本發(fā)明涉及拋光墊，詳細(xì)而言，涉及用于對半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體器件、硅晶片、硬盤、玻璃基板、光學(xué)產(chǎn)品或各種金屬等進(jìn)行拋光的拋光墊。

背景技術(shù)：

作為用于對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行鏡面加工、對半導(dǎo)體器件的絕緣膜、導(dǎo)電體膜的表面進(jìn)行平坦化的拋光方法，已知有化學(xué)機(jī)械拋光(cmp)。cmp是使用含有磨料及反應(yīng)液的拋光漿料(以下也簡稱為漿料)通過拋光墊對晶片等被拋光材料的表面進(jìn)行拋光的方法。

以往，作為cmp用的拋光墊，廣泛使用了無紡布型的拋光墊。無紡布型的拋光墊是包含含浸有聚氨酯的無紡布的柔軟拋光墊。由于無紡布型的拋光墊柔軟，因此具有與被拋光材料的接觸性良好的優(yōu)點。另外，由于在無紡布中具有空隙，因此還具有漿料的保持性良好的優(yōu)點。另一方面，由于無紡布型的拋光墊柔軟，因此具有對被拋光面進(jìn)行平坦化的性能(稱為平坦性)差的缺點。另外，無紡布型的拋光墊具有在無紡布的空隙被磨料、拋光屑堵塞時容易在被拋光面產(chǎn)生擦痕的缺點。另外，在磨料、拋光屑進(jìn)入無紡布的空隙深處時，無法通過清洗而充分地除去，由此，也存在壽命縮短的缺點。

另外，作為與無紡布型的拋光墊不同類型的拋光墊，已知有以具有閉孔氣泡結(jié)構(gòu)的高分子發(fā)泡體為主體的拋光墊。與無紡布型的拋光墊相比，以高分子發(fā)泡體為主體的拋光墊具有高剛性，因此平坦性優(yōu)異。另外，由于以高分子發(fā)泡體為主體的拋光墊具有閉孔氣泡結(jié)構(gòu)，因此，磨料、拋光屑不容易如無紡布型的拋光墊那樣進(jìn)入空隙深處。因此，通過清洗進(jìn)行的磨料、拋光屑的除去比較容易，因此壽命較長。作為以高分子發(fā)泡體為主體的拋光墊，已知例如下述專利文獻(xiàn)1～6中公開的、具備將雙組分固化型聚氨酯進(jìn)行注塑發(fā)泡成型而得到的發(fā)泡聚氨酯成型體作為拋光層的拋光墊。從耐磨損性優(yōu)異的觀點考慮，優(yōu)選使用發(fā)泡聚氨酯成型體作為拋光層。

在半導(dǎo)體器件中，集成電路被高集成化及多層布線化。對于半導(dǎo)體器件的平坦化加工所使用的拋光墊而言，要求更高的平坦性。平坦性高的拋光墊是應(yīng)拋光部分的拋光速度快、不應(yīng)拋光部分的拋光速度慢的拋光墊。對平坦性高的拋光墊要求高硬度。具備發(fā)泡聚氨酯成型體作為拋光層的拋光墊的拋光層硬度較高，因此平坦性高。

近年來，隨著半導(dǎo)體器件的進(jìn)一步高集成化及多層布線化，要求具有更高平坦性的拋光墊。在使用具備發(fā)泡聚氨酯成型體作為拋光層的拋光墊的情況下，難以實現(xiàn)拋光層的進(jìn)一步高硬度化所帶來的高平坦性。另外，為了提供具有更高平坦性的拋光墊，例如下述專利文獻(xiàn)7及8公開了一種以無發(fā)泡樹脂為主體的高硬度的拋光墊。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2000-178374號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2000-248034號公報

專利文獻(xiàn)3：日本特開2001-89548號公報

專利文獻(xiàn)4：日本特開平11-322878號公報

專利文獻(xiàn)5：日本特開2002-371154號公報

專利文獻(xiàn)6：國際公開第2007/034980號公報

專利文獻(xiàn)7：日本特開2014-038916號公報

專利文獻(xiàn)8：日本特開2009-101487號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

在用于cmp的拋光墊中，通常形成有槽、孔(以下將其統(tǒng)一簡稱為凹部)，所述槽、孔用于使?jié){料均勻且充分地供給于被拋光材料的被拋光面。這樣的凹部也有助于排出導(dǎo)致擦痕產(chǎn)生原因的拋光屑、防止拋光墊的吸附所導(dǎo)致的晶片破損。

在以非多孔性樹脂(無發(fā)泡樹脂)為主體的高硬度拋光層的拋光面形成了凹部時，存在由于被拋光材料或調(diào)節(jié)器長時間反復(fù)接觸于凹部的角部(端部、肩部)而在角部經(jīng)時地產(chǎn)生毛刺的問題。而且，產(chǎn)生的毛刺使凹部逐漸堵塞而使?jié){料的供給量逐漸降低。其結(jié)果是存在使拋光速度、拋光均勻性逐漸降低的問題。

本發(fā)明的目的在于提供一種拋光墊的拋光層，所述拋光墊的拋光層能夠抑制在形成于拋光面的凹部的角部產(chǎn)生毛刺。

用于解決課題的技術(shù)方案

本發(fā)明人等注意到，在使用反彈性低且高韌性的熱塑性聚氨酯的成型體作為拋光層的情況下，通過反復(fù)賦予凹部的角部的力，可使熱塑性聚氨酯容易伸長，容易產(chǎn)生毛刺。另外，獲得了如下見解：在使用具有相容性良好的軟鏈段和硬鏈段的熱塑性聚氨酯的情況下，不易產(chǎn)生毛刺?；谶@樣的見解，本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)了一種不易產(chǎn)生毛刺且反彈性和韌性適度的特定的熱塑性聚氨酯，從而想到了本發(fā)明。

