專利名稱：用于涂覆基材的設(shè)備和模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于涂覆基材的設(shè)備，該設(shè)備包括涂覆室和用于涂覆基材的設(shè)備的模塊。
背景技術(shù)：
在用于生產(chǎn)平面顯示屏、彩色濾光片和顯示器等此類的產(chǎn)品的傳統(tǒng)涂覆設(shè)備中，基材由位于鋁片上的傳統(tǒng)的箝位設(shè)備提供，并且由具有多個(gè)室的涂覆設(shè)備引導(dǎo)。
為了維護(hù)和清潔，室的面壁部分是可以移動(dòng)或拆分的。進(jìn)而，可以清潔室的內(nèi)部，并且可以執(zhí)行目標(biāo)的轉(zhuǎn)變。此時(shí)，設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài)。由于進(jìn)入到室的內(nèi)部受到限制并且比較困難，所以停機(jī)時(shí)間相對(duì)來(lái)說(shuō)較長(zhǎng)。
在單個(gè)的涂覆室之間設(shè)有泵隔間，通過(guò)這些泵隔間把涂覆室抽空。由于采用此種設(shè)計(jì)，傳統(tǒng)的設(shè)備延伸了相對(duì)較大的長(zhǎng)度。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于涂覆裝置的設(shè)備和模塊，該涂覆裝置能夠便于設(shè)備磨損部分的維護(hù)工作并減小設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆設(shè)備和根據(jù)權(quán)利要求18所述的用于涂覆設(shè)備的模塊可以實(shí)現(xiàn)所述目的。
本發(fā)明的用于涂覆基材的設(shè)備包括模塊設(shè)計(jì)的涂覆室，其中，一個(gè)模塊具有一個(gè)室區(qū)段、一個(gè)位于所述室區(qū)段內(nèi)或其上的可移動(dòng)的第一支撐，和一個(gè)設(shè)置在所述第一支撐上的可移動(dòng)的第二支撐。例如，所述設(shè)備用于涂覆透明的基材，尤其用于生產(chǎn)顯示器。
當(dāng)需要的時(shí)候，任意數(shù)量的模塊可以以系列的形式設(shè)置在涂覆設(shè)備中。在各個(gè)模塊中可以進(jìn)行相同的或不同的過(guò)程。模塊的結(jié)構(gòu)允許設(shè)備靈活的設(shè)置或裝配。但是，本發(fā)明也涉及僅將一個(gè)單一模塊作為涂覆室的一部分或作為涂覆室。
所述支撐可以被收回或橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離已抽空的室區(qū)段。此外，所述支撐可以彼此分開(kāi)。所述第一支撐設(shè)置在所述室區(qū)段和所述第二支撐之間。這樣，就形成夾層式的結(jié)構(gòu)。
為了維護(hù)，首先從第一支撐和涂覆室移開(kāi)外部支撐。或者，兩個(gè)支撐可以橫向移動(dòng)，共同遠(yuǎn)離室區(qū)段。然后，從室區(qū)段移開(kāi)第一支撐，或分開(kāi)所述兩個(gè)支撐并且將其中一個(gè)支撐從另一個(gè)中移開(kāi)。這樣，在室區(qū)段與第一支撐之間，和/或第一和第二支撐之間形成人員易于接近的維護(hù)區(qū)。
由于支撐可以從室區(qū)段中分離出來(lái)，因而可以在模塊元件之間形成人員易于接近的區(qū)域。這樣就便于進(jìn)入模塊(室區(qū)段、第一支撐、第二支撐)的各個(gè)元件部分。尤其，同時(shí)還可以進(jìn)入涂覆室和陰極，例如為了維護(hù)。因此，比如兩組人員可以同時(shí)清潔和維護(hù)所述設(shè)備，其中一方可以進(jìn)入第一支撐和室區(qū)段之間的自由空間，而另一方可以進(jìn)入第二支撐和第一支撐之間。第一方清潔涂覆室，尤其是百葉窗和其內(nèi)的類似部件，同時(shí)第二方維護(hù)陰極。這樣，由于維護(hù)和清潔的停機(jī)時(shí)間就會(huì)充分的減小。
優(yōu)選地，設(shè)置第一支撐，使得可以從側(cè)面將第一支撐從室區(qū)段移開(kāi)，并且設(shè)置第二支撐，使得可以從側(cè)面將第二支撐從第一支撐移開(kāi)。術(shù)語(yǔ)“側(cè)面”是指基材的傳送方向和相應(yīng)的整個(gè)設(shè)備的縱向軸方向。
尤其設(shè)置第二支撐，用于關(guān)閉室區(qū)段內(nèi)的側(cè)面的孔。
尤其在第一支撐上設(shè)置至少一個(gè)處理工具。
