專利名稱：一種掩膜板存儲(chǔ)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝中的光刻技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種掩膜板存儲(chǔ)裝置。
背景技術(shù)：
為避免掩膜板遭到污染，現(xiàn)有技術(shù)中通常將掩膜板保存于圖1所示的掩膜板存儲(chǔ) 裝置內(nèi)。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的掩膜板存儲(chǔ)裝置包括存儲(chǔ)盒110及壓縮空氣存儲(chǔ)端口 120，所述存儲(chǔ)盒110放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 120之上，所述存儲(chǔ)盒110的底部對(duì)角 線位置的兩角分別設(shè)置有進(jìn)氣口 111，所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 120的頂部對(duì)角線位置的兩 角分別設(shè)置有出氣口 121，所述進(jìn)氣口 111同所述出氣口 121的位置相對(duì)應(yīng)，使得所述進(jìn)氣 口 111同所述出氣口 121貼合對(duì)接。使用時(shí)，掩膜板100放置于所述存儲(chǔ)盒110內(nèi)，所述壓 縮空氣存儲(chǔ)端口 120存儲(chǔ)有高純凈化壓縮空氣，由于所述存儲(chǔ)盒110并非完全密封的，壓縮 空氣存儲(chǔ)端口 120內(nèi)的壓縮空氣通過(guò)所述貼合對(duì)接的出氣口 121和進(jìn)氣口 111不斷沖入至 所述存儲(chǔ)盒110內(nèi)，從而起到避免顆粒物粘附在放置于所述存儲(chǔ)盒110內(nèi)的掩膜板100上 的作用。但現(xiàn)有技術(shù)的掩膜板存儲(chǔ)裝置在使用時(shí)，當(dāng)工作人員將掩膜板放置于所述存儲(chǔ)盒 中并將存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上時(shí)，無(wú)法確保所述存儲(chǔ)盒完全對(duì)準(zhǔn)放置于所 述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上。當(dāng)所述存儲(chǔ)盒放置的位置發(fā)生偏移或傾斜，使得所述出氣口和進(jìn) 氣口不能對(duì)準(zhǔn)貼合或者完全不能貼合時(shí)，無(wú)疑會(huì)影響所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口向所述存儲(chǔ)盒 輸送壓縮空氣，從而造成所述存儲(chǔ)盒內(nèi)放置的掩膜板受到污染。一旦發(fā)生這種情況工作人 員也無(wú)法立即得知這種裝置安放缺陷，從而不可避免的會(huì)產(chǎn)生掩膜板受到污染的損失。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種掩膜板存儲(chǔ)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的掩 膜板存儲(chǔ)裝置中，當(dāng)存儲(chǔ)盒放置于壓縮空氣存儲(chǔ)端口上的位置發(fā)生偏移或傾斜時(shí)，工作人 員無(wú)法立即得知這種裝置安放缺陷，從而造成存儲(chǔ)盒內(nèi)放置的掩膜板受到污染的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種掩膜板存儲(chǔ)裝置，包括存儲(chǔ)盒及壓縮 空氣存儲(chǔ)端口 ；所述存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口之上，所述存儲(chǔ)盒的底部對(duì)角線 位置的兩角分別設(shè)置有進(jìn)氣口，所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口的頂部對(duì)角線位置的兩角分別設(shè)置 有出氣口，所述進(jìn)氣口同所述出氣口的位置相對(duì)應(yīng)，使得所述進(jìn)氣口同所述出氣口貼合對(duì) 接，還包括可動(dòng)件和傳感器，所述每一可動(dòng)件配合一所述傳感器構(gòu)成一套件，每一所述套件 分別對(duì)應(yīng)安裝于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上的一所述出氣口附近；所述可動(dòng)件垂直于所述存 儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上的方向安裝于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)且可進(jìn)行上 下移動(dòng)，所述可動(dòng)件的一端位于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，另一端位突出于所述壓縮空氣 存儲(chǔ)端口 ；所述傳感器垂直于所述可動(dòng)件固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上，當(dāng)所述可動(dòng)件 向下移動(dòng)到一定程度時(shí)所述傳感器的一端同所述可動(dòng)件相接觸?？蛇x的，所述可動(dòng)件包括套筒、彈簧和移動(dòng)桿，所述套筒固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，所述彈簧固定于所述套筒內(nèi)，所述移動(dòng)桿垂直于所述存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣 存儲(chǔ)端口上的方向固定于所述彈簧上，所述移動(dòng)桿的一端位于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)， 另一端位突出于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口，隨著彈簧的被壓縮和伸張，所述移動(dòng)桿可進(jìn)行上 下移動(dòng)；當(dāng)所述移動(dòng)桿向下移動(dòng)到一定程度時(shí)所述傳感器的一端同所述移動(dòng)桿相接觸?？蛇x的，所述傳感器為電壓敏感型傳感器?？蛇x的，所述傳感器通過(guò)固定螺栓固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上。