即，本發(fā)明的一個方面為一種拋光層用非多孔性成型體(以下，也簡稱為非多孔性成型體)，其是熱塑性聚氨酯的非多孔性成型體，其中，熱塑性聚氨酯在-70～-50℃范圍的損耗角正切(tanδ)的最大值為4.00×10^-2以下。在將這樣的非多孔性成型體用作拋光層時，即使長時間進(jìn)行cmp拋光，也不易在形成于拋光面的凹部的角部產(chǎn)生毛刺。本發(fā)明人等推測對于使用了這樣的非多孔性成型體作為拋光層的拋光墊而言能夠抑制毛刺的產(chǎn)生的機(jī)理如下。低溫區(qū)域的tanδ值高的熱塑性聚氨酯容易變形，為高韌性。拋光面例如由于與調(diào)節(jié)器的金剛石粒子接觸而受到高頻率的沖擊。拋光墊對高頻率沖擊的衰減特性與低溫區(qū)域的tanδ相關(guān)。低溫區(qū)域的tanδ值低的熱塑性聚氨酯的耐沖擊性低，韌性低，而且脆。因此，在產(chǎn)生毛刺之前，通過在凹部的角部中磨損熱塑性聚氨酯，可以抑制毛刺的產(chǎn)生。而且，采用抑制了毛刺產(chǎn)生的拋光層，可以對整個拋光面長時間均勻地供給漿料。因此，在晶片等被拋光材料的被拋光面上，使各部位的拋光速度變得均勻。其結(jié)果是可以實現(xiàn)拋光均勻性優(yōu)異拋光。

另外，熱塑性聚氨酯可以通過使數(shù)均分子量650～1400的高分子二醇、有機(jī)二異氰酸酯和擴(kuò)鏈劑聚合而得到，且來自于有機(jī)二異氰酸酯的異氰酸酯基的氮的含有比例優(yōu)選為5.7～6.5質(zhì)量％。在這樣的情況下，容易獲得-70～-50℃范圍的損耗角正切的最大值為4.00×10^-2以下、且軟鏈段與硬鏈段的相容性高的熱塑性聚氨酯，因此優(yōu)選。

另外，優(yōu)選熱塑性聚氨酯的厚度0.5mm的片對波長660nm的激光的激光透射率為70％以上。這樣的熱塑性聚氨酯的軟鏈段與硬鏈段的相容性高。采用這樣的熱塑性聚氨酯，容易得到-70～-50℃范圍的損耗角正切的最大值為4.00×10^-2以下的熱塑性聚氨酯的非多孔性成型體。另外，由于激光透射率為70％以上，因此從適于使用了光學(xué)方法的檢查的觀點考慮，優(yōu)選上述熱塑性聚氨酯，所述光學(xué)方法是一邊對晶片等被拋光材料的被拋光面進(jìn)行拋光，一邊確定拋光終點、進(jìn)行被拋光材料的檢查的光學(xué)方法。

另外，從能夠得到具有在拋光時不易產(chǎn)生擦痕程度的高硬度的拋光層的觀點考慮，優(yōu)選用50℃的溫水使熱塑性聚氨酯飽和溶脹后的拉伸彈性模量為130～800mpa。在拋光墊的硬度經(jīng)時降低的情況下，存在平坦性降低、拋光效率降低的傾向。

另外，從不易產(chǎn)生擦痕的觀點考慮，優(yōu)選熱塑性聚氨酯的片與水的接觸角為80度以下。

另外，對于熱塑性聚氨酯而言，從在拋光中拋光特性不易發(fā)生經(jīng)時變化的觀點考慮，優(yōu)選拉伸彈性模量的水飽和溶脹時保持率為55％以上，所述拉伸彈性模量的水飽和溶脹時保持率由下式：a/b×100(a為用50℃的溫水使其飽和溶脹時的拉伸彈性模量，b為未使其飽和溶脹時的拉伸彈性模量)算出。

另外，本發(fā)明的另一方面為一種拋光墊，其含有上述任意拋光層用非多孔性成型體作為拋光層。根據(jù)這樣的拋光墊，可以實現(xiàn)拋光均勻性優(yōu)異的拋光。

另外，從能夠形成全局平坦性(整體的平坦性)與局部平坦性(局部的平坦性)的平衡性優(yōu)異的被拋光面的觀點考慮，優(yōu)選拋光墊包含上述拋光層和緩沖層，所述緩沖層疊層于拋光層且具有比拋光層的硬度更低的硬度。

另外，本發(fā)明的另一方面為使用了上述拋光墊的化學(xué)機(jī)械拋光方法。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，即使通過長時間的cmp拋光，也可得到在形成于拋光面的凹部的角部不易產(chǎn)生毛刺的拋光層。

附圖說明

圖1是說明使用了拋光墊的cmp的說明圖。

圖2是使用實施例1中制造的拋光墊進(jìn)行了8小時加速修整試驗后的拋光層的剖面的掃描電子顯微鏡(sem)照片。

圖3是使用比較例3中制造的拋光墊進(jìn)行了8小時加速修整試驗后的拋光層的剖面的sem照片。

圖4是示出實施例1及比較例3中使用的熱塑性聚氨酯的包含70～-50℃范圍的損耗角正切(tanδ)的測定結(jié)果的圖表。

符號說明

10拋光墊

11旋轉(zhuǎn)平臺

12漿料供給噴嘴

13托板

14墊調(diào)節(jié)器

15被拋光材料

16拋光漿料

20cmp裝置

具體實施方式

以下，對本發(fā)明的一個實施方式的拋光層用非多孔性成型體、拋光墊及拋光方法進(jìn)行詳細(xì)說明。

本實施方式的拋光層用非多孔性成型體為熱塑性聚氨酯的非多孔性成型體(無發(fā)泡性成型體)，是在-70～-50℃范圍的損耗角正切(tanδ)的最大值為4.00×10^-2以下的成型體。

對于本實施方式的熱塑性聚氨酯而言，在-70～-50℃范圍的損耗角正切的最大值為4.00×10^-2以下，優(yōu)選為3.50×10^-2以下，進(jìn)一步優(yōu)選為3.00×10^-2以下。這樣的熱塑性聚氨酯為軟鏈段與硬鏈段的相容性高、反彈性高、韌性低的熱塑性聚氨酯。在熱塑性聚氨酯的-70～-50℃范圍的損耗角正切最大值的上限超過4.00×10^-2時，成為反彈性低、韌性高的熱塑性聚氨酯。在該情況下，在拋光中容易在形成于拋光面的凹部的角部(端部、肩部)產(chǎn)生毛刺。其結(jié)果是拋光效率降低。另外，熱塑性聚氨酯的-70～-50℃范圍的損耗角正切優(yōu)選為2.00×10^-2以上。在這樣的情況下，能夠得到反彈性、韌性及硬度適度的熱塑性聚氨酯。其結(jié)果是具有拋光均勻性提高的傾向。