可能的處理工具包括，例如用于噴涂過(guò)程的陰極，但是一般也包括用于其它過(guò)程的工具，比如蒸發(fā)。除了處理工具之外，可以在第一支撐上設(shè)置用于陰極和百葉窗的冷卻系統(tǒng)、媒介連接、陰極環(huán)境(百葉窗防護(hù))、用于分離單個(gè)陰極的分隔壁、旋轉(zhuǎn)陰極的驅(qū)動(dòng)等。通過(guò)支撐上相應(yīng)的連接提供電流、冷卻水和處理氣體。本發(fā)明的核心思想是最合理的設(shè)置模塊的各部件，以使各部件易于接近，易于進(jìn)行維護(hù)并且可以直接被提供能量或處理氣體。
優(yōu)選地，所述處理工具有至少一個(gè)濺鍍陰極。
所述處理工具尤其具有至少一個(gè)平面陰極和/或至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)陰極。
在第一支撐上，可以把幾個(gè)處理工具設(shè)置為彼此鄰近。
所述處理工具可以設(shè)置在涂覆室內(nèi)的一個(gè)公共的處理空間中。該實(shí)施例的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于緊湊的設(shè)計(jì)?？梢栽诘谝恢蝺?nèi)設(shè)置許多陰極(例如，ITO)。
然而，也可以形成第一支撐，使得通過(guò)設(shè)置在第一支撐上的媒介單元，把涂覆室內(nèi)的至少兩個(gè)處理工具或至少兩組處理工具彼此分離開(kāi)來(lái)。對(duì)于彼此分離的陰極，每個(gè)陰極都可被設(shè)置成一個(gè)專門的泵或一組泵，所述的泵設(shè)置在陰極后面的表面上。每個(gè)陰極的專門的泵或一組泵的設(shè)置是非常有利的，因?yàn)檫@種設(shè)置可以使得在每個(gè)陰極上的氣流被單獨(dú)的調(diào)節(jié)。盡管一般來(lái)說(shuō)，相同的陰極，比如ITO陰極會(huì)被用于共同的處理室中，但本實(shí)施例允許使用不同的陰極，這是由于在被分離的陰極環(huán)境中能產(chǎn)生一種特殊的氣氛。
所述設(shè)備優(yōu)選具有一個(gè)泵裝置，用于在涂覆室中產(chǎn)生真空，所述涂覆室具有泵，其中至少一個(gè)泵被設(shè)置在第二支撐上。模塊的三個(gè)部分的涂覆元件的設(shè)置滿足不同的方面，比如提供或接近維護(hù)工作。通過(guò)在第二支撐上(即，在表面上)設(shè)置泵，減小了整個(gè)設(shè)備的長(zhǎng)度，這是因?yàn)椴恍枰c涂覆室相連接的泵隔間?，F(xiàn)在都把泵設(shè)置在陰極的后面。
所述第一支撐和/或第二支撐尤其被設(shè)置成車或車廂的形式，所述車或車廂能從側(cè)面從室區(qū)段收回，或從側(cè)面橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離室區(qū)段。
當(dāng)將第一和/或第二支撐從室區(qū)段收回或橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離室區(qū)段和/或?qū)⒌谝缓?或第二支撐插入室區(qū)段或橫向移動(dòng)靠近室區(qū)段時(shí)，用于引導(dǎo)第一和/或第二支撐的裝置是一個(gè)優(yōu)選的特點(diǎn)。
優(yōu)選地，設(shè)置用于引導(dǎo)所述支撐的裝置，使得從室區(qū)段收回的第一支撐能被移動(dòng)至足夠遠(yuǎn)離室區(qū)段的位置，從而在所述第一支撐和室區(qū)段之間形成人員能夠接近的區(qū)域。
可以設(shè)置用于引導(dǎo)所述支撐的裝置，使得橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離第一支撐的第二支撐能被移動(dòng)至足夠遠(yuǎn)離第一支撐的位置，從而在所述第一支撐和第二支撐之間形成人員能夠接近的區(qū)域。
所述室區(qū)段可以具有一個(gè)基本垂直的通道，該通道用于傳輸通過(guò)室區(qū)段進(jìn)行涂覆的基材。但是，本發(fā)明原則上不只局限于通過(guò)該設(shè)置傳輸?shù)幕牡拇怪狈较虻脑O(shè)置，，因?yàn)楸景l(fā)明的原理也適用于水平方向的設(shè)置。
所述處理工具基本上是垂直設(shè)置的，尤其在第一支撐上。但是，由于前面所涉及的原因，滿足所述要求的陰極的另一種不同的設(shè)置也是可能的。
所述設(shè)備尤其具有至少兩個(gè)模塊，所述模塊被設(shè)置為關(guān)于縱向軸對(duì)稱。所述實(shí)施例對(duì)于所述設(shè)備是有利的，所述設(shè)備具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)站用于減小整個(gè)設(shè)備的長(zhǎng)度。
