用于基板側面的涂布設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型關于一種用于基板側面的涂布設備，該涂布設備包括一第一XY軸向移動機構、一Z軸向旋轉機構、一第二XY軸向移動機構、一承載臺及一噴頭裝置，Z軸向旋轉機構連接在第一XY軸向移動機構上并跟隨第一XY軸向移動機構移動；第二XY軸向移動機構固定在Z軸向旋轉機構上并跟隨Z軸向旋轉機構旋轉；承載臺連接在第二XY軸向移動機構上并跟隨第二XY軸向移動機構移動；噴頭裝置包含一Z軸向移動機構及安裝在Z軸向移動機構的一噴頭組件，噴頭組件跟隨Z軸向移動機構移動并對應側面配置。借此，本實用新型可以達到成膜質(zhì)量優(yōu)異及厚度均勻等優(yōu)點。
【專利說明】用于基板側面的涂布設備
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型有關于一種涂布設備，尤指一種用于基板側面的涂布設備。
【背景技術】
[0002]傳統(tǒng)的基板成膜方式包括一機械手臂及一噴頭，噴頭安裝在機械手臂上，再使用自動控制系統(tǒng)控制機械手臂的來回移動，而使噴頭直接對基板進行噴涂動作，并配合基板的表面形狀及面積移動。
[0003]然而，上述基板成膜方式大多針對基板的正面、背面等大面積表面進行涂布作業(yè)，但若將上述基板成膜方式使用于基板的側面等小面積表面或環(huán)形狀表面上，則容易有涂料不均勻及溢料到基板其他表面的問題，造成涂料成膜質(zhì)量不佳、厚度不均勻等缺點。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的在于提供一種用于基板側面的涂布設備，其利用第二 XY軸向移動機構帶動形狀中心與Z軸向旋轉機構的軸心重疊，Z軸向旋轉機構再帶動承載臺旋轉，并第一 XY軸向移動機構用以調(diào)整噴頭組件與側面之間的間隔距離，使得本實用新型涂布設備能在基板的側面等小面積表面或環(huán)形狀表面上進行涂布作業(yè)，以達到成膜質(zhì)量優(yōu)良及厚度均勻等優(yōu)點。
[0005]為了達成上述的目的，本實用新型提供一種用于基板側面的涂布設備，所述基板具有一側面及一形狀中心，該涂布設備包括:
[0006]一機座；
[0007]—第一 XY軸向移動機構，固定在該機座上；
[0008]一 Z軸向旋轉機構，連接在該第一 XY軸向移動機構上并跟隨該第一 XY軸向移動機構移動；
[0009]一第二 XY軸向移動機構，固定在該Z軸向旋轉機構上并跟隨該Z軸向旋轉機構旋轉；
[0010]一承載臺，連接在該第二 XY軸向移動機構上并跟隨該第二 XY軸向移動機構移動，所述基板定位于該承載臺；以及
[0011]一噴頭裝置，包含一 Z軸向移動機構及安裝在該Z軸向移動機構的一噴頭組件，該噴頭組件跟隨該Z軸向移動機構移動并對應所述側面配置；
[0012]其中，該第二 XY軸向移動機構帶動所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊，該第一 XY軸向移動機構調(diào)整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
[0013]還包括用以計算所述基板的所述形狀中心位置的一運算裝置，該運算裝置以所述形狀中心為基準產(chǎn)生出一第一移動數(shù)據(jù)及一第二移動數(shù)據(jù)。
[0014]其中該運算裝置與該第二 XY軸向移動機構電性連接并控制該第二 XY軸向移動機構沿著該第一移動數(shù)據(jù)移動，且依據(jù)該第一移動數(shù)據(jù)以使所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊。[0015]其中該運算裝置與該第一 XY軸向移動機構電性連接并控制該第一 XY軸向移動機構沿著該第二移動數(shù)據(jù)移動，且依據(jù)該第二移動數(shù)據(jù)以調(diào)整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
[0016]還包括一進料區(qū)及一出料區(qū)，該第一 XY軸向移動機構移動在該進料區(qū)及該出料區(qū)之間。
[0017]還包括一檢測組件，該檢測組件對應該噴頭組件及所述基板配置。
[0018]其中該檢測組件安裝于該Z軸向移動機構并跟隨該Z軸向移動機構移動。
[0019]其中該檢測組件包括一第一攝影機及一第二攝影機，該第一攝影機對應所述基板的上方配置，該第二攝影機對應該噴頭組件及所述側面配置。
