本發(fā)明涉及物品輸送設備，前述物品輸送設備具備沿上下方向移動的物品輸送用的移動體。

背景技術：

在特開第2011－066046號公報中，公開了物品輸送設備的一例，前述物品輸送設備在上下方向上具有多層（1，2，1）的半導體制造工廠中，具有多個將物品遍及被設定于不同的層的輸送對象部位來輸送的上下方向輸送裝置（4）（在背景技術中，括號內的附圖標記是參考文獻（例如圖1）的附圖標記）。在上述文獻中，分別設置，在堆垛機專用層（2）和與其相比在上層的2層（1）之間輸送物品的上下方向輸送裝置（4）、在堆垛機專用層（2）和與其相比在下層的1層（1）之間輸送物品的上下方向輸送裝置（4）。即，2層用的上下方向輸送裝置（4）和1層用的上下方向輸送裝置（4）在上下方向觀察時，被設置于不同的位置。

這里，為了將物品輸送設備設置于在上下方向觀察時緊湊的設置區(qū)域中，希望將上下方向輸送裝置（4）構成為，隔著堆垛機專用層（2）來將1層（1）和2層（1）連結的單個裝置。但是，在使物品輸送用的移動體在上下方向上移動較長距離的情況下，若例如采用帶驅動方式，則產生較長的驅動帶蜿蜒曲折（蛇行）的問題等，產生伴隨輸送距離的長距離化的種種問題。因此，有時在上下方向上跨過較長距離來輸送物品的物品輸送設備中，將上下方向的輸送區(qū)間分成多個上下方向輸送裝置來使其分擔。

將這樣的上下方向輸送設備的一例在圖8中表示。如圖8所示，作為多個上下方向輸送裝置，設置有負責下層側的層的裝置（圖8的下層側輸送裝置k21）、負責上層側的層的裝置（圖8的上層側輸送裝置k22）。下層側輸送裝置k21和上層側輸送裝置k22設置成，下層側輸送裝置k21的上下方向的輸送范圍的上端側部分和上層側輸送裝置k22的上下方向的輸送范圍的下端側部分在上下方向上重疊的位置關系（在與上下方向正交的側面觀察為重疊的位置關系），且在上下方向上觀察互相分開的位置關系。

在屬于下層側輸送裝置k21和上層側輸送裝置k22在上下方向上重疊的范圍的層上，設置有水平方向輸送裝置v（臺車、輥式輸送器等）,前述水平方向輸送裝置v在下層側輸送裝置k21的移動體t和上層側輸送裝置k22的移動體t之間，將物品在水平方向上輸送。即，下層側輸送裝置k21將物品傳送至水平方向輸送裝置v，水平方向輸送裝置v輸送物品，將物品傳送至上層側輸送裝置k22，由此能夠從下層側的層遍及至上層側的層來輸送物品。此外，反之，上層側輸送裝置k22將物品傳送至水平方向輸送裝置v，水平方向輸送裝置v輸送物品，將物品傳送至下層側輸送裝置k21，由此能夠從上層側的層遍及至下層側的層來輸送物品。

這樣，在兩個上下方向輸送裝置之間用水平方向輸送裝置v進行輸送，由此即使在輸送對象的物品的上下方向的輸送距離較長的情況下，也能夠適當地將物品輸送。但是，如圖8那樣的結構中，除了在上下方向上輸送物品的輸送裝置之外，還必須設置在水平方向上輸送物品的輸送裝置，為了設置這些輸送裝置，需要寬闊的設置空間。

技術實現要素：

因此，希望一種物品輸送設備，前述物品輸送設備即使在上下方向的輸送距離較長的情況下，也能夠適當地輸送物品，并且，在設置空間方面也是有利的。

鑒于上述說明，作為沿上下方向輸送物品的物品輸送設備的一技術方案，具備第1引導體、第2引導體、第1移動體、第2移動體、中轉用支承臺，前述第1引導體被沿上下方向地配設，前述第2引導體被沿上下方向地配設，前述第1移動體被前述第1引導體引導，沿該第1引導體移動，用于物品輸送，前述第2移動體被前述第2引導體引導，沿該第2引導體移動，用于物品輸送，前述中轉用支承臺能夠支承物品，前述第1移動體具備在與移載對象部位之間將物品移載的第1移載裝置，前述第2移動體具備在與移載對象部位之間將物品移載的第2移載裝置，將前述第1移動體的移動軌跡設為第1移動軌跡，將前述第2移動體的移動軌跡設為第2移動軌跡，以前述第1移動軌跡的上端側部分和前述第2移動軌跡的下端側部分的上下方向的位置重疊的位置關系，配置前述第1引導體和前述第2引導體，前述中轉用支承臺被配置在如下位置，前述位置不與前述第1移動軌跡及前述第2移動軌跡二者重疊，且前述位置使得能夠從前述第1移載裝置及前述第2移載裝置二者將物品移載。

即，第1移動體和第2移動體能夠經由中轉用支承臺將物品交接，所以即使在遍及第1移動軌跡和第2移動軌跡的長距離，也能夠將輸送對象的物品在上下方向上適當地輸送。此外，在不在物品輸送設備上設置用于將物品在水平方向上輸送的輸送裝置的情況下，第1移動體和第2移動體能夠經由中轉用支承臺將輸送對象的物品中轉。因此，能夠實現設置空間的節(jié)省空間化。這樣，根據本方案，能夠提供一種物品輸送設備，前述物品輸送設備在上下方向的輸送距離較長的情況下也能夠適當地輸送物品，并且，在設置空間的方面上是有利的。