本發(fā)明的用于涂覆基材的模塊包括至少一個(gè)涂覆室、一個(gè)設(shè)置在室區(qū)段內(nèi)或其上的可移動(dòng)的第一支撐，和一個(gè)設(shè)置在第一支撐上的可移動(dòng)的第二支撐。
尤其，所述模塊具有如上所描述的特征。


結(jié)合下面的具體實(shí)施例的描述來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)。
其中，圖1是本發(fā)明的用于涂覆設(shè)備的模塊的三維示意圖；圖2是上述涂覆設(shè)備的示意圖；圖3是上述兩個(gè)模塊的示意圖；以及圖4是本發(fā)明的模塊的三維示意圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是本發(fā)明的用于涂覆設(shè)備的模塊1的三維示意圖。模塊1由一個(gè)室或一個(gè)室區(qū)段2、一個(gè)其中設(shè)有陰極的中間支撐3和一個(gè)表面4構(gòu)成。
室區(qū)段2在兩邊有孔7，孔7用于通過(guò)室區(qū)段2的基材的垂直傳輸。
該例子中的涂覆室是對(duì)稱設(shè)計(jì)的，這是因?yàn)橛?jì)劃將模塊用于具有旋轉(zhuǎn)站的涂覆設(shè)備中。因此，涂覆室2具有與孔7對(duì)稱的孔8。箭頭指示了傳送基材的方向。分隔壁9隔離室區(qū)段2的形狀基本對(duì)稱的室部分。
室區(qū)段2通常提供基材和傳感器的驅(qū)動(dòng)。而且，在室的后壁或分隔壁9的前面設(shè)置了防護(hù)和/或加熱裝置。
在本實(shí)施例中，中間支撐3被做成車廂的形式，該車廂可以相對(duì)于室區(qū)段2移動(dòng)。如圖1所示，支撐3至少在一個(gè)操作位置和維護(hù)位置之間可以橫向移動(dòng)，在所述操作位置內(nèi)，支撐3被橫向移入室區(qū)段2或遠(yuǎn)離室區(qū)段2。通過(guò)從側(cè)面將支撐3橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離室2，獲得人員易于接近的維護(hù)通道11a，使得可以在室區(qū)段2內(nèi)或設(shè)于支撐3上的元件上舒適和簡(jiǎn)便地進(jìn)行維護(hù)工作(比如，目標(biāo)的轉(zhuǎn)變)?？梢詮木S護(hù)區(qū)域11a進(jìn)入室區(qū)段2的內(nèi)部和支撐3。
中間支撐3基本支撐陰極(圖1沒(méi)有示出)。在本實(shí)施例中，支撐3中的分隔壁10把陰極彼此分離開(kāi)來(lái)。除了陰極之外，在支撐上設(shè)置百葉窗、用于陰極和百葉窗的冷卻系統(tǒng)和媒介連接。例如，所述媒介連接可以設(shè)置在支撐3的底部。陰極環(huán)境(百葉窗防護(hù))還可包括用于將各個(gè)陰極彼此分離的分隔壁10，以及當(dāng)使用了旋轉(zhuǎn)陰極時(shí)的驅(qū)動(dòng)。例如，電流供應(yīng)連接可以設(shè)置在支撐3的頂部，使得在進(jìn)行維護(hù)時(shí)，不需要斷開(kāi)電流供應(yīng)線。
面4也設(shè)計(jì)成車廂的形式，并且可以獨(dú)立于第一支撐3相對(duì)移動(dòng)。支撐3和面4可以被移動(dòng)而彼此遠(yuǎn)離，因此附加的維護(hù)通道11b是空余的。在維護(hù)位置上形成人員可接近的區(qū)域11b，通過(guò)所述區(qū)域11b，易于接近設(shè)置在支撐3上的元件和位于面4上的元件。
面4基本支撐真空系統(tǒng)的渦輪分子泵(圖1沒(méi)有示出)，并且面4從中間支撐3分離開(kāi)來(lái)。支撐3和面4可以在軌道12上彼此獨(dú)立地被引導(dǎo)。
在操作位置上，支撐3和面4均橫向移動(dòng)靠近室區(qū)段2。面4關(guān)閉位于室區(qū)段2的側(cè)壁上的孔或支撐3中的孔。該圖示出了模塊1的夾層式結(jié)構(gòu)。
圖2是上面所述的專門的涂覆設(shè)備的設(shè)計(jì)的示意圖。所述設(shè)備具有涂覆室14上游的一個(gè)室13、涂覆室14、一個(gè)下游的室15和一個(gè)旋轉(zhuǎn)站16?；?7通過(guò)區(qū)域13、14和15傳送到旋轉(zhuǎn)站16，在旋轉(zhuǎn)站中基材17旋轉(zhuǎn)180度，并且在相反的方向上通過(guò)涂覆設(shè)備反向傳送回來(lái)。整個(gè)設(shè)備被設(shè)計(jì)成關(guān)于設(shè)備的縱向軸鏡像對(duì)稱。所述設(shè)備能夠進(jìn)行連續(xù)和固定的涂覆處理，并且也可以在垂直方向或水平方向上傳送基材。
