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物品輸送設(shè)備的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11609770

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本發(fā)明涉及物品輸送設(shè)備,前述物品輸送設(shè)備具備沿上下方向移動的物品輸送用的移動體。背景技術(shù)在特開第2011-066046號公報中,公開了物品輸送設(shè)備的一例,前述物品輸送設(shè)備在上下方向上具有多層(1,2,1)的半導(dǎo)體制造工廠中,具有多個將物品遍及被設(shè)定于不同的層的輸送對象部位來輸送的上下方向輸送裝置(4)(在背景技術(shù)中,括號內(nèi)的附圖標(biāo)記是參考文獻(例如圖1)的附圖標(biāo)記)。在上述文獻中,分別設(shè)置,在堆垛機專用層(2)和與其相比在上層的2層(1)之間輸送物品的上下方向輸送裝置(4)、在堆垛機專用層(2)...
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