專利名稱：基板搬送方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板搬送方法和裝置，更具體地，涉及一種基板搬送方法和裝置，該基板搬送方法和裝置用于將在制造電子設(shè)備(如液晶顯示面板LCD、半導(dǎo)體集成器件IC等)中使用的玻璃板等基板從一個(gè)位置搬送到另一個(gè)位置，同時(shí)，去除基板背面上粘附或聚集的灰塵或任何其它異物。
制造彩色液晶顯示面板等電子設(shè)備，通常經(jīng)過(guò)如掩膜、光刻、蝕刻、粘結(jié)等一系列制造步驟，這些制造步驟用于在基板前表面上制造驅(qū)動(dòng)顯示設(shè)備像素的半導(dǎo)體裝置。為此，基板搬送裝置自動(dòng)將基板從電子設(shè)備的制造流程中的一個(gè)位置搬送到另一個(gè)位置。隨著顯示設(shè)備變得更大并且為了減少單位設(shè)備的生產(chǎn)成本，基板尺寸也日益變得更大。
背景技術(shù)：
在這樣的電子設(shè)備中，在基板的表面上粘附灰塵或任何其它異物會(huì)導(dǎo)致像素失效或驅(qū)動(dòng)像素的半導(dǎo)體器件失效，因此，制約制造的電子設(shè)備的質(zhì)量、產(chǎn)量(或生產(chǎn)率)、生產(chǎn)成本等。于是，為了改善電子設(shè)備的生產(chǎn)率和生產(chǎn)成本，有必要防止灰塵或任何其它異物粘附到基板表面或最大限度地減少基板表面上的灰塵或任何其它異物。
電子設(shè)備的基板表面上聚集灰塵或任何其它異物的主要原因被認(rèn)為是基板從電子設(shè)備的制造流程中的一個(gè)位置到另一個(gè)位置的搬送。如果在搬送期間灰塵或任何其它異物粘附到基板表面上，當(dāng)它們堆疊時(shí)灰塵或任何其它異物會(huì)粘附到鄰近基板的表面上。因此希望開發(fā)一種能夠搬送用于電子設(shè)備制造的基板的搬送方法和裝置，以便在搬送中沒(méi)有灰塵或任何其它異物粘附到搬送中的基板的表面上。
一些公報(bào)公開了傳統(tǒng)技術(shù)，即在防止灰塵或任何其它異物粘附到基板表面或最大限度地減少基板表面上的灰塵或任何其它異物的同時(shí)搬送基板。例如，日本專利公報(bào)No.2000-15187公開了異物去除裝置，該異物去除裝置用于在搬送輥上搬送基板，其中粘附到基板底面上的異物通過(guò)第一旋轉(zhuǎn)刷擦去，第二旋轉(zhuǎn)刷設(shè)置在第一旋轉(zhuǎn)刷的下方用于敲擊，以便更完全地去除粘附到基板上的異物。
日本專利公報(bào)No.2002-22359公開了一種干燥器，用于將氣刀噴射到正在搬送輥上搬送的基板底表面上，以便去除粘附到基板上的液體，由此使基板干燥。此外，日本專利公報(bào)No.2003-229404公開了一種基板處理裝置，當(dāng)基板通過(guò)基板搬送通道中的上部、下部氣刀時(shí)，基板處理裝置從基板表面吸取薄霧并排出薄霧以防止薄霧粘附到基板上，由此改進(jìn)基板處理質(zhì)量。另外，日本專利公報(bào)No.7-14819公開了一種基板干燥器，其中通過(guò)清潔單元中的氣刀在基板干燥過(guò)程中產(chǎn)生下降流，用于從出口排出雜質(zhì)，由此，防止雜質(zhì)粘附到基板上。
然而，上述傳統(tǒng)技術(shù)需要的從基板底面去除灰塵或任何其它異物的裝置相對(duì)復(fù)雜、笨重和昂貴。也難以有效地從搬送中的基板去除異物。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種相對(duì)簡(jiǎn)單、緊湊和低廉的基板搬送方法和裝置，其能夠有效地去除粘附到搬送中的基板底面的灰塵或任何其它異物，因此，改善了用基板制造的電子設(shè)備的生產(chǎn)率和性能。請(qǐng)注意本說(shuō)明書中術(shù)語(yǔ)“基板(substrate)”是指任何薄板部件，該薄板件優(yōu)選用于制造電子設(shè)備，但不限于用于制造電子設(shè)備。
