半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)于所生產(chǎn)的半導(dǎo)體元件進(jìn)行測(cè)試時(shí)所使用的半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)(HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE)，尤其與用戶托盤的接送有關(guān)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)(以下簡(jiǎn)稱為“分選機(jī)”)是一種將經(jīng)過規(guī)定的制造工序而制造的各半導(dǎo)體元件從用戶托盤(customer tray)取出之后與測(cè)試器(tester)電連接，且若測(cè)試(test)結(jié)束則按照測(cè)試結(jié)果而將半導(dǎo)體元件分類并放入空著的用戶托盤的設(shè)備。
[0003]分選機(jī)隨半導(dǎo)體元件的種類、測(cè)試目的或環(huán)境等其使用目的而演變成韓國(guó)公開專利10-2009-0012667號(hào)中所提出的方式或10-2002-0077596號(hào)中所提出的方式等多種方式。
[0004]一般來講，分選機(jī)具備用于接送半導(dǎo)體元件所裝載或所能夠裝載的用戶托盤的多個(gè)堆疊器(stacker)。
[0005]在多個(gè)堆疊器中有供給裝載有所要測(cè)試的半導(dǎo)體元件的用戶托盤的供給堆疊器以及能夠收放裝載有測(cè)試結(jié)束的半導(dǎo)體元件的用戶托盤的收放堆疊器。這里，供給堆疊器和收放堆疊器是至少具備一個(gè)以上。而且，在供給堆疊器或收放堆疊器中能夠容納個(gè)數(shù)既定的用戶托盤。
[0006]另一方面，就半導(dǎo)體元件的測(cè)試而言，是以I個(gè)批量(lot)的物品數(shù)量單位在相同的環(huán)境條件下進(jìn)行測(cè)試。因此，從各個(gè)角度來看，I個(gè)批量的物品數(shù)量的半導(dǎo)體元件最好是連續(xù)進(jìn)行測(cè)試。
[0007]然而，I個(gè)批量的物品數(shù)量超過能夠容納于供給堆疊器的個(gè)數(shù)的用戶托盤中所能夠裝載的物品數(shù)量的情況時(shí)有發(fā)生。在這種情況下，若I個(gè)批量的物品數(shù)量中一部分物品數(shù)量的半導(dǎo)體元件的測(cè)試結(jié)束，則作業(yè)人員供給裝載有另一部分物品數(shù)量的半導(dǎo)體元件的用戶托盤。因此，需要作業(yè)人員的人力，且分選機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)率與作業(yè)時(shí)間相應(yīng)而降低。
[0008]因此，在生產(chǎn)如圖1那樣供給堆疊器171為一個(gè)且能夠從用戶托盤CT取出半導(dǎo)體元件的取出位置WP為一個(gè)的分選機(jī)100時(shí)，可以考慮生產(chǎn)如圖2那樣追加了供給堆疊器271a,271b和取出位置WP1'胃匕的改進(jìn)的分選機(jī)200。但根據(jù)改進(jìn)的分選機(jī)200，不僅使得設(shè)備變大，而且用于在取出位置WPp WP2從用戶托盤CT取出半導(dǎo)體元件并使半導(dǎo)體元件移動(dòng)的元件移動(dòng)器220的設(shè)計(jì)和控制也變得復(fù)雜。
[0009]并且，本申請(qǐng)人的在先專利申請(qǐng)10-2013-0052809號(hào)和10-2013-0055510號(hào)等中所提出的分選機(jī)，由于具有裝載于堆疊器的用戶托盤由下部的傳送帶所向取出位置移動(dòng)的構(gòu)造，因此，在具備多個(gè)供給堆疊器的情況下，還需要追加傳送帶構(gòu)造物。
[0010]因此，導(dǎo)致空間浪費(fèi)和生產(chǎn)成本的上升。而且，與其相比，在處理通常的物品數(shù)量時(shí)，所追加的供給堆疊器271b的利用率降低。