[0020]其中該檢測組件還包括一照明組件，該照明組件對應該噴頭組件及所述基板配置。 [0021]其中該第一攝影機、該第二攝影機及該照明組件安裝于該Z軸向移動機構并跟隨該Z軸向移動機構移動，該照明組件配置在該第一攝影機的一側。
[0022]本實用新型還具有以下優(yōu)點:
[0023]第一、本實用新型涂布設備通過路徑選擇校正方式，使側面與噴頭組件之間的間隔距離維持在一定的數(shù)值之內(nèi)，讓噴涂效果達到優(yōu)化，從而達成成膜質(zhì)量優(yōu)良及厚度均勻等優(yōu)點。
[0024]第二、形狀中心與Z軸向旋轉機構的軸心重疊，使基板以形狀中心為旋轉中心旋轉下，讓本實用新型涂布設備可采用噴涂連續(xù)不間斷的方式進行，當基板旋轉一圈之后，即完成噴涂作業(yè)，以達到噴涂均勻化及作業(yè)效率提高的優(yōu)點。
[0025]第三、本實用新型涂布設備還包括檢測組件，檢測組件對應噴頭組件、基板上方及側面配置，使作業(yè)人員可通過檢測組件了解目前涂布作業(yè)的情形，運算裝置也可通過檢測組件進行第一移動數(shù)據(jù)及第二移動數(shù)據(jù)的調(diào)整，進而提升涂布設備的作業(yè)效率及操作便利性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1:本實用新型涂布設備的立體組合圖。
[0027]圖2:本實用新型涂布設備的組合示意圖。
[0028]圖3:本實用新型涂布設備的方塊圖。
[0029]圖4:本實用新型涂布設備的使用狀態(tài)示意圖。
[0030]圖5:本實用新型涂布設備的另一方塊圖。
[0031]圖6:本實用新型涂布設備的另一使用狀態(tài)示意圖。
[0032]圖7:本實用新型涂布設備的又一使用狀態(tài)示意圖。
[0033]圖中:
[0034]10…涂布設備
[0035]I…機座；
[0036]2…第一 XY軸向移動機構；
[0037]3…Z軸向旋轉機構；
[0038]4…第二 XY軸向移動機構；[0039]5…承載臺；
[0040]6…噴頭裝置；
[0041]61…Z軸向移動機構；
[0042]62…噴頭組件；
[0043]7…運算裝 置；
[0044]71…第一移動數(shù)據(jù)；
[0045]72…第二移動數(shù)據(jù)；
[0046]81…進料區(qū)；
[0047]82…出料區(qū)；
[0048]9…檢測組件；
[0049]91…第一攝影機；
[0050]91’…第二攝影機；
[0051]92…照明組件；
[0052]100 …基板；
[0053]101 …側面；
[0054]102…形狀中心；
[0055]200…膜層；
[0056]L…軸心；
[0057]S…間隔距離。
【具體實施方式】
[0058]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本實用新型并能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。
[0059]請參考圖1至圖7所示，本實用新型提供一種用于基板側面的涂布設備，該涂布設備10主要包括一機座1、一第一 XY軸向移動機構2、一 Z軸向旋轉機構3、一第二 XY軸向移動機構4、一承載臺5及一噴頭裝置6。
[0060]如圖1至圖2所示，基板100可為圓形、三角形、矩形、多角形等幾何外型，基板100的外周緣具有一側面101及沿著側面101所圍設的形狀定義出一形狀中心102。
[0061]如圖1至圖2所不,第一 XY軸向移動機構2固定在機座I上,此第一 XY軸向移動機構2能夠在機座I上進行X軸方向及Y軸方向的移動。
[0062]如圖1至圖2所示，Z軸向旋轉機構3連接在第一 XY軸向移動機構2上并跟隨第一 XY軸向移動機構2進行X軸方向及Y軸方向的移動。
[0063]如圖1至圖2所示，第二 XY軸向移動機構4固定在Z軸向旋轉機構3上并跟隨Z軸向旋轉機構3旋轉，此第二 XY軸向移動機構4能夠在Z軸向旋轉機構3上進行X軸方向及Y軸方向的移動。
[0064]如圖1至圖2所示，承載臺5連接在第二 XY軸向移動機構4上并跟隨第二 XY軸向移動機構4進行X軸方向及Y軸方向的移動，基板100定位于承載臺5。
[0065]如圖1至圖2所示，噴頭裝置6包含一 Z軸向移動機構61及安裝在Z軸向移動機構61的一噴頭組件62，噴頭組件62跟隨Z軸向移動機構61進行Z軸方向移動并對應側面101配置。
[0066]其中，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，第一 XY軸向移動機構2用以調(diào)整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。