為了克服前述問(wèn)題和實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的基板搬送方法和裝置采用了以下特征結(jié)構(gòu)根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種基板搬送裝置，該基板搬送裝置用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)多個(gè)搬送輥來(lái)搬送具有期望寬度和長(zhǎng)度的基板，所述多個(gè)搬送輥沿基板的縱向以期望的間距設(shè)置，其特征在于搬送輥形成有口，以便在搬送輥旋轉(zhuǎn)的同時(shí)替地從相鄰的搬送輥吹氣到基板底面和從基板底面吸氣。
每個(gè)搬送輥是中空?qǐng)A筒狀的部件，中空?qǐng)A筒狀的部件在縱向上具有連續(xù)變化的直徑?？谟啥鄠€(gè)形成在圓筒狀的部件的圓周的狹縫構(gòu)成。每個(gè)搬送輥在縱向上具有多個(gè)狹窄的最大直徑部，以便在基板的寬度方向上在多個(gè)位置處接觸基板。鼓風(fēng)機(jī)的吸入管和排出管交替地連接到沿基板的搬送方向設(shè)置的多個(gè)搬送輥上。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種基板搬送裝置，用于在預(yù)定方向上搬送具有期望寬度和長(zhǎng)度的基板，基板搬送裝置包括基板搬送部，其包括多個(gè)大體圓筒狀的狀的搬送輥，該圓筒狀的搬送輥以期望的速度旋轉(zhuǎn)并沿基板的搬送方向以期望的間距設(shè)置，每個(gè)搬送輥在圓周上形成有多個(gè)狹縫；和吹氣/吸氣部，連接到多個(gè)搬送輥，用于交替地從狹縫吹氣到基板和從基板吸氣。
多個(gè)搬送輥中的每一個(gè)的圓周上的狹縫以交錯(cuò)布置形成。吹氣/吸氣部利用來(lái)自共用鼓風(fēng)機(jī)的吸入氣體和排出氣體。過(guò)濾器設(shè)置在吹氣/吸氣部的管中，用于在空氣被吹到基板前去除來(lái)自鼓風(fēng)機(jī)的空氣中的異物。基板搬送裝置還包括框架，用于蓋住多個(gè)搬送輥的底部和側(cè)部。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種基板搬送方法，用于將基板從一個(gè)位置搬送到另一個(gè)位置，該方法包括如下步驟在搬送基板的方向上以期望的間距提供多行大體圓筒狀的搬送輥；以及，在搬送輥旋轉(zhuǎn)的同時(shí)從交替行的搬送輥的口吹氣到基板底面和從基板底面吸氣。
基板搬送方法還包括以波形連續(xù)地改變每個(gè)搬送輥的外直徑以便使搬送輥與待搬送基板的接觸面積最小化的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的其它方面，提供了一種基板搬送方法，用于在多個(gè)搬送輥上搬送基板，該多個(gè)搬送輥在基板的搬送方向上設(shè)置多行，該方法包括如下步驟在搬送輥的圓周表面形成狹縫口；將鼓風(fēng)機(jī)的排出空氣連接到奇數(shù)行的搬送輥以便將空氣從狹縫口吹到基板底面上；以及將鼓風(fēng)機(jī)的吸入空氣連接到偶數(shù)行的搬送輥以便在基板下方從狹縫口吸氣。
所述基板搬送方法還包括利用框架蓋住搬送輥的底部和側(cè)部的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的基板搬送方法和裝置具有以下實(shí)際優(yōu)點(diǎn)。由于基板搬送部中的搬送輥設(shè)置有與搬送輥一體的吹氣/吸氣部，用于吹氣和吸氣(例如，空氣)，因此能夠以相對(duì)簡(jiǎn)單、緊湊和低廉的結(jié)構(gòu)有效地從基板表面去除灰塵或任何其它異物。此外，由于狹縫口與多個(gè)搬送輥一起形成，且多個(gè)搬送輥在基板搬送方向上以恒定距離設(shè)置多行、用于交替地吹氣和吸氣，從一個(gè)搬送輥中交錯(cuò)布置的狹縫口的氣流吹走的灰塵或任何其它異物被吸入緊鄰的搬送輥中，因此，有效地去除基板表面上的灰塵或任何其它異物。
