一種三氟化氯的制備方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種三氟化氯的制備方法及裝置，屬于精細化工領(lǐng)域。所述方法現(xiàn)將氯氣、氟氣和稀釋氣體混合后通入裝有催化劑的反應(yīng)器中，于100～400℃下反應(yīng)，得到產(chǎn)物1；再對產(chǎn)物1進行冷卻、液化、排輕、汽化處理后，得到所述三氟化氯。所述述裝置包括催化反應(yīng)器、低溫收集器、三氟化氯儲罐和真空泵，催化反應(yīng)器、低溫收集器和三氟化氯儲罐通過管道依次連接。所述工藝反應(yīng)溫度低、反應(yīng)的時間短且產(chǎn)品收率高；所述裝置大大縮短了反應(yīng)器的長度、簡化了三氟化氯的生產(chǎn)工藝。
【專利說明】_種三氟化氯的制備方法及裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種三氟化氯的制備方法及裝置，適用于以它適用于以氟氣和氯氣為原料的、催化合成反應(yīng)制備三氟化氯氣體的工業(yè)化生產(chǎn)，屬于精細化工領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】
[0002]三氟化氯是已知化學(xué)性質(zhì)最活潑的鹵素氟化物，是一種能力極強的氟化劑。三氟化氯的沸點是11.5°c，在通常情況下是易于冷凝的氣體，可以按需要選擇氣、液任一狀態(tài)進行反應(yīng)，這是一般氟化劑所不及的。許多金屬氧化物和氯化物加熱時與三氟化氯反應(yīng)生成對應(yīng)的氯化物，利用三氟化氯這一特性，可以制得許多重要的金屬氟化物，尤其是可以用來分離和提純稀有元素。隨著半導(dǎo)體、液晶、太陽能和LED行業(yè)的快速發(fā)展，三氟化氯在其CVD室清洗工藝環(huán)節(jié)得到了廣泛的應(yīng)用，且需求量不斷呈上升之勢，三氟化氯已經(jīng)成為IC行業(yè)的關(guān)鍵特種氣體之一。
[0003]三氟化氯是一種重要的氟化劑，能替代元素氟進行許多反應(yīng)，在工業(yè)領(lǐng)域可以用于如下用途:(I)三氟化氯與鈾反應(yīng)用于鈾的分離提??；(2)作為氟化試劑用于有機物的氟化和金屬氟化物的制備；(3)在航天與軍事領(lǐng)域可以作為火箭或?qū)椀难趸酝七M劑；(4)在半導(dǎo)體、液晶、太陽能和LED工業(yè)中，三氟化氯可用于CVD室的清洗。目前，三氟化氯最主要的用途是用于半導(dǎo)體、液晶、太陽能和LED行業(yè)，與其它含氟氣體(如NF3、C2F6和CF4)不同，三氟化氯在室溫下就能夠與半導(dǎo)體材料進行反應(yīng)，因此它可以清洗冷壁的CVD室，用三氟化氯進行清洗是一種化學(xué)刻蝕過程，不存在等離子體那樣的高能離子轟擊過程，對設(shè)備的損壞可以降到最低限度，同時三氟化氯清洗屬于就地清洗過程，可以減少設(shè)備停機時間，還可以降低顆粒雜質(zhì)的數(shù)量，并減少了操作人員的暴露時間。相比等離子裂解制氟的清洗工藝，三氟化氯清洗工藝簡單而高效，且清洗效果更好。三氟化氯不存在明顯的溫室效應(yīng)，因此其在半導(dǎo)體、液晶、太陽能和LED行業(yè)有著廣闊的應(yīng)用前景。
[0004]由于三氟化氯化學(xué)性質(zhì)活潑，腐蝕性極強，對生產(chǎn)工藝條件的控制和設(shè)備的選材的要求極為苛刻，極大的限制了它的生產(chǎn)、應(yīng)用。三氟化氯的制備方法最早由Ruff和Krug提出的，由氟氣和氯氣反應(yīng)首先生成一氟化氯(式(I))，一氟化氯進一步與氟氣反應(yīng)生成三氟化氯(式(2))，反應(yīng)分兩步進行，需要經(jīng)過兩次的提純分離過程。并且為了提高反應(yīng)效率，第一步反應(yīng)一般需要在400°C左右進行，這使得設(shè)備材料的選擇更為苛刻。而用該方法一步合成三氟化氯時，反應(yīng)效率較低，不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。
