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一種轉(zhuǎn)移石墨烯的方法與流程

文檔序號(hào):11925635閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于,包括以下步驟:

S1提供位于第一襯底上的石墨烯;

S2在所述石墨烯上覆蓋緩沖層;

S3在所述緩沖層上粘附熱釋放膠帶;

S4利用腐蝕液浸泡去除所述石墨烯下方的所述第一襯底;

S5將去除了所述第一襯底的所述石墨烯覆蓋到目標(biāo)襯底上;

S6加熱使所述熱釋放膠帶失去粘性,然后揭去所述熱釋放膠帶;

S7利用溶解液浸泡去除所述石墨烯上方的緩沖層,得到位于所述目標(biāo)襯底上的石墨烯,完成所述石墨烯的轉(zhuǎn)移。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:在步驟S1中,所述石墨烯通過化學(xué)氣相沉積法生長在所述第一襯底上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述第一襯底的材料為Cu、Ni、Pt、Mo、Pd、Ge、Fe、Co中的一種,或?yàn)镃u、Ni、Pt、Mo、Pd、Ge、Fe、Co中的兩種或三種組成的合金。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:在步驟S2中,所述緩沖層是通過機(jī)械旋涂方式覆蓋在所述石墨烯的上表面,旋涂轉(zhuǎn)速為2000-4000轉(zhuǎn)每分。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述機(jī)械旋涂方式為靜態(tài)涂層或動(dòng)態(tài)涂層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述緩沖層的材料為甲基丙烯酸甲酯、聚甲基戊二酰亞胺、聚丁二烯中的一種或多種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述緩沖層的厚度為50~800nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:在步驟S2中,在所述石墨烯上覆蓋緩沖層之后,還包括加熱固化所述緩沖層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:加熱固化所述緩沖層的溫度為30~150℃,加熱時(shí)間為1~10分鐘。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:在步驟S4中,所述腐蝕液為三氯化鐵溶液、過硫酸銨溶液、或鹽酸與硫酸銅混合溶液;浸泡溫度為20~80℃,浸泡時(shí)間為6~12小時(shí)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述目標(biāo)襯底的材料為絕緣材料、半導(dǎo)體材料或柔性有機(jī)材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述目標(biāo)襯底的材料為石英、氧化鋁、氮化硅、硅、鍺、碳化硅、砷化鎵、氮化鋁、氧化鋅中的一種或多種;或者為聚乙烯對(duì)苯二甲酸脂PET、聚酰亞胺PI、乙烯-醋酸乙烯共聚物EVA、聚萘二酸乙二醇酯PEN、聚醚酰亞胺PEI中的一種或多種。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:在步驟S6中,加熱使所述熱釋放膠帶失去粘性的加熱溫度為80~150℃,加熱時(shí)間為2~10分鐘。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:在步驟S7中,所述溶解液為丙酮、乙醇、三氯乙烯或聚乙二醇辛基苯基醚;浸泡溫度為10~80℃,浸泡時(shí)間為10~300秒。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:在步驟S7中,利用溶解液浸泡去除所述石墨烯上方的緩沖層之后,還包括對(duì)所述石墨烯進(jìn)行退火處理。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述退火處理的溫度為100~350℃,所述退火處理的保護(hù)氣氛包括氬氣、氮?dú)庵械闹辽僖环N,退火時(shí)間為10~30分鐘。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述石墨烯為單晶石墨烯或石墨烯連續(xù)膜。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,其特征在于:所述石墨烯連續(xù)膜為單層或多層。

19.一種獲得多層石墨烯的方法,其特征在于:

以被轉(zhuǎn)移后的石墨烯為目標(biāo)襯底,利用權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移石墨烯的方法,得到多層石墨烯。

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