此外，利用來(lái)自共用鼓風(fēng)機(jī)的吹氣管和排氣管的排出氣體和吸入氣體使得從基板表面去除灰塵或任何其它異物變得更容易和更廉價(jià)。同時(shí)，送風(fēng)管中的過(guò)濾器也能防止循環(huán)氣體(例如空氣)中的灰塵再次粘附到基板表面上。由于每個(gè)搬送輥都設(shè)計(jì)成沿搬送中的基板的寬度方向連續(xù)地改變直徑，搬送輥與基板表面的接觸面積最小，因此使得在基板表面上聚集灰塵或任何其它異物的可能性最小。


在附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明的基板搬送裝置的較佳實(shí)施例的部分簡(jiǎn)化的側(cè)視剖視圖；圖2是圖1中的基板搬送裝置在基板搬送方向上的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在，將參考附圖，詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的基板搬送方法和裝置的較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)和操作。
首先，參照?qǐng)D1，圖1舉例說(shuō)明了根據(jù)本發(fā)明的基板搬送裝置的較佳實(shí)施例的部分剖視側(cè)視圖。基板搬送裝置10主要包括基板搬送部20和吹氣/吸氣部(以下稱為吹空氣/吸空氣部)30。如下面詳細(xì)所述，基板40，即玻璃基板等薄板件在垂直于圖1紙面的方向上被搬送。
基板搬送部20包括多個(gè)搬送輥22，搬送輥22各自的轉(zhuǎn)軸23通過(guò)其延伸。每個(gè)轉(zhuǎn)軸23延伸通過(guò)框架(或塊)21的兩個(gè)側(cè)壁，該框架(或塊)21蓋住基板搬送部20的底面和側(cè)面。正如下面將詳細(xì)描述，搬送輥22沿基板40的搬送方向(或縱向)以恒定間距設(shè)置成多行。每個(gè)轉(zhuǎn)軸23由各自的搬送馬達(dá)25通過(guò)同步齒形帶26驅(qū)動(dòng)，以期望的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動(dòng)。請(qǐng)注意在轉(zhuǎn)軸23和框架21的側(cè)壁之間設(shè)置已知的軸承(未圖示)用于各自的搬送輥22平滑旋轉(zhuǎn)。如果必要的話，通過(guò)調(diào)節(jié)搬送馬達(dá)25的轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)方向，能夠控制基板40的搬送速度和方向。
較佳地，每個(gè)搬送輥22是沿縱向連續(xù)改變直徑的大體中空?qǐng)A筒狀的部件。換句話說(shuō)，每個(gè)搬送輥22的直徑沿轉(zhuǎn)軸23基本線性連續(xù)地變化。每個(gè)搬送輥22僅在最大直徑部分以最小的接觸面積接觸搬送中的基板40的底面，并且基板40響應(yīng)搬送輥22的旋轉(zhuǎn)而被沿預(yù)定方向搬送。如圖1最清楚地所示，每個(gè)搬送輥22在外圓周上形成有大量的交錯(cuò)布置的狹縫(和狹縫口)24。
另一方面，吹空氣/吸空氣部30包括鼓風(fēng)機(jī)31，鼓風(fēng)機(jī)31和搬送輥22之間的管32、33，調(diào)節(jié)閥34，過(guò)濾器(HEPA過(guò)濾器或高效微粒空氣過(guò)濾器)35和送風(fēng)管36。
現(xiàn)在，參考圖2來(lái)詳細(xì)說(shuō)明圖1顯示的本發(fā)明的基板搬送裝置10的基板搬送部20與吹空氣/吸空氣部30之間的關(guān)系，圖2顯示與圖1垂直的方向上的剖視圖。在圖2所示的特定示例中，基板40從圖2的左向右的方向搬送，如箭頭P所示。
