本實用新型涉及半導(dǎo)體微電子、平板顯示及光電子技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種滾輪氣浮混合式傳送裝置。

背景技術(shù)：

工件的傳送過程是各類機械制造、電子制造的一項必要的環(huán)節(jié)。在目前光電技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用的各類傳送裝置中，傳統(tǒng)的滾輪支承式傳送裝置占有相當(dāng)大的比例。薄板類工件在搬運途中會被空氣中的粉塵污染顆粒附著。在使用傳統(tǒng)的滾輪式傳送裝置傳送時，由于其需要多滾輪支承傳送，工件與滾輪之間摩擦傳動中，大量粉塵污染顆粒附著在滾輪上，粉塵污染物在滾輪表面累積又造成工件表面污損或劃痕，甚至直接導(dǎo)致工件缺陷，重者損毀報廢。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供一種滾輪氣浮混合式傳送裝置，旨在解決工件在傳送時，工件與滾輪之間摩擦傳動中，大量粉塵污染顆粒附著在滾輪上，粉塵污染物在滾輪表面累積又造成工件表面污損或劃痕，甚至直接導(dǎo)致工件缺陷，重者損毀報廢的問題。

本實用新型提供的技術(shù)方案如下：

一種滾輪氣浮混合式傳送裝置，其特征在于，所述傳送裝置包括:支承框架、氣浮支承機構(gòu)、滾輪傳送機構(gòu)及驅(qū)動傳動機構(gòu)；

所述支承框架包括兩個傳送立板和兩個底板，所述兩個傳送立板垂直安裝在所述兩個底板上；

所述氣浮支承機構(gòu)一側(cè)固定在氣浮立支板上，所述氣浮立支板的兩端垂直固定在所述兩個底板上；

所述滾輪傳送機構(gòu)包括多個傳動支承軸，所述傳動支承軸的兩端通過滾珠軸承固定在所述傳送立板上，每個傳動支承軸安裝有兩個導(dǎo)向支承滾輪，每個傳動支承軸一端外接有一個第二磁齒輪，多個第二磁齒輪位于所述多個傳動支承軸的同一側(cè)；

所述驅(qū)動傳動機構(gòu)包括傳動軸和電機減速器組件，所述傳動軸通過磁齒輪支板和滾珠軸承固定在所述傳送立板的外側(cè)，所述傳動軸上安裝有一個第二錐齒輪及多個第一磁齒輪，所述多個第一磁齒輪和所述多個第二磁齒輪一一對應(yīng)，所述電機減速器組件通過電機連接板和電機支板固定在所述傳送立板上，所述電機減速器組件上安裝有一個第一錐齒輪并位于電機連接板上，所述第一錐齒輪與第二錐齒輪相配合。

所述兩個底板平行放置，所述兩個傳送立板互相平行。

所述多個傳動支承軸等間隔平行排列。

所述導(dǎo)向支承滾輪套在所述傳動支承軸上，由鎖緊螺母緊固鎖緊楔形環(huán)的方式可移動安裝在所述傳動支承軸上。

所述傳動支承軸上的磁齒輪與所述傳動軸上的磁齒輪垂直非接觸放置。

所述氣浮支承機構(gòu)包括多個氣浮支承單元，所述多個氣浮支承單元分別等間距分布在兩個傳動支承軸之間。

所述氣浮支承單元包括多孔陶瓷板、非金屬固定塊、下通氣塊和密封橡膠圈，所述非金屬固定塊固定在下通氣塊的上方，所述非金屬固定塊與下 通氣塊的連接位置處設(shè)有密封橡膠圈，所述多孔陶瓷板固定至所述固定塊上方。

所述氣浮立支板通過定位支承塊和定位夾板可移動限定在兩個傳送立板之間的平行位置。

所述傳送裝置包括檢測傳感元件，所述檢測傳感元件包括入口工件檢測傳感元件、出口工件檢測傳感元件和中間減速檢測傳感元件，分別安裝在所述傳送裝置的入口、出口及中間位置。

所述兩個底板的四個端部位置處分別設(shè)有水平調(diào)整螺釘和水平調(diào)整螺母。

有益效果:本實用新型中間工藝區(qū)采用氣浮支承結(jié)構(gòu)非接觸支承工件，邊緣與滾輪接觸摩擦傳動，在傳送時，大幅度降低了薄板類工件、特種板類工件在傳送中的工藝區(qū)摩擦，減少工件傳送振動，大幅度提高了易碎工件、薄板工件和特種板類工件良品率，同時節(jié)約傳送裝置制造成本，提高投資回報率。