[0067]如圖1至圖2、圖3及圖5所示，本實用新型涂布設備10還包括一運算裝置7，運算裝置7檢測側面101所圍設的形狀并計算出形狀中心102的位置，并依據(jù)形狀中心102為基準產(chǎn)生出一第一移動數(shù)據(jù)71及一第二移動數(shù)據(jù)72。
[0068]進一步說明如下，運算裝置7與第二 XY軸向移動機構4電性連接并控制第二 XY軸向移動機構4沿著第一移動數(shù)據(jù)72移動，且依據(jù)第一移動數(shù)據(jù)71以使形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊。
[0069]另外，運算裝置7與第一XY軸向移動機構2電性連接并控制第一 XY軸向移動機構2沿著第二移動數(shù)據(jù)72移動，且依據(jù)第二移動數(shù)據(jù)72以調(diào)整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。
[0070]如圖1至圖2所示，本實用新型涂布設備10還包括一進料區(qū)81及一出料區(qū)82，第
一XY軸向移動機構2移動在進料區(qū)81及出料區(qū)82之間。
[0071]如圖1至圖2所示，本實用新型涂布設備10還包括一檢測組件9，檢測組件9安裝于Z軸向移動機構61并跟隨Z軸向移動機構61移動，此檢測組件9對應噴頭組件62及基板100配置。
[0072]詳細說明如下，檢測組件9包含一第一攝影機91、一第二攝影機91’及一照明組件92，第一攝影機91對應基板100的上方配置，第二攝影機91’對應噴頭組件62及側面101配置，照明組件92對應噴頭組件62及基板100配置。
[0073]另外，第一攝影機91、第二攝影機91’及照明組件92安裝于Z軸向移動機構61上并跟隨Z軸向移動機構61移動，照明組件92配置在第一攝影機91的一側。
[0074]此外，本實用新型最佳實施例的檢測組件9包括第一攝影機91及第二攝影機91’，但檢測組件9也可為紅外線檢測組件等其他檢測組件，并不以本實施例為限制。
[0075]如圖1至圖2所示，本實用新型的涂布設備10的組合，其利用第一 XY軸向移動機構2固定在機座I上；Z軸向旋轉機構3連接在第一 XY軸向移動機構2上并跟隨第一 XY軸向移動機構2移動；第二 XY軸向移動機構4固定在Z軸向旋轉機構3上并跟隨Z軸向旋轉機構3旋轉；承載臺5連接在第二 XY軸向移動機構4上并跟隨第二 XY軸向移動機構4移動，基板100定位于承載臺5 ;噴頭裝置6包含Z軸向移動機構61及安裝在Z軸向移動機構61的噴頭組件62，噴頭組件62跟隨Z軸向移動機構61移動并對應側面101配置；其中，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，第一 XY軸向移動機構2用以調(diào)整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。借此，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，Z軸向旋轉機構3再帶動承載臺5旋轉，并第一 XY軸向移動機構2用以調(diào)整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離，使得本實用新型涂布設備10能在基板100的側面101等小面積表面或環(huán)形狀表面上進行涂布作業(yè)，以達到成膜質(zhì)量優(yōu)良及厚度均勻等特點。
[0076]如圖3至圖7所示，本實用新型的涂布設備10的使用狀態(tài)，首先，如圖3至圖4所示，運算裝置7檢測側面101所圍設的形狀并計算出形狀中心102的位置，并依據(jù)形狀中心102為基準產(chǎn)生出第一移動數(shù)據(jù)71，運算裝置7再與第二 XY軸向移動機構4電性連接并控制第二 XY軸向移動機構4沿著第一移動數(shù)據(jù)72移動，且第二 XY軸向移動機構4依據(jù)第一移動數(shù)據(jù)71移動，進而帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊。
[0077]再者，如圖5至圖7所示，噴頭組件62跟隨Z軸向移動機構61進行Z軸方向移動并對應側面101配置，運算裝置7檢測側面101所圍設的形狀并計算出形狀中心102的位置，并依據(jù)形狀中心102為基準產(chǎn)生出第二移動數(shù)據(jù)72，運算裝置7與第一 XY軸向移動機構2電性連接并控制第一 XY軸向移動機構2沿著第二移動數(shù)據(jù)72移動，且第一 XY軸向移動機構2依據(jù)第二移動數(shù)據(jù)72以調(diào)整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S。