如根據(jù)圖1，2所理解，搬送輥22A-22D應(yīng)基板40的寬度和長(zhǎng)度以及搬送距離的要求被以預(yù)定的間距設(shè)置成多行。搬送輥22A-22D被設(shè)計(jì)為使得空氣交替地被吹到基板表面和從基板表面吸入空氣。即，例如，從過(guò)濾器35來(lái)的送風(fēng)管36被連接到奇數(shù)行的搬送輥22A和22C(在本例中，為第一和第三行)，同時(shí)，通向鼓風(fēng)機(jī)31的空氣吸入管32連接到偶數(shù)行的搬送輥22B和22D(在本例中，為第二和第四行)。請(qǐng)注意，每個(gè)搬送輥22可以圖1所示的一系列錐形或波形的形式，以便空氣從狹縫口24吹到基板40的更寬的區(qū)域上。通過(guò)相鄰的搬送輥吸入吹出的空氣也可以采用同樣的結(jié)構(gòu)。
下面，參考圖1，2，進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的基板搬送裝置?；?0被基板搬送部20的搬送輥22沿一個(gè)方向(如圖2中的箭頭P所示)搬送。吸入管32連接到被選擇的搬送輥(例如搬送輥22B)，并把從狹縫口24吸入的空氣傳送到鼓風(fēng)機(jī)31。另一方面，管33連接到另一個(gè)搬送輥(例如搬送輥22D)，并將吸入的空氣返傳送回到鼓風(fēng)機(jī)31。鼓風(fēng)機(jī)31是吸入空氣或吹出空氣的動(dòng)力源。同步齒形帶26連接到各自的搬送馬達(dá)25，用于旋轉(zhuǎn)各自的搬送輥22。搬送馬達(dá)25是旋轉(zhuǎn)搬送輥22的動(dòng)力源。閥34設(shè)計(jì)用于調(diào)節(jié)(例如，手動(dòng)地調(diào)節(jié))搬送輥22的狹縫口24吹出或吸入的氣流量。
過(guò)濾器(HEPA過(guò)濾器或高效微?？諝膺^(guò)濾器)35設(shè)置用于去除從狹縫口24吸入的空氣中的灰塵或任何其它異物。送風(fēng)管36設(shè)計(jì)成供應(yīng)將從狹縫口24吹出的空氣?？蚣?1設(shè)置成通過(guò)封閉基板40的底部區(qū)域，由此基本上密封遠(yuǎn)離基板40的底面的位置處的狹縫口24，來(lái)有效地將空氣吹到基板40的底面上或從基板40的底面吸出空氣。吹出的空氣37表示從狹縫口24吹出的氣流，例如，搬送輥22A和搬送輥22C的狹縫口24。另一方面，吸入的空氣38表示吸入狹縫口24的氣流，例如，搬送輥22B和搬送輥22D的狹縫口24。
現(xiàn)在，參考附圖1，2，描述本發(fā)明的基板搬送裝置10的較佳實(shí)施例的操作。
每個(gè)搬送輥22通過(guò)同步齒形帶26連接到各自的搬送馬達(dá)25，因此，通過(guò)搬送馬達(dá)25的動(dòng)力旋轉(zhuǎn)搬送輥22。通過(guò)搬送輥22的旋轉(zhuǎn)，基板40以分別由搬送馬達(dá)25的轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)方向所決定的速度和方向被搬送。每個(gè)搬送輥22形成有狹縫口24，較佳地，狹縫口24交錯(cuò)布置。狹縫口24具有如下雙重功能。首先，通過(guò)從各自的轉(zhuǎn)軸23的內(nèi)部供應(yīng)空氣，空氣吹基板40的底面。其次，通過(guò)從基板40底面移除而包含在吹出的空氣中的灰塵或任何其它異物利用轉(zhuǎn)軸23被吸入。