[0011]當(dāng)然，為了加大沿上下方向裝載于堆疊器的用戶托盤的裝載量也可考慮加大堆疊器的上下高度，但這樣一來還是增大設(shè)備的大小，且使作業(yè)人員的用戶托盤裝載作業(yè)與設(shè)備的所提高的高度相應(yīng)地變得繁瑣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]所要解決的問題
[0013]本發(fā)明的目的在于提供一種提高堆疊器的應(yīng)用性而能夠適宜地應(yīng)對(duì)所要測(cè)試的半導(dǎo)體元件的物品數(shù)量變化的技術(shù)。
[0014]解決問題的方案
[0015]旨在達(dá)到如上所述的目的的根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)包括:測(cè)試支援部分，其取出位于取出位置的用戶托盤中所裝載的半導(dǎo)體元件并使該半導(dǎo)體元件與測(cè)試器電連接之后，將結(jié)束了通過測(cè)試器的測(cè)試的半導(dǎo)體元件放入位于放入位置的用戶托盤；以及，用戶托盤接送部分，其將裝載有所要測(cè)試的半導(dǎo)體元件的用戶托盤送至取出位置或?qū)⒀b載有測(cè)試結(jié)束的半導(dǎo)體元件的用戶托盤從放入位置帶回，從而有助于通過上述測(cè)試支援部分的動(dòng)作的各半導(dǎo)體元件的移動(dòng)順利進(jìn)行，上述用戶托盤接送部分包括:多個(gè)供給堆疊器，其容納所要送至取出位置的用戶托盤；第一托盤移動(dòng)器，其將裝載于上述多個(gè)供給堆疊器的用戶托盤送至取出位置；位置選擇器，其使上述多個(gè)供給堆疊器移動(dòng)而使上述多個(gè)供給堆疊器中一個(gè)供給堆疊器位于供給位置(供給位置是用于將用戶托盤送至取出位置的位置)；至少一個(gè)以上的收放堆疊器，其能夠容納位于放入位置的用戶托盤；以及，至少一個(gè)以上的第二托盤移動(dòng)器，其將位于放入位置的用戶托盤帶至上述至少一個(gè)以上的收放堆疊器。
[0016]上述多個(gè)供給堆疊器是以比取出位置個(gè)數(shù)多的個(gè)數(shù)來具備，裝載于上述多個(gè)供給堆疊器的用戶托盤通過上述第一托盤移動(dòng)器而送至同一取出位置。
[0017]上述多個(gè)供給堆疊器具備檢測(cè)是否已裝載用戶托盤的檢測(cè)傳感器，若通過上述檢測(cè)傳感器而檢測(cè)為在當(dāng)前位于供給位置的供給堆疊器中用戶托盤已被空出，則上述位置選擇器將其它供給堆疊器中用戶托盤所存在的供給堆疊器選擇并向供給位置移動(dòng)。
[0018]旨在達(dá)到如上所述的目的的根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)包括:測(cè)試支援部分，其取出位于取出位置的用戶托盤中所裝載的半導(dǎo)體元件并使該半導(dǎo)體元件與測(cè)試器電連接之后，將結(jié)束了通過測(cè)試器的測(cè)試的半導(dǎo)體元件放入位于放入位置的用戶托盤；以及，用戶托盤接送部分，其將裝載有所要測(cè)試的半導(dǎo)體元件的用戶托盤送至取出位置或?qū)⒀b載有測(cè)試結(jié)束的半導(dǎo)體元件的用戶托盤從放入位置帶回，從而有助于通過上述測(cè)試支援部分的動(dòng)作的各半導(dǎo)體元件的移動(dòng)順利進(jìn)行，上述用戶托盤接送部分包括:多個(gè)堆疊器，其能夠裝載所要送至取出位置的用戶托盤或能夠容納來自放入位置的用戶托盤；多個(gè)托盤移動(dòng)器，其將裝載于上述多個(gè)堆疊器中至少一個(gè)堆疊器的用戶托盤送至取出位置，并從放入位置帶至上述多個(gè)堆疊器中非為上述至少一個(gè)堆疊器的、至少一個(gè)堆疊器；以及，位置選擇器，其使上述多個(gè)堆疊器中至少一個(gè)堆疊器移動(dòng)而能夠選擇上述至少一個(gè)堆疊器的位置。
[0019]上述多個(gè)堆疊器中至少一個(gè)堆疊器具有第一檢測(cè)傳感器及第二檢測(cè)傳感器中至少一個(gè)，其中，上述第一檢測(cè)傳感器檢測(cè)是否已裝滿用戶托盤，上述第二檢測(cè)傳感器檢測(cè)是否裝載有用戶托盤，上述位置選擇器根據(jù)在上述第一檢測(cè)傳感器或上述第二檢測(cè)傳感器所檢測(cè)的信息使上述多個(gè)堆疊器中至少一個(gè)堆疊器移動(dòng)。