[0078]因此，本實用新型涂布設備10進行涂布作業(yè)時，第二 XY軸向移動機構4帶動形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊后即定位不移動，Z軸向旋轉機構3會帶動第
二XY軸向移動機構4、承載臺5及基板100 —起轉動。
[0079]并且，因形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，使基板100在轉動一圈的過程中，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產(chǎn)生的變化最??；詳細說明如下，基板100可為圓形、三角形、矩形、多角形等幾何外型，因此基板100的外型非對稱下，基板100在轉動時，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S也會改變，但因側面101各點至形狀中心102的距離變化最小，所以基板100以形狀中心102為旋轉中心旋轉下，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產(chǎn)生的變化也會最小。
[0080]之后，第一 XY軸向移動機構2帶動Z軸向旋轉機構3、第二 XY軸向移動機構4、承載臺5及基板100 —起移動，以調(diào)整噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S，使基板100以形狀中心102為旋轉中心旋轉時，側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S所產(chǎn)生的變化最小下，第一 XY軸向移動機構2又能夠帶動基板100接近或遠離噴頭組件62，以微調(diào)噴頭組件62與側面101之間的間隔距離S，讓涂布作業(yè)中，間隔距離S維持在一定的數(shù)值之內(nèi)，以使噴頭組件62噴出的涂料均勻地覆蓋于側面101，而在側面101上形成有厚度均勻且質(zhì)量良好的膜層200。借此，本實用新型涂布設備10通過路徑選擇校正方式，使側面101與噴頭組件62之間的間隔距離S維持在一定的數(shù)值之內(nèi)，讓噴涂效果達到優(yōu)化，從而達成成膜質(zhì)量優(yōu)良及厚度均勻等優(yōu)點。
[0081]另外，形狀中心102與Z軸向旋轉機構3的軸心L重疊，使基板100以形狀中心102為旋轉中心旋轉下，讓本實用新型涂布設備10可采用噴涂連續(xù)不間斷的方式進行，當基板100旋轉一圈之后，即完成噴涂作業(yè)，讓膜層200均勻且穩(wěn)定地披覆在側面101上，以達到噴涂均勻化及作業(yè)效率提高的優(yōu)點。
[0082]本實用新型涂布設備10還包括檢測組件9，檢測組件9包含第一攝影機91及第二攝影機91’，第一攝影機91對應基板100的上方配置，此第一攝影機91用于提供運算裝置7計算基板100的偏移量，以微調(diào)第一移動數(shù)據(jù)71，以幫助形狀中心102與軸心L準確地重疊。
[0083]再者，第二攝影機91’對應噴頭組件62及側面101配置，此第一攝影機91用于檢測側面101的表面狀況及噴頭組件62與側面101在Z軸上的高低差，以微調(diào)第二移動數(shù)據(jù)72,以提升噴頭組件62的作業(yè)效率、準確性及成膜厚度均勻的優(yōu)點。
[0084]因此，作業(yè)人員可通過檢測組件9 了解目前涂布作業(yè)的情形，運算裝置7也可通過檢測組件9進行第一移動數(shù)據(jù)71及第二移動數(shù)據(jù)72的調(diào)整，進而提升涂布設備10的作業(yè)效率及操作便利性。[0085]其中，檢測組件9還包含照明組件92，照明組件92配置在第一攝影機91的一側，即照明組件92配置在基板100的上方，使照明組件92照亮基板100的上方、噴頭組件62及側面101處，以讓照明組件92提高噴頭組件62、基板100及側面101處的亮度，更方便第一攝影機91及第二攝影機91’攝影涂布作業(yè)的情形。
[0086]此外，本實用新型涂布設備10還包括進料區(qū)81及出料區(qū)82，第一 XY軸向移動機構2移動在進料區(qū)81及出料區(qū)82之間，使第一 XY軸向移動機構2用于輔助進料及出料的作業(yè)。
