一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置。真空沉積系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)饋入裝置及真空腔室。旋轉(zhuǎn)饋入裝置安裝于真空腔室的安裝孔，其包括第一固定組件、傳動(dòng)軸、第一動(dòng)密封組件及第一直驅(qū)馬達(dá)；第一固定組件的第一固定座上設(shè)有軸孔；第一動(dòng)密封組件安裝于軸孔中；傳動(dòng)軸繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)穿設(shè)第一動(dòng)密封組件；第一直驅(qū)馬達(dá)安裝于第一固定組件。采用直驅(qū)馬達(dá)作為動(dòng)力源，第一直驅(qū)馬達(dá)可直接驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，其連接方式更加簡(jiǎn)捷，并使得整個(gè)旋轉(zhuǎn)饋入裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)捷輕巧，節(jié)約了整個(gè)裝置的成本，且方便后期的設(shè)備安裝維護(hù)；第一直驅(qū)馬達(dá)的傳動(dòng)聲音小、壽命長(zhǎng)、控制精度更加準(zhǔn)確，且工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)小，可有效保證真空沉積系統(tǒng)的高精度、無(wú)污染。
【專利說(shuō)明】 一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空沉積鍍膜，尤其涉及一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置，可應(yīng)用于TFT-1XD、太陽(yáng)能薄膜電池、半導(dǎo)體芯片、晶圓等薄膜工藝制備和生產(chǎn)的真空鍍膜系統(tǒng)中。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜沉積模塊的生產(chǎn)包括將基片(例如玻璃板)運(yùn)入且運(yùn)出沉積系統(tǒng)中的一個(gè)或多個(gè)真空室，在沉積系統(tǒng)，半導(dǎo)體材料的薄膜層被沉積至基片的表面上。該沉積過(guò)程可以是任何已知的過(guò)程，例如封閉空間升華系統(tǒng)(CSS)，化學(xué)氣象沉積系統(tǒng)(CVD)或物理氣象沉積系統(tǒng)(PVD)。
[0003]輸送基片通過(guò)真空室結(jié)構(gòu)的沉積系統(tǒng)典型地使用受驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)或其他合適的輸送裝置。在維持結(jié)構(gòu)內(nèi)高真空狀態(tài)的同時(shí)，需要在真空室內(nèi)建立受控制的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)以驅(qū)動(dòng)輸送機(jī)。為該目的而提供的傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)饋入是相對(duì)復(fù)雜且通常需要由室壁內(nèi)或室壁外的軸承支撐的通軸。該軸又可操作地連接至齒輪箱或馬達(dá)，馬達(dá)經(jīng)由直接聯(lián)接、帶傳動(dòng)或鏈傳動(dòng)提供旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)中一種用于真空室結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)。其旋轉(zhuǎn)饋入裝置包括具有外殼和軸的齒輪箱，軸由包含在外殼內(nèi)的軸承可旋轉(zhuǎn)地支承。馬達(dá)可操作地聯(lián)接至齒輪箱外殼以驅(qū)動(dòng)軸，且軸從齒輪箱延伸。第一動(dòng)密封組件可操作地設(shè)置在齒輪箱外殼和室壁之間，且軸設(shè)置成穿過(guò)第一動(dòng)密封組件并且延伸穿過(guò)在室壁中的孔并進(jìn)入結(jié)構(gòu)的內(nèi)部。經(jīng)由齒輪箱外殼中的軸承，軸由軸承可旋轉(zhuǎn)地支承。這些傳統(tǒng)的裝置是相對(duì)昂貴、復(fù)雜且笨重的，不利于設(shè)備的安裝維護(hù)。
[0004]另外，隨著薄膜沉積技術(shù)的發(fā)展，生產(chǎn)工藝在保證膜層質(zhì)量的基礎(chǔ)上，提出了提高生產(chǎn)效率，降低制造成本的要求，那么傳輸機(jī)構(gòu)就不會(huì)局限于一種動(dòng)作，為降低設(shè)備成本，增加薄膜產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，如何利用一個(gè)旋轉(zhuǎn)饋入裝置同時(shí)能滿足兩種不同運(yùn)動(dòng)功能就成為了行業(yè)發(fā)展迫切的需求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)捷輕巧，成本低，安裝維護(hù)方便，控制精度準(zhǔn)確。
[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，一方面，本實(shí)用新型的實(shí)施例提供了一種旋轉(zhuǎn)饋入裝置，括第一固定組件、傳動(dòng)軸、第一動(dòng)密封組件及第一直驅(qū)馬達(dá)；
[0007]所述第一固定組件包括第一固定座，所述第一固定座上設(shè)有軸孔；
[0008]所述第一動(dòng)密封組件安裝于所述軸孔中，用于所述傳動(dòng)軸與所述第一固定座之間的密封；
[0009]所述傳動(dòng)軸繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)穿設(shè)所述第一動(dòng)密封組件；