附圖說明

圖1為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的三維結(jié)構(gòu)圖；

圖2為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的二維側(cè)視圖；

圖3為圖1中氣浮支承單元的剖面圖；

圖4為圖1中導(dǎo)向支承滾輪的剖面圖。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例對本實用新型做進一步說明，但本實用新型并不限于以下實施例。

圖1為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的三維結(jié)構(gòu)圖；圖4為圖1中導(dǎo)向支承滾輪07的剖面圖。如圖1所示，一種滾輪氣浮混合式傳送裝置，包括:支承框架、氣浮支承機構(gòu)、滾輪傳送機構(gòu)、驅(qū)動傳動機構(gòu)和檢測傳感元件。

支承框架包括兩個平行放置的傳送立板04和兩個平行放置的底板01，兩個傳送立板04垂直安裝在所述兩個底板01上，支承框架起到支承整個裝置的作用，裝置四角由水平調(diào)整螺釘13和水平調(diào)整螺母14調(diào)整至水平，保證與上下流裝置銜接時傳送穩(wěn)定。

氣浮支承機構(gòu)一側(cè)固定在氣浮立支板02上，氣浮立支板02的兩端垂直固定在兩個底板01上，氣浮支承機構(gòu)包括多個氣浮支承單元03等間距地分布在傳動支承軸08之間。氣浮支承機構(gòu)通過壓縮空氣從微孔中噴射氣流的方式實現(xiàn)氣浮作用，將工件托起，起到非接觸的支承作用。

滾輪傳送機構(gòu)包括多個等間隔平行排列傳動支承軸08，傳動支承軸08的兩端通過滾珠軸承20固定在傳送立板04上，每個傳動支承軸08的兩端各有一個導(dǎo)向支承滾輪07，導(dǎo)向支承滾輪07可在傳動支承軸08上橫向移動，如圖4所示，導(dǎo)向支承滾輪07通過鎖緊楔形環(huán)28和鎖緊螺母29緊固，實現(xiàn)滾輪位置的靈活快速調(diào)節(jié)。每個傳動支承軸08一端外接有一個第二磁齒輪09，多個第二磁齒輪09位于多個傳動支承軸08的同一側(cè)。

驅(qū)動傳動機構(gòu)包括傳動軸10和電機減速器組件17，傳動軸10通過磁齒輪支板12和滾珠軸承20固定在傳送立板04的外側(cè)，驅(qū)動電機連接板16上的第一錐齒輪18轉(zhuǎn)動，傳動軸10上的第二錐齒輪15與連接在電機減速器組件17上的第一錐齒輪18咬合，從而驅(qū)動第二錐齒輪15轉(zhuǎn)動。電機減速器組件17通過電機連接板16和電機支板19固定在傳送立板04上，傳動支承軸08上的第二磁 齒輪09與傳動軸10上的第一磁齒輪11垂直非接觸放置，可起到防振作用，在傳送易碎、超薄工件時無沖擊力作用，磁齒輪之間通過磁力作用傳輸動力，傳動軸10帶動傳動支承軸08同步轉(zhuǎn)動。其中，在傳送韌性高且非易碎的工件時，磁齒輪傳動機構(gòu)可以改裝成為同步帶和同步帶輪或直齒輪傳動機構(gòu)，以降低制造成本。

檢測傳感元件包括入口工件檢測傳感元件06、出口工件檢測傳感元件05和中間減速檢測傳感元件21，分別安裝在傳送裝置的入口、出口及中間位置。工件傳送過程中，檢測傳感元件將工件位置的信號傳到控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)對工件傳送過程進行控制，保證工件在傳送中所處位置的可靠性。

圖2為一種滾輪氣浮混合式傳送裝置的二維側(cè)視圖，如圖2所示，氣浮立支板02通過定位支承塊22和定位夾板23固定及調(diào)節(jié)自身在裝置中的橫向最優(yōu)位置。

圖3為圖1中氣浮支承單元03的剖面圖，如圖3所示，氣浮支承單元03由多孔陶瓷板24、非金屬固定塊25、下通氣塊26和密封橡膠圈27組成，非金屬固定塊25固定在下通氣塊26的上方，并與與下通氣塊的連接位置處設(shè)有密封橡膠圈27，多孔陶瓷板24固定至非金屬固定塊25的上方。

以上對本實用新型所提供的一種自動運輸機器人的差動轉(zhuǎn)向行走驅(qū)動機構(gòu)進行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的方法及其核心思想；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實用新型的思想，在具體實施方式及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本實用新型的限制。