技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供了一種利用霧化法對擴散源進行涂布的裝置。其結(jié)構(gòu)包括溶液杯、霧化器、霧化氣體導(dǎo)管和霧化氣體緩沖器；所述溶液杯置于所述霧化器內(nèi)，所述溶液杯用于盛放擴散源溶液，所述霧化器可將溶液杯內(nèi)的擴散源溶液進行霧化；所述霧化氣體導(dǎo)管連接所述霧化器和所述霧化氣體緩沖器，擴散源溶液被霧化后所形成的霧化氣體可沿霧化氣體導(dǎo)管進入霧化氣體緩沖器內(nèi)。霧化氣體緩沖器能夠緩和霧化氣體的噴出速度，因此通過霧化氣體緩沖器后的霧化氣體再涂布于硅片上，能夠保證涂布的均勻性，從而解決了現(xiàn)有噴涂均勻性差的問題，還解決了傳統(tǒng)管式擴散工藝復(fù)雜、連續(xù)性差的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：胡文濤;許穎;麥耀華;盧川;董國義
受保護的技術(shù)使用者：河北大學(xué)
文檔號碼：201621095703
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.30
技術(shù)公布日：2017.05.03