技術(shù)編號：3719866
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型關(guān)于一種用于基板側(cè)面的涂布設(shè)備，該涂布設(shè)備包括一第一XY軸向移動機構(gòu)、一Z軸向旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、一第二XY軸向移動機構(gòu)、一承載臺及一噴頭裝置，Z軸向旋轉(zhuǎn)機構(gòu)連接在第一XY軸向移動機構(gòu)上并跟隨第一XY軸向移動機構(gòu)移動；第二XY軸向移動機構(gòu)固定在Z軸向旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上并跟隨Z軸向旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)；承載臺連接在第二XY軸向移動機構(gòu)上并跟隨第二XY軸向移動機構(gòu)移動；噴頭裝置包含一Z軸向移動機構(gòu)及安裝在Z軸向移動機構(gòu)的一噴頭組件，噴頭組件跟隨Z軸向移動機構(gòu)移動并對應(yīng)側(cè)面配置...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。