-70～-50℃范圍的損耗角正切的最大值為4.00×10^-2以下的熱塑性聚氨酯可以使用下述熱塑性聚氨酯來得到，所述熱塑性聚氨酯例如通過使數(shù)均分子量650～1400的高分子二醇、有機(jī)二異氰酸酯和擴(kuò)鏈劑聚合而得到，且來自于氨基甲酸酯鍵的氮的含有比例為5.7～6.5質(zhì)量％。

熱塑性聚氨酯的聚合所使用的高分子二醇的數(shù)均分子量優(yōu)選為650～1400，進(jìn)一步優(yōu)選為800～1200，特別優(yōu)選為800～1000。在高分子二醇的數(shù)均分子量過低的情況下，存在硬度、拉伸彈性模量降低、拋光層的平坦性降低的傾向。另一方面，在高分子二醇的數(shù)均分子量過高的情況下，軟鏈段與硬鏈段發(fā)生相分離，損耗角正切的最大值超過4.00×10^-2，容易得到低反彈性且高韌性的熱塑性聚氨酯。其結(jié)果是容易在拋光中于凹部的角部產(chǎn)生毛刺。需要說明的是，高分子二醇的數(shù)均分子量是基于按照jisk1557測定的羥值而計算出的數(shù)均分子量。

作為高分子二醇，可以列舉例如：聚醚二醇、聚酯二醇、聚碳酸酯二醇等。

作為聚醚二醇，可以列舉例如：聚乙二醇、聚丙二醇、聚四亞甲基二醇、聚甲基四亞甲基二醇、聚氧丙二醇、甘油基質(zhì)聚亞烷基醚二醇等。這些二醇可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。其中，特別優(yōu)選聚乙二醇、聚四亞甲基二醇。

另外，作為聚酯二醇，可舉出使二羧酸或其酯、酸酐等酯形成性衍生物與低分子二醇直接進(jìn)行酯化反應(yīng)或酯交換反應(yīng)而得到的聚酯二醇。

作為二羧酸，可以列舉例如：草酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、十二烷二酸、2-甲基琥珀酸、2-甲基己二酸、3-甲基己二酸、3-甲基戊二酸、2-甲基辛二酸、3,8-二甲基癸二酸、3,7-二甲基癸二酸等碳原子數(shù)2～12的脂肪族二羧酸；將通過甘油三酯的分餾而得到的不飽和脂肪酸進(jìn)行二聚化所形成的碳原子數(shù)14～48的二聚化脂肪族二羧酸(二聚酸)及它們的氫化物(氫化二聚酸)等脂肪族二羧酸；1,4-環(huán)己烷二羧酸等脂環(huán)族二羧酸；對苯二甲酸、間苯二甲酸、鄰苯二甲酸等芳香族二羧酸等。另外，作為二聚酸及氫化二聚酸，可以列舉：uniqema公司制造的商品名“pripol1004”、“pripol1006”、“pripol1009”、“pripol1013”等。這些二羧酸可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。

另外，作為低分子二醇的具體例子，可以列舉例如：乙二醇、1,3-丙二醇、1,2-丙二醇、2-甲基-1,3-丙二醇、1,4-丁二醇、新戊二醇、1,5-戊二醇、3-甲基-1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇、1,8-辛二醇、2-甲基-1,8-辛二醇、1,9-壬二醇、1,10-癸二醇等脂肪族二醇；環(huán)己烷二甲醇、環(huán)己烷二醇等脂環(huán)族二醇等。這些二醇可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。其中，優(yōu)選碳原子數(shù)6～12的二醇，進(jìn)一步優(yōu)選碳原子數(shù)8～10的二醇，特別優(yōu)選碳原子數(shù)9的二醇。

作為聚碳酸酯二醇，可以舉出使碳酸酯化合物與低分子二醇反應(yīng)而得到的聚碳酸酯二醇。

作為碳酸酯化合物的具體例子，可以列舉例如：碳酸二甲酯、碳酸二乙酯等碳酸二烷基酯、碳酸亞乙酯等碳酸亞烷基酯、碳酸二苯酯等碳酸二芳酯等。另外，作為低分子二醇，可以舉出與上述低分子二醇相同的低分子二醇。這些物質(zhì)可以分別單獨使用，也可以組合2種以上使用。

高分子二醇可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。其中，從親水性優(yōu)異的觀點考慮，特別優(yōu)選包含：選自聚乙二醇、聚四亞甲基二醇中的聚醚二醇；選自聚(九亞甲基己二酸酯)、聚(2-甲基-1,8-八亞甲基己二酸酯)、聚(2-甲基-1,8-八亞甲基-共-九亞甲基己二酸酯)、聚(甲基戊烷己二酸酯)中的聚酯二醇；或者選自它們的衍生物中的至少1種。

作為熱塑性聚氨酯的聚合所使用的有機(jī)二異氰酸酯，可以沒有特別限定地使用目前用于熱塑性聚氨酯的聚合的有機(jī)二異氰酸酯。作為其具體例子，可以列舉例如：亞乙基二異氰酸酯、四亞甲基二異氰酸酯、五亞甲基二異氰酸酯、六亞甲基二異氰酸酯、2,2,4-或2,4,4-三甲基六亞甲基二異氰酸酯、十二亞甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、異丙叉雙(4-環(huán)己基異氰酸酯)、環(huán)己基甲烷二異氰酸酯、甲基環(huán)己烷二異氰酸酯、4,4’-二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯、賴氨酸二異氰酸酯、2,6-二異氰酸基甲基己酸酯、雙(2-異氰酸基乙基)富馬酸酯、雙(2-異氰酸基乙基)碳酸酯、2-異氰酸基乙基-2,6-二異氰酸基己酸酯、環(huán)己撐二異氰酸酯、甲基環(huán)己撐二異氰酸酯、雙(2-異氰酸基乙基)-4-環(huán)己烯等脂肪族或脂環(huán)族二異氰酸酯；2,4’-或4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯、2,4-或2,6-甲苯二異氰酸酯、間或?qū)Ρ蕉惽杷狨?、間或?qū)Ρ蕉喖谆惽杷狨ァ?,5-萘二異氰酸酯、4,4’-二異氰酸基聯(lián)苯、3,3’-二甲基-4,4’-二異氰酸基聯(lián)苯、3,3’-二甲基-4,4’-二異氰酸基二苯基甲烷、氯亞苯基-2,4-二異氰酸酯、四甲基苯二亞甲基二異氰酸酯等芳香族二異氰酸酯。這些二異氰酸酯可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。其中，從能夠獲得耐磨損性優(yōu)異的拋光層的觀點考慮，優(yōu)選為選自4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯、2,4-甲苯二異氰酸酯、2,6-甲苯二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯中的至少1種，特別優(yōu)選為4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯。