[0005]Cl2+F2= 2C1F (I)
[0006]C1F+F2 =ClF3 (2)
[0007]專利RU2223908報道了另一種制備三氟化氯的方法，該方法以固體金屬氯化物(NaCl和/或CaCl2)為原料與氟氣反應(yīng)生成氯氣和一氟化氯(式(3)和/或式(4))，氯氣和一氟化氯進一步與氟氣反應(yīng)生成三氟化氯(式(5))。該專利的優(yōu)點是原料易得，缺點是涉及氣固反應(yīng)，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)復(fù)雜，反應(yīng)的轉(zhuǎn)化率較低，且反應(yīng)需要分步進行，涉及兩次分離、提純過程，工藝操作復(fù)雜。
[0008]3NaCl+2F2= 3NaF+ClF+Cl 2 (3)
[0009]3CaCl2+4F2= 3CaF 2+2ClF+2Cl2 (4)
[0010]C1F+C12+4F2= 3C1Fs (5)
[0011]專利US2006006057報道了另一種制備三氟化氯的方法(式(6)?(9))，該方法以HCl和/或(:12為原料與F 2、即3或SF 6在等離子反應(yīng)器中反應(yīng)生成三氟化氯，并就地用于CVD室的清洗。該專利的優(yōu)點是原料有較多的選擇，缺點是反應(yīng)器結(jié)構(gòu)復(fù)雜，等離子體的溫度太高，反應(yīng)器的腔室材料難以耐受F2、ClF3的腐蝕，導(dǎo)致設(shè)備的損壞，該方法難以實現(xiàn)工業(yè)化的生產(chǎn)和使用。
[0012]C12+2NF3= 2C1F3+N2 (6)
[0013]3HC1+4NF3= 3C1F s+3HF+2N2 (7)
[0014]C12+3SF6= 2C1F3+3SF4 (8)
[0015]HC1+4SF6= 2C1F 3+2HF+4SF4 (9)
[0016]綜上所述，目前所知的三氟化氯制備方法主要存在設(shè)備可靠性低、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、反應(yīng)溫度偏高等問題，制約了三氟化氯的產(chǎn)業(yè)化規(guī)模。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0017]針對現(xiàn)有三氟化氯制備工藝路線中存在的問題，本發(fā)明的目的是提供一種三氟化氯的制備方法，所述方法中采用催化反應(yīng)合成的方法，在催化劑的作用下，氟氣與氯氣反應(yīng)生成一氟化氯的活化能降低，進而降低了一氟化氯的生成溫度、加快了一氟化氯的生成速率，且以一氟化氯進一步與氟氣反應(yīng)生成三氟化氯的反應(yīng)作為速率控制步驟，從而使得氟氣與氯氣反應(yīng)生成三氟化氯的速率加快，產(chǎn)品收率得到了大幅提高；本發(fā)明的目的之二是提供一種三氟化氯的制備裝置，所述裝置采用催化反應(yīng)器取代了傳統(tǒng)的二段式合成反應(yīng)器，將傳統(tǒng)方法中的由氟氣和氯氣反應(yīng)首先生成一氟化氯，一氟化氯進一步與氟氣反應(yīng)生成三氟化氯的兩步反應(yīng)合二為一，并且降低了合成三氟化氯的反應(yīng)溫度，使得生成三氟化氯的反應(yīng)更加安全、穩(wěn)定。
[0018]本發(fā)明的目的由以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0019]一種三氟化氯的制備方法，所述方法具體步驟如下:
[0020](I)將氯氣、氟氣和稀釋氣體混合后通入裝有催化劑的反應(yīng)器中，于100?400°C下反應(yīng)，得到產(chǎn)物I ;
[0021](2)對產(chǎn)物I進行冷卻、液化、排輕、汽化處理后，得到本發(fā)明所述三氟化氯；