另外，優(yōu)選的是，中轉用支承臺被設置于在上下方向上第1移動軌跡和第2移動軌跡的重疊范圍內。即，第1移動體及第2移動體的每一個都能夠位于上述重疊范圍內，所以若將中轉用支承臺的上下方向上的位置設定在上述重疊范圍內，則第1移載裝置和第2移載裝置都容易與中轉用支承臺連接。

從以下參照附圖進行說明的有關實施方式的記載中可以明確物品輸送設備的進一步的特征和優(yōu)點。

附圖說明

圖1是表示層間輸送裝置的要部的側視剖視圖。

圖2是層間輸送裝置的上下方向觀察時的剖視圖。

圖3a是表示中轉用支承臺的側視圖。

圖3b是表示中轉用支承臺的側視圖。

圖4是控制塊圖。

圖5是表示控制的流程圖。

圖6是表示控制的流程圖。

圖7是表示控制的流程圖。

圖8是表示現有的層間輸送裝置的側視剖視圖。

具體實施方式

基于附圖，對將本發(fā)明的物品輸送設備應用于層間輸送裝置的情況進行說明。如圖1及圖2所示，本實施方式的層間輸送裝置k被用于，在具有多層f（在實施方式中為1層f1～5層f5的5層）的半導體制造工廠中，將收納有半導體基板的容器b（被稱作前端開啟式晶圓傳送盒（foup，frontopeningunifiedpod）或前端開啟式晶圓運送盒（fosb，frontopeningshippingbox））作為輸送對象的物品，將該容器b遍及不同的層進行輸送。省略圖示，在本實施方式的半導體制造工廠中，在各層設置有容器b的保管裝置和進行被從容器b取出的半導體基板的處理的處理裝置。

層間輸送裝置k如圖2所示，具備單個筒體u，前述單個筒體u的壁體w將在上下方向上觀察形成為矩形的區(qū)域的外周包圍，前述單個筒體u的中空部沿上下方向延伸。在壁體w的內部空間e1，引導桅桿m被沿鉛垂方向（上下方向）設置。引導桅桿m以位于相對的壁體w的每一個的附近的方式，且以在上下方向上設置高度錯開的方式設置成一對。具體地，如圖1所示，作為引導桅桿m，設置有第1引導桅桿m1（第1引導體）和第2引導桅桿m2（第2引導體），前述第1引導桅桿m1（第1引導體）將1層f1的地板附近的高度設為下端，將3層f3的頂棚附近的高度設為上端，前述第2引導桅桿m2（第2引導體）將3層f3的地板附近的高度設為下端，將5層f5的頂棚附近的高度設為上端。即，第1引導桅桿m1將最下層（底層，這里是1層f1）和連接層（這里是3層f3）連接，第2引導桅桿m2將該連接層和最上層（頂層，這里是5層f5）連接。

此外，在筒體u的相當于1層f1、2層f2、4層f4、及5層f5的部位上，形成將該筒體u的內部空間e1和外部空間e2連通的開口部ko，并且設置有搬入搬出裝置c，前述搬入搬出裝置c經由開口部ko，將容器b在內部空間e1和外部空間e2中存入取出。另外，搬入搬出裝置c可以設置成接近于地板面上，也可以設置于從地板面分開的位置（例如頂棚附近）。

如圖2所示，在第1引導桅桿m1及第2引導桅桿m2上，分別設置沿其長度方向的引導部g。在第1引導桅桿m1處，設置有第1移動體t1，前述第1移動體t1能夠沿第1引導桅桿m1在上下方向上升降移動，在第2引導桅桿m2處，設置有第2移動體t2，前述第2移動體t2能夠沿第2引導桅桿m2在上下方向上升降移動。第1移動體t1及第2移動體t2分別具備被引導部g引導的被引導輪a。另外，在不必特別區(qū)分的情況下，將第1引導桅桿m1及第2引導桅桿m2簡單地總稱為引導桅桿m（引導體），將第1移動體t1及第2移動體t2簡單地總稱為移動體t。

第1移動體t1具備第1升降主體部th1、標量式的進退臂ta、將容器b以載置狀態(tài)支承的容器支承體ty。第1升降主體部th1被第1升降驅動部（drv1）tm1（參照圖4）升降驅動，前述第1升降驅動部（drv1）tm1使被卷繞于第1引導桅桿m1的上端附近的升降帶（省略圖示）在長度方向上移動。在本實施方式中，由進退臂ta和容器支承體ty構成第1移載裝置ts1。即，第1移動體t1具備在與移載對象部位之間將物品移載的第1移載裝置ts1。

第2移動體t2也同樣地具備第2升降主體部th2、標量式的進退臂ta、將容器b以載置狀態(tài)支承的容器支承體ty。第2升降主體部th2被第2升降驅動部（drv2）tm2（參照圖4）升降驅動，前述第2升降驅動部（drv2）tm2使被卷繞于第2引導桅桿m2的上端附近的升降帶（省略圖示）在長度方向上移動。在本實施方式中，由進退臂ta和容器支承體ty構成第2移載裝置ts2。即，第2移動體t2具備在與移載對象部位之間將物品移載的第2移載裝置ts2。另外，在以后的說明中，在將第1升降主體部th1和第2升降主體部th2概括說明的情況下，稱作升降主體部th。