[0010]所述第一直驅(qū)馬達(dá)安裝于所述第一固定組件，所述第一直驅(qū)馬達(dá)的輸出端連接于所述傳動(dòng)軸，以驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。[0011]其中，所述第一固定座為一端閉合的筒狀,所述軸孔開(kāi)設(shè)在第一固定座的閉合端；所述第一固定座上相對(duì)閉合端的另一端密封設(shè)置以形成一密閉腔體，所述第一直驅(qū)馬達(dá)的輸出端位于該密閉腔體中。
[0012]其中，所述第一固定組件還包括第一支撐套筒及第一端蓋，所述第一固定座上相對(duì)閉合端的另一端與所述第一支撐套筒的一端固定連接，所述第一支撐套筒的另一端與所述第一端蓋固定連接；所述第一直驅(qū)馬達(dá)位于所述第一支撐套筒中。
[0013]其中，所述第一動(dòng)密封組件包括套筒、磁流體密封件及密封圈，所述套筒固定于所述軸孔中，所述密封圈設(shè)置在所述套筒與所述第一固定組件之間，所述傳動(dòng)軸繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)套設(shè)在所述套筒內(nèi)，所述磁流體設(shè)置在所述套筒的內(nèi)壁與所述傳動(dòng)軸之間。
[0014]其中，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置還包括第二固定組件及第二直驅(qū)馬達(dá)；
[0015]所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二固定組件；
[0016]所述第二直驅(qū)馬達(dá)固定于第二固定組件，其輸出端連接于所述第一固定組件或所述第一直驅(qū)馬達(dá)，以驅(qū)動(dòng)所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0017]其中，所述第二固定組件包括第二固定座，所述第二固定座為環(huán)狀，所述第一固定座轉(zhuǎn)動(dòng)套設(shè)在所述第二固定座內(nèi)；所述第一固定座與所述第二固定座之間設(shè)有第二動(dòng)密封組件，所述第二動(dòng)密封組件包括兩個(gè)同軸設(shè)置的兩個(gè)動(dòng)密封圈及真空管道，所述第一固定座、所述第二固定座與兩個(gè)所述動(dòng)密封圈之間形成環(huán)狀的密封空間，所述真空管道設(shè)置在所述第二固定座上，所述真空管道的一端連通至所述密封空間、另一端連通至一真空抽氣
>J-U ρ?α裝直。
`[0018]其中，所述傳動(dòng)軸、所述第一直驅(qū)馬達(dá)及所述第二直驅(qū)馬達(dá)同軸設(shè)置。
[0019]另一方面，本實(shí)用新型還提供了一種真空沉積系統(tǒng)，包括前述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置及真空腔室，所述真空腔室的腔壁上設(shè)有安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置安裝于所述安裝孔處；
[0020]所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置的第一固定組件安裝于所述安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置的第一直驅(qū)馬達(dá)位于所述真空腔室外、傳動(dòng)軸上遠(yuǎn)離所述第一直驅(qū)馬達(dá)的一端位于所述真空腔室中。
[0021]其中，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置還包括第二固定組件及第二直驅(qū)馬達(dá)；
[0022]所述第二固定組件密封固定于所述安裝孔，所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述第二固定組件；
[0023]所述第二直驅(qū)馬達(dá)固定于第二固定組件，其輸出端連接于所述第一固定組件或所述第一直驅(qū)馬達(dá)，以驅(qū)動(dòng)所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0024]其中，所述真空沉積系統(tǒng)還包括設(shè)置在所述真空腔室中的傳輸裝置；所述傳輸裝置包括叉手及旋轉(zhuǎn)臺(tái)；所述叉手通過(guò)直線導(dǎo)向組件直線滑動(dòng)連接于所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)；所述叉手與所述傳動(dòng)軸之間設(shè)有傳動(dòng)組件，用于將所述傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為所述叉手的直線移動(dòng)；
[0025]所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述真空腔室的內(nèi)壁，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)固定連接于所述第一固定組件。
[0026]本實(shí)用新型提供的真空沉積系統(tǒng)及其旋轉(zhuǎn)饋入裝置，采用直驅(qū)馬達(dá)作為動(dòng)力源，第一直驅(qū)馬達(dá)可直接驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，無(wú)需聯(lián)軸器或傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等，其連接方式更加簡(jiǎn)捷，并使得整個(gè)旋轉(zhuǎn)饋入裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)捷輕巧，可直接安裝于真空腔室的外壁而無(wú)需其他支撐結(jié)構(gòu)，節(jié)約了整個(gè)裝置的成本，且方便后期的設(shè)備安裝維護(hù)；由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)捷，在工作做成中產(chǎn)生的顆粒粉塵等污染少，有利于保證真空腔室的潔凈；第一直驅(qū)馬達(dá)的傳動(dòng)聲音小、壽命長(zhǎng)、控制精度更加準(zhǔn)確，且工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)小，可有效保證真空沉積系統(tǒng)的高精度、無(wú)污染。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0028]圖1是本實(shí)用新型第一實(shí)施方式提供的真空沉積系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖2是圖1的真空沉積系統(tǒng)中傳輸裝置與中轉(zhuǎn)室的示意圖；
