本發(fā)明涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于在相鄰的真空腔室之間傳送物品的裝置。

背景技術(shù)：

真空設(shè)備都存在抽真空時(shí)間比較長(zhǎng)，實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)效率比較低的問(wèn)題，某些應(yīng)用領(lǐng)域涉及到需要在真空功能室中通入危險(xiǎn)氣體、遇到某些氣體導(dǎo)致工藝原料變質(zhì)問(wèn)題、某些工作氣體遇到空氣中的水會(huì)會(huì)變質(zhì)問(wèn)題等，為此需要配合真空功能室再做一個(gè)預(yù)真空室，使得樣品從預(yù)真空室進(jìn)出，而真空功能室不暴露大氣，保持良好真空環(huán)境。這樣，在預(yù)真空室與真空功能室間需要一個(gè)閥門(mén)，這個(gè)閥門(mén)可以開(kāi)閉，打開(kāi)時(shí)在保證樣品有效在預(yù)真空室與真空功能室間傳遞的前提下，連接空間需要盡可能小，以減少氣體擴(kuò)散，并保證兩個(gè)腔體連接尺寸盡可能小，有利于真空腔體設(shè)計(jì)，不至于因連接空間太大帶來(lái)真空室的無(wú)效增大。

此外，當(dāng)需要在預(yù)真空室與真空功能室之間進(jìn)行物品傳送時(shí)，如果采用直線形式傳送，則機(jī)械手的行程不得小于預(yù)真空室的樣品中心位置到真空功能室的樣品放置位置的距離，由于真空功能室的樣品多放置在中心位置上，加上預(yù)真空室與真空功能室之間必須具有真空隔斷作用的真空鎖，這個(gè)行程就會(huì)比較長(zhǎng)，這樣預(yù)真空室外就需要設(shè)置有一個(gè)直線長(zhǎng)桿，從而造成設(shè)備整體就比較長(zhǎng)，比較笨拙。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種真空腔室傳送裝置，以減少或避免前面所提到的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提出了一種真空腔室傳送裝置，其安裝在預(yù)真空室中，用于向相鄰的真空功能室進(jìn)行物品傳送，所述預(yù)真空室與所述真空功能室之間設(shè)置有真空鎖，其包括固定在所述預(yù)真空室中的至少一個(gè)第一導(dǎo)軌，與所述第一導(dǎo)軌可滑動(dòng)連接的第一安裝座，所述第一安裝座設(shè)置有與所述第一導(dǎo)軌垂直的第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌可滑動(dòng)連接有第二滑塊，所述第二滑塊與轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)連接，所述轉(zhuǎn)臂與固定在所述預(yù)真空室中的轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)連接，所述第一安裝座設(shè)置有向所述真空功能室方向延伸的板狀托架。

優(yōu)選地，所述真空鎖包括一個(gè)殼體，所述殼體兩側(cè)設(shè)置有用于與所述預(yù)真空室和所述真空功能室連通的通孔，所述殼體內(nèi)設(shè)置有可上下滑動(dòng)的鎖身，所述鎖身包括一塊頂板，所述頂板兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有密封板，所述頂板設(shè)置有多個(gè)凸出所述頂板表面的滾珠，所述密封板對(duì)應(yīng)所述滾珠設(shè)置有多個(gè)圓錐形凹槽。

優(yōu)選地，兩個(gè)所述密封板之間設(shè)置有彈簧。

優(yōu)選地，所述鎖身設(shè)置有與所述殼體可滾動(dòng)連接的導(dǎo)向軸承。

優(yōu)選地，所述通孔和所述密封板、所述頂板均為矩形。

優(yōu)選地，所述頂板的側(cè)壁沿長(zhǎng)度方向均布有四對(duì)所述滾珠，所述密封板的側(cè)壁沿長(zhǎng)度方向均布有四對(duì)所述圓錐形凹槽。

優(yōu)選地，所述密封板設(shè)置有密封圈。

本發(fā)明所提供的一種真空腔室傳送裝置，結(jié)構(gòu)緊湊，密封性好，能對(duì)相鄰的兩個(gè)真空腔室提供有效密封，并且對(duì)真空腔室的開(kāi)口形狀適應(yīng)性強(qiáng)，此外，所述板狀托架可以是很薄且長(zhǎng)的片狀結(jié)構(gòu)，因此可以通過(guò)窄長(zhǎng)的真空鎖縫隙將物品送入或取出真空功能室，這樣就可以減少對(duì)整個(gè)設(shè)備的尺寸要求。

附圖說(shuō)明

以下附圖僅旨在于對(duì)本發(fā)明做示意性說(shuō)明和解釋?zhuān)⒉幌薅ū景l(fā)明的范圍。其中，

圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例的一種真空腔室傳送裝置的結(jié)構(gòu)原理示意圖；