如圖2最清楚地所示，供應(yīng)鼓風(fēng)到基板40的底面的搬送輥(例如22A，22C)和吸入靠近基板40底面的區(qū)域中的空氣的搬送輥(例如22B，22D)在基板40的搬送方向上以預(yù)定的間距交替地設(shè)置，因此，能夠通過(guò)將空氣吹到搬送中的基板40底面上去除灰塵或任何其它異物，和能夠吸入被去除的灰塵或任何其它異物。此外，通過(guò)用框架21蓋住搬送輥22的底部和側(cè)面，切斷對(duì)于去除基板40底面上的灰塵或任何其它異物所不需要的空氣，因此，改善了去除灰塵或任何其它異物的性能。由于搬送輥22在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)從交錯(cuò)布置的狹縫口24吹空氣，能夠基本均勻地將空氣吹到基板40底面上。
請(qǐng)注意，單個(gè)鼓風(fēng)機(jī)31是共用的，作為空氣循環(huán)機(jī)構(gòu)，用于吹氣和吸氣，且如果必要，通過(guò)逆變器(inverter)控制鼓風(fēng)機(jī)31，其空氣吸入性能能夠調(diào)節(jié)。同樣，吹氣性能也可調(diào)節(jié)，例如，手動(dòng)調(diào)節(jié)閥34，閥34調(diào)節(jié)從鼓風(fēng)機(jī)31排出的空氣。由于吸入的空氣通過(guò)HEPA過(guò)濾器35被再次吹到基板40的底面上，因此，在被再次吹到基板40的底面之前，灰塵或任何其它異物被有效去除。
由上述說(shuō)明易知，本發(fā)明的另一個(gè)方面是用于在多個(gè)搬送輥上搬送基板的基板搬送方法。其特征在于搬送輥在基板搬送方向上被設(shè)置成多行，并且空氣從奇數(shù)行的搬送輥吹到搬送中的基板的底面上，同時(shí)，從偶數(shù)行的搬送輥吸入空氣。這種獨(dú)特的基板搬送方法能夠把基板從一個(gè)位置搬送到另一個(gè)位置，且在搬送中的基板的底面上基本不會(huì)聚集灰塵或任何其它異物。
盡管已經(jīng)更詳細(xì)地說(shuō)明了本發(fā)明的基板搬送方法和裝置的較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)和操作。然而，請(qǐng)注意，這些實(shí)施例僅是本發(fā)明的示例，而不是對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限制。很明顯，本領(lǐng)域所屬技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的范圍和精神的情況下，能夠?qū)@些實(shí)施例進(jìn)行各種改變。
例如，盡管在較佳實(shí)施例中用氣體(空氣)去除聚集在基板的底面上的異物，但氣體也可用任何液體代替，如洗滌液，也能保持相似的結(jié)果和優(yōu)點(diǎn)。在通過(guò)搬送輥搬送基板的同時(shí)進(jìn)行基板表面處理(例如，刷表面)的情況下，不應(yīng)用任何壓緊裝置就不能正常搬送基板。對(duì)于這種特定應(yīng)用場(chǎng)合，可將整個(gè)搬送輥的狹縫口換成吸入口。
由上述描述易知，本發(fā)明的基板搬送裝置特別適用于搬送用于制造大尺寸液晶顯示面板、半導(dǎo)體集成電路等的大基板。
權(quán)利要求
1.一種基板搬送裝置，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)多個(gè)搬送輥來(lái)搬送具有期望寬度和長(zhǎng)度的基板，所述多個(gè)搬送輥沿基板的縱向以期望的間距設(shè)置，其特征在于所述搬送輥形成有口，在搬送輥旋轉(zhuǎn)的同時(shí)該口交替地從相鄰的搬送輥吹氣到基板底面和從基板底面吸氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，每個(gè)所述搬送輥是在縱向上具有連續(xù)變化直徑的中空?qǐng)A筒狀的部件，所述口由多個(gè)形成在圓筒狀的部件的圓周上的狹縫構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，所述每個(gè)搬送輥在縱向上具有多個(gè)狹窄的最大直徑部，以便在基板的寬度方向上在多個(gè)位置處接觸基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，所述鼓風(fēng)機(jī)的吸入管和排出管交替地連接到沿基板的搬送方向設(shè)置的多個(gè)搬送輥。