作為在熱塑性聚氨酯的聚合中使用的擴(kuò)鏈劑，可以舉出目前用于熱塑性聚氨酯的聚合、且分子中具有2個以上可與異氰酸酯基反應(yīng)的活潑氫原子的、優(yōu)選分子量為300以下的低分子化合物。作為其具體例子，可以列舉例如：乙二醇、二乙二醇、丙二醇、2,2’-二乙基-1,3-丙二醇、1,2-丁二醇、1,3-丁二醇、2,3-丁二醇、1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、新戊二醇、1,6-己二醇、3-甲基-1,5-戊二醇、1,4-雙(β-羥基乙氧基)苯、1,4-環(huán)己二醇、雙-(β-羥基乙基)對苯二甲酸酯、1,9-壬二醇、間二甲苯二醇、對二甲苯二醇等二醇類；乙二胺、三亞甲基二胺、四亞甲基二胺、六亞甲基二胺、七亞甲基二胺、八亞甲基二胺、九亞甲基二胺、十亞甲基二胺、十一亞甲基二胺、十二亞甲基二胺、2,2’,4-三甲基六亞甲基二胺、2,4,4’-三甲基六亞甲基二胺、3-甲基五亞甲基二胺、1,2-環(huán)己二胺、1,3-環(huán)己二胺、1,4-環(huán)己二胺、1,2-二氨基丙烷、1,3-二氨基丙烷、肼、二甲苯二胺、異佛爾酮二胺、哌嗪、鄰苯二胺、間苯二胺、對苯二胺、甲苯二胺、二甲苯二胺、己二酸二酰肼、間苯二甲酸二酰肼、4,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基醚、4,4’-雙(4-氨基苯氧基)聯(lián)苯、4,4’-雙(3-氨基苯氧基)聯(lián)苯、1,4’-雙(4-氨基苯氧基)苯、1,3’-雙(4-氨基苯氧基)苯、1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯、3,4-二氨基二苯基醚、4,4’-二氨基二苯基砜、3,4-二氨基二苯基砜、3,3’-二氨基二苯基砜、4,4’-亞甲基-雙(2-氯苯胺)、3,3’-二甲基-4,4’-二氨基聯(lián)苯、4,4’-二氨基二苯基硫醚、2,6-二氨基甲苯、2,4-二氨基氯苯、1,2-二氨基蒽醌、1,4-二氨基蒽醌、3,3’-二氨基二苯甲酮、3,4-二氨基二苯甲酮、4,4’-二氨基二苯甲酮、4,4’-二氨基聯(lián)芐、r(+)-2,2’-二氨基-1,1’-聯(lián)二萘、s(+)-2,2’-二氨基-1,1’-聯(lián)二萘、1,3-雙(4-氨基苯氧基)鏈烷、1,4-雙(4-氨基苯氧基)鏈烷、1,5-雙(4-氨基苯氧基)鏈烷等1,n-雙(4-氨基苯氧基)鏈烷(n為3～10)、1,2-雙[2-(4-氨基苯氧基)乙氧基]乙烷、9,9’-雙(4-氨基苯基)芴、4,4’-二氨基苯甲酰苯胺等二胺類等。這些化合物可以單獨使用，也可以組合2種以上使用。其中，優(yōu)選為選自1,3-丙二醇、1,4-丁二醇、新戊二醇、1,5-戊二醇、1,6-己烷二醇、環(huán)己烷二甲醇中的至少1種。

熱塑性聚氨酯的聚合所使用的單體的高分子二醇、擴(kuò)鏈劑，有機(jī)二異氰酸酯的各成分配合比率可以考慮目標(biāo)耐磨損性等物性而適當(dāng)選擇。具體而言，從熱塑性聚氨酯的機(jī)械強(qiáng)度、耐磨損性、熱塑性聚氨酯的生產(chǎn)性、保存穩(wěn)定性優(yōu)異的觀點考慮，例如，相對于高分子二醇及擴(kuò)鏈劑所含有的活潑氫原子1摩爾，優(yōu)選有機(jī)二異氰酸酯所含有的異氰酸酯基為0.95～1.3摩爾的比率，進(jìn)一步優(yōu)選為0.96～1.10摩爾的比率，特別優(yōu)選為0.97～1.05摩爾的比率。在異氰酸酯基的比率過低的情況下，存在非多孔性成型體的機(jī)械強(qiáng)度及耐磨損性降低的傾向，在異氰酸酯基的比率過高的情況下，存在熱塑性聚氨酯的生產(chǎn)性、保存穩(wěn)定性降低的傾向。

作為高分子二醇、有機(jī)二異氰酸酯和擴(kuò)鏈劑的質(zhì)量比，優(yōu)選為高分子二醇的量/(有機(jī)二異氰酸酯和擴(kuò)鏈劑的量)＝15/85～45/55，進(jìn)一步優(yōu)選為20/80～40/60，特別優(yōu)選為25/75～35/65。

