基板傳送系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種基板傳送系統(tǒng)，其用于傳送預對準的基板，同時精確地保持所述基板的位置對準?；鍌魉拖到y(tǒng)包括：加載單元，其在水平方向上提供基板；預對準托臺，其在將從加載單元提供的基板放置在其上之后，執(zhí)行所述基板的預對準；基板傳送單元，其通過吸附保持在預對準托臺上已經(jīng)完全預對準的基板，并且在豎直方向上上下移動所述基板；以及工作單元，其設置在預對準托臺的下面，并且在豎直方向上從基板傳送單元傳送的基板卸載到所述工作單元上。
【專利說明】
基板傳送系統(tǒng)
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及一種基板傳送系統(tǒng)，更具體地，涉及一種基板傳送系統(tǒng)，其用于傳送預對準的基板，同時精確地保持基板的位置對準。
【背景技術】
[0002]參考如圖1所示的現(xiàn)有技術中的基板傳送系統(tǒng)，首先執(zhí)行基板G的預對準過程，借助于基板傳送單元10或傳送帶，將所述基板G從加載單元20提供到預對準托臺30。
[0003]借助于基板傳送單元10或傳送帶將已經(jīng)完成了預對準過程的基板G在水平方向上傳送到工作單元40。
[0004]工作單元40執(zhí)行在預對準之后的單元過程，例如，可以將基板劃線或裂片。
[0005]由于基板的隨后的單元過程不能在與基板在預對準托臺30上預對準的位置相同的位置處進行，所以需要借助于基板傳送單元10或傳送帶，將已經(jīng)在預對準托臺30上完成了預對準的基板G傳送到其他位置(即，工作單元40)，因此，存在基板將由于在完成了預對準過程之后進行的附加的傳送操作而偏移的可能性。
[0006]具體地，由于甚至因為構成傳送帶的多個滾子或帶之間高度上較小的差別，基板也可能偏移，所以當通過傳送帶傳送基板G時，顯著地發(fā)生基板G的偏移。
[0007]此外，通過真空吸附等保持基板G然后移動基板G的基板傳送單元10還具有的限制在于，基板傳送單元10不可避免地產(chǎn)生加工誤差。
[0008]如上所述，在即使已經(jīng)完成了基板G的預對準過程，基板還是產(chǎn)生偏移的狀態(tài)下，將基板G傳送到隨后的工作單元40的情況下，在隨后的單元過程中，加工精度降低。
[0009]此外，為了借助于基板傳送單元10通過預對準托臺30，將基板G從加載單元20傳送到工作單元40，基板傳送單元10需要配置為能夠在基板傳送系統(tǒng)的整個生產(chǎn)線上移動，因此，因為由基板傳送單元10占據(jù)的空間，使在整個系統(tǒng)中的空間利用率降低。
[0010]因此，需要發(fā)展基板傳送系統(tǒng)，其用于具體地提高與基板G的位置對準相關的加工精度，并且提高整個系統(tǒng)中的空間利用率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明致力于提供一種基板傳送系統(tǒng)，其用于提高與基板的位置對準相關的加工精度，并且提高整個系統(tǒng)中的空間利用率。
[0012]本發(fā)明的一個示例性實施方式提供了一種基板傳送系統(tǒng)，包括:加載單元，其在水平方向上提供基板；預對準托臺，其在將從加載單元提供的基板放置在其上之后，執(zhí)行基板的預對準；基板傳送單元，其通過吸附保持在預對準托臺上已經(jīng)完全預對準的基板，并且在豎直方向上上下移動基板；以及工作單元，其設置在預對準托臺的下面，并且將在豎直方向上從基板傳送單元傳送的基板卸載到所述工作單元上。
[0013]這里，預對準托臺可以前后移動以形成開口，并且通過所述開口，將通過基板傳送單元的吸附保持的基板卸載到工作單元上。
[0014]這里，開口可以具有至少大于基板面積的開口面積。
[0015]這里，預對準托臺可以向后移動，以被設置在加載單元的下面。
[0016]這里，預對準托臺可以配置為能夠借助于鉸鏈門組件打開和關閉。
[0017]這里，鉸鏈門組件可以包括鉸鏈，其分別設置在預對準托臺的左側和右側處，并且預對準托臺包括第一托臺和第二托臺，其通過圍繞鉸鏈旋轉，朝向預對準托臺的下側打開。