在區(qū)域13、14和/或15中設(shè)置加熱器21。涂覆區(qū)域14在向區(qū)域13和15過(guò)渡的區(qū)域內(nèi)具有分離閥22。通過(guò)分離閥的方式，能夠排空單個(gè)的室區(qū)域，比如為了維護(hù)工作，而不需要排空剩余的區(qū)域。
在該實(shí)施例中具有一個(gè)室區(qū)段2的涂覆區(qū)域14可以任選地加載不同的陰極設(shè)置。這已在圖2下部示出。
左邊所示的中間支撐3a支撐旋轉(zhuǎn)陰極5a，并且中間所示的中間支撐3b支撐模塊平面陰極5b。右邊所示的支撐3c支撐彼此分離的平面陰極5c，并且每個(gè)陰極被設(shè)置成一個(gè)專用的泵18。通過(guò)排空涂覆室的方式，面4c具有通道19而支撐3c具有通道20。通過(guò)通道20，每個(gè)陰極可以具有專用于該陰極的泵。分隔壁10設(shè)置在陰極之間。由于具有對(duì)于每個(gè)陰極5c的專用泵18的設(shè)置的優(yōu)點(diǎn)，便于每個(gè)陰極5c的氣流的單個(gè)調(diào)節(jié)。
陰極5a、5b和5c被分別結(jié)合在支撐3a、3b和3c中。它們可用于相同或不同的處理。對(duì)于不同的處理，不同的模塊1也可被設(shè)置成一縱列并集成到整個(gè)設(shè)備中去。
面4a、4b和4c僅僅支撐泵18并且用于密封涂覆室。
在圖3中，示出了兩個(gè)模塊1，其中，中間支撐3和面4被帶入到遠(yuǎn)離室區(qū)段2的兩個(gè)不同的維護(hù)位置。
中間支撐3和面4可以與基材17的傳輸方向成恰當(dāng)?shù)慕嵌葯M向移動(dòng)。對(duì)于設(shè)備的操作，支撐3和面4都可橫向移動(dòng)靠近室區(qū)段2。
左面示出的模塊1內(nèi)，本實(shí)施例在室區(qū)段2和支撐3之間以及支撐3和面4之間形成兩個(gè)維護(hù)通道11a和11b。通過(guò)這種方法，可以同時(shí)在維護(hù)區(qū)域11b對(duì)設(shè)置在支撐3內(nèi)的陰極和在維護(hù)區(qū)域11a對(duì)室內(nèi)部的元件進(jìn)行操作。
在右邊示出的支撐3和面4的位置上，形成一個(gè)大的維護(hù)區(qū)域11a。
圖4清楚地示出了具有室區(qū)段2、中間支撐3和面4的模塊1的夾層式結(jié)構(gòu)，其中，中間支撐3支撐陰極5，渦輪分子泵18設(shè)置在面4上。
從附圖可以看出，車廂形式的可移動(dòng)的模塊元件3和4的形式是非常清楚的，所述模塊3和4可以在軌道12上移動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種用于涂覆基材的設(shè)備，包括一個(gè)涂覆室，其特征在于，所述涂覆室是模塊化的，包括具有室區(qū)段(2)、第一支撐(3)和第二支撐(4)的模塊(1)，所述的第一支撐(3)可移動(dòng)的設(shè)置在所述室區(qū)段(2)中或其上，所述的第二支撐(4)可移動(dòng)的設(shè)置在所述第一支撐(3)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，可以從側(cè)面把所述的第一支撐(3)從室區(qū)段(2)移開(kāi)，并且可以從側(cè)面把所述的第二支撐(4)從所述的第一支撐(3)的一側(cè)移開(kāi)。
3.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，形成所述的第二支撐(4)，用于關(guān)閉室區(qū)段(2)的側(cè)面的孔。
4.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，在所述的第一支撐(3)上設(shè)置至少一個(gè)處理工具(5)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于，所述的處理工具(5)具有至少一個(gè)濺鍍陰極(5a，5b，5c)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的設(shè)備，其特征在于，所述的處理工具(5)具有至少一個(gè)平面陰極(5b，5c)和/或至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)陰極(5a)。
7.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，在所述的第一支撐(3)上將多個(gè)處理工具(5)設(shè)置為彼此相鄰。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，所述的處理工具(5)被設(shè)置在所述的涂覆室內(nèi)的公共處理空間中。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，設(shè)置所述的第一支撐(3)，使得所述涂覆室內(nèi)的至少兩個(gè)處理工具(5)或至少兩組處理工具(5)通過(guò)設(shè)置在所述的第一支撐(3)上的中間元件(10)被彼此分離。