如圖3a及圖3b所示，進退臂ta的基端經由沿上下方向的轉動軸j1被連接于升降主體部th，進退臂ta的末端經由沿上下方向的轉動軸j3被連接于容器支承體ty。此外，進退臂ta構成為，通過繞沿上下方向的轉動軸j2的轉動，能夠伸縮工作，并且能夠通過繞轉動軸j3的轉動，改變容器支承體ty的上下方向上觀察時的姿勢。借助這樣的結構，容器支承體ty構成為能夠切換成輸送用位置和移載用位置。

輸送用位置如圖2所示，是被支承于容器支承體ty的容器b在上下方向上觀察時位于第1引導桅桿m1和第2引導桅桿m2之間的位置。并且，在將容器支承體ty切換成輸送用位置的狀態(tài)下，使升降主體部th升降，由此將容器b在不同的層f之間輸送。

此外，如圖2所示，中轉用支承臺n被以在上下方向上觀察時將輸送用位置的容器支承體ty包圍的狀態(tài)分散地配置（在本實施方式中配置4個，但配置的數量是任意的）。中轉用支承臺n以在上下方向上觀察時的位置被固定的方式設置，上下方向上的設置位置為，被包括在第1移動軌跡的上端側部分和第2移動軌跡的下端側部分的重疊部分（圖1中標注附圖標記“l(fā)”的部分、后述的重疊區(qū)域l）的位置。

移載用位置被設定成，容器支承體ty能夠在上下方向上穿過設置于中轉用支承臺n的缺口nk的位置。并且，容器支承體ty被切換為輸送用位置的狀態(tài)下，使升降主體部th升降，由此能夠在容器支承體ty和中轉用支承臺n之間交接容器b（參照圖3a及圖3b）。

另外，在容器b的底部形成有3個定位用槽（省略圖示）。在容器支承體ty的上表面，設置有與3個定位用槽的每一個卡合的3個定位銷q，容器支承體ty能夠將容器b以在上下方向上觀察時的既定的姿勢支承。此外，在中轉用支承臺n的上表面上，也設置有與3個定位用槽的每一個卡合的3個定位銷p，中轉用支承臺n能夠將容器b以在上下方向上觀察時的既定的姿勢支承。

即，應用本發(fā)明的物品輸送設備的層間輸送裝置k具備引導桅桿m和移動體t，前述引導桅桿m被沿上下方向地配設，前述移動體t被引導桅桿m引導，沿該引導桅桿m移動，用于輸送物品。此外，層間輸送裝置k具備第1引導桅桿m1和第2引導桅桿m2作為引導桅桿m，并且具備被第1引導桅桿m1引導而移動的第1移動體t1和被第2引導桅桿m2引導而移動的第2移動體t2作為移動體t。進而，第1移動體t1具備將容器b在與移載對象部位之間移載的第1移載裝置ts1，第2移動體t2具備將容器b在與移載對象部位之間移載的第2移載裝置ts2。

這里，被第1引導桅桿m1引導的第1移動體t1的移動軌跡相當于第1移動軌跡，被第2引導桅桿m2引導的第2移動體t2的移動軌跡相當于第2移動軌跡。如圖1所示，以第1移動軌跡的下端部分和第2移動軌跡的上端部分的上下方向的位置在重疊區(qū)域l重疊的位置關系，配置有第1引導桅桿m1和第2引導桅桿m2。進而，中轉用支承臺n如圖2所示，配置在如下位置，前述位置為不與第1移動軌跡及第2移動軌跡二者重疊的位置，且為能夠將容器b從第1移載裝置ts1及第2移載裝置ts2二者移載的位置。另外，在圖2中，將在上下方向上觀察時的中轉用支承臺n的設置個數設為4個，但不限于此。其中，在上下方向上在同一高度設置多個中轉用支承臺n的情況下，需要配置成在上下方向上觀察時的容器b的占有區(qū)域不重疊，所以優(yōu)選的是，鑒于第1移動軌跡和第2移動軌跡的配置關系，在上下方向上設定同一高度的中轉用支承臺n的設置個數。

此外，如圖1及圖2所示，第1引導桅桿m1、第1移動體t1、第1移載裝置ts1、第2引導桅桿m2、第2移動體t2、第2移載裝置ts2、及中轉用支承臺n被配置于筒體u的內部。

如圖2所示，第1引導桅桿m1和第2引導桅桿m2設置成在上下方向觀察時互相分開。此外，第1引導桅桿m1和第2引導桅桿m2、第1移動體t1的移動軌跡和第2移動體t2的移動軌跡配置成，在上下方向觀察時具有重疊部分（重疊區(qū)域l）的狀態(tài)。

如圖1、圖3a、圖3b所示，第1移動體t1的升降主體部th在上下方向上觀察，在容器支承體ty位于輸送用位置時容器支承體ty支承的容器b存在的區(qū)域的上方，以固定狀態(tài)具備頂板tc。在頂板tc的上端，如圖1所示，安裝有第1接近傳感器s1，前述第1接近傳感器s1檢測至第2移動體t2的升降主體部th的下端部分的距離。此外，在第1移動體t1的升降主體部th的下端部分，安裝有檢測其下方的干渉物的區(qū)域傳感器g1。