[0030]圖3是圖2中真空沉積系統(tǒng)的局部剖面圖；
[0031]圖4是本實(shí)用新型第二實(shí)施方式提供的真空沉積系統(tǒng)的示意圖；
[0032]圖5是本實(shí)用新型第三實(shí)施方式提供的真空沉積系統(tǒng)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0034]參見(jiàn)圖1至圖3，為本實(shí)用新型中第一實(shí)施例提供的一種真空沉積系統(tǒng)。本實(shí)施例中，真空沉積系統(tǒng)為簇式(cluster type)真空沉積系統(tǒng)。
[0035]如圖1所示，真空沉積系統(tǒng)包括真空腔室、傳輸裝置2及旋轉(zhuǎn)饋入裝置3。真空腔室為多個(gè)，分別是:進(jìn)出室11、至少一個(gè)反應(yīng)室12、及中轉(zhuǎn)室13?；ㄟ^(guò)進(jìn)出室11進(jìn)行上下料，每個(gè)反應(yīng)室12、進(jìn)出室11、與中轉(zhuǎn)室13之間均設(shè)有活動(dòng)閘閥，每個(gè)真空腔室分別與真空系統(tǒng)連接，以保證每個(gè)真空腔室的真空環(huán)境的相對(duì)獨(dú)立，可單獨(dú)調(diào)節(jié)每個(gè)真空腔室內(nèi)的壓力大小。本實(shí)施例中反應(yīng)室12為多個(gè)，可在一個(gè)真空沉積系統(tǒng)中對(duì)基片進(jìn)行多種膜層沉積，可在一個(gè)反應(yīng)室12中沉積完成一種膜層后通過(guò)中轉(zhuǎn)室13利用傳輸裝置2將基片傳輸?shù)搅硪粋€(gè)反應(yīng)室12中進(jìn)行沉積第二膜層，既提高了生產(chǎn)節(jié)拍，又因?yàn)楸苊饬四拥慕徊娓腥荆ＷC了膜層質(zhì)量，該種真空沉積系統(tǒng)也必將成為新沉積系統(tǒng)的發(fā)展趨勢(shì)。
[0036]傳輸裝置2設(shè)置在真空腔室中，在本實(shí)施例中傳輸裝置2設(shè)置在中轉(zhuǎn)室13中。各反應(yīng)室12及進(jìn)出室11環(huán)繞中轉(zhuǎn)室13設(shè)置，傳輸裝置2旋轉(zhuǎn)可對(duì)應(yīng)配合不同的反應(yīng)室12或進(jìn)出室11。如圖2、圖3所示，傳輸裝置2包括叉手21及旋轉(zhuǎn)臺(tái)22。叉手21通過(guò)直線導(dǎo)向組件23直線滑動(dòng)連接于旋轉(zhuǎn)臺(tái)22，用于實(shí)現(xiàn)基片在真空腔室之間的移進(jìn)或移出；旋轉(zhuǎn)臺(tái)22轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于中轉(zhuǎn)室13的內(nèi)壁，以帶動(dòng)叉手21轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)應(yīng)至向相應(yīng)的真空腔室。
[0037]直線導(dǎo)向組件23用于叉手21的直線導(dǎo)向，以保證叉手21沿直線移動(dòng)，同時(shí)保證真空沉積系統(tǒng)的精密度。直線導(dǎo)向組件23包括滑動(dòng)配合的直線導(dǎo)軌及直線滑塊，直線導(dǎo)軌固定于旋轉(zhuǎn)臺(tái)22，直線滑塊固定于叉手21，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于裝配。此處，作為另外的實(shí)施方式，直線導(dǎo)向組件23亦可為T(mén)型槽與T型塊的配合、或燕尾槽與燕尾塊的配合，等等。
[0038]叉手21通過(guò)傳動(dòng)組件24連接于旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的傳動(dòng)軸，傳動(dòng)組件24用于將旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為叉手21的直線移動(dòng)，以使叉手21相對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)22直線移動(dòng)從而進(jìn)出真空腔室實(shí)現(xiàn)基片在真空腔室之間的移動(dòng)。
[0039]本實(shí)施例中，傳動(dòng)組件24為皮帶輪傳動(dòng)組件，通過(guò)皮帶輪可將旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為叉手21的直線移動(dòng)，且可使傳動(dòng)軸的軸向垂直于叉手21的直線移動(dòng)方向。更具體地，傳動(dòng)組件24包括安裝于傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)輪241、傳送帶242、及兩個(gè)張緊輪243，傳送帶242連接于轉(zhuǎn)輪241及兩個(gè)張緊輪243。兩個(gè)張緊輪243沿叉手21的直線運(yùn)動(dòng)方向排布，位于兩個(gè)張緊輪243之間的傳送帶242與叉手21固定連接，當(dāng)轉(zhuǎn)輪241轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，傳送輪移動(dòng)，從而帶動(dòng)叉手21直線移動(dòng)。