5.一種基板搬送裝置，用于在預(yù)定方向上搬送具有期望寬度和長(zhǎng)度的基板，所述基板搬送裝置包括基板搬送部，其包括多個(gè)大體圓筒狀的搬送輥，該圓筒狀的搬送輥以期望的速度旋轉(zhuǎn)并沿基板的搬送方向以期望的間距設(shè)置，每個(gè)搬送輥在圓周上形成有多個(gè)狹縫；和吹氣/吸氣部，所述吹氣/吸氣部連接到多個(gè)搬送輥，用于交替地從狹縫吹氣到基板和從基板吸氣。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板搬送裝置，其特征在于，所述多個(gè)搬送輥中的每個(gè)的圓周上的狹縫交錯(cuò)布置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板搬送裝置，其特征在于，所述吹氣/吸氣部利用來(lái)自共用鼓風(fēng)機(jī)的吸入氣體和排出氣體。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板搬送裝置，其特征在于，還包括設(shè)置在吹氣/吸氣部的管中的過(guò)濾器，該過(guò)濾器用于在來(lái)自鼓風(fēng)機(jī)的空氣被吹到基板之前去除來(lái)自鼓風(fēng)機(jī)的空氣中的異物。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板搬送裝置，其特征在于，還包括框架，該框架用于蓋住多個(gè)搬送輥的底部和側(cè)部。
10.一種基板搬送方法，用于將基板從一個(gè)位置搬送到另一個(gè)位置，所述方法包括如下步驟在搬送基板的方向上以期望的間距提供多行大體圓筒狀的搬送輥；以及在搬送輥旋轉(zhuǎn)的同時(shí)從交替行的搬送輥的口吹氣到基板底面和從基板底面吸氣。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板搬送方法，其特征在于，還包括以波形連續(xù)地改變每個(gè)搬送輥的外徑以便使搬送輥與待搬送基板的接觸面積最小的步驟。
12.一種基板搬送方法，用于在多個(gè)搬送輥上搬送基板，該多個(gè)搬送輥在基板的搬送方向上設(shè)置成多行，所述方法包括如下步驟在搬送輥的圓周表面形成狹縫口；將來(lái)自鼓風(fēng)機(jī)的排出空氣連接到奇數(shù)行的搬送輥以便將空氣從狹縫口吹到基板底面上；以及將鼓風(fēng)機(jī)的吸入空氣連接到偶數(shù)行的搬送輥以便在基板下面從狹縫口吸入空氣。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板搬送方法，其特征在于，還包括利用框架蓋住搬送輥的底部和側(cè)部的步驟。
全文摘要
一種基板搬送裝置(10)，包括以預(yù)定間距設(shè)置的多個(gè)搬送輥(22A－22D)，該多個(gè)搬送輥(22A－22D)響應(yīng)搬送輥(22)的旋轉(zhuǎn)而搬送基板(40)。每個(gè)搬送輥(22)是大體中空?qǐng)A筒狀的部件，在中空?qǐng)A筒狀的部件的圓周上形成有多個(gè)狹縫口(24)。在防止灰塵或任何其它異物聚集在基板(40)的底面的同時(shí)，交替行的搬送輥(22)被設(shè)計(jì)成吹氣到搬送中的基板(40)的底面和從搬送中的基板(40)的底面吸氣。
文檔編號(hào)B65G13/00GK101074069SQ20071010412
公開日2007年11月21日 申請(qǐng)日期2007年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月17日
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