此外，如圖1、圖3a、圖3b所示，第2移動體t2的升降主體部th在上下方向上觀察，在容器支承體ty位于輸送用位置時容器支承體ty支承的容器b存在的區(qū)域的上方，以固定狀態(tài)具備頂板tc。如圖1所示，在第2移動體t2的升降主體部th的下端部分安裝有第2接近傳感器s2，前述第2接近傳感器s2檢測至第1移動體t1的頂板tc的上端的距離。

搬入搬出裝置c由將輥分為左右地裝備的輥式輸送器構成，該搬入搬出裝置c的內部空間e1側的端部的左右一對輥構成為比容器支承體ty的左右方向的寬度大，一對輥之間構成為容器支承體ty能夠上下穿過。此外，搬入搬出裝置c的外部空間e2側的端部為，與在該層進行作業(yè)的輸送臺車（省略圖示）、作業(yè)者之間能夠交接容器b。由此，經由搬入搬出裝置c，在該層進行作業(yè)的輸送臺車、作業(yè)者和移動體t之間能夠進行容器b的交接。

接著，基于圖4的塊圖，對本實施方式的層間輸送裝置k的控制結構進行說明?？刂蒲b置（m-ctrl）h1由例如具備中央處理裝置和硬盤等存儲裝置的個人計算機或pc服務器等通用計算機構成。并且，控制裝置h1基于管理半導體制造工廠的半導體基板的處理工程的圖中未示出的工程管理裝置要求的輸送要求，在設置有作為輸送源的處理裝置的層f的搬入搬出裝置c和設置有作為輸送目的地的處理裝置的層f的搬入搬出裝置c之間，指示容器b的輸送。

在控制裝置h1處，連接有第1升降驅動部（drv1）tm1、第1測距計（rf1）d1、第1接近傳感器（ps1）s1，前述第1升降驅動部（drv1）tm1對應于第1移動體t1，前述第1測距計（rf1）d1被安裝于1層f1的地板面，檢測距第1移動體t1的升降主體部th的下端部分的距離，前述第1測距計（rf1）d1是激光式的。在本實施方式中，第1測距計d1相當于第1位置檢測部。即，在層間輸送裝置k上，設置有第1測距計d1，前述第1測距計d1檢測沿第1移動體t1的移動軌跡的方向上的該第1移動體t1的位置。

控制裝置h1基于第1測距計d1的測量信息和來自工程管理裝置的輸送要求，使第1升降驅動部tm1驅動，使第1移動體t1在輸送源的目標位置和輸送目的地的目標位置之間升降移動，并且控制第1移動體t1的工作，使得在各個目標位置處，使由進退臂ta等構成的移載裝置驅動，進行容器b的交接。在本實施方式中，來自工程管理裝置的要求相當于，包括輸送對象的容器b的輸送源及輸送目的地的信息的輸送要求。

此外，在第1移動體t1處，具備第1局部控制部（s-ctrl）hl1，前述第1局部控制部（s-ctrl）hl1基于第1接近傳感器s1的檢測信息，對第1升降驅動部tm1指示工作。第1局部控制部hl1確認來自控制裝置h1的控制指令的有無，判斷控制裝置h1是否在正常工作。

第1局部控制部hl1若基于第1接近傳感器s1的檢測信息，判斷成距第2移動體t2的上下方向的距離為第1設定距離以下的第1接近狀態(tài)，則作為碰撞避免用工作，使第1升降驅動部tm1工作。第1局部控制部hl1在碰撞避免用工作中，為了避免第1移動體t1和第2移動體t2的碰撞，使第1升降驅動部tm1工作，控制第1移動體t1的移動，使得第1移動體t1的移動速度減速。即，在本實施方式中，借助第1接近傳感器s1和第1局部控制部hl1構成第1接近檢測部。此外，借助第1局部控制部hl1進行的向碰撞避免用工作的切換控制被優(yōu)先于控制裝置h1的控制來進行。另外，第1設定距離設定成，與后述的重疊區(qū)域l（參照圖1）的上下方向的長度相等的距離。

在控制裝置h1上連接有第2升降驅動部（drv2）tm2、第2測距計（rf2）d2、第2接近傳感器（ps2）s2，前述第2升降驅動部（drv2）tm2對應于第2移動體t2，前述第2測距計（rf2）d2被安裝于5層f5（最上層）的頂棚，檢測距第2移動體t2的頂板tc的上端部分的距離，前述第2測距計（rf2）d2是激光式的。在本實施方式中，第2測距計d2相當于第2位置檢測部。即，在層間輸送裝置k上，設置有第2測距計d2，前述第2測距計d2檢測沿第2移動體t2的移動軌跡的方向上的該第2移動體t2的位置。

控制裝置h1基于第2測距計d2的測量信息和來自工程管理裝置的輸送要求，使第2升降驅動部tm2驅動，使第2移動體t2在輸送源的目標位置和輸送目的地的目標位置之間升降移動，并且控制第2移動體t2的工作，使得在各個目標位置，驅動由進退臂ta等構成的移載裝置，進行容器b的交接。

即，控制裝置h1基于包括輸送對象的容器b的輸送源及輸送目的地的信息的輸送要求、和第1測距計d1及第2測距計d2的檢測信息，對第1移動體t1及第2移動體t2指示控制指令，控制第1移動體t1及第2移動體t2的移動。