[0018]這里，鉸鏈門組件可以包括鉸鏈，其分別設置在預對準托臺的前端部和后端部處，并且預對準托臺包括第一托臺和第二托臺，其通過圍繞鉸鏈旋轉，朝向預對準托臺的下側打開。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)可以提高與基板的位置對準相關的加工精度，并且提高整個基板傳送系統(tǒng)中的空間利用率。
【附圖說明】
[0020]圖1是示意性示出了現(xiàn)有技術中的基板傳送系統(tǒng)的配置的視圖。
[0021]圖2A至圖2C是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)的配置和工作原理的視圖。
[0022]圖3A至圖3C是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)的配置和工作原理的視圖。
[0023]圖4A和圖4B是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)的預對準托臺的運動的視圖。
[0024]圖5A和圖5B是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)的預對準托臺的運動的視圖。
[0025]圖6A和圖6B是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的又一個示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)的預對準托臺的運動的視圖。
【具體實施方式】
[0026]為了幫助容易地理解本發(fā)明，方便起見，這里定義了具體的術語。除非本文另有定義，本發(fā)明中使用的所有術語，包括技術或者科學術語，具有本領域技術人員通常理解的含義。此外，應當理解的是，除非上下文中另有明確規(guī)定，本文使用的單數(shù)表達包括其復數(shù)表達，并且復數(shù)表達也包括其單數(shù)表達。
[0027]包括例如“第一”、“第二”等的序數(shù)詞的術語可以用于描述各種組成元件，但是所述組成元件不局限于這些術語。這些術語僅用于區(qū)別一個組成元件和另一個組成元件。
[0028]下文將參考附圖更加詳細地描述根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)的配置和工作原理。
[0029]如圖2A至圖2C所示，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)包括:加載單元20，其在水平方向上傳送基板G ;預對準托臺30，其執(zhí)行基板G的預對準；以及工作單元40，其執(zhí)行在完成了預對準之后將要進行的各單元過程。
[0030]在這種情況下，在開始基板G的預對準之前，將加載單元20和預對準托臺30設置在同一水平線上，但是不同于圖1中示出的基板傳送系統(tǒng)，將工作單元40設置在預對準托臺30的下面。
[0031]預對準托臺30和工作單元40設置在同一豎直線上，因此，與現(xiàn)有技術中的基板傳送系統(tǒng)相比，能夠減少在水平方向上的空間。
[0032]參考圖2A和圖2B，在加載單元20上的基板G通過被配置為能夠在水平方向上移動的基板傳送單元10吸附保持，并且可以通過基板傳送單元10在水平方向上的運動，將基板G放置在預對準托臺30上。
[0033]基板傳送單元10包括多個真空吸附構件，其用于通過真空吸附保持基板G。
[0034]在基板經(jīng)受通過工作單元40進行的單元過程之前，預對準托臺30執(zhí)行基板G的預對準。
[0035]再次通過基板傳送單元10的吸附保持已經(jīng)在預對準托臺30上完全預對準的基板G，然后，在豎直方向上上下移動基板G。
[0036]具體地，基板傳送單元10通過吸附保持預對準的基板G，然后向上移動，從而基板G以預定距離與預對準托臺30間隔開。
[0037]接下來，如圖2C所示，在將預對準托臺30從其初始位置移開之后，通過吸附保持基板G的基板傳送單元10在豎直方向上向下移動，從而將基板卸載到設置在預對準托臺30下面的工作單元40上。
[0038]在這種情況下，由于在基板G處于預對準狀態(tài)時，將通過基板傳送單元10的吸附保持的基板卸載到工作單元40上，所以不必擔心基板G產(chǎn)生方向偏離。