本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置通過(guò)在壓縮空氣存儲(chǔ)端口上設(shè)置可動(dòng)件和傳感器 使得當(dāng)所述存儲(chǔ)盒放置的位置發(fā)生偏移或傾斜，所述出氣口和進(jìn)氣口不能對(duì)準(zhǔn)貼合或者完 全不能貼合時(shí)，通過(guò)所述傳感器發(fā)出警報(bào)聲，提醒工作人員糾正所述存儲(chǔ)盒的放置位置，從 而避免所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口無(wú)法有效向所述存儲(chǔ)盒輸送壓縮空氣的情況出現(xiàn)，避免造成 所述存儲(chǔ)盒內(nèi)放置的掩膜板受到污染。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的掩膜板存儲(chǔ)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置中安裝的可動(dòng)件和傳感器的俯視結(jié)構(gòu)示意 圖；圖4為本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置中安裝的可動(dòng)件和傳感器的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意 圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。本實(shí)用新型所述的掩膜板存儲(chǔ)裝置可廣泛應(yīng)用于硅片制造的多種工藝中，并且可 以利用多種替換方式實(shí)現(xiàn)，下面是通過(guò)較佳的實(shí)施例來(lái)加以說(shuō)明，當(dāng)然本實(shí)用新型并不局 限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無(wú)疑地涵蓋在本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為了 便于說(shuō)明，示意圖不依一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。請(qǐng)參看圖2，圖2為本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實(shí) 用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置包括存儲(chǔ)盒210及壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220 ；所述存儲(chǔ)盒210放置 于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220之上，所述存儲(chǔ)盒210的底部對(duì)角線位置的兩角分別設(shè)置有 進(jìn)氣口 211，所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220的頂部對(duì)角線位置的兩角分別設(shè)置有出氣口 221， 所述進(jìn)氣口 211同所述出氣口 221的位置相對(duì)應(yīng)，使得所述進(jìn)氣口 211同所述出氣口 221 貼合對(duì)接；還包括可動(dòng)件223和傳感器222。請(qǐng)結(jié)合參看圖3和圖4，圖3為本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置中安裝的可動(dòng)件和 傳感器的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置中安裝的可動(dòng)件和傳感器 的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2、圖3和圖4所示，所述每一可動(dòng)件223配合一所述傳感器222 構(gòu)成一套件，每一所述套件分別對(duì)應(yīng)安裝于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220上的一所述出氣口動(dòng)件223包括套筒225、彈簧2 和移動(dòng)桿227，所述套筒225固定于所述 壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220內(nèi)，所述彈簧226固定于所述套筒225內(nèi)，所述移動(dòng)桿227垂直于所 述存儲(chǔ)盒210放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220上的方向固定于所述彈簧2 上，所述移 動(dòng)桿227的一端位于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220內(nèi)，另一端位突出于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端 口 220，隨著彈簧2 的被壓縮和伸張，所述移動(dòng)桿227可進(jìn)行上下移動(dòng)；所述傳感器222垂 直于所述可動(dòng)件223通過(guò)固定螺栓224固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220上，當(dāng)所述移動(dòng) 桿227向下移動(dòng)到一定程度時(shí)所述傳感器222的一端同所述移動(dòng)桿227相接觸。優(yōu)選的， 所述傳感器222為電壓敏感型傳感器。本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置在使用時(shí)，掩膜板200放置于所述存儲(chǔ)盒210內(nèi)，所 述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220存儲(chǔ)有高純凈化壓縮空氣，由于所述存儲(chǔ)盒210并非完全密封的， 壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220內(nèi)的壓縮空氣通過(guò)所述貼合對(duì)接的出氣口 221和進(jìn)氣口 211不斷沖 入至所述存儲(chǔ)盒210內(nèi)，從而起到避免顆粒物粘附在放置于所述存儲(chǔ)盒210內(nèi)的掩膜板200 上的作用。