[0040]旋轉(zhuǎn)臺(tái)22通過(guò)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向組件25轉(zhuǎn)動(dòng)連接于中轉(zhuǎn)室13的內(nèi)壁，以轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)22的旋轉(zhuǎn)軸向垂直于叉手21的直線運(yùn)動(dòng)方向，以使叉手21對(duì)應(yīng)配合不同的真空腔室。旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向組件25用于保證旋轉(zhuǎn)臺(tái)22轉(zhuǎn)動(dòng)的穩(wěn)定性及精密度。本實(shí)施例中，旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向組件25包括滑動(dòng)配合的圓弧導(dǎo)軌及圓弧滑塊，圓弧導(dǎo)軌固定于中轉(zhuǎn)室13的內(nèi)壁，圓弧滑塊固定于旋轉(zhuǎn)臺(tái)22，在旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的驅(qū)動(dòng)下，旋轉(zhuǎn)臺(tái)22可沿著圓弧導(dǎo)軌進(jìn)行360。旋轉(zhuǎn)。
[0041]Cluster type真空沉積系統(tǒng)的工藝流程具體是:當(dāng)基片通過(guò)真空沉積系統(tǒng)外部的傳送裝置進(jìn)入進(jìn)出室11后，待真空抽氣系統(tǒng)將進(jìn)出室11的真空度與中轉(zhuǎn)室13的真空度相同時(shí)，進(jìn)出室11和中轉(zhuǎn)室13之間的活動(dòng)閘閥打開(kāi)連通，傳輸機(jī)構(gòu)先旋轉(zhuǎn)到進(jìn)出室11活動(dòng)閘閥通道位置，然后利用驅(qū)動(dòng)叉手21將基片從進(jìn)出室11搬運(yùn)到中轉(zhuǎn)室13，動(dòng)作完成，進(jìn)出室11和中轉(zhuǎn)室13之間的活動(dòng)閘閥關(guān)閉。接著傳輸裝置2根據(jù)控制系統(tǒng)的設(shè)定，開(kāi)始將基片搬運(yùn)到預(yù)定的反應(yīng)室12，傳輸機(jī)構(gòu)先是通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)22將叉手21旋轉(zhuǎn)到預(yù)定反應(yīng)室12與中轉(zhuǎn)室13之間的活動(dòng)閘閥的正中位置，然后該活動(dòng)閘閥打開(kāi)，叉手21開(kāi)始進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)將基片輸送到反應(yīng)室12內(nèi)的預(yù)定位置，動(dòng)作完成，叉手21退出反應(yīng)室12，反應(yīng)室12與中轉(zhuǎn)室13之間的活動(dòng)閘閥關(guān)閉，傳輸裝置2開(kāi)始下一基片的輸送工作。
[0042]中轉(zhuǎn)室13的腔壁上設(shè)有安裝孔10，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3安裝于安裝孔10中，用以在真空室內(nèi)提供雙旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，即驅(qū)動(dòng)叉手21直線移動(dòng)及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)22轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0043]如圖3所示，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3包括第一固定組件31、第一直驅(qū)馬達(dá)32、傳動(dòng)軸33、第一動(dòng)密封組件34、第二固定組件35及第二直驅(qū)馬達(dá)36。第一固定組件31轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二固定組件35,第一直驅(qū)馬達(dá)32固定于第一固定組件31,其輸出端連接于傳動(dòng)軸33,以驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸33繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)。傳動(dòng)軸33繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)穿設(shè)第一動(dòng)密封組件34，以保證密封性能，其一端連接至第一直驅(qū)馬達(dá)32，另一端延伸至中轉(zhuǎn)室并固定連接于轉(zhuǎn)輪241，以帶動(dòng)叉手21直線移動(dòng)。第二固定組件35密封固定于中轉(zhuǎn)室13的安裝孔，第二直驅(qū)馬達(dá)36固定于第二固定組件35，其輸出端連接于第一固定組件31，以驅(qū)動(dòng)第一固定組件31轉(zhuǎn)動(dòng)。第一固定組件31固定連接于旋轉(zhuǎn)臺(tái)22，第一固定組件31轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)22轉(zhuǎn)動(dòng)。利用第一直驅(qū)馬達(dá)32可驅(qū)動(dòng)叉手21直線移動(dòng)，利用第二直驅(qū)馬達(dá)36可實(shí)現(xiàn)整個(gè)傳輸裝置2的旋轉(zhuǎn)，從而使得旋轉(zhuǎn)饋入裝置3實(shí)現(xiàn)雙旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)饋入，能夠適應(yīng)多傳動(dòng)饋入的發(fā)展需求。