[0022]其中，步驟(I)所述的氯氣的流速優(yōu)選0.1?lL/min ;氟氣的流速優(yōu)選0.3?4L/min ;稀釋氣體的流速優(yōu)選0.51?40L/min ；
[0023]所述稀釋氣體優(yōu)選氮氣、氬氣、氦氣和四氟化碳中的一種以上；
[0024]所述催化劑為球型、片型或無定型；催化劑優(yōu)選氟化鈷、氟化鎳、氟化鐵、氟化銀和氟化錳中的一種以上；
[0025]所述反應(yīng)溫度為100?400°C，優(yōu)選200?300°C，反應(yīng)壓力為-0.09?0.6MPa，優(yōu)選-0.04 ?0.3MPa ；
[0026]步驟⑵所述冷卻、液化和排輕過程在低溫收集器中進行；
[0027]所述液化參數(shù):溫度為-100 °C?O °C，優(yōu)選-60 °C?-30 °C，壓力為-0.09MPa?0.6MPa，優(yōu)選為 OMPa ?0.2MPa。
[0028]所述汽化溫度優(yōu)選20?40°C ;
[0029]—種三氟化氯的制備裝置，所述裝置包括催化反應(yīng)器、低溫收集器、三氟化氯儲罐和真空泵；
[0030]其中，催化反應(yīng)器為管式反應(yīng)器，其上設(shè)置有進氣管道，進氣管道包括氟氣管道、氯氣管道和稀釋氣體管道；低溫收集器上布置常壓排空管和真空排空管，在真空排空管的出口端安裝有真空泵；
[0031]整體連接關(guān)系為:
[0032]所述催化反應(yīng)器、低溫收集器和三氟化氯儲罐通過管道依次連接；具體為:催化反應(yīng)器與低溫收集器通過連接管道一連接；低溫收集器與三氟化氯儲罐通過連接管道二連接;
[0033]其中，所述催化反應(yīng)器的構(gòu)成材料為鎳或蒙乃爾合金，優(yōu)選鎳；
[0034]所述的低溫收集器的構(gòu)成材料為不銹鋼、碳鋼、銅、鎳和蒙乃爾合金中的一種，優(yōu)選不銹鋼；
[0035]管道的構(gòu)成材料為不銹鋼、碳鋼、銅、鎳或蒙乃爾合金，優(yōu)選碳鋼或不銹鋼。
[0036]工作原理為:
[0037]首先由真空泵對裝置的各部件進行抽真空預(yù)處理；再用稀釋氣體吹掃、置換系統(tǒng)內(nèi)殘留的空氣和水分；然后，將氟氣、氯氣和稀釋氣體分別由各自管線通入催化反應(yīng)器中進行三氟化氯合成反應(yīng)，催化反應(yīng)器的溫度控制在100?400°C，反應(yīng)壓力為-0.09?0.6Mpa ;反應(yīng)后的氣體進入低溫收集器，低溫液化三氟化氯，液相三氟化氯收儲于低溫收集器中，未液化的低沸點氣體雜質(zhì)通過排空管路和/或送至尾氣處理系統(tǒng)，經(jīng)無害化處理后放空。低溫收集罐中的收儲的三氟化氯可通過管道轉(zhuǎn)入三氟化氯儲罐中。
[0038]有益效果
[0039](I)本發(fā)明所述三氟化氯制備方法以氟氣、氯氣為原料，采用易得到的金屬氟化物為催化劑制備三氟化氯。有效的降低了反應(yīng)的溫度，避免了過高的溫度條件(>300°C )下強腐蝕性氣體(氟氣、一氟化氯、三氟化氯)對材質(zhì)的腐蝕；大大縮短了反應(yīng)器的長度、簡化了三氟化氯的生產(chǎn)工藝，縮短了反應(yīng)的時間，且反應(yīng)條件溫和，產(chǎn)品收率高。
[0040](2)本發(fā)明所述三氟化氯制備方法采用催化反應(yīng)合成的方法，在催化劑的作用下，氟氣與氯氣反應(yīng)生成一氟化氯的活化能降低，進而降低了一氟化氯的生成溫度、加快了一氟化氯的生成速率，且以一氟化氯進一步與氟氣反應(yīng)生成三氟化氯的反應(yīng)作為速率控制步驟，從而使得氟氣與氯氣反應(yīng)生成三氟化氯的速率加快，產(chǎn)品收率得到了大幅提高；所制備的三氟化氯氣體的純度不低于95.0%，氟化氫的含量小于0.2%，該氣體既能直接作為工業(yè)氣體使用，也可以進一步提純精制成高純度三氟化氯。