[0020]發(fā)明效果
[0021]根據(jù)本發(fā)明，由于有效地應(yīng)用堆疊器，因而具有如下效果。
[0022]第一、能夠在同一測(cè)試工序中連續(xù)處理物品數(shù)量多的半導(dǎo)體元件。
[0023]第二、防止設(shè)備的大型化或設(shè)計(jì)的復(fù)雜化，從而能夠節(jié)省空間和生產(chǎn)成本。
[0024]第三、能夠帶來人力節(jié)省和設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)率的提高。
[0025]第四、還能夠連續(xù)處理不同批量的物品數(shù)量。
【附圖說明】
[0026]圖1和圖2是用于說明現(xiàn)有分選機(jī)的局限性的參照?qǐng)D。
[0027]圖3是對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)的概念性俯視圖。
[0028]圖4是對(duì)于圖3的分選機(jī)的主要部分的概略立體圖。
[0029]圖5是用于說明圖3的分選機(jī)的動(dòng)作的參照?qǐng)D。
[0030]符號(hào)說明
[0031]300—半導(dǎo)體元件測(cè)試用分選機(jī)，311、312—裝載板，320—第一元件移動(dòng)器，331、332—測(cè)試梭，371a—第一供給堆疊器，371b—第二供給堆疊器，F(xiàn)S—第一檢測(cè)傳感器，TS-第二檢測(cè)傳感器，372a至372c—第一收放堆疊器，381—第一托盤移動(dòng)器，382a至382c—第二托盤移動(dòng)器，390—位置選擇器。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下參照【附圖說明】根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。便于說明的簡(jiǎn)潔起見，省略或簡(jiǎn)述重復(fù)的說明。
[0033]圖3是對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的分選機(jī)300的概念性俯視圖。
[0034]如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的分選機(jī)300包括一對(duì)裝載板311、312、第一元件移動(dòng)器320、一對(duì)測(cè)試梭331、332、連接器340、第二元件移動(dòng)器350、托盤輸送器360、第一供給堆疊器371a、第二供給堆疊器371b、第一收放堆疊器372a、372b、372c、第二收放堆疊器373、等待堆疊器374、第一托盤移動(dòng)器381、第二托盤移動(dòng)器382a、382b、382c、第三托盤移動(dòng)器383、第四托盤移動(dòng)器384、以及位置選擇器390。
[0035]在裝載板311、312上能夠裝載各半導(dǎo)體元件。這種裝載板311、312能夠具有加熱器。因此，能夠?qū)⒁蜒b載的各半導(dǎo)體元件加熱至測(cè)試所需的溫度。在進(jìn)行常溫測(cè)試時(shí)加熱器的工作中止。
[0036]第一元件移動(dòng)器320將半導(dǎo)體元件從位于取出位置WP的用戶托盤CT取出之后裝載于裝載板311、312。而且，第一元件移動(dòng)器320使位于裝載板311、312的半導(dǎo)體元件向當(dāng)前位于左側(cè)方向的測(cè)試梭331、332移動(dòng)。第一元件移動(dòng)器320是以能夠在左右方向和前后方向移動(dòng)(參照虛線箭頭a、b)的方式具備。
[0037]在測(cè)試梭331、332上能夠裝載半導(dǎo)體元件。測(cè)試梭331、332能夠經(jīng)過測(cè)試位置TP并在左右方向移動(dòng)(參照虛線箭頭cl、c2)。
[0038]連接器340使位于測(cè)試位置TP的測(cè)試梭331、332中所裝載的半導(dǎo)體元件與其下方的測(cè)試插座(test socket)TS '電連接。這里，半導(dǎo)體元件與測(cè)試插座TS '之間的電連接是通過連接器3