本實施方式中的熱塑性聚氨酯可以通過如下方法得到：例如，使用包含數(shù)均分子量650～1400的高分子二醇、有機(jī)二異氰酸酯和擴(kuò)鏈劑的單體，通過使用了公知的預(yù)聚物法或一步法的氨基甲酸酯化反應(yīng)來進(jìn)行聚合。優(yōu)選使用如下方法：使用單螺桿或多螺桿型擠出機(jī)，在實質(zhì)上不存在溶劑的條件下一邊對上述單體進(jìn)行熔融混合，一邊連續(xù)進(jìn)行熔融聚合。

熱塑性聚氨酯的來自于有機(jī)二異氰酸酯的異氰酸酯基的氮的含有比例優(yōu)選為5.7～6.5質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為5.7～6.1質(zhì)量％。在來自于有機(jī)二異氰酸酯的異氰酸酯基的氮的含有比例過低的情況下，使用熱塑性聚氨酯的非多孔性成型體作為拋光層時，存在過于柔軟而平坦性及拋光效率降低的傾向。另外，在來自于有機(jī)二異氰酸酯的異氰酸酯基的氮的含有比例過高的情況下，-70～-50℃時的損耗角正切的最大值容易超過4.00×10^-2。

另外，對于熱塑性聚氨酯而言，在厚度0.5mm的片中，對于660nm的激光波長的激光透射率優(yōu)選為70％以上，進(jìn)一步優(yōu)選為80％以上，特別優(yōu)選為90％以上。需要說明的是，對于660nm的激光波長的激光透射率是在激光波長(660nm)、激光輸出功率(310μw)、檢測頭與輸出頭的距離(100mm)、樣品位置(檢測頭與輸出頭的中間點)的條件下進(jìn)行測定時的值。在激光透射率過低的情況下，熱塑性聚氨酯的軟鏈段與硬鏈段容易發(fā)生相分離，由此，-70～-50℃時的損耗角正切的最大值容易高于4.00×10^-2。因此，容易形成低反彈性且高韌性的熱塑性聚氨酯，存在容易經(jīng)時地產(chǎn)生將形成于拋光面的凹部堵塞那樣的毛刺的傾向。另外，在激光透射率過低的情況下，存在難以用于被拋光材料的檢查、拋光終點的探測的傾向。

另外，用50℃的水使熱塑性聚氨酯飽和溶脹后的拉伸彈性模量優(yōu)選為130～800mpa，進(jìn)一步優(yōu)選為180～750mpa，特別優(yōu)選為230～700mpa，尤其優(yōu)選為280～650mpa。在用50℃的水使其飽和溶脹后的拉伸彈性模量過低的情況下，存在拋光層變得柔軟而平坦性及拋光效率降低的傾向。另外，在用50℃的水使其飽和溶脹后的拉伸彈性模量過高的情況下，存在容易在被拋光面產(chǎn)生擦痕的傾向。

另外，對于本實施方式中的熱塑性聚氨酯而言，根據(jù)下述式(1)計算出的拉伸彈性模量的水飽和溶脹時保持率優(yōu)選為55％以上，進(jìn)一步優(yōu)選為60％以上，特別優(yōu)選為75％以上。在拉伸彈性模量的水飽和溶脹時保持率過低的情況下，水分所導(dǎo)致的拋光層的特性變化大，例如，拋光結(jié)束后在濕潤狀態(tài)下將墊放置數(shù)小時～數(shù)天時，存在拋光速度容易降低的傾向。

a/b×100

(a為用50℃的溫水使其飽和溶脹時的拉伸彈性模量，b為未用50℃的溫水使其飽和溶脹時的拉伸彈性模量)···(1)

本實施方式的非多孔性成型體優(yōu)選通過使用t模頭將不含有發(fā)泡劑等成分的上述熱塑性聚氨酯進(jìn)行擠出成型、注射成型而以片的形式進(jìn)行制造。特別是從能夠得到均勻厚度的片的觀點考慮，優(yōu)選通過使用t模頭的擠出成型而得到的片。

片的厚度沒有特別限定，可以根據(jù)拋光墊的層結(jié)構(gòu)、用途而適當(dāng)調(diào)整。具體而言，優(yōu)選為1.5～3.0mm，進(jìn)一步優(yōu)選為1.7～2.8mm，特別優(yōu)選為2.0～2.5mm。

另外，片與水的接觸角優(yōu)選為80度以下，進(jìn)一步優(yōu)選為75度以下，特別優(yōu)選為70度以下。在與水的接觸角過高時，存在容易在被拋光面產(chǎn)生擦痕的傾向。

另外，作為片的硬度，優(yōu)選以jis-d硬度計為55以上，進(jìn)一步優(yōu)選為60～80，特別優(yōu)選為65～75。在jis-d硬度過低的情況下，存在局部平坦性降低的傾向，在jis-d硬度過高的情況下，存在容易產(chǎn)生擦痕的傾向。

本實施方式的拋光墊包含由如上所述的非多孔性成型體的片進(jìn)行了裁切出圓形等的片等而成型的拋光層。拋光墊可以是非多孔性成型體的片的單層型拋光墊，也可以是在非多孔性成型體的片上疊層有緩沖層的多層型拋光墊。

作為緩沖層，優(yōu)選為具有比拋光層的硬度更低的硬度的層。在緩沖層的硬度低于拋光層的硬度的情況下，硬質(zhì)的拋光層容易對被拋光面的局部凹凸進(jìn)行跟隨，由于緩沖層對被拋光材料全部的翹曲、起伏進(jìn)行跟隨，因此可以進(jìn)行全局平坦性與局部平坦性的平衡性優(yōu)異的拋光。

作為用作緩沖層的原材料的具體例子，可以列舉：公知的使聚氨酯含浸于無紡布而成的復(fù)合體；天然橡膠，丁腈橡膠，聚丁二烯橡膠，有機(jī)硅橡膠等橡膠；聚酯類熱塑性彈性體，聚酰胺類熱塑性彈性體，含氟類熱塑性彈性體等熱塑性彈性體；發(fā)泡塑料；聚氨酯等。其中，從柔軟性適度的觀點考慮，特別優(yōu)選具有發(fā)泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯。

緩沖層的厚度沒有特別限定，例如優(yōu)選為0.3～1.2mm，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5～1.0mm左右。在緩沖層過薄的情況下，存在對被拋光材料全部的翹曲、起伏的跟隨性降低，拋光墊的全局平坦性降低的傾向。另一方面，在緩沖層過厚的情況下，存在拋光墊整體變得柔軟而難以進(jìn)行穩(wěn)定的拋光的傾向。