在第2移動體t2上，具備第2局部控制部hl2，前述第2局部控制部hl2基于第2接近傳感器s2的檢測信息，對第2升降驅動部tm2指示工作。第2局部控制部hl2確認來自控制裝置h1的控制指令的有無，判斷控制裝置h1是否在正常地工作。

第2局部控制部hl2若基于第2接近傳感器s2的檢測信息，判斷成距第1移動體t1的上下方向的距離為第2設定距離以下的第2接近狀態(tài)，則作為碰撞避免用工作，使第2升降驅動部tm2工作。第2局部控制部hl2在碰撞避免工作中，為了避免第2移動體t2和第1移動體t1的碰撞，使第2升降驅動部tm2工作，控制第2移動體t2的移動，使得第2移動體t2移動速度減速。即，在本實施方式中，借助第2接近傳感器s2和第2局部控制部hl2構成第2接近檢測部。此外，借助第2局部控制部hl2進行的向碰撞避免用工作的切換控制被優(yōu)先于控制裝置h1的控制進行。另外，第2設定距離設定成，與后述的重疊區(qū)域l（參照圖1）的上下方向的長度相等的距離。

控制裝置h1將表示第1移動體t1的移動路徑的上端部分和第2移動體t2的移動路徑的下端部分的重疊區(qū)域l（參照圖1）的位置信息作為干渉區(qū)間來存儲。即，控制裝置h1將第1移動軌跡、第2軌道軌跡、及重疊區(qū)域l（干渉區(qū)間）的區(qū)間信息存儲。該重疊區(qū)域l設定成，包括將第1移動體t1位于第1移動軌跡的上端時該第1移動體t1的上端（頂板tc）位于的高度設為上端、將第2移動體t2位于第2移動軌跡的下端時該第2移動體t2的下端位于的高度設為下端的區(qū)間。此外，中轉用支承臺n在上下方向上被設置于該重疊區(qū)域l的范圍內。

此外，控制裝置h1將1層f1及2層f2的搬入搬出裝置c和中轉用支承臺n作為關于第1移動體t1的移載對象部位進行存儲，將4層f4及5層f5的搬入搬出裝置c和中轉用支承臺n作為關于第2移動體t2的移載對象部位進行存儲。

接著，基于圖5～圖7的流程圖，對關于控制裝置h1、第1局部控制部hl1、及、第2局部控制部hl2執(zhí)行的控制進行說明。

另外，控制裝置h1為，關于第1移動體t1及第2移動體t2，在結束了關于被工程管理裝置要求的輸送要求的輸送而等待接下來的輸送要求的狀態(tài)下，為了使該輸送要求等待狀態(tài)的第1移動體t1及第2移動體t2不位于重疊區(qū)域l內，控制第1升降驅動部tm1及第2升降驅動部tm2的工作。即，關于第1移動體t1在上下方向上將重疊區(qū)域l的下方側的位置設為避讓位置，關于第2移動體t2在上下方向上將重疊區(qū)域l的上方側的位置設為避讓位置，在沒有未結束的輸送要求的狀態(tài)下，控制第1升降驅動部tm1及第2升降驅動部tm2的工作，使得第1移動體t1及第2移動體t2位于該避讓位置。

以下，基于圖5及圖6的流程圖進行說明?？刂蒲b置h1基于工程管理裝置的輸送要求，判斷輸送源和輸送目的地是否是屬于在上下方向上相同的移動體t的移動軌跡的位置（在本實施方式中，是否是1層f1和2層f2之間的輸送、或4層f4和5層f5之間的輸送）（步驟＃1）。在步驟＃1中，若判斷成，輸送源和輸送目的地是不屬于在上下方向上相同的移動體t的移動軌跡的位置（步驟＃1：no），則接著，判斷輸送目的地的移動體t是否位于重疊區(qū)域l（步驟＃2）。在步驟＃2中，若判斷成輸送目的地的移動體t位于重疊區(qū)域l（步驟＃2：yes），則將輸送源側的移動體t的目標位置設定成輸送源側的移動體t的避讓位置（步驟＃3），使輸送源側的移動體t移動。

控制裝置h1若判斷成輸送目的地側的移動體t退出重疊區(qū)域l（步驟＃4：yes），則將輸送源側的移動體t的目標位置設定成中轉用支承臺n（步驟＃5），關于輸送源側的移動體t，執(zhí)行移動處理（參照圖7的步驟＃20，在后文進行詳細說明）（步驟＃6）。若步驟＃6的移動處理結束，則使輸送源側的移動體t移動至避讓位置（步驟＃7）。

接著，將輸送目的地側的移動體t的目標位置設定成中轉用支承臺n（步驟＃8），關于輸送目的地側的移動體t，執(zhí)行移動處理（步驟＃9（＃20））。若步驟＃9的移動處理結束，則使輸送目的地側的移動體t移動至避讓位置（步驟＃10）。

另外，控制裝置h1若在步驟＃2中，判斷成輸送目的地的移動體t不位于重疊區(qū)域l，則沒有重疊區(qū)域l中的移動體t彼此的碰撞的可能，進入至步驟＃5的處理。

此外，控制裝置h1若在步驟＃1中，判斷成輸送源和輸送目的地在上下方向上是屬于相同的移動體t的移動軌跡的位置（步驟＃1：yes），則輸送源側的移動體t和輸送目的地側的移動體t相同，所以將目標位置設定成輸送目的地（步驟＃11），相對于該移動體執(zhí)行移動處理（步驟＃12（＃20））。若步驟＃12的移動處理結束，則使移動體t移動至避讓位置（步驟＃13）。