[0041](3)本發(fā)明所述裝置采用催化反應(yīng)器取代了傳統(tǒng)的二段式合成反應(yīng)器，將傳統(tǒng)方法中的由氟氣和氯氣反應(yīng)首先生成一氟化氯，一氟化氯進一步與氟氣反應(yīng)生成三氟化氯的兩步反應(yīng)合二為一，并且降低了合成三氟化氯的反應(yīng)溫度，使得生成三氟化氯的反應(yīng)更加安全、穩(wěn)定。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0042]圖1為本發(fā)明所述三氟化氯的制備裝置示意圖；
[0043]1-氟氣管道，2-氯氣管道，3-稀釋氣體管道，4-催化反應(yīng)器，5-連接管道一，6_低溫收集器，7-連接管道二，8-三氟化氯儲罐，9-常壓排空管，10-真空泵，11-真空排空管。

【具體實施方式】
[0044]下面以具體實施例來詳述本發(fā)明，但不限于此。
[0045]實施例1
[0046]一種三氟化氯的制備裝置示意圖如圖1所示，所述裝置包括催化反應(yīng)器4、低溫收集器6、三氟化氯儲罐8和真空泵10 ;
[0047]其中，催化反應(yīng)器4上設(shè)置有進氣管道，進氣管道包括氟氣管道1、氯氣管道2和稀釋氣體管道3 ;低溫收集器上布置排空管道，排空管道包括常壓排空管9和真空排空管11，在真空排空管11的出口端安裝有真空泵10 ；
[0048]整體連接關(guān)系為:
[0049]所述催化反應(yīng)器4與低溫收集器6通過連接管道一 5連接；低溫收集器6與三氟化氯儲罐8通過連接管道二 7連接；
[0050]所述的低溫收集器和管道的構(gòu)成材料均為不銹鋼。
[0051]工作原理為:
[0052]首先由真空泵10對裝置的各部件進行抽真空預(yù)處理；再用稀釋氣體吹掃、置換系統(tǒng)內(nèi)殘留的空氣和水分；然后，將氟氣、氯氣和稀釋氣體分別由各自管線通入催化反應(yīng)器4中進行三氟化氯合成反應(yīng)，催化反應(yīng)器4的溫度控制在100?400°C，反應(yīng)壓力為-0.09?
0.6MPa。反應(yīng)后的氣體通過連接管道5進入低溫收集器6，低溫液化三氟化氯，液相三氟化氯收儲于低溫收集器6中，未液化的低沸點氣體雜質(zhì)通過排空管路和/或送至尾氣處理系統(tǒng)，經(jīng)無害化處理后放空。低溫收集器6中的收儲的三氟化氯可通過連接管道7轉(zhuǎn)入三氟化氯儲罐8中。
[0053]實施例2
[0054]—種三氟化氯的制備方法，所述方法具體步驟如下:
[0055](I)將直徑為10?20mm的氟化鈷小球裝入反應(yīng)器中，首先由真空泵對裝置的各部件進行抽真空預(yù)處理；再用稀釋氣體吹掃、置換系統(tǒng)內(nèi)殘留的空氣和水分；將氯氣、氟氣、和氮氣分別以0.lL/min、0.3L/min、和1.2L/min的流速通入催化反應(yīng)器中，設(shè)置催化反應(yīng)器的操作壓力為0.6MPa，于400°C下反應(yīng)，得到產(chǎn)物I ;
[0056](2)將產(chǎn)物I通入液化收集器，設(shè)置液化收集器的操作壓力為0.6MPa，于0°C下冷卻、液化，低沸點氣體雜質(zhì)通過排空管路送至尾氣處理系統(tǒng)，經(jīng)無害化處理后放空。20h后，停止通入氯氣和氟氣，停止反應(yīng)器的加熱。關(guān)閉三氟化氯收集罐的進出口閥門，用氮氣和真空處理反應(yīng)系統(tǒng)，減少腐蝕性氣體對設(shè)備、管道、閥門儀表的腐蝕。將低溫收集器升溫至40 °C將三氟化氯氣體汽化后通過管道壓入三氟化氯儲罐中保存。
[0057]三氟化氯收率為82 %，經(jīng)對收集的三氟化氯分析，其純度為98 %，其中，氟化氫含量為 1000X l(T6mg/m3，氮氣含量為 500 X l(T6mg/m3。
[0058]當反應(yīng)條件相同，不裝填催化劑氟化鈷時，三氟化氯的收率〈15%。
[0059]其中，所述催化反應(yīng)器的構(gòu)成材料為蒙乃爾合金，反應(yīng)器的直徑為100mm，高為800mm,內(nèi)部裝有蒙乃爾制的盤管加熱；
