hù)托盤(pán)CT的位置。固定位置FP是將通過(guò)了測(cè)試或復(fù)測(cè)對(duì)象之外的各半導(dǎo)體元件放入用戶(hù)托盤(pán)CT的位置。第二元件移動(dòng)器350是以能夠在左右方向和前后方向移動(dòng)(參照虛線(xiàn)箭頭d、e)的方式具備。復(fù)測(cè)位置RP、放入位置IP、固定位置FP的作用或相互位置可根據(jù)使用者的需要而變更。
[0040]托盤(pán)輸送器360是在取出位置WP、收放位置AP、復(fù)測(cè)位置RP、放入位置IP、以及等待位置SP之間輸送用戶(hù)托盤(pán)CT。托盤(pán)輸送器360是以能夠在左右方向移動(dòng)(參照虛線(xiàn)箭頭f)的方式具備。
[0041]上述一對(duì)裝載板311、312、第一元件移動(dòng)器320、一對(duì)測(cè)試梭331、332、連接器340、第二元件移動(dòng)器350、以及托盤(pán)輸送器360能夠綁定為測(cè)試支援部分。即、測(cè)試支援部分是將位于取出位置WP的用戶(hù)托盤(pán)CT中所裝載的半導(dǎo)體元件取出并與測(cè)試器電連接，并將測(cè)試結(jié)束的半導(dǎo)體元件一邊按照測(cè)試結(jié)果來(lái)分類(lèi)一邊放入位于放入位置IP的用戶(hù)托盤(pán)CT的部分。
[0042]如第一供給堆疊器371a、第二供給堆疊器371b、第一收放堆疊器372a、372b、372c、第二收放堆疊器373、以及等待堆疊器374那樣的各堆疊器的構(gòu)造和如第一托盤(pán)移動(dòng)器381、第二托盤(pán)移動(dòng)器382a、382b、382c、第三托盤(pán)移動(dòng)器383、以及第四托盤(pán)移動(dòng)器384那樣的各托盤(pán)移動(dòng)器的構(gòu)造是本申請(qǐng)人的在先專(zhuān)利申請(qǐng)10-2013-0052809號(hào)和10-2013-0055510號(hào)中所提出的技術(shù)事項(xiàng)。因此，在以下的說(shuō)明中省略關(guān)于它們的構(gòu)造和動(dòng)作的詳細(xì)說(shuō)明。
[0043]第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b容納裝載有需要測(cè)試的半導(dǎo)體元件的用戶(hù)托盤(pán)CT。
[0044]I個(gè)批量的各半導(dǎo)體元件分開(kāi)而裝載于多張用戶(hù)托盤(pán)CT。而且，多張用戶(hù)托盤(pán)CT分開(kāi)而容納于第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b。
[0045]或者，可以在第一供給堆疊器371a中容納裝載有首先要測(cè)試的批量的物品數(shù)量的用戶(hù)托盤(pán)，且在第二供給堆疊器371b中容納裝載有之后要測(cè)試的批量的物品數(shù)量的用戶(hù)托盤(pán)。
[0046]層疊于第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b的各用戶(hù)托盤(pán)CT通過(guò)第一托盤(pán)輸送器381而一張一張地送至取出位置WP。
[0047]如在圖4中所參照，第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b是以沿左右方向并排相鄰的方式配置。第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b相結(jié)合。因此，第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b沿左右方向一起移動(dòng)。第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b只要各自能夠裝載各用戶(hù)托盤(pán)CT，則即便是相互貼緊或彼此隔開(kāi)等任何方式或構(gòu)造亦可。
[0048]第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b具有用于承托沿豎直方向?qū)盈B的用戶(hù)托盤(pán)CT或用于解除承托的各夾具(clamp) CP。
[0049]夾具CP具有承托部件PE和氣缸(cylinder)CD。
[0050]承托部件PE承托用戶(hù)托盤(pán)CT。
[0051]氣缸⑶使承托部件PE在水平方向進(jìn)退。因此，承托部件PE能夠承托所層疊的用戶(hù)托盤(pán)CT或解除承托。氣缸CD能夠以馬達(dá)等來(lái)替代。
[0052]根據(jù)實(shí)施方式，供給堆疊器可以是3個(gè)以上。另外，各個(gè)供給堆疊器能夠不相結(jié)合而各自獨(dú)立地移動(dòng)。即、能夠存在對(duì)于移動(dòng)的各供給堆疊器的多種變形例。
[0053]第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b具有用于檢測(cè)是否已裝滿(mǎn)用戶(hù)托盤(pán)CT的第一檢測(cè)傳感器FS。另外，第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b具備用于確認(rèn)是否裝載有用戶(hù)托盤(pán)CT的第二檢測(cè)傳感器TS。
[0054]作為參考，圖4中圖示在第一供給堆疊器371a的下方的符號(hào)SA是承托件。承托件SA在夾具CP解除了對(duì)于用戶(hù)托盤(pán)CT的承托的情況下承托用戶(hù)托盤(pán)CT。承托件SA包括承托板SP和升降器UD。承托板SP承托用戶(hù)托盤(pán)CT。升降器UD使承托板SP升降。在第一收放堆疊器372a、372b、372c、第二收放堆疊器373、以及等待堆疊器374各自的下方也安裝承托件SA。這種承托件SA參與使所層疊的用戶(hù)托盤(pán)CT向后方移動(dòng)的作業(yè)。位于第一供給堆疊器371a的下方的承托件SA參與裝載于第二供給堆疊器371b的用戶(hù)托盤(pán)CT的移動(dòng)。就與用戶(hù)托盤(pán)CT的移動(dòng)相關(guān)的技術(shù)而言，通過(guò)本申請(qǐng)人的在先專(zhuān)利申請(qǐng)即申請(qǐng)?zhí)枮?0-2013-0055510號(hào)的專(zhuān)利文獻(xiàn)的圖8至圖17已詳細(xì)進(jìn)行了說(shuō)明。因此，省略對(duì)其的詳細(xì)說(shuō)明。