接著，基于圖7，對移動處理的流程進行說明。控制裝置h1計算目標位置和由第1測距計d1或第2測距計d2檢測到的移動體t的當前位置的距離（步驟＃21），判斷是否到達目標位置（步驟＃22）。在步驟＃22中，若判斷成未到達目標位置，則使第1升降驅動部tm1或第2升降驅動部tm2驅動，使移動體t移動（步驟＃23）。另一方面，第1局部控制部hl1、或第2局部控制部hl2為，若第1接近傳感器s1或第2接近傳感器s2檢測干渉物（步驟＃24：yes），則優(yōu)先于控制裝置h1進行的控制，使第1升降驅動部tm1及第2升降驅動部tm2的工作經由減速狀態(tài)而停止（步驟＃25）。即，由第1局部控制部hl1進行的向碰撞避免用工作切換的切換控制、及由第2局部控制部hl2進行的向碰撞避免用工作的切換控制，被優(yōu)先于控制裝置h1的控制而進行。

控制裝置h1在被指示如下輸送指令的情況下，執(zhí)行以下這樣的控制，前述輸送指令為，將第1移動體t1位于第1移動軌跡中的除干渉區(qū)間（重疊區(qū)域l）之外的區(qū)間（非干渉區(qū)間、第1非干渉區(qū)間l1）的情況的第1移載裝置ts1的移載對象部位、第2移動體t2位于第2移動軌跡中的除干渉區(qū)間（重疊區(qū)域l）之外的區(qū)間（非干渉區(qū)間、第2非干渉區(qū)間l2）的情況的第2移載裝置ts2的移載對象部位中的一個設為輸送源，將另一個設為輸送目的地。即，控制裝置h1控制第1移動體t1及第2移動體t2的移動，使得將第1移動體t1及第2移動體t2中輸送源存在的一方優(yōu)先進入干渉區(qū)間，并且限制第1移動體t1和第2移動體t2二者位于干渉區(qū)間的狀態(tài)。

在上述那樣的結構中，使第1移動體t1的移動軌跡和第2移動體t2的移動軌跡接近，直至成為在上下方向上觀察時重疊的位置，能夠減少設備的設置空間，并且能夠適當地避免第1移動體t1和第2移動體t2的碰撞。

〔其他實施方式〕

（1）在上述中，將前端開啟式晶圓傳送盒（foup，frontopeningunifiedpod）或前端開啟式晶圓運送盒（fosb，frontopeningshippingbox））等收納半導體基板的容器作為輸送對象的物品進行例示，但不限于這樣的結構，例如也可以設置成將掩模容器（reticlecontainer）或玻璃基板作為輸送對象的物品。此外，在上述實施方式中，表示了將涉及本發(fā)明的物品輸送設備在半導體制造工廠中使用的例子，但也可以將物品輸送設備用于半導體制造工廠以外的設備，例如食品工廠等，可以將輸送對象的物品設為任意物品。

（2）在上述說明中，構成為，將半導體制造工廠具有的層數設為5層，將第1引導桅桿m1構成為能夠在1層至3層輸送物品，將第2引導桅桿m2構成為能夠在3層至5層輸送物品，在3層部分上設置重疊部分，但第1引導桅桿m1和第2引導桅桿m2的設置高度不限于與上述的層相當的高度。

（3）在上述說明中，說明了將在上下方向上的位置固定的方式下設置中轉用支承臺n的結構，但不限于這樣的結構，也可以設置成例如在上下方向上觀察時的位置能夠改變的支承臺。

（4）在上述說明中，將第1移動軌跡和第2移動軌跡配置成具有在上下方向上觀察時互相重疊的部分，但也可以將第1移動軌跡和第2移動軌跡在上下方向上觀察時互相分開地設置。另外，即使在該情況下，優(yōu)選的也是，第1移動軌跡和第2移動軌跡的在上下方向上觀察時的位置盡可能接近。

（5）在上述說明中，表示了將第1位置檢測部和第2位置檢測部設為激光式的測距計的結構，但不限于這樣的結構，能夠將第1位置檢測部和第2位置檢測部應用例如通過檢測沿引導桅桿m設置的爪（ドグ）、條形碼等識別件來進行位置檢測的機構等，能夠應用各種結構。此外，也可以將第1位置檢測部和第2位置檢測部設為其他種類的位置檢測機構。

（6）在上述說明中，對如下結構進行了說明，在輸送源側的移動體t和輸送目的地側的移動體t不同的情況下，在輸送目的地側的移動體t位于重疊區(qū)域l時，將輸送源側的移動體的目標位置設置成輸送源側的移動體t的避讓位置，但不限于這樣的結構，也可以構成為，將輸送源側的移動體的目標位置從最初開始設定成中轉用支承臺n，在輸送目的地側的移動體t位于重疊區(qū)域l時，限制輸送源側的移動體t向重疊區(qū)域l接近的移動。

（7）在上述說明中，對如下結構進行了說明，第1引導桅桿m1、第1移動體t1、第1移載裝置ts1、第2引導桅桿m2、第2移動體t2、第2移載裝置ts2、及中轉用支承臺n配置于筒體u的內部，但也可以是不設置筒體u的結構。此外，在上述實施方式中，將筒體u形成為在上下方向上觀察為矩形，但筒體u的上下方向上觀察的形狀也可以是三角形、五邊形或更多邊形，或是圓形，進而可以是具有凹凸的異形截面形狀等。