10.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備具有一個(gè)用于在所述的涂覆室內(nèi)形成真空的泵設(shè)備，所述涂覆室具有泵(18)且泵(18)中至少有一個(gè)設(shè)置在所述的第二支撐(4)上。
11.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，將所述的第一支撐(3)和/或第二支撐(4)設(shè)置成車或車廂的形式，所述的車或車廂可以從側(cè)面從室區(qū)段(2)收回或可以從側(cè)面橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離室區(qū)段(2)。
12.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，當(dāng)將所述的第一和/或第二支撐(3，4)從室區(qū)段(2)收回或橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離室區(qū)段(2)和/或?qū)⑺龅牡谝缓?或第二支撐(3，4)插入室區(qū)段(2)或橫向移動(dòng)靠近室區(qū)段(2)時(shí)，提供用于引導(dǎo)所述的第一和/或第二支撐(3，4)的裝置(12)。
13.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，提供用于引導(dǎo)所述的支撐(3，4)的裝置(12)，并將其設(shè)置為能將從所述的室區(qū)段(2)收回的所述的第一支撐(3)移動(dòng)至足夠遠(yuǎn)離室區(qū)段(2)的位置，從而在所述的第一支撐(3)和所述的室區(qū)段(2)之間形成一個(gè)人員易于接近的區(qū)域(11a)。
14.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，提供用于引導(dǎo)所述的支撐(3，4)的裝置(12)，并將其設(shè)置為能將橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離所述的第一支撐(3)的所述的第二支撐(4)移動(dòng)至足夠遠(yuǎn)離第一支撐(3)的位置，從而在所述的第一支撐(3)和所述的第二支撐(4)之間形成一個(gè)人員易于接近的區(qū)域(11b)。
15.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，所述的室區(qū)段(2)具有一個(gè)基本垂直的通道(7)，所述的通道(7)用于傳送通過(guò)室區(qū)段(2)進(jìn)行涂覆的基材。
16.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，在所述的第一支撐(3)上的基本垂直設(shè)置的處理工具(5)。
17.根據(jù)上述任意一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備具有兩個(gè)模塊(1)，所述兩個(gè)模塊(1)設(shè)置為關(guān)于縱向軸對(duì)稱。
18.一種用于涂覆基材的設(shè)備的模塊(1)，其包括至少一個(gè)室區(qū)段(2)，一個(gè)第一支撐(3)和一個(gè)第二支撐(4)，所述第一支撐(3)可移動(dòng)的設(shè)置在所述的室區(qū)段(2)上或其內(nèi)，所述第二支撐(4)可移動(dòng)的設(shè)置在第一支撐(3)上。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的模塊(1)，其特征在于，可以從側(cè)面將所述的第一支撐(3)從室區(qū)段(2)移開(kāi)，并可以從側(cè)面將所述的第二支撐(4)從第一支撐(3)移開(kāi)。
20.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的模塊(1)，其特征在于，形成所述的第二室(4)，用于關(guān)閉室區(qū)段(2)內(nèi)的側(cè)面的孔。
21.根據(jù)18至20任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，在所述的第一支撐(3)上設(shè)置至少一個(gè)處理工具(5)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的模塊(1)，其特征在于，所述的處理工具(5)具有至少一個(gè)濺鍍陰極(5a，5b，5c)。
