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一種用于晶體生長(zhǎng)的新型加熱裝置的制作方法

文檔序號(hào):12168848閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于晶體生長(zhǎng)的新型加熱裝置,從中心向外依次包括:坩堝、發(fā)熱體、保溫材料和感應(yīng)線圈,其中,所述坩堝用于容納生長(zhǎng)晶體的熔體且不具備發(fā)熱功能;所述發(fā)熱體與所述坩堝相隔開(kāi),且接收所述感應(yīng)線圈的信號(hào)來(lái)發(fā)熱而作為晶體生長(zhǎng)的熱源。本發(fā)明不僅打破了以坩堝作為發(fā)熱體只能依靠調(diào)節(jié)保溫材料被動(dòng)地來(lái)構(gòu)筑溫場(chǎng)的傳統(tǒng)做法,可以通過(guò)調(diào)節(jié)發(fā)熱體的形狀和尺寸來(lái)主動(dòng)構(gòu)筑合適的溫場(chǎng);另外,還可以將感應(yīng)加熱的方式應(yīng)用于布里奇曼法晶體生長(zhǎng)中,拓寬了布里奇曼法的使用范圍。

技術(shù)研發(fā)人員:涂小牛;鄭燕青;熊開(kāi)南;孔海寬;施爾畏
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所;上海硅酸鹽研究所中試基地
文檔號(hào)碼:201510536016
技術(shù)研發(fā)日:2015.08.27
技術(shù)公布日:2017.03.08

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