圖2為圖1的真空腔室傳送裝置的應(yīng)用環(huán)境的部分剖視原理示意圖；

圖3為圖2的真空鎖的立體分解結(jié)構(gòu)原理示意圖。

具體實(shí)施方式

為了對(duì)本發(fā)明的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對(duì)照附圖說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方式。其中，相同的部件采用相同的標(biāo)號(hào)。

圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例的一種真空腔室傳送裝置的立體結(jié)構(gòu)原理示意圖；圖2為圖1的真空腔室傳送裝置的應(yīng)用環(huán)境的部分剖視原理示意圖；參見(jiàn)圖1-2所示，本發(fā)明提供了一種真空腔室傳送裝置，其安裝在預(yù)真空室101中，用于向相鄰的真空功能室102進(jìn)行物品傳送，所述預(yù)真空室101與所述真空功能室102之間設(shè)置有真空鎖，其包括固定在所述預(yù)真空室101中的至少一個(gè)第一導(dǎo)軌41，與所述第一導(dǎo)軌41可滑動(dòng)連接的第一安裝座42，所述第一安裝座42設(shè)置有與所述第一導(dǎo)軌41垂直的第二導(dǎo)軌51，所述第二導(dǎo)軌可滑動(dòng)連接有第二滑塊52，所述第二滑塊52與轉(zhuǎn)臂53可旋轉(zhuǎn)連接，所述轉(zhuǎn)臂53與固定在所述預(yù)真空室101中的轉(zhuǎn)軸54可旋轉(zhuǎn)連接，所述第一安裝座42設(shè)置有向所述真空功能室102方向延伸的板狀托架43。

參見(jiàn)圖1所示，當(dāng)所述第一安裝座42位于所述第一導(dǎo)軌41的左側(cè)時(shí)，所述板狀托架43收于所述第一導(dǎo)軌41的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，因此，所述預(yù)真空室101與所述真空功能室102之間的真空鎖可有效封閉。當(dāng)需要向所述真空功能室102傳送樣片等物品時(shí)，可先打開(kāi)所述預(yù)真空室101，將物品放置在所述板狀托架43上，然后關(guān)閉所述預(yù)真空室101，使所述預(yù)真空室101抽取真空，之后即可打開(kāi)所述真空鎖，然后驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臂53旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)臂53旋轉(zhuǎn)過(guò)程中會(huì)帶動(dòng)所述第二滑塊52沿所述第二導(dǎo)軌51移動(dòng)，從而帶動(dòng)所述第一安裝座42沿所述第一導(dǎo)軌41移動(dòng)，這樣就會(huì)使得所述板狀托架43向所述真空功能室102移動(dòng)，并最終將物品送入所述真空功能室102，再將物品放置到位后，所述轉(zhuǎn)臂53反向旋轉(zhuǎn)即可帶動(dòng)所述板狀托架43返回至所述預(yù)真空室101，之后即可使用真空鎖封閉隔離所述預(yù)真空室101與所述真空功能室102。

所述板狀托架43的長(zhǎng)度小于所述第一導(dǎo)軌41的長(zhǎng)度，這樣可確保所述板狀托架43不會(huì)干涉到所述真空鎖的運(yùn)動(dòng)。

所述第一導(dǎo)軌41可設(shè)置有兩根，這樣可為所述第一安裝座42提供穩(wěn)定的支撐。

圖3為圖2的真空鎖的立體分解結(jié)構(gòu)原理示意圖。參見(jiàn)圖3所示，所述真空鎖可以包括一個(gè)殼體1，所述殼體1兩側(cè)設(shè)置有用于與所述預(yù)真空室101和所述真空功能室102連通的通孔11，所述殼體1內(nèi)設(shè)置有可上下滑動(dòng)的鎖身2，所述鎖身2包括一塊頂板21，所述頂板21兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有密封板22，所述頂板21設(shè)置有多個(gè)凸出所述頂板21表面的滾珠211，所述密封板22對(duì)應(yīng)所述滾珠211設(shè)置有多個(gè)圓錐形凹槽221。

所述殼體1分別與所述預(yù)真空室101和所述真空功能室102固定連接，且所述通孔11分別與所述預(yù)真空室101和所述真空功能室102的傳送口(圖中未示出)連通。