23.根據(jù)權(quán)利要求21或22所述的模塊(1)，其特征在于，所述的處理工具(5)具有至少一個(gè)平面陰極(5b，5c)和/或至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)陰極(5a)。
24.根據(jù)18至23任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，在所述的第一支撐(3)上將多個(gè)處理工具(5)設(shè)置為彼此相鄰。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的模塊(1)，其特征在于，設(shè)置所述的第一支撐(3)，使得通過(guò)設(shè)置在所述的第一支撐(3)上的中間元件(10)將至少兩個(gè)處理工具(5)或至少兩組處理工具(5)彼此分離。
26.根據(jù)18至25任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，用于產(chǎn)生真空的泵裝置中的至少一個(gè)泵(18)設(shè)置在所述的第二支撐(4)上。
27.根據(jù)18至26任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，將所述的第一支撐(3)和/或所述的第二支撐(4)設(shè)置成車或車廂的形式，所述的車或車廂可以從側(cè)面從室區(qū)段(2)收回或可以從側(cè)面橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離室區(qū)段(2)。
28.根據(jù)18至27任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，設(shè)置所述的模塊(1)，使得當(dāng)將所述的第一和/或第二支撐(3，4)從室區(qū)段(2)收回或橫向移動(dòng)遠(yuǎn)離室區(qū)段(2)和/或?qū)⑺龅牡谝缓?或第二支撐(3，4)插入室區(qū)段(2)或橫向移動(dòng)靠近室區(qū)段(2)時(shí)，通過(guò)裝置(12)引導(dǎo)所述的第一和/或第二支撐(3，4)。
29.根據(jù)18至28任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，所述的第一支撐(3)可以從室區(qū)段(2)移開(kāi)，從而在所述的第一支撐(3)和室區(qū)段(2)之間形成一個(gè)人員易于接近的區(qū)域(11a)。
30.根據(jù)18至29任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，所述的第二支撐(4)可以從所述的第一支撐(3)移開(kāi)，從而在所述的第一支撐(3)和第二支撐(4)之間形成一個(gè)人員易于接近的區(qū)域(11b)。
31.根據(jù)18至30任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，所述的室區(qū)段(2)具有一個(gè)垂直的通道(7)，所述通道(7)用于傳送通過(guò)室區(qū)段(2)進(jìn)行涂覆的基材。
32.根據(jù)18至31任意一權(quán)利要求所述的模塊(1)，其特征在于，在所述的第一支撐(3)上的基本垂直設(shè)置的處理工具(5)。
全文摘要
一種用于生產(chǎn)顯示器的涂覆透明基材的設(shè)備，其包括具有模塊設(shè)計(jì)的涂覆室。每個(gè)模塊1具有一個(gè)室區(qū)段2、可移動(dòng)的設(shè)置在室區(qū)段2中或其上的第一支撐3和可移動(dòng)的設(shè)置在第一支撐3上的第二支撐4。所述的第一支撐3支撐陰極，而所述的第二支撐4設(shè)置為一個(gè)表面，在該表面上設(shè)有泵，用于在涂覆室內(nèi)形成真空?？梢詮膫?cè)面將支撐3和4從室區(qū)段2移開(kāi)，從而在模塊元件之間形成人員易于接近的區(qū)域11a，11b。這樣，就易于接近設(shè)備的元件，例如，為了維護(hù)?？梢酝瑫r(shí)在陰極和室內(nèi)部進(jìn)行操作。
文檔編號(hào)C23C14/54GK1854329SQ20061007372
公開(kāi)日2006年11月1日 申請(qǐng)日期2006年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月8日
發(fā)明者漢斯·布赫貝格爾, 安德烈亞斯·蓋斯, 約爾格·克倫佩爾·黑塞, 迪特爾·哈斯 申請(qǐng)人:應(yīng)用薄膜有限責(zé)任與兩合公司