[0055]第一收放堆疊器372a、372b、372c容納通過(guò)第二托盤(pán)移動(dòng)器382a、382b、382c的動(dòng)作而來(lái)自復(fù)測(cè)位置RP或放入位置IP的用戶(hù)托盤(pán)CT。
[0056]第二收放堆疊器373容納用戶(hù)托盤(pán)CT，該用戶(hù)托盤(pán)CT是在所裝載的各半導(dǎo)體元件在取出位置WP由第一元件移動(dòng)器320所全部被取出之后經(jīng)收放位置AP而來(lái)。
[0057]等待堆疊器374容納所要向等待位置SP供給的空著的各用戶(hù)托盤(pán)CT，其中，等待位置SP是所要輸送至復(fù)測(cè)位置RP或放入位置IP的用戶(hù)托盤(pán)CT所等待的位置。即、容納裝載于等待堆疊器374中的空著的用戶(hù)托盤(pán)CT通過(guò)第四托盤(pán)移動(dòng)器384而一張一張地向等待位置SP移動(dòng)。而且，位于等待位置SP的用戶(hù)托盤(pán)CT通過(guò)托盤(pán)輸送器360而輸送至復(fù)測(cè)位置RP或放入位置IP。
[0058]第一托盤(pán)移動(dòng)器381將容納裝載于第一供給堆疊器371a或第二供給堆疊器371b的用戶(hù)托盤(pán)CT 一張一張地送至取出位置WP。
[0059]第二托盤(pán)移動(dòng)器382a、382b、382c將位于復(fù)測(cè)位置RP或放入位置IP的用戶(hù)托盤(pán)CT帶至第一收放堆疊器372a、372b、372c。
[0060]第三托盤(pán)移動(dòng)器383使位于收放位置AP的用戶(hù)托盤(pán)CT向第二收放堆疊器373移動(dòng)。
[0061]第四托盤(pán)移動(dòng)器384將容納于等待堆疊器374的空著的用戶(hù)托盤(pán)CT 一張一張地送至等待位置SP。
[0062]位置選擇器390使相結(jié)合的第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b沿左右方向移動(dòng)。因此，使第一供給堆疊器371a位于供給位置PP或使第二供給堆疊器371b位于供給位置PP。這里，供給位置PP是將層疊于第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b的用戶(hù)托盤(pán)CT送至取出位置WP的位置。如在圖4中所參照，這種位置選擇器390包括氣缸391、一對(duì)引導(dǎo)件392a、392b、移動(dòng)部件393、停止器394、吸附器(absorber) 395、以及位置檢測(cè)傳感器396。
[0063]氣缸391是賦予使第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b沿左右方向移動(dòng)的移動(dòng)力的移動(dòng)動(dòng)力源。能夠以使第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b能夠沿左右方向移動(dòng)的馬達(dá)等多種驅(qū)動(dòng)單元來(lái)替代氣缸391。
[0064]引導(dǎo)件392a、392b引導(dǎo)第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b沿左右方向移動(dòng)。
[0065]移動(dòng)部件393與第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b結(jié)合。另外，移動(dòng)部件393以能夠移動(dòng)的方式與引導(dǎo)件392a、392b結(jié)合。而且，移動(dòng)部件393按照引導(dǎo)件392a、392b的引導(dǎo)而沿左右方向移動(dòng)。因此，移動(dòng)部件393與第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b —起移動(dòng)。
[0066]停止器394防止第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b過(guò)度移動(dòng)。
[0067]吸附器395與停止器394結(jié)合。吸附器395吸收移動(dòng)部件393與停止器394之間的碰撞沖擊。
[0068]位置檢測(cè)傳感器396檢測(cè)第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b中哪一個(gè)位于供給位置PP。即、位置檢測(cè)傳感器396檢測(cè)當(dāng)前第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b中哪一方在向取出位置WP供給用戶(hù)托盤(pán)CT。
[0069]通過(guò)位置檢測(cè)傳感器396能夠把握當(dāng)前供給的物品數(shù)量的存在與否。例如，若在第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b分開(kāi)而層疊有裝載了不同批量的半導(dǎo)體元件的各用戶(hù)托盤(pán)CT，則通過(guò)位置檢測(cè)傳感器396能夠把握當(dāng)前向測(cè)試支援部分供給的各半導(dǎo)體元件是哪一個(gè)批量的物品數(shù)量。在本實(shí)施例中，使位置檢測(cè)傳感器396檢測(cè)移動(dòng)部件393的位置。但根據(jù)實(shí)施方式，還能夠使氣缸的活塞桿(rod)檢測(cè)當(dāng)前是前進(jìn)狀態(tài)還是后退狀態(tài)。另外，位置檢測(cè)傳感器396還能夠設(shè)置在停止器上。另外，還能夠使位置檢測(cè)傳感器396分開(kāi)設(shè)置于供給位置PP、第一供給堆疊器371a、第二供給堆疊器371b并通過(guò)相互識(shí)別而檢測(cè)第一供給堆疊器371a和第二供給堆疊器371b的位置。
[0070]上述第一供給堆疊器371a、第二供給堆疊器371b、第一收放堆疊器372a、372b、372c、第二收放堆疊器373、以及等待堆疊器374或第一托盤(pán)移動(dòng)器381、第二托盤(pán)移動(dòng)器382a