（8）在上述說明中，對如下結構進行了說明，將第1設定距離及第2設定距離設定成與重疊區(qū)域l的上下方向的長度相等的距離，但也可以將第1設定距離及第2設定距離設定成比重疊區(qū)域l的上下方向的距離短。此外，也可以將第1設定距離和第2設定距離設定成不同的距離。該情況下，例如鑒于移動體下降移動的情況下有移動體的制動距離變長的傾向，考慮將第2設定距離設定為較長的距離。

〔實施方式的概要〕

以下，對上述說明的物品輸送設備的概要進行簡單的說明。

鑒于上述說明，作為沿上下方向輸送物品的物品輸送設備的一實施方式，具備第1引導體、第2引導體、第1移動體、第2移動體、中轉用支承臺，前述第1引導體被沿上下方向地配設，前述第2引導體被沿上下方向地配設，前述第1移動體被前述第1引導體引導，沿該第1引導體移動，用于物品輸送，前述第2移動體被前述第2引導體引導，沿該第2引導體移動，用于物品輸送，前述中轉用支承臺能夠支承物品，前述第1移動體具備在與移載對象部位之間將物品移載的第1移載裝置，前述第2移動體具備在與移載對象部位之間將物品移載的第2移載裝置，將前述第1移動體的移動軌跡設為第1移動軌跡，將前述第2移動體的移動軌跡設為第2移動軌跡，以前述第1移動軌跡的上端側部分和前述第2移動軌跡的下端側部分的上下方向的位置重疊的那樣的位置關系，配置前述第1引導體和前述第2引導體，前述中轉用支承臺被配置在如下位置，前述位置不與前述第1移動軌跡及前述第2移動軌跡二者重疊，且前述位置使得能夠從前述第1移載裝置及前述第2移載裝置二者將物品移載。

即，第1移動體和第2移動體能夠經由中轉用支承臺將物品交接，所以即使在遍及第1移動軌跡和第2移動軌跡的長距離，也能夠將輸送對象的物品在上下方向上適當地輸送。此外，在不在物品輸送設備上設置用于將物品在水平方向上輸送的輸送裝置的情況下，第1移動體和第2移動體能夠經由中轉用支承臺將輸送對象的物品中轉。因此，能夠實現使設置空間的節(jié)省空間化。這樣，根據本方案，能夠提供一種物品輸送設備，前述物品輸送設備在上下方向的輸送距離較長的情況下也能夠適當地輸送物品，并且，在設置空間的方面上是有利的。

另外，優(yōu)選的是，中轉用支承臺被設置于在上下方向上第1移動軌跡和第2移動軌跡的重疊范圍內。即，第1移動體及第2移動體的每一個都能夠位于上述重疊范圍內，所以若將中轉用支承臺的上下方向上的位置設定在上述重疊范圍內，則第1移載裝置和第2移載裝置都容易與中轉用支承臺連接。

在涉及本發(fā)明的物品輸送設備中，優(yōu)選的是，前述中轉用支承臺的上下方向觀察時的位置被固定。

根據該方案，與中轉用支承臺的上下方向觀察時的位置能夠移動的情況相比，能夠使上下方向觀察時的設置區(qū)域變小。因此，能夠提供在設置空間的方面更有利的物品輸送設備。

在涉及本發(fā)明的物品輸送設備中，優(yōu)選的是，前述第1引導體和前述第2引導體設置成，在上下方向上觀察時互相分開，前述第1移動軌跡和前述第2移動軌跡在上下方向上觀察具有互相重疊的部分。

與第1移動軌跡和第2移動軌跡在上下方向上觀察不重疊的情況相比，第1移動軌跡和第2移動軌跡在上下方向上觀察互相重疊的情況，能夠使在上下方向上觀察時第1移動體及第2移動體存在的區(qū)域變小。因此，根據本方案，能夠提供在設置空間方面有利的物品輸送設備。

此外，物品輸送設備作為一個實施方式，優(yōu)選的是，還具備第1位置檢測部、第2位置檢測部、控制裝置，前述第1位置檢測部檢測前述第1移動體的位置，前述第2位置檢測部檢測前述第2移動體的位置，前述控制裝置基于包括輸送對象的物品的輸送源及輸送目的地的信息的輸送要求、前述第1位置檢測部及前述第2位置檢測部的檢測信息，對前述第1移動體及前述第2移動體指示控制指令，控制前述第1移動體及前述第2移動體的移動，將干渉區(qū)間設置成包括如下區(qū)間的區(qū)間：在上下方向上，將前述第1移動體位于前述第1移動軌跡的上端時該第1移動體的上端位于的高度設為上端，將前述第2移動體位于前述第2移動軌跡的下端時該第2移動體的下端位于的高度設為下端，將前述第1移動軌跡內、在上下方向上除了與前述干渉區(qū)間對應的區(qū)間之外的區(qū)間設為第1非干渉區(qū)間，將前述第2移動軌跡內、在上下方向上除了與前述干渉區(qū)間對應的區(qū)間之外的區(qū)間設為第2非干渉區(qū)間，在前述第1移動體位于前述第1非干渉區(qū)間的情況下的前述第1移載裝置的移載對象部位、前述第2移動體位于前述第2非干渉區(qū)間的情況下的前述第2移載裝置的移載對象部位中的一個是被包括在前述輸送要求中的前述輸送源、另一個是前述輸送目的地的情況下，前述控制裝置控制前述第1移動體及前述第2移動體的移動，使得前述第1移動體及前述第2移動體中，使包括前述輸送源的移動軌跡的一方的移動體優(yōu)先進入至前述干渉區(qū)間，并且限制前述第1移動體和前述第2移動體二者位于前述干渉區(qū)間的狀態(tài)。