當(dāng)所述鎖身2在所述殼體1的內(nèi)腔的下方時(shí)，所述預(yù)真空室101和所述真空功能室102之間連通，從而可進(jìn)行物體傳送。

當(dāng)所述鎖身2在驅(qū)動(dòng)裝置3(例如氣缸或液壓缸)的推動(dòng)下向所述殼體1的內(nèi)腔的上方滑動(dòng)時(shí)，所述密封板22逐步遮擋所述通孔11，當(dāng)所述密封板22的頂面與所述殼體1的內(nèi)腔的頂面接觸時(shí)，所述密封板22完全覆蓋住所述通孔11，此時(shí)，所述密封板22停止向上的移動(dòng)，而所述頂板21繼續(xù)向上移動(dòng)，所述滾珠211也在所述圓錐形凹槽221內(nèi)繼續(xù)向上移動(dòng)，由于所述圓錐形凹槽221的截面尺寸逐步減小，因此所述滾珠211就會(huì)推動(dòng)所述密封板22向所述通孔11貼合，也就是說(shuō)，所述滾珠211會(huì)將所述密封板22在所述通孔11的軸向方向上推動(dòng)，從而使得所述密封板22將所述通孔11密封。

當(dāng)需要兩個(gè)真空腔室連通時(shí)，所述鎖身2在驅(qū)動(dòng)裝置3(例如氣缸或液壓缸)的拉動(dòng)下向所述殼體1的內(nèi)腔的下方滑動(dòng)，所述滾珠211首先在所述頂板21的帶動(dòng)下回退到所述圓錐形凹槽221的最大截面尺寸位置處，之后，所述頂板21在下滑的過(guò)程中，所述滾珠211通過(guò)所述圓錐形凹槽221帶動(dòng)所述密封板22下滑，從而使得所述密封板22離開(kāi)所述通孔11的覆蓋位，也就能使得所述通孔11之間連通。

本發(fā)明所提供的真空腔室傳送裝置與現(xiàn)有技術(shù)的最大改進(jìn)在于，本發(fā)明通過(guò)滾珠機(jī)械力來(lái)控制所述密封板22在所述通孔11的軸向方向上的位移，從而保障所述密封板22對(duì)所述通孔11的密封效果，這也就克服了現(xiàn)有的翻板式真空腔室傳送裝置需要依靠不同真空腔室的壓差來(lái)保障密封效果的缺陷，此外，對(duì)通孔11的形狀沒(méi)有要求，也就是說(shuō)，不管通孔11是什么形狀，所述密封板22只需要對(duì)應(yīng)所述通孔11的形狀來(lái)制造，比通孔11的尺寸略大，能保障有效覆蓋即可，這也克服了現(xiàn)有真空插板閥對(duì)形狀尺寸要求較高的技術(shù)缺陷。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，兩個(gè)所述密封板22之間可設(shè)置有彈簧(圖中未示出)來(lái)連接，這樣，在所述鎖身2向下滑動(dòng)過(guò)程中，當(dāng)所述滾珠211回退到所述圓錐形凹槽221的最大截面尺寸位置處時(shí)，兩個(gè)所述密封板22可在彈簧帶動(dòng)下離開(kāi)所述通孔11，靠近所述頂板21，從而利于所述鎖身2的向下移動(dòng)。

在另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述鎖身2設(shè)置有與所述殼體1可滾動(dòng)連接的導(dǎo)向軸承23，這樣可利于所述鎖身2的上下滑動(dòng)。

在另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述通孔11和所述密封板22、所述頂板21均為矩形，這樣可使得兩個(gè)真空腔室間可傳送較大尺寸的物品。為了使得所述密封板22所受的壓力均勻，所述頂板21的側(cè)壁可沿長(zhǎng)度方向均布有四對(duì)(共八個(gè))所述滾珠211，對(duì)應(yīng)的，所述密封板22的側(cè)壁沿長(zhǎng)度方向均布有四對(duì)(共八個(gè))所述圓錐形凹槽221。

為了能夠更好的保障所述密封板22對(duì)所述通孔11的密封效果，所述密封板22還可進(jìn)一步設(shè)置有密封圈222。

本發(fā)明所提供的一種真空腔室傳送裝置，結(jié)構(gòu)緊湊，密封性好，能對(duì)相鄰的兩個(gè)真空腔室提供有效密封，并且對(duì)真空腔室的開(kāi)口形狀適應(yīng)性強(qiáng)，此外，所述板狀托架可以是很薄且長(zhǎng)的片狀結(jié)構(gòu)，因此可以通過(guò)窄長(zhǎng)的真空鎖縫隙將物品送入或取出真空功能室，這樣就可以減少對(duì)整個(gè)設(shè)備的尺寸要求。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，雖然本發(fā)明是按照多個(gè)實(shí)施例的方式進(jìn)行描述的，但是并非每個(gè)實(shí)施例僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案。說(shuō)明書(shū)中如此敘述僅僅是為了清楚起見(jiàn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書(shū)作為一個(gè)整體加以理解，并將各實(shí)施例中所涉及的技術(shù)方案看作是可以相互組合成不同實(shí)施例的方式來(lái)理解本發(fā)明的保護(hù)范圍。

以上所述僅為本發(fā)明示意性的具體實(shí)施方式，并非用以限定本發(fā)明的范圍。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和原則的前提下所作的等同變化、修改與結(jié)合，均應(yīng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。