當(dāng)工作人員將掩膜板200放置于所述存儲(chǔ)盒210中并將存儲(chǔ)盒210放置于所述 壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220上時(shí)，若所述存儲(chǔ)盒210完全對(duì)準(zhǔn)放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 220 上使所述出氣口 221同所述進(jìn)氣口 211完全對(duì)準(zhǔn)貼合，則所述存儲(chǔ)盒210壓迫所述壓縮空 氣存儲(chǔ)端口 220上所有可動(dòng)件223上的移動(dòng)桿227向下移動(dòng)同其所對(duì)應(yīng)的傳感器222的一 端相接觸，所述所有傳感器222發(fā)出相同信號(hào)聲音；若所述存儲(chǔ)盒210未對(duì)準(zhǔn)放置于所述壓 縮空氣存儲(chǔ)端口 220上使所述出氣口 221同所述進(jìn)氣口 211完全對(duì)準(zhǔn)貼合，則所述壓縮空 氣存儲(chǔ)端口 220上必然有移動(dòng)桿227不能同與其相對(duì)應(yīng)的傳感器222相接觸，從而使該傳 感器222發(fā)出不同的警報(bào)聲，提醒工作人員糾正存儲(chǔ)盒210的放置位置，直至所述壓縮空氣 存儲(chǔ)端口 220上所有的傳感器222發(fā)出相同的信號(hào)聲音。本實(shí)用新型的掩膜板存儲(chǔ)裝置通過(guò)在壓縮空氣存儲(chǔ)端口上設(shè)置可動(dòng)件和傳感器 使得當(dāng)所述存儲(chǔ)盒放置的位置發(fā)生偏移或傾斜，所述出氣口和進(jìn)氣口不能對(duì)準(zhǔn)貼合或者完 全不能貼合時(shí)，通過(guò)所述傳感器發(fā)出警報(bào)聲，提醒工作人員糾正所述存儲(chǔ)盒的放置位置，從 而避免所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口無(wú)法有效向所述存儲(chǔ)盒輸送壓縮空氣的情況出現(xiàn)，避免造成 所述存儲(chǔ)盒內(nèi)放置的掩膜板受到污染。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種掩膜板存儲(chǔ)裝置，包括存儲(chǔ)盒及壓縮空氣存儲(chǔ)端口 ；所述存儲(chǔ)盒放置于所述 壓縮空氣存儲(chǔ)端口之上，所述存儲(chǔ)盒的底部對(duì)角線位置的兩角分別設(shè)置有進(jìn)氣口，所述壓 縮空氣存儲(chǔ)端口的頂部對(duì)角線位置的兩角分別設(shè)置有出氣口，所述進(jìn)氣口同所述出氣口的 位置相對(duì)應(yīng)，使得所述進(jìn)氣口同所述出氣口貼合對(duì)接，其特征在于，還包括可動(dòng)件和傳感 器，所述每一可動(dòng)件配合一所述傳感器構(gòu)成一套件，每一所述套件分別對(duì)應(yīng)安裝于所述壓 縮空氣存儲(chǔ)端口上的一所述出氣口附近；所述可動(dòng)件垂直于所述存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空 氣存儲(chǔ)端口上的方向安裝于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)且可進(jìn)行上下移動(dòng)，所述可動(dòng)件的一 端位于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，另一端位突出于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口 ；所述傳感器垂 直于所述可動(dòng)件固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上，當(dāng)所述可動(dòng)件向下移動(dòng)到一定程度時(shí)所 述傳感器的一端同所述可動(dòng)件相接觸。
2.如權(quán)利要求1所述的掩膜板存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述可動(dòng)件包括套筒、彈簧和移 動(dòng)桿，所述套筒固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，所述彈簧固定于所述套筒內(nèi)，所述移動(dòng)桿 垂直于所述存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上的方向固定于所述彈簧上，所述移動(dòng)桿 的一端位于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，另一端位突出于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口，隨著彈簧 的被壓縮和伸張，所述移動(dòng)桿可進(jìn)行上下移動(dòng)；當(dāng)所述移動(dòng)桿向下移動(dòng)到一定程度時(shí)所述 傳感器的一端同所述移動(dòng)桿相接觸。
3.如權(quán)利要求1所述的掩膜板存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述傳感器為電壓敏感型傳感ο
4.如權(quán)利要求1所述的掩膜板存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述傳感器通過(guò)固定螺栓固定 于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種掩膜板存儲(chǔ)裝置，通過(guò)在壓縮空氣存儲(chǔ)端口上設(shè)置可動(dòng)件和傳感器使得當(dāng)所述存儲(chǔ)盒放置的位置發(fā)生偏移或傾斜，所述出氣口和進(jìn)氣口不能對(duì)準(zhǔn)貼合或者完全不能貼合時(shí)，通過(guò)所述傳感器發(fā)出警報(bào)聲，提醒工作人員糾正所述存儲(chǔ)盒的放置位置，從而避免所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口無(wú)法有效向所述存儲(chǔ)盒輸送壓縮空氣的情況出現(xiàn)，避免造成所述存儲(chǔ)盒內(nèi)放置的掩膜板受到污染。
文檔編號(hào)B65D81/18GK201856993SQ201020584469
公開(kāi)日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者劉文龍, 李琦, 高健 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司