在本實施方式的拋光墊的拋光層中，通常為了使?jié){料均勻且充分地供給至拋光面，以同心圓狀形成槽、孔那樣的凹部。這樣的凹部也有助于排出導(dǎo)致擦痕產(chǎn)生原因的拋光屑、防止拋光墊的吸附所導(dǎo)致的晶片破損。

在拋光面形成凹部的方法沒有特別限定。具體而言，可以列舉例如通過對非多孔性成型體的片的表面進(jìn)行切削加工、通過在注射成型時用模具進(jìn)行轉(zhuǎn)印而形成凹部、用被加熱的模具壓印等方法，使得在拋光層的拋光面形成給定的凹部圖案的而形成的方法等。

例如在以同心圓狀形成槽的情況下，作為槽間的間隔，優(yōu)選為2.0～50mm，進(jìn)一步優(yōu)選為5.5～30mm，特別優(yōu)選為6.0～15mm左右。另外，作為槽的寬度，優(yōu)選為0.1～3.0mm，進(jìn)一步優(yōu)選為0.4～2.0mm左右。另外，作為槽的深度，優(yōu)選為0.2～1.8mm，進(jìn)一步優(yōu)選為0.4～1.5mm左右。另外，作為槽的剖面形狀，例如根據(jù)目的適當(dāng)選擇長方形，梯形，三角形，半圓形等形狀。

在拋光面形成了凹部的情況下，由于被拋光材料、調(diào)節(jié)器與凹部的角部(肩部、端部)長時間反復(fù)接觸，有時在角部產(chǎn)生毛刺。而且，這樣的毛刺使凹部逐漸堵塞而使?jié){料的供給量逐漸降低。其結(jié)果是使拋光速度、拋光均勻性逐漸降低。使用了本實施方式的熱塑性聚氨酯的非多孔性成型體的拋光層可抑制產(chǎn)生使這樣的凹部堵塞的毛刺。

對使用了本實施方式的拋光墊的cmp的一個實施方式進(jìn)行說明。

在cmp中，可使用例如具備圖1所示的圓形的旋轉(zhuǎn)平臺11、漿料供給噴嘴12、托板13和墊調(diào)節(jié)器14的cmp裝置20。利用雙面膠帶等將拋光墊10貼附在旋轉(zhuǎn)平臺11的表面。另外，托板13支撐被拋光材料15。

在cmp裝置20中，旋轉(zhuǎn)平臺11利用圖中省略的電動機(jī)向箭頭所示的方向旋轉(zhuǎn)。另外，在旋轉(zhuǎn)平臺11的面內(nèi)，托板13利用圖中省略的電動機(jī)向例如箭頭所示的方向旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)平臺11的面內(nèi)，墊調(diào)節(jié)器14也利用圖中省略的電動機(jī)向例如箭頭所示的方向旋轉(zhuǎn)。

首先，使蒸餾水流至固定于旋轉(zhuǎn)平臺11而旋轉(zhuǎn)的拋光墊10的拋光面，并且按壓旋轉(zhuǎn)的墊調(diào)節(jié)器14，進(jìn)行拋光墊10的拋光面的調(diào)節(jié)。作為墊調(diào)節(jié)器，可使用例如通過鎳電鍍等將金剛石粒子固定于載體表面的調(diào)節(jié)器。由此，將拋光墊10的拋光層的拋光面調(diào)整為適于被拋光面的拋光的表面粗糙度。接著，從漿料供給噴嘴12將拋光漿料16供給至旋轉(zhuǎn)的拋光墊10的拋光層的拋光面。拋光漿料16含有例如水、油等液態(tài)介質(zhì)；二氧化硅、氧化鋁、氧化鈰、氧化鋯、碳化硅等拋光劑；堿、酸、表面活性劑、氧化劑、還原劑、螯合劑等。另外，在進(jìn)行cmp時，可以根據(jù)需要與拋光漿料一起組合使用潤滑油、冷卻劑等。然后，將固定于托板13而旋轉(zhuǎn)的被拋光材料15按壓在被拋光漿料16全部潤濕的拋光墊10上。然后，連續(xù)進(jìn)行拋光處理，直至得到給定的平坦度。通過調(diào)整在拋光中起到作用的按壓力、旋轉(zhuǎn)平臺11與托板13的相對運動速度，可影響完成品質(zhì)。

拋光條件沒有特別限定，為了高效地進(jìn)行拋光，優(yōu)選平臺和基板各自的轉(zhuǎn)速為300rpm以下的低速旋轉(zhuǎn)。另外，為了抑制擦痕的產(chǎn)生，施加于基板的壓力優(yōu)選為150kpa以下。另外，優(yōu)選在進(jìn)行拋光期間連續(xù)地對拋光面供給拋光漿料。拋光漿料的供給量優(yōu)選為拋光漿料始終潤濕整個拋光面的程度的量。

然后，利用流水充分地清洗拋光結(jié)束后的被拋光材料，然后優(yōu)選使用旋轉(zhuǎn)干燥器等去除附著于被拋光材料的水滴并進(jìn)行干燥。由此，通過用拋光漿料對被拋光面進(jìn)行拋光，可以得到整個被拋光面均平坦的面。

這樣的本實施方式的cmp可以優(yōu)選用于各種半導(dǎo)體裝置、mems(microelectromechanicalsystems)等的制造工藝中的拋光。作為被拋光材料的例子，可以列舉例如：硅晶片、氧化硅、氟硅氧化物等的半導(dǎo)體晶片；形成于具有給定布線的布線板的氧化硅膜、玻璃膜、氮化硅膜等無機(jī)絕緣膜；主要含有多晶硅、鋁、銅、鈦、氮化鈦、鎢、鉭、氮化鉭等的膜；光掩模、透鏡、棱鏡等光學(xué)玻璃；錫摻雜氧化銦(ito)等無機(jī)導(dǎo)電膜；由玻璃及結(jié)晶質(zhì)材料構(gòu)成的光集成電路、光開關(guān)元件、光波導(dǎo)(opticalwaveguide)、光纖的端面、閃爍器等的光學(xué)用單晶；固體激光器單晶；藍(lán)色激光led用藍(lán)寶石基板；碳化硅、磷化鎵、砷化鎵等半導(dǎo)體單晶；磁盤用玻璃基板；磁頭等；甲基丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂等合成樹脂等。

