技術(shù)編號(hào)：12773555
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于在相鄰的真空腔室之間傳送物品的裝置。背景技術(shù)真空設(shè)備都存在抽真空時(shí)間比較長，實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)效率比較低的問題，某些應(yīng)用領(lǐng)域涉及到需要在真空功能室中通入危險(xiǎn)氣體、遇到某些氣體導(dǎo)致工藝原料變質(zhì)問題、某些工作氣體遇到空氣中的水會(huì)會(huì)變質(zhì)問題等，為此需要配合真空功能室再做一個(gè)預(yù)真空室，使得樣品從預(yù)真空室進(jìn)出，而真空功能室不暴露大氣，保持良好真空環(huán)境。這樣，在預(yù)真空室與真空功能室間需要一個(gè)閥門，這個(gè)閥門可以開閉，打開時(shí)在保證樣品有效在預(yù)真空室與真空功能室間傳遞的前提下，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。