[0060]所述氯氣純度為99%，其中氫氣含量為200X l(T6mg/m3，水分含量為50X l(T6mg/m3;氟氣純度為99%，其中氟化氫含量為500 X 10 <mg/m3。
[0061]實施例3
[0062]—種三氟化氯的制備方法，所述方法具體步驟如下:
[0063](I)將直徑為10?20mm的氟化鎳小球裝入反應(yīng)器中，首先由真空泵對裝置的各部件進行抽真空預(yù)處理；再用稀釋氣體吹掃、置換系統(tǒng)內(nèi)殘留的空氣和水分；將氯氣、氟氣、和氦氣分別以lL/min、4L/min、和40L/min的流速通入催化反應(yīng)器中，設(shè)置催化反應(yīng)器的操作壓力為-0.09MPa，于100°C下反應(yīng)，得到產(chǎn)物I ;
[0064](2)將產(chǎn)物I通入液化收集器，設(shè)置液化收集器的操作壓力為-0.09MPa，于_100°C下冷卻、液化，低沸點氣體雜質(zhì)通過排空管路送至尾氣處理系統(tǒng)，經(jīng)無害化處理后放空。3h后，停止通入氯氣和氟氣，停止反應(yīng)器的加熱。關(guān)閉三氟化氯收集罐的進出口閥門，用氮氣和真空處理反應(yīng)系統(tǒng)，減少腐蝕性氣體對設(shè)備、管道、閥門儀表的腐蝕。將低溫收集器升溫至20°C將三氟化氯氣體汽化后通過管道壓入三氟化氯儲罐中保存。
[0065]三氟化氯的收率為92 %，經(jīng)對收集的三氟化氯分析，其純度為96 %，其中，其中，氟化氫含量為1900X l(T6mg/m3，氮氣含量為800 X l(T6mg/m3。
[0066]當反應(yīng)條件相同，不裝填催化劑氟化鎳時，三氟化氯的收率為23%。
[0067]其中，所述催化反應(yīng)器的構(gòu)成材料為镲，反應(yīng)器的直徑為100mm，高為800mm，內(nèi)部裝有蒙乃爾制的盤管加熱。。
[0068]所述氯氣純度為98%，其中氫氣含量為500X 10_6mg/m3，水分含量為200X 10_6mg/m3;氟氣純度為99%，其中氟化氫含量為500 X 10 <mg/m3。
[0069]實施例4
[0070]一種三氟化氯的制備方法，所述方法具體步驟如下:
[0071](I)將直徑為10?20mm的氟化銀小球裝入反應(yīng)器中，首先由真空泵對裝置的各部件進行抽真空預(yù)處理；再用稀釋氣體吹掃、置換系統(tǒng)內(nèi)殘留的空氣和水分；將氯氣、氟氣、和氬氣分別以0.5L/min、lL/min、和0.51L/min的流速通入催化反應(yīng)器中，設(shè)置催化反應(yīng)器的操作壓力為-0.02MPa，于260°C下反應(yīng)，得到產(chǎn)物I ;
[0072](2)將產(chǎn)物I通入液化收集器，設(shè)置液化收集器的操作壓力為0.03MPa，于_40°C下冷卻、液化，低沸點氣體雜質(zhì)通過排空管路送至尾氣處理系統(tǒng)，經(jīng)無害化處理后放空。1h后，停止通入氯氣和氟氣，停止反應(yīng)器的加熱。關(guān)閉三氟化氯收集罐的進出口閥門，用氮氣和真空處理反應(yīng)系統(tǒng)，減少腐蝕性氣體對設(shè)備、管道、閥門儀表的腐蝕。將低溫收集器升溫至30°C將三氟化氯氣體汽化后通過管道壓入三氟化氯儲罐中保存。
[0073]三氟化氯的收率為91 %，經(jīng)對收集的三氟化氯分析，其純度為97 %，其中，氟化氫的含量為 1300 X l(T6mg/m3，氮氣含量 400 X l(T6mg/m3。
[0074]當反應(yīng)條件相同，不裝填催化劑氟化鎳時，三氟化氯的收率為23%。
[0075]其中，所述催化反應(yīng)器的構(gòu)成材料為镲，反應(yīng)器的直徑為100mm，高為800mm，內(nèi)部裝有蒙乃爾制的盤管加熱。
[0076]所述氯氣純度為99%，其中氫氣含量為500X 10-6mg/m3，水分含量為100Xl(T6mg/m3;氟氣純度為99%，其中氟化氫含量為600 X 10 <mg/m3。
[0077]當反應(yīng)條件相同，不裝填催化劑氟化銀時，三氟化氯的收率為27%。