實施例

以下，通過實施例進(jìn)一步具體地對本發(fā)明進(jìn)行說明。需要說明的是，本發(fā)明的范圍并不受這些實施例的任何限定。

[實施例1]

將數(shù)均分子量850的聚四亞甲基二醇(ptmg850)、1,4-丁二醇(bd)、以及4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯(mdi)以ptmg850︰bd︰mdi＝32.5︰15.6︰51.9(質(zhì)量比)的比例進(jìn)行混合，制備其預(yù)聚物。然后，通過用小型捏合機(jī)將得到的預(yù)聚物在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下混煉5分鐘，得到了熱塑性聚氨酯a。而且，通過如下所述的評價方法對熱塑性聚氨酯a進(jìn)行了評價。

〈-70～-50℃范圍的損耗角正切(tanδ)的最大值〉

將熱塑性聚氨酯a夾在2張金屬板之間，用熱壓成型機(jī)(神藤工業(yè)所株式會社制造的臺式試驗壓機(jī)(test-press))進(jìn)行熱壓成型。在熱壓成型中，在加熱溫度230℃下預(yù)熱2分鐘后，以成為厚度300μm的壓制壓力壓制了1分鐘。然后，從熱壓成型機(jī)中取出夾有熱塑性聚氨酯a的2張金屬板并進(jìn)行冷卻，然后使壓制成型片脫模。將得到的壓制成型片在減壓干燥機(jī)內(nèi)進(jìn)行60℃×16小時的干燥。然后，從壓制成型片上裁切出5.0×25(mm)的試驗片。使用動態(tài)粘彈性測定裝置(dverheospectoler，rheology公司制造)在-120～250℃的范圍內(nèi)對裁切出的試驗片以頻率1.59hz測定了動態(tài)粘彈性模量的溫度依賴性。然后，由得到的動態(tài)粘彈性模量的溫度依賴性圖表求出-70～-50℃范圍的損耗角正切(tanδ)的最大值。將動態(tài)粘彈性模量的溫度依賴性圖表示于圖4。

〈熱塑性聚氨酯片的光透射率〉

除了變更為厚度0.5mm(500μm)以外，與在損耗角正切的測定中的制作方法同樣地操作，得到了壓制成型片。然后，將壓制成型片裁切成給定的大小，在下述條件下測定了波長660nm的光透射率。

·分光透射率測定裝置：株式會社日立制作所制造的“u-4000spectrometer”

·激光波長：660nm

·激光輸出功率：310μw

·檢測頭輸出頭間距離：10cm

·試驗片的測定位置：檢測頭與輸出頭的中間位置

〈水溶脹時拉伸彈性模量及水溶脹時拉伸彈性模量的保持率〉

從與損耗角正切的測定中所使用的壓制成型片相同的壓制成型片上沖裁2號型試驗片(jisk7113)。然后，在20℃、65％rh的條件下放置3天，進(jìn)行狀態(tài)調(diào)整。

另一方面，通過將其它的2號型試驗片在50℃的溫水中浸漬48小時而用水使其飽和溶脹。然后，擦去從溫水中取出的2號型試驗片的表面水分，然后在20℃、65％rh的條件下放置3天，進(jìn)行狀態(tài)調(diào)整。

然后，使用狀態(tài)調(diào)整后的各2號型試驗片測定了拉伸彈性模量。拉伸彈性模量的測定均使用instron公司制造的3367，在環(huán)境條件20℃、65％rh、夾盤間距離40mm、拉伸速度500mm/分、n＝6根的條件下進(jìn)行。

然后，將用水使其飽和溶脹后的拉伸彈性模量設(shè)為a，將未用水使其飽和溶脹的干燥時的拉伸彈性模量設(shè)為b，由下述式(1)計算出水溶脹時的拉伸彈性模量的保持率。

a/b×100···(1)

(a為用50℃的溫水使其飽和溶脹后的20℃、65％rh下的拉伸彈性模量，b為未使其飽和溶脹前的20℃、65％rh下的拉伸彈性模量)。

〈與水的接觸角〉

使用協(xié)和界面科學(xué)株式會社制造的dropmaster500測定了與在損耗角正切測定中所使用的壓制成型片相同的壓制成型片與水的接觸角。

〈來自于有機(jī)二異氰酸酯的異氰酸酯基的氮的含有比例的測定〉

首先，通過元素分析法在下述條件下計算出總含氮量。

·裝置：perkinelmer公司制造的全自動元素分析裝置2400系列ii型(標(biāo)準(zhǔn)裝備有自動進(jìn)樣器)c·h·n·s/o分析裝置

·電爐溫度：975℃

·試樣量：2mg

·助燃劑：無

·試樣容器：錫箔(有助燃效果，使用1個)

·標(biāo)準(zhǔn)曲線制作用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)：對氨基苯磺酰胺

接著，在下述條件下通過nmr測定來檢測來自于有機(jī)二異氰酸酯的氮原子及來自于擴(kuò)鏈劑的氮原子。

·裝置：日本電子株式會社制造的核磁共振裝置lambda500

·測定條件：共振頻率；1h500mhz/探頭；th5fg2

·溶劑：dmso-d6濃度；5wt％/vol

·測定溫度：80℃

·積分次數(shù)：64s

然后，根據(jù)元素分析法及nmr的結(jié)果計算出來自于有機(jī)二異氰酸酯的異氰酸酯基的氮的含有比例。

〈加速修整試驗〉

除了變更為厚度2.0mm以外，與損耗角正切測定中的制作方法同樣地操作，得到了壓制成型片。然后，從壓制成型片中裁切出20mm×50mm的試驗片。在得到的試驗片上形成寬度1.0mm、深度1.0mm的槽，制作了拋光層用的片。然后，在基板的聚氨酯墊上開與試驗片相同形狀的孔，嵌入試驗片，得到了拋光墊。將拋光墊安裝于nidec-shimpo公司制造的電動旋轉(zhuǎn)拋光機(jī)(rk-3d型)。然后，使用alliedmaterial公司制造的金剛石修整器(#100號)，一邊使?jié){料以150ml/分的速度流動，一邊在修整器轉(zhuǎn)速61rpm、拋光墊轉(zhuǎn)速60rpm、修整器負(fù)載2.75psi的條件下磨削拋光墊表面8小時。通過肉眼觀察磨削后的拋光層，在完全沒有產(chǎn)生毛刺的情況下，判定為良，即使稍產(chǎn)生一點毛刺的情況也判定為不良。