[0044]第一固定組件31包括第一固定座311、第一支撐套筒312及第一端蓋313。第一固定座311上設(shè)有軸孔，用于安裝第一動(dòng)密封組件34及傳動(dòng)軸33。第一支撐套筒312連接在第一固定座311與第一端蓋313之間，以形成用于安裝第一直驅(qū)馬達(dá)32的密閉腔體。
[0045]第一固定座311為一端閉合的筒狀,軸孔開(kāi)設(shè)在第一固定座311的閉合端。第一固定座311與第一支撐套筒312同軸設(shè)置，且沿軸向排布設(shè)置。第一固定座311上相對(duì)閉合端的另一端與第一支撐套筒312的一端固定連接，第一支撐套筒312的另一端與第一端蓋313固定連接。第一直驅(qū)馬達(dá)32固定連接第一端蓋313，當(dāng)然第一直驅(qū)馬達(dá)32亦可與第一支撐套筒312或第一固定座311固定連接。通過(guò)第一支撐套筒312與第一端蓋313的配合，可將第一固定座311的另一端密封，在安裝第一動(dòng)密封組件34后可在第一固定組件31內(nèi)形成一密閉腔體，以防止有雜物及空氣進(jìn)入該密閉腔體，第一直驅(qū)馬達(dá)32整體位于該密閉腔體中，進(jìn)而防止雜物及空氣通過(guò)軸孔處進(jìn)入到中轉(zhuǎn)室13中。第一直驅(qū)馬達(dá)32位于第一支撐套筒312中，利用第一固定組件31各部分之間的配合，拆下第一端蓋313及第一支撐套筒312即可完全露出第一直驅(qū)馬達(dá)32，可便于第一直驅(qū)馬達(dá)32的裝配與維護(hù)。
[0046]此處，作為另外的實(shí)施方式，第一固定座311的另一端可直接安裝第一端蓋313進(jìn)行密封?；蛘撸谝恢彬?qū)馬達(dá)32直接固定連接于第一固定座311，在第一直驅(qū)馬達(dá)32的外壁與第一固定座311的筒內(nèi)壁之間設(shè)置密封，實(shí)現(xiàn)第一固定座311的另一端的密封以形成一密閉腔體，并使得第一直驅(qū)馬達(dá)的輸出端位于該密閉腔體中。
[0047]傳動(dòng)軸33繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)穿設(shè)軸孔。傳動(dòng)軸33的一端連接至第一直驅(qū)馬達(dá)32的輸出端、另一端延伸至中轉(zhuǎn)室13中連接至傳輸裝置2的輪軸241以帶動(dòng)叉手21動(dòng)作。通過(guò)第一直驅(qū)馬達(dá)32作為動(dòng)力源，其具有輸出力矩大、精度高等特點(diǎn)，第一直驅(qū)馬達(dá)32可直接與傳動(dòng)軸33連接，無(wú)需聯(lián)軸器、減速器、齒輪箱等機(jī)構(gòu)，其連接方式相對(duì)更加簡(jiǎn)捷，從而使得整個(gè)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加簡(jiǎn)捷輕巧，可直接安裝于真空腔室的外壁而無(wú)需其他支撐結(jié)構(gòu)，節(jié)約了整個(gè)裝置的成本，且方便后期的設(shè)備安裝維護(hù)；控制精度也更加準(zhǔn)確。同時(shí)第一直驅(qū)馬達(dá)32具備噪音低、壽命長(zhǎng)等特定，其傳動(dòng)的噪音小，使得整個(gè)旋轉(zhuǎn)饋入裝置3具有更長(zhǎng)的使用壽命、更低噪音及振動(dòng)，更適用高精密的真空沉積系統(tǒng)。
[0048]第一動(dòng)密封組件34安裝于軸孔中，并位于傳動(dòng)軸33與第一固定座311之間，以實(shí)現(xiàn)傳動(dòng)軸33與第一固定座311之間的密封。第一動(dòng)密封組件34包括套筒341、磁流體密封件342及密封圈343，套筒341固定于軸孔中，密封圈343設(shè)置在套筒341與第一固定組件31之間，傳動(dòng)軸33套設(shè)在套筒341內(nèi)，磁流體密封件342設(shè)置在套筒341的內(nèi)壁與傳動(dòng)軸33之間。磁流體密封件342壽命長(zhǎng)、無(wú)磨損、可保證傳動(dòng)軸33與第一固定座311之間的密封性能，其結(jié)構(gòu)亦相對(duì)簡(jiǎn)單，降低了整個(gè)旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的加工精度和裝配精度，大大減小了設(shè)備的整體成本。
[0049]套筒341的外壁上繞其周向設(shè)有環(huán)形凸緣，環(huán)形凸緣在套筒341的軸向上具有相對(duì)的兩凸緣面，密封圈343設(shè)置在一法蘭面與第一固定座311之間。以便于套筒341、密封圈343與第一固定座311之間的裝配連接。本實(shí)施例中，環(huán)形凸緣位于第一固定座311的閉合端的外側(cè)，以進(jìn)一步便于裝配。軸孔為與環(huán)形凸緣相配合的階梯狀，以便于套筒341與軸孔之間的定位連接。
[0050]第一動(dòng)密封組件34進(jìn)一步包括一壓緊法蘭344，壓緊法蘭344與環(huán)形凸緣的形狀相配合，壓緊法蘭344與第一固定座311之間通過(guò)螺釘固定連接并將環(huán)形凸緣及密封圈343壓緊在第一固定座311與壓緊法蘭344之間，以進(jìn)一步保證套筒341與第一固定座311之間的密封性能。
[0051]在本實(shí)施方式中，第一動(dòng)密封組件34包括套筒341、密封圈343及磁流體密封件342，便于加工制備，可將第一動(dòng)密封組件34與傳動(dòng)軸33作為一個(gè)整體與第一固定座311裝配連接，便于第一動(dòng)密封組件34、第一固定座311及傳動(dòng)軸33之間的裝配連接，作為另外的實(shí)施方式，套筒341可與第一固定座311為一體式結(jié)構(gòu)，而不必設(shè)置套筒341與第二固定座之間的密封圈343 ;或者采用其他結(jié)構(gòu)或形式的第一動(dòng)密封組件34實(shí)現(xiàn)傳動(dòng)軸33與第一固定座311之間的密封。
[0052]第二固定組件35包括第二固定座351、第二支撐套筒352及第二端蓋353。第二固定座351與中轉(zhuǎn)室13的腔壁密封連接，第二支撐套筒352固定在第二固定座351與第二端蓋353之間。