[0078]本發(fā)明包括但不限于以上實施例，凡是在本發(fā)明精神的原則之下進行的任何等同替換或局部改進，都將視為在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種三氟化氯的制備方法，其特征在于:所述方法具體步驟如下: (1)將氯氣、氟氣和稀釋氣體混合后通入裝有催化劑的反應(yīng)器中，于100?4001:下反應(yīng)，得到產(chǎn)物1 ； (2)對產(chǎn)物1進行冷卻、液化、排輕、汽化處理后，得到所述三氟化氯。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氟化氯的制備方法，其特征在于:步驟(1)所述的氯氣的流速為0.1?117111111 ；氟氣的流速為0.3?禮/—!!；稀釋氣體的流速為0.51?401/111111 ； 反應(yīng)壓力為-0.09?0.61？8 ； 所述稀釋氣體為氮氣、氬氣、氦氣和四氟化碳中的一種以上； 所述催化劑為氟化鈷、氟化鎳、氟化鐵、氟化銀和氟化錳中的一種以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種三氟化氯的制備方法，其特征在于:所述反應(yīng)溫度為200?3001:；反應(yīng)壓力為-0.04?0.31？^ ；所述催化劑為球型、片型或無定型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三氟化氯的制備方法，其特征在于:步驟(2)所述液化參數(shù):溫度為-100?0。〇；壓力為-0.09?0.61？3 ； 所述汽化溫度為20?401。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種三氟化氯的制備方法，其特征在于:所述液化參數(shù):溫度為-60?-30 X:；壓力為0?0.21？80
6.一種如權(quán)利要求1所述的三氟化氯的制備方法采用的裝置，其特征在于:所述裝置包括催化反應(yīng)器(4)、低溫收集器￠)、三氟化氯儲罐(8)和真空泵(10)； 其中，催化反應(yīng)器(4)上設(shè)置有進氣管道，進氣管道包括氟氣管道(1)、氯氣管道(2)和稀釋氣體管道⑶；低溫收集器(6)上布置排空管道，排空管道包括常壓排空管(9)和真空排空管(11),在真空排空管(11)的出口端安裝有真空泵(10)； 整體連接關(guān)系為: 所述催化反應(yīng)器(4)與低溫收集器(6)通過連接管道一(5)連接；低溫收集器(6)與三氟化氯儲罐(8)通過連接管道二(7)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種三氟化氯的制備方法采用的裝置，其特征在于:所述催化反應(yīng)器(4)的構(gòu)成材料為鎳和蒙乃爾合金中的一種；所述的低溫收集器(6)的構(gòu)成材料為不銹鋼、碳鋼、銅、鎳和蒙乃爾合金中的一種；所述連接管道一(5)和連接管道二(7)的構(gòu)成材料均為不銹鋼、碳鋼、銅、鎳和蒙乃爾合金中的一種。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的一種三氟化氯的制備方法采用的裝置，其特征在于:所述催化反應(yīng)器(4)的構(gòu)成材料為鎳；所述的低溫收集器￠)的構(gòu)成材料為不銹鋼；所述連接管道一(5)和連接管道二(7)的構(gòu)成材料均為不銹鋼和碳鋼中的一種。
【文檔編號】C01B7/24GK104477850SQ201410719666
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年12月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月2日
【發(fā)明者】劉智慧, 王新喜, 李翔宇, 孟祥軍, 柳彤, 蔣玉貴, 冀延治, 紀振紅 申請人:中國船舶重工集團公司第七一八研究所