將以上的評價結(jié)果匯總示于表1。

[實施例2]

將數(shù)均分子量1000的聚四亞甲基二醇(ptmg1000)、bd及mdi以ptmg1000︰bd︰mdi＝32.0︰16.2︰51.8(質(zhì)量比)的比例進(jìn)行混合，制備了預(yù)聚物。然后，用小型捏合機(jī)在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下將得到的預(yù)聚物混煉5分鐘，由此得到了熱塑性聚氨酯b。

除了使用熱塑性聚氨酯b來代替熱塑性聚氨酯a以外，與實施例1同樣地進(jìn)行了評價。將結(jié)果示于表1。

[實施例3]

將數(shù)均分子量850的聚四亞甲基二醇(ptmg850)、bd及mdi以ptmg850︰bd︰mdi＝28.9︰16.6︰54.5(質(zhì)量比)的比例進(jìn)行混合，制備了預(yù)聚物。然后，用小型捏合機(jī)在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下將得到的預(yù)聚物混煉5分鐘，由此得到了熱塑性聚氨酯c。

除了使用熱塑性聚氨酯c來代替熱塑性聚氨酯a以外，與實施例1同樣地進(jìn)行了評價。將結(jié)果示于表1。

[比較例1]

將ptmg850、bd、3-甲基1,5-戊二醇(mpd)及mdi以ptmg850︰bd︰mpd︰mdi＝18.5︰15.0︰6.6︰59.9(質(zhì)量比)的比例進(jìn)行混合，制備了預(yù)聚物。然后，用小型捏合機(jī)在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下將得到的預(yù)聚物混煉5分鐘，由此得到了熱塑性聚氨酯d。

除了使用熱塑性聚氨酯d來代替熱塑性聚氨酯a以外，與實施例1同樣地進(jìn)行了評價。將結(jié)果示于表1。

[比較例2]

將數(shù)均分子量1400的聚四亞甲基二醇(ptmg1400)、bd、mpd及mdi以ptmg1400︰bd︰mpd︰mdi＝32.4︰12.2︰5.4︰50.0(質(zhì)量比)的比例進(jìn)行混合，制備了預(yù)聚物。然后，用小型捏合機(jī)將在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下得到的預(yù)聚物混煉5分鐘，由此得到了熱塑性聚氨酯e。

除了使用熱塑性聚氨酯e來代替熱塑性聚氨酯a以外，與實施例1同樣地進(jìn)行了評價。將結(jié)果示于表1。

[比較例3]

將數(shù)均分子量2000的聚四亞甲基二醇(ptmg2000)、bd、mpd及mdi以ptmg2000︰bd︰mpd︰mdi＝31.7︰12.7︰5.6︰50.0(質(zhì)量比)的比例進(jìn)行混合，制備了預(yù)聚物。然后，用小型捏合機(jī)在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下將得到的預(yù)聚物混煉5分鐘，由此得到了熱塑性聚氨酯f。

除了使用熱塑性聚氨酯f來代替熱塑性聚氨酯a以外，與實施例1同樣地進(jìn)行了評價。將結(jié)果示于表1。另外，圖3示出了使用比較例3中制造的拋光墊進(jìn)行了加速修整試驗后的拋光墊的剖面的掃描電子顯微鏡(sem)照片。另外，圖4示出了動態(tài)粘彈性模量的溫度依賴性的圖表。

[比較例4]

將ptmg2000、數(shù)均分子量2000的聚(2-甲基-1,8-八亞甲基-共-九亞甲基己二酸酯)二醇(pnoa2000；九亞甲基單元與2-甲基-1,8-八亞甲基單元的摩爾比＝7比3)、1,4-環(huán)己烷二甲醇(chdm)、bd及mdi以ptmg2000︰pnoa2000︰bd︰chdm︰mdi＝21.7︰9.3︰13.6︰5.4︰50.0(質(zhì)量比)的比例混合，制備預(yù)聚物。而且，用小型捏合機(jī)將得到的預(yù)聚物在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下混煉5分鐘，由此得到了熱塑性聚氨酯g。

除了使用熱塑性聚氨酯g來代替熱塑性聚氨酯a以外，與實施例1同樣地進(jìn)行了評價。將結(jié)果示于表1。

[比較例5]

將ptmg2000、pnoa2000、chdm、bd及mdi以ptmg2000︰pnoa2000︰bd︰chdm︰mdi＝17.0︰7.3︰15.2︰6.1︰54.4(質(zhì)量比)的比例進(jìn)行混合，制備了預(yù)聚物。然后，用小型捏合機(jī)在240℃、螺桿轉(zhuǎn)速100rpm的條件下將得到的預(yù)聚物混煉5分鐘，由此得到了熱塑性聚氨酯h。

除了使用熱塑性聚氨酯h來代替熱塑性聚氨酯a以外，與實施例1同樣地進(jìn)行了評價。將結(jié)果示于表1。

根據(jù)表1，在使用了-70～-50℃范圍的tanδ的最大值為4.00×10^-2以下的熱塑性聚氨酯的非多孔性成型體作為拋光層的實施例1～3的拋光墊的情況下，在加速修整試驗中沒有產(chǎn)生毛刺。而且，熱塑性聚氨酯片的激光透射率也高。另一方面，根據(jù)表1，在使用了-70～-50℃范圍的tanδ的最大值超過4.00×10^-2的熱塑性聚氨酯的非多孔性成型體作為拋光層的比較例1～5的拋光墊的情況下，在加速修整試驗中產(chǎn)生了毛刺，而且，熱塑性聚氨酯片的激光透射率也低。