[0053]第二固定座351為環(huán)狀，第一固定座311轉(zhuǎn)動(dòng)套設(shè)在第二固定座351內(nèi)。第一固定座311與第二固定座351之間設(shè)有軸承，以保證二者相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)的穩(wěn)定性。
[0054]為保證第一固定座311與第二固定座351之間的密封性能，第一固定座311與第二固定座351之間設(shè)有第二動(dòng)密封組件37，第二動(dòng)密封組件37包括兩個(gè)同軸設(shè)置的兩個(gè)動(dòng)密封圈371、372，及真空管道373。第一固定座311、第二固定座351與兩個(gè)動(dòng)密封圈371、372之間形成環(huán)狀的密封空間，真空管道373設(shè)置在第二固定座351上，真空管道373的一端連通至所述密封空間，另一端連通至一真空抽氣裝置。利用真空抽氣裝置對(duì)真空管道373進(jìn)行抽氣可使得密封空間形成保持真空狀態(tài)的真空環(huán)，當(dāng)靠近中轉(zhuǎn)室13外側(cè)的動(dòng)密封圈371,372的密封性能不夠?qū)е滦孤┦?，其泄漏的氣體進(jìn)入到真空環(huán)中后迅速被真空抽氣裝置從真空管道373抽出，避免了泄漏進(jìn)來(lái)的氣體進(jìn)入到中轉(zhuǎn)室13中，從而保證了真空腔室的真空管度。同時(shí)由于真空管道373的存在，避免了動(dòng)密封圈371、372在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)測(cè)試的顆粒、粉塵等污染物進(jìn)入到真空腔室內(nèi)，保證了腔室的潔凈度，避免了因基片受到污染而導(dǎo)致膜層質(zhì)量的降低。此處的真空抽氣裝置可以是為中轉(zhuǎn)室13提供真空抽氣的裝置，而無(wú)需額外提供真空抽氣裝置，進(jìn)而簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，降低系統(tǒng)成本。
[0055]第二固定座351套設(shè)在第二支撐套筒352內(nèi)，并通過(guò)第二支撐套筒352與中轉(zhuǎn)室13固定連接。當(dāng)然，亦可將第二固定座351直接與中轉(zhuǎn)室13的腔壁固定連接。本實(shí)施例中，第二支撐套筒352包括多段子筒352a、352b、352c，多段子筒352a、352b、352c沿軸向依次排布固定連接。位于第二支撐套筒352 —端的子筒352a套設(shè)在第二固定座351外，其與中轉(zhuǎn)室13的安裝孔10對(duì)應(yīng)固定連接，且二者之間設(shè)有靜密封圈354，以使第一固定座311的閉合端伸入到中轉(zhuǎn)室13中，并保證中轉(zhuǎn)室13的真空度。位于第二支撐套筒352另一端的子筒352c與第二端蓋353固定連接，從而在第一固定組件31與第二固定組件35之間形成一密封空間350，第二直驅(qū)馬達(dá)36固定于密封空間中。以進(jìn)一步避免氣體及雜物進(jìn)入到中轉(zhuǎn)室13中。
[0056]本實(shí)施例中，第二直驅(qū)馬達(dá)36位于第二支撐套筒352中，且與第二端蓋353固定連接，從而使得第二直驅(qū)馬達(dá)36位于前述密封空間350中。第二直驅(qū)馬達(dá)的輸出端與第一固定組件31連接，以驅(qū)動(dòng)第一固定組件31轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得整個(gè)傳輸裝置2轉(zhuǎn)動(dòng)。采用第二直驅(qū)馬達(dá)作為動(dòng)力源，亦可使得整個(gè)裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加簡(jiǎn)單輕巧，節(jié)約了整個(gè)裝置的成本，且方便后期的設(shè)備安裝維護(hù)；噪音小、壽命長(zhǎng)，控制精度也更加準(zhǔn)確，適用于高精密的真空沉積系統(tǒng)。此處，作為另外的實(shí)施方式，若第一直驅(qū)馬達(dá)32后端部位于第一固定組件31夕卜，第二直驅(qū)馬達(dá)的輸出端亦可連接至第一直驅(qū)馬達(dá)32，以帶動(dòng)第一直驅(qū)馬達(dá)32及第一固定組件31轉(zhuǎn)動(dòng)，并使傳輸裝置2轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0057]第二直驅(qū)馬達(dá)36與第一直驅(qū)馬達(dá)32沿同一軸向排布設(shè)置，以便于裝配連接。同時(shí)，利用多段子筒的拼接，拆分不同的子筒可分別露出第一直驅(qū)馬達(dá)32或者第二直驅(qū)馬達(dá)36,從而利于維護(hù)。傳動(dòng)軸33、第一直驅(qū)馬達(dá)32及第二直驅(qū)馬達(dá)36同軸設(shè)置,可僅使傳動(dòng)軸33的一端位于真空腔室中，第一直驅(qū)馬達(dá)32及第二直驅(qū)馬達(dá)36均位于真空腔室外，以保證真空腔室內(nèi)部的真空度及潔凈。
[0058]本實(shí)用新型在第一實(shí)施方式中提供的真空沉積系統(tǒng)為cluster type真空沉積系統(tǒng)，其傳輸裝置2具有直線移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)兩個(gè)動(dòng)作，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的結(jié)構(gòu)亦可提供雙旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。當(dāng)然，真空沉積系統(tǒng)還可以為其他系統(tǒng)，如TFT-LCD、太陽(yáng)能薄膜電池、半導(dǎo)體芯片、晶圓等薄膜工藝制備和生產(chǎn)的真空鍍膜系統(tǒng)中。