根據本方案，使第1移動體及第2移動體中的支承著在輸送源處接收的輸送對象物的移動體優(yōu)先地進入至干渉區(qū)間，相對于中轉用支承臺支承物品，使該移動體從干渉區(qū)間避讓，同時使未支承有物品的一方的移動體進入至干渉區(qū)間，能夠接收被支承于中轉用支承臺的物品來向輸送目的地輸送。即，借助第1移動體及第2移動體，經由中轉用支承臺將物品輸送時，控制第1移動體及第2移動體的移動，使得不發(fā)生第1移動體和第2移動體二者位于干渉區(qū)間的狀態(tài)。因此，能夠減少第1移動體和第2移動體接觸的可能性。

此外，物品輸送設備作為一個實施方式，優(yōu)選的是，前述第1移動體具備第1接近檢測部和第1移動體控制部，前述第1接近檢測部檢測距前述第2移動體的上下方向的距離為第1設定距離以下的第1接近狀態(tài)，前述第1移動體控制部基于前述第1接近檢測部的檢測信息，控制該第1移動體的工作，前述第2移動體具備第2接近檢測部和第2移動體控制部，前述第2接近檢測部檢測距前述第1移動體的上下方向的距離為第2設定距離以下的第2接近狀態(tài)，前述第2移動體控制部基于前述第2接近檢測部的檢測信息，控制該第2移動體的工作，前述第1移動體控制部在前述第1接近檢測部檢測到前述第1接近狀態(tài)的情況下，優(yōu)先于由前述控制裝置進行的控制，將前述第1移動體的工作切換成避免與前述第2移動體的碰撞的碰撞避免用工作，前述第2移動體控制部在前述第2接近檢測部檢測到前述第2接近狀態(tài)的情況下，優(yōu)先于由前述控制裝置進行的控制，將前述第2移動體的工作切換成避免與前述第1移動體的碰撞的碰撞避免用工作。

根據該方案，第1移動體控制部在從第1移動體至第2移動體的距離為第1設定距離以下的情況下，優(yōu)先于控制裝置的控制，將第1移動體的工作切換為碰撞避免用工作。此外，第2移動體控制部在從第2移動體至第1移動體的距離為第2設定距離以下的情況下，優(yōu)先于控制裝置的控制，將第2移動體的工作切換成碰撞避免用工作。因此，即使是例如在控制裝置處發(fā)生不良情況，在控制上產生延遲，控制裝置不能適當地控制第1移動體及第2移動體的情況下，也能夠適當地避免第1移動體和第2移動體接觸這樣的事情。另外，第1設定距離及第2設定距離優(yōu)選地設定成干渉區(qū)間長度或其以下的長度。

在涉及本發(fā)明的物品輸送設備中，優(yōu)選的是，作為碰撞避免用工作，前述第1移動體控制部控制前述第1移動體的工作，使得至少前述第1移動體的移動速度減速，作為碰撞避免用工作，前述第2移動體控制部控制前述第2移動體的工作，使得至少前述第2移動體的移動速度減速。

作為碰撞避免用工作，第1移動體控制部及第2移動體控制部分別使第1移動體及第2移動體的移動速度減速，所以容易地避免第2移動體和第1移動體接觸。此外，即使發(fā)生接觸也能夠盡量使其沖擊變小。

此外，物品輸送設備作為一個實施方式，優(yōu)選的是，前述第1引導體、前述第1移動體、前述第1移載裝置、前述第2引導體、前述第2移動體、前述第2移載裝置、及前述中轉用支承臺被配置于中空部沿上下方向延伸的筒體的內部。

將第1引導體、第1移動體、第1移載裝置、第2引導體、第2移動體、第2移載裝置、及中轉用支承臺收納于同一筒體的內部，由此能夠將物品輸送設備構成為節(jié)省空間。因此，能夠使在設置有物品輸送裝置的工廠等中物品輸送設備占有的面積變小。

附圖標記說明

b　　物品（容器）

d1　　第1位置檢測部（第1測距計）

d2　　第2位置檢測部（第2測距計）

h1　　控制裝置

hl1　第1移動體控制部（第1局部控制部）

hl2　第2移動體控制部（第2局部控制部）

l　　干渉區(qū)間（重疊區(qū)域）

l1　　第1非干渉區(qū)間

l2　　第2非干渉區(qū)間

m　　引導體（引導桅桿）

m1　　第1引導體（第1引導桅桿）

m2　　第2引導體（第2引導桅桿）

n　　中轉用支承臺

s1　　第1接近檢測部（第1接近傳感器）

s2　　第2接近檢測部（第2接近傳感器）

t　　移動體

t1　　第1移動體

t2　　第2移動體

ts1　第1移載裝置

ts2　第2移載裝置

u　　筒體。