專利名稱：基板制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于制造用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶顯示設(shè)備等的基板的裝置。
背景技術(shù)：
一般而言，為了制造基板，要將沉積薄膜的沉積過(guò)程、使用感光材料來(lái)光曝露或光屏蔽一薄膜的選定區(qū)域的照相平版印刷過(guò)程、移除該選定區(qū)域的蝕刻過(guò)程和移除殘留物的清潔過(guò)程重復(fù)若干次。
在包括各處理腔室的裝置中進(jìn)行所述各處理。近來(lái)，將一包括一轉(zhuǎn)移基板的轉(zhuǎn)移腔室、與一用來(lái)暫時(shí)存儲(chǔ)基板并且連接到所述轉(zhuǎn)移腔室以及所述多個(gè)處理腔室裝載固定腔室(load-lock chamber)的組合件用作所述裝置。組合件包括一處理腔室，如，等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備和干式蝕刻器。
圖1為根據(jù)相關(guān)技術(shù)的組合件的示意圖。
如圖1中所示，組合件包括一裝載固定腔室20、一轉(zhuǎn)移腔室40和復(fù)數(shù)個(gè)處理腔室30。裝載固定腔室20連接到裝載復(fù)數(shù)個(gè)基板50的存儲(chǔ)部分10。
在轉(zhuǎn)移腔室40中，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械42被配置以在裝載固定腔室20與處理腔室30之間轉(zhuǎn)移基板50。在存儲(chǔ)部分10中，存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械12被配置以將基板50輸入到裝載固定腔室20中并將基板50從裝載固定腔室20輸出。
同時(shí)，在將基板50輸入到處理腔室30之前，處理腔室30的一部分可用作預(yù)熱或冷卻基板50的腔室。此外，可改變裝載固定腔室20和處理腔室30的數(shù)目。
下文將闡釋在使用相關(guān)技術(shù)組合件制造基板的過(guò)程中基板的移動(dòng)過(guò)程。
首先，存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械12將基板50從存儲(chǔ)部分10輸入到裝載固定腔室20。此時(shí)，裝載固定腔室20在大氣壓力下，且轉(zhuǎn)移腔室40的第一門24是關(guān)閉的。
當(dāng)基板50被放置在裝載固定腔室20上且存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械12離開裝載固定腔室20時(shí)，關(guān)閉存儲(chǔ)部分10的第二門22，并進(jìn)行抽真空處理，使裝載固定腔室20達(dá)到真空狀態(tài)。
當(dāng)裝載固定腔室20的真空等于處理腔室30或轉(zhuǎn)移腔室40的真空，第一門24打開，且轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械42將未處理的基板50從裝載固定腔室20轉(zhuǎn)移到處理腔室30。
當(dāng)將基板50輸入到處理腔室30中時(shí)，進(jìn)行根據(jù)處理腔室50而定的處理。當(dāng)在處理腔室50中完成處理時(shí)，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械42進(jìn)入處理腔室30中，并將基板50輸出。接著，當(dāng)基板50被放置在裝載固定腔室20上時(shí)，存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械12將其輸出到存儲(chǔ)部分10。
在使用相關(guān)技術(shù)組合件作為基板制造裝置中，轉(zhuǎn)移腔室具有多邊形形狀，且沿轉(zhuǎn)移腔室20的輪廓配置該等處理腔室。因此，限制了處理腔室的數(shù)目和配置。
近來(lái)，隨著基板的尺寸增大，處理腔室和轉(zhuǎn)移腔室的尺寸增大。然而，處理腔室和轉(zhuǎn)移腔室的尺寸的增加比率大于基板，且尤其是，轉(zhuǎn)移腔室的增加比率大于處理腔室。因此，用于建立基板制造裝置的空間大大增加。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明針對(duì)一種基板制造裝置，其大體上排除了由于相關(guān)技術(shù)的限制和缺點(diǎn)的引起的一個(gè)或一個(gè)以上的問(wèn)題。
本發(fā)明的一目的在于提供一種基板制造裝置，其可改進(jìn)處理腔室的配置和數(shù)目的限制，并降低因?yàn)榛宓脑黾佣鸬霓D(zhuǎn)移腔室和處理腔室的增加比率。
本發(fā)明的額外特征和優(yōu)點(diǎn)將陳述在下文的具體實(shí)施方式
中，且部分將從具體實(shí)施方式
變得顯而易見，或從本發(fā)明的實(shí)踐中得到了解。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)將從在書面描述及其權(quán)利要求書以及附圖中特別指出的結(jié)構(gòu)中得到認(rèn)識(shí)和獲得。
為達(dá)到這些和其它優(yōu)點(diǎn)且根據(jù)本發(fā)明的目的，如所具體和廣泛描述的，一基板制造裝置包括一沿縱向延伸的轉(zhuǎn)移腔室；沿縱向連接到該轉(zhuǎn)移腔室的至少一個(gè)處理腔室；在該轉(zhuǎn)移腔室的至少一側(cè)處連接到該轉(zhuǎn)移腔室的至少一個(gè)裝載固定腔室；和一沿該轉(zhuǎn)移腔室的縱向方向移動(dòng)并轉(zhuǎn)移一基板的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械。
應(yīng)理解，上文的概括性描述和下文的詳細(xì)描述都是示范性和說(shuō)明性的，并且其旨在如對(duì)所主張的發(fā)明提供進(jìn)一步的闡釋。


附圖用來(lái)舉例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例，且與實(shí)施方式一起用來(lái)闡釋本發(fā)明的原理，該等附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解且構(gòu)成了本說(shuō)明書的一部分。其中圖1為根據(jù)相關(guān)技術(shù)的組合件的示意圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的基板制造裝置的示意圖；圖3A為顯示沿圖2的III-III線截取的轉(zhuǎn)移腔室和裝載固定腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖；圖3B為圖3A的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的側(cè)面圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的具有屏蔽構(gòu)件的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的橫斷面圖；圖5為顯示沿圖2的IV-IV線截取的轉(zhuǎn)移腔室和處理腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖；
圖6到10B為結(jié)構(gòu)不同于圖3A的一轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的橫斷面圖；圖11A為顯示沿圖2的Va-Va線截取的，存儲(chǔ)部分、傳送部分和裝載固定腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖；圖11B為顯示沿圖2的Vb-Vb線截取的，轉(zhuǎn)移腔室、處理腔室和裝載固定腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖；圖12為顯示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的傳送部分的運(yùn)作圖；圖13為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例，具有雙層結(jié)構(gòu)的裝載固定腔室和處理腔室的圖；圖14為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例，具有雙層結(jié)構(gòu)的裝載固定腔室的橫斷面圖；圖15為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例，具有雙層結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移腔室和處理腔室的橫斷面圖；圖16為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的不同于圖2的基板制造裝置的圖；和圖17為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基板制造裝置的圖。
具體實(shí)施例方式
詳細(xì)參考優(yōu)選實(shí)施例，其實(shí)例將在附圖中說(shuō)明。
圖2為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板制造裝置的圖。
基板制造裝置直列式轉(zhuǎn)移一基板100。配置一轉(zhuǎn)移腔室240和復(fù)數(shù)個(gè)處理腔室230，以沿一直線轉(zhuǎn)移基板100。
如圖2所示，該裝置包括沿一個(gè)方向延伸的轉(zhuǎn)移腔室240、在轉(zhuǎn)