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一種用于晶體生長的新型加熱裝置的制作方法

文檔序號:12168848閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,從中心向外依次包括:坩堝、發(fā)熱體、保溫材料和感應線圈,其中,

所述坩堝用于容納生長晶體的熔體且不具備發(fā)熱功能;

所述發(fā)熱體與所述坩堝相隔開,且接收所述感應線圈的信號來發(fā)熱而作為晶體生長的熱源。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,還包括位于所述坩堝和所述發(fā)熱體之間的填充介質。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,所述坩堝的形狀和尺寸根據(jù)所生長的晶體的形狀和尺寸來確定。

4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,所述坩堝的材質根據(jù)所生長的晶體的種類和生長氣氛來確定。

5.根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,通過調整所述發(fā)熱體的形狀和尺寸來獲得晶體生長所需的溫度場。

6.根據(jù)權利要求1至5中任一項所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,所述發(fā)熱體的材質為能夠接收感應加熱的材料,并根據(jù)所生長的晶體的種類來確定。

7.根據(jù)權利要求1至6中任一項所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,通過調整所述保溫材料的形狀和尺寸來輔助構筑溫度場。

8.根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,通過調整所述填充介質的形狀和尺寸來輔助構筑溫度場。

9.根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的用于晶體生長的加熱裝置,其特征在于,所述加熱裝置用于提拉法、布里奇曼法、泡生法、氣相輸運及其它采用感應加熱方式進行晶體生長的方法。

10.一種具備權利要求1至9中任一項所述用于晶體生長的加熱裝置的晶體生長爐。

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