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用于涂覆基材的設(shè)備和模塊的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3251356

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本發(fā)明涉及一種用于涂覆基材的設(shè)備,該設(shè)備包括涂覆室和用于涂覆基材的設(shè)備的模塊。背景技術(shù) 在用于生產(chǎn)平面顯示屏、彩色濾光片和顯示器等此類的產(chǎn)品的傳統(tǒng)涂覆設(shè)備中,基材由位于鋁片上的傳統(tǒng)的箝位設(shè)備提供,并且由具有多個室的涂覆設(shè)備引導(dǎo)。為了維護和清潔,室的面壁部分是可以移動或拆分的。進而,可以清潔室的內(nèi)部,并且可以執(zhí)行目標(biāo)的轉(zhuǎn)變。此時,設(shè)備處于停機狀態(tài)。由于進入到室的內(nèi)部受到限制并且比較困難,所以停機時間相對來說較長。在單個的涂覆室之間設(shè)有泵隔間,通過這些泵隔間把...
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