[0039]具體地，在使得基板傳送單元10只能夠在豎直方向上上下運動，但是嚴格禁止基板傳送單元10的左右運動或者旋轉運動的情況下，還可以在工作單元40上精確地保持已經(jīng)在預對準托臺30上預對準的基板G的位置對準。
[0040]當通過基板傳送單元10將基板G卸載到工作單元40上時，可以通過工作單元40進行單元過程中的任何一個，例如沉積過程、曝光過程、蝕刻過程、清潔過程、接合過程和剪切過程。
[0041]依據(jù)根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)，還可以在工作單元40上精確地保持已經(jīng)在預對準托臺30上預對準的基板G的位置對準，由此還在隨后的單元過程中提高加工精度。
[0042]圖3A至圖3C是示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)的視圖。
[0043]參考圖3A，基板傳送單元10牢固地安裝在鄰近于預對準托臺30的位置處，并且通過例如傳送帶等的傳送裝置，將基板G從加載單元20提供到預對準托臺30。
[0044]S卩，在圖3A中示出的基板傳送系統(tǒng)中，將基板傳送單元10牢固地安裝在鄰近于預對準托臺30的位置處，并且基板傳送單元10配置為在通過吸附保持預對準的基板G之后，僅在豎直方向上上下移動，從而與圖2A中示出的基板傳送系統(tǒng)相比，能夠在整個系統(tǒng)中減少由基板傳送單元10占據(jù)的空間。
[0045]S卩，加載單元20代替基板傳送單元10執(zhí)行在水平方向上傳送基板的操作，由此在整個系統(tǒng)中進一步提高空間利用率。
[0046]下文將詳細描述為了允許基板傳送單元10將基板G卸載到設置在預對準托臺30下面的工作單元40上，進行的預對準托臺30的運動。
[0047]首先，在本發(fā)明的示例性實施方式中，預對準托臺30作為整體或者部分前后移動，以形成開口，并且被基板傳送單元10的吸附保持的基板通過所述開口在豎直方向上向下移動，從而被卸載到工作單元40上。
[0048]圖4A和圖4B是示意性示出了從側面觀察時，預對準托臺30的運動的視圖。
[0049]這里，基板傳送單元10通過吸附保持預對準的基板G，然后向上移動，以便基板G與預對準托臺30以預定距離間隔開。
[0050]接下來，如圖4A所示，預對準托臺30向前移動以形成具有至少大于基板G面積的開口面積的開口。
[0051]然后，如圖4B所示，通過吸附保持基板G的基板傳送單元10通過由預對準托臺30的運動形成的開口在豎直方向上向下移動，然后將基板卸載到設置在預對準托臺30下面的工作單元40上。
[0052]在將基板G完全卸載到工作單元40上之后，基板傳送單元10通過在豎直方向上向上移動返回到初始位置，然后預對準托臺30也向后移動，以便再次被設置為鄰近于加載單元20。
[0053]圖5A和圖5B是示意性示出了根據(jù)另一個示例性實施方式的預對準托臺30的運動的視圖。
[0054]同樣地，基板傳送單元10通過吸附保持預對準的基板G，然后向上移動，以便基板G與預對準托臺30以預定距離間隔開。
[0055]接下來，如圖5A所示，預對準托臺30向后移動以形成具有至少大于基板G面積的開口面積的開口，并且在這種情況下，將預對準托臺30設置在加載單元20的下面。
[0056]更具體地，預對準托臺30向下移動預定距離，然后朝向加載單元20的下側移動，以便被設置在加載單元20的下面。
[0057]然后，如圖5B所示，通過吸附保持基板G的基板傳送單元10通過由預對準托臺30的運動形成的開口在豎直方向上向下移動，然后將基板卸載到設置在預對準托臺30下面的工作單元40上。
[0058]在完全地將基板G卸載到工作單元40上之后，基板傳送單元10通過在豎直方向上向上移動返回到初始位置，然后預對準托臺30也向前移動，以便被再次設置為鄰近于加載單元20。
[0059]圖6A和圖6B是示意性示出了根據(jù)又一示例性實施方式的預對準托臺30的運動的視圖。圖6A和圖6B示出了從前側觀察的預對準托臺30。
[0060]在示例性實施方式中，預對準托臺30可以配置為能夠通過鉸鏈門組件打開或者關閉。
[0061]更具體地，鉸鏈門組件可以包括鉸鏈H，其分別設置在預對準托臺30的左側和右側處，并且預對準托臺30可以包括第一托臺30a和第二托臺30b，其通過圍繞鉸鏈H旋轉，朝向預對準托臺30的下側打開。
[0062]因此，基板傳送單元10通過吸附保持預對準的基板G，然后向上移動，以便基板G與預對準托臺30以預定距離間隔開，此后，如圖6B所示，通過圍繞鉸鏈H旋轉向下打開第一托臺30a和第二托臺30b，從而形成具有大于基板G面積的開口面積的開口。
[0063]然后，通過吸附保持基板G的基板傳送單元10通過由預對準托臺30的運動形成的開口在豎直方向上向下移動，然后將基板卸載到設置在預對準托臺30下面的工作單元40上。
[0064]最后，在完全地將基板G卸載到工作單元40上之后，基板傳送單元10通過在豎直方向上向上移動返回到初始位置，然后通過在與第一托臺30a和第二托臺30b旋轉打開的方向相反的方向上圍繞鉸鏈H旋轉，第一托臺30a和第二托臺30b關閉預對準托臺30。
[0065]在這種情況下，第一托臺30a和第二托臺30b圍繞鉸鏈H旋轉的角度沒有特別的限制，但是可以是90度或者小于90度。例如，只要可以形成具有大于基板G面積的開口面積的開口，旋轉角度可以是銳角。
[0066]如上所述，通過調(diào)整第一托臺30a和第二托臺30b圍繞鉸鏈H旋轉的角度，能夠減少由整個系統(tǒng)占據(jù)的面積，由此提高空間利用率。
[0067]雖然以鉸鏈H分別設置在預對準托臺30的左側和右側處的方式形成了根據(jù)示例性實施方式的鉸鏈門組件，但是作為替代的示例性實施方式，可以以鉸鏈H分別設置在預對準托臺30的前端部和后端部處的方式形成鉸鏈門組件。
[0068]如在各種示例性實施方式中描述的，依據(jù)根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的基板傳送系統(tǒng)，甚至可以在工作單元上精確地保持已經(jīng)在預對準托臺上預對準的基板的位置對準，由此在預對準之后的單元過程中提高加工精度。
[0069]此外，預對準托臺和工作單元設置在同一豎直線上，并且可以在最小的空間內(nèi)有效地進行撤回用于卸載預對準的基板的預對準托臺的操作，由此在基板傳送系統(tǒng)中進一步提尚空間利用率。
[0070]雖然已經(jīng)在上面描述了本發(fā)明的示例性實施方式，但是本領域技術人員可以在不背離權利要求中公開的本發(fā)明的主旨的情況下，通過增加、改變、刪除或修改組成元件，對本發(fā)明做出各種修改和改變，并且所述修改和改變也屬于本發(fā)明的范圍。
【主權項】
1.一種基板傳送系統(tǒng)，包括: 加載單元，其在水平方向上提供基板； 預對準托臺，其在將從加載單元提供的基板放置在其上之后，執(zhí)行所述基板的預對準； 基板傳送單元，其通過吸附保持在預對準托臺上已經(jīng)完全預對準的基板，并且在豎直方向上上下移動所述基板；以及 工作單元，其設置在預對準托臺的下面，并且在豎直方向上從基板傳送單元傳送的基板卸載到所述工作單元上。2.如權利要求1所述的基板傳送系統(tǒng)，其中，所述預對準托臺前后移動以形成開口，并且通過所述開口，將通過基板傳送單元的吸附保持的基板卸載到工作單元上。3.如權利要求2所述的基板傳送系統(tǒng)，其中，所述開口具有至少大于基板面積的開口面積。4.如權利要求2所述的基板傳送系統(tǒng)，其中，所述預對準托臺向后移動，以被設置在加載單元的下面。5.如權利要求1所述的基板傳送系統(tǒng)，其中，所述預對準托臺配置為能夠借助于鉸鏈門組件打開和關閉。6.如權利要求5所述的基板傳送系統(tǒng)，其中，所述鉸鏈門組件包括鉸鏈，其分別設置在預對準托臺的左側和右側處，并且所述預對準托臺包括第一托臺和第二托臺，第一托臺和第二托臺通過圍繞鉸鏈旋轉，朝向所述預對準托臺的下側打開。7.如權利要求5所述的基板傳送系統(tǒng)，其中，所述鉸鏈門組件包括鉸鏈，其分別設置在預對準托臺的前端部和后端部處，并且所述預對準托臺包括第一托臺和第二托臺，第一托臺和第二托臺通過圍繞鉸鏈旋轉，朝向所述預對準托臺的下側打開。
【文檔編號】B65G35/00GK105984700SQ201510671752
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年10月15日
【發(fā)明人】崔漢鉉, 金教承, 盧光碩, 徐正歡, 麴今鎬
【申請人】塔工程有限公司