[0087]以上所述實施例僅是為充分說明本實用新型而所舉的較佳的實施例，本實用新型的保護范圍不限于此。本【技術領域】的技術人員在本實用新型基礎上所作的等同替代或變換，均在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。本實用新型的保護范圍以權利要求書為準。
【權利要求】
1.一種用于基板側面的涂布設備，所述基板具有一側面及一形狀中心，其特征在于，該涂布設備包括: 一機座； 一第一 XY軸向移動機構，固定在該機座上； 一 Z軸向旋轉機構，連接在該第一 XY軸向移動機構上并跟隨該第一 XY軸向移動機構移動； 一第二 XY軸向移動機構，固定在該Z軸向旋轉機構上并跟隨該Z軸向旋轉機構旋轉； 一承載臺，連接在該第二 XY軸向移動機構上并跟隨該第二 XY軸向移動機構移動，所述基板定位于該承載臺；以及 一噴頭裝置，包含一 Z軸向移動機構及安裝在該Z軸向移動機構的一噴頭組件,該噴頭組件跟隨該Z軸向移動機構移動并對應所述側面配置； 其中，該第二 XY軸向移動機構帶動所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊，該第一 XY軸向移動機構調(diào)整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，還包括用以計算所述基板的所述形狀中心位置的一運算裝置，該運算裝置以所述形狀中心為基準產(chǎn)生出一第一移動數(shù)據(jù)及一第二移動數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權利要求2所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，其中該運算裝置與該第二 XY軸向移動機構電性連接并控制該第二 XY軸向移動機構沿著該第一移動數(shù)據(jù)移動，且依據(jù)該第一移動數(shù)據(jù)以使所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊。
4.根據(jù)權利要求2所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，其中該運算裝置與該第一 XY軸向移動機構電性連接并控制該第一 XY軸向移動機構沿著該第二移動數(shù)據(jù)移動，且依據(jù)該第二移動數(shù)據(jù)以調(diào)整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。
5.根據(jù)權利要求1所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，還包括一進料區(qū)及一出料區(qū)，該第一 XY軸向移動機構移動在該進料區(qū)及該出料區(qū)之間。
6.根據(jù)權利要求1所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，還包括一檢測組件，該檢測組件對應該噴頭組件及所述基板配置。
7.根據(jù)權利要求6所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，其中該檢測組件安裝于該Z軸向移動機構并跟隨該Z軸向移動機構移動。
8.根據(jù)權利要求6所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，其中該檢測組件包括一第一攝影機及一第二攝影機，該第一攝影機對應所述基板的上方配置，該第二攝影機對應該噴頭組件及所述側面配置。
9.根據(jù)權利要求8所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，其中該檢測組件還包括一照明組件，該照明組件對應該噴頭組件及所述基板配置。
10.根據(jù)權利要求9所述的用于基板側面的涂布設備，其特征在于，其中該第一攝影機、該第二攝影機及該照明組件安裝于該Z軸向移動機構并跟隨該Z軸向移動機構移動，該照明組件配置在該第一攝影機的一側。
【文檔編號】B05B15/10GK203778253SQ201420146046
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年3月28日 優(yōu)先權日:2014年2月27日
【發(fā)明者】喬鴻培, 李子勝, 蔡憲毅, 吳泰興, 陳厚權, 陳厚銘 申請人:揚博科技股份有限公司, 仕元機械股份有限公司