[0059]如圖4所示，在本實(shí)用新型第二實(shí)施方式提供的真空沉積系統(tǒng)中，其包括真空腔室及旋轉(zhuǎn)饋入裝置3。旋轉(zhuǎn)饋入裝置3作為單一傳動(dòng)的旋轉(zhuǎn)饋入，即只提供一個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)饋入裝置3包括第一固定組件31、第一直驅(qū)馬達(dá)32、傳動(dòng)軸33及第一動(dòng)密封組件34，第一固定組件31、第一直驅(qū)馬達(dá)32、傳動(dòng)軸33及第一動(dòng)密封組件34的具體結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例相同，在此不再贅述。真空腔室的腔壁100上開(kāi)設(shè)有安裝孔，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的第一固定組件31密封固定于安裝孔，第一直驅(qū)馬達(dá)32位于真空腔室外。為了便于第一固定組件31與真空腔室腔壁100之間的密封，第一固定組件31上設(shè)有環(huán)形周緣319，環(huán)形周緣319的形狀與安裝孔的形狀相配合，環(huán)形周緣319與真空腔室腔壁100之間設(shè)有固定密封圈318。
[0060]傳動(dòng)軸33的一端通過(guò)安裝孔10延伸至真空腔室中，其可通過(guò)鍵或其他方式與任何合適的傳動(dòng)裝置、被驅(qū)動(dòng)部件聯(lián)接，從而實(shí)現(xiàn)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)饋入。
[0061]本實(shí)施例中，真空腔室中設(shè)有傳輸裝置，且傳輸裝置只需要提供單一的動(dòng)作，如叉手21的直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)軸33通過(guò)與第一實(shí)施方式相同的傳動(dòng)組件24連接于叉手21，以驅(qū)動(dòng)叉手21直線往復(fù)動(dòng)作。當(dāng)然，當(dāng)傳輸裝置2只需要進(jìn)行旋轉(zhuǎn)臺(tái)22的轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，傳動(dòng)軸33直接連接于旋轉(zhuǎn)臺(tái)22即可。
[0062]如圖5所示，在本實(shí)用新型第三實(shí)施方式提供的真空沉積系統(tǒng)中，其包括真空腔室及旋轉(zhuǎn)饋入裝置3。旋轉(zhuǎn)饋入裝置3與前述第二實(shí)施方式相同，在此不再贅述。在本實(shí)施方式中，真空腔室為反應(yīng)室，真空腔室中設(shè)有基片頂針機(jī)構(gòu)5，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3可為基片頂針機(jī)構(gòu)5提供傳動(dòng)饋入。
[0063]真空腔室的腔壁100上設(shè)有安裝孔，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3安裝于安裝孔，且位于真空腔室的底部，頂針機(jī)構(gòu)位于旋轉(zhuǎn)饋入裝置3的上部?；斸槞C(jī)構(gòu)5包括傳動(dòng)絲桿51、與傳動(dòng)絲桿51相配合的絲桿軸承52、空心軸53、托板54及頂針55。傳動(dòng)軸33、傳動(dòng)絲桿51及空心軸53三者同軸設(shè)置，傳動(dòng)絲桿51固定連接于傳動(dòng)軸33，傳動(dòng)絲桿51套設(shè)在空心軸53內(nèi)，絲桿軸承52設(shè)置在傳動(dòng)絲桿51與空心軸53之間，且固定于空心軸53內(nèi)。空心軸53固定于頂針55的底面。頂針55安裝于托板54的上表面，用于支撐基片9，以減小與基片9的接觸面積。傳動(dòng)軸33轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)傳動(dòng)絲桿51轉(zhuǎn)動(dòng),利用傳動(dòng)絲桿51與絲桿軸承52的配合，可使得托板54及頂針55上下升降活動(dòng)，頂針55可在反應(yīng)室12中的通孔進(jìn)行上下活動(dòng)，實(shí)現(xiàn)基片9的升起和降落功能。
[0064]在上述實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3均設(shè)置在真空腔室的底部，作為另外的實(shí)施方式，旋轉(zhuǎn)饋入裝置3亦可設(shè)置在真空腔室的側(cè)壁上。
[0065]在上述實(shí)施方式中，第一動(dòng)密封組件34包括套筒341、磁流體密封件342及密封圈343，其體積小，可便于與直徑相對(duì)較小的傳動(dòng)軸33的配合連接；第二動(dòng)密封組件37包括兩個(gè)同軸設(shè)置的兩個(gè)動(dòng)密封圈371、372及真空管道373，可適用于直徑相對(duì)較大的第一固定座的密封，作為另外的實(shí)施方式，第一動(dòng)密封組件可采用與第二動(dòng)密封組件相同的結(jié)構(gòu)，即第一動(dòng)密封組件包括兩個(gè)同軸設(shè)置的動(dòng)密封圈及真空管道，真空管道設(shè)置在第一固定座上，其一端連通兩個(gè)動(dòng)密封圈之間的密封環(huán)中，另一端連通至真空抽氣裝置。當(dāng)然，第二動(dòng)密封組件亦可采用與第一動(dòng)密封組件相同的結(jié)構(gòu)。
[0066]以上所述的實(shí)施方式，并不構(gòu)成對(duì)該技術(shù)方案保護(hù)范圍的限定。任何在上述實(shí)施方式的精神和原則之內(nèi)所作的修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在該技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種旋轉(zhuǎn)饋入裝置，其特征在于，包括第一固定組件、傳動(dòng)軸、第一動(dòng)密封組件及第一直驅(qū)馬達(dá)； 所述第一固定組件包括第一固定座，所述第一固定座上設(shè)有軸孔； 所述第一動(dòng)密封組件安裝于所述軸孔中，用于所述傳動(dòng)軸與所述第一固定座之間的密封； 所述傳動(dòng)軸繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)穿設(shè)所述第一動(dòng)密封組件； 所述第一直驅(qū)馬達(dá)安裝于所述第一固定組件，所述第一直驅(qū)馬達(dá)的輸出端連接于所述傳動(dòng)軸，以驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，其特征在于，所述第一固定座為一端閉合的筒狀，所述軸孔開(kāi)設(shè)在第一固定座的閉合端；所述第一固定座上相對(duì)閉合端的另一端密封設(shè)置以形成一密閉腔體，所述第一直驅(qū)馬達(dá)的輸出端位于該密閉腔體中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，其特征在于，所述第一固定組件還包括第一支撐套筒及第一端蓋，所述第一固定座上相對(duì)閉合端的另一端與所述第一支撐套筒的一端固定連接，所述第一支撐套筒的另一端與所述第一端蓋固定連接；所述第一直驅(qū)馬達(dá)位于所述第一支撐套筒中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，其特征在于，所述第一動(dòng)密封組件包括套筒、磁流體密封件及密封圈，所述套筒固定于所述軸孔中，所述密封圈設(shè)置在所述套筒與所述第一固定組件之間，所述傳動(dòng)軸繞自身軸向轉(zhuǎn)動(dòng)套設(shè)在所述套筒內(nèi)，所述磁流體設(shè)置在所述套筒的內(nèi)壁與所述傳動(dòng)軸之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置還包括第二固定組件及第二直驅(qū)`馬達(dá)； 所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二固定組件； 所述第二直驅(qū)馬達(dá)固定于第二固定組件，其輸出端連接于所述第一固定組件或所述第一直驅(qū)馬達(dá)，以驅(qū)動(dòng)所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，其特征在于，所述第二固定組件包括第二固定座，所述第二固定座為環(huán)狀，所述第一固定座轉(zhuǎn)動(dòng)套設(shè)在所述第二固定座內(nèi)；所述第一固定座與所述第二固定座之間設(shè)有第二動(dòng)密封組件，所述第二動(dòng)密封組件包括兩個(gè)同軸設(shè)置的兩個(gè)動(dòng)密封圈及真空管道，所述第一固定座、所述第二固定座與兩個(gè)所述動(dòng)密封圈之間形成環(huán)狀的密封空間，所述真空管道設(shè)置在所述第二固定座上，所述真空管道的一端連通至所述密封空間、另一端連通至一真空抽氣裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)軸、所述第一直驅(qū)馬達(dá)及所述第二直驅(qū)馬達(dá)同軸設(shè)置。
8.一種真空沉積系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)饋入裝置及真空腔室，所述真空腔室的腔壁上設(shè)有安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置安裝于所述安裝孔處； 所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置的第一固定組件安裝于所述安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置的第一直驅(qū)馬達(dá)位于所述真空腔室外、傳動(dòng)軸上遠(yuǎn)離所述第一直驅(qū)馬達(dá)的一端位于所述真空腔室中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空沉積系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)饋入裝置還包括第二固定組件及第二直驅(qū)馬達(dá)； 所述第二固定組件密封固定于所述安裝孔，所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述第二固定組件； 所述第二直驅(qū)馬達(dá)固定于第二固定組件，其輸出端連接于所述第一固定組件或所述第一直驅(qū)馬達(dá)，以驅(qū)動(dòng)所述第一固定組件轉(zhuǎn)動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空沉積系統(tǒng)，其特征在于，所述真空沉積系統(tǒng)還包括設(shè)置在所述真空腔室中的傳輸裝置；所述傳輸裝置包括叉手及旋轉(zhuǎn)臺(tái)；所述叉手通過(guò)直線導(dǎo)向組件直線滑動(dòng)連接于所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)；所述叉手與所述傳動(dòng)軸之間設(shè)有傳動(dòng)組件，用于將所述傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為所述叉手的直線移動(dòng)； 所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述真空腔室的內(nèi)壁，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)固定連接于所述第一固定組件。`
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK203625463SQ201320706064
【公開(kāi)日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月8日
【發(fā)明者】何祝兵, 蘇奇聰, 王春柱 申請(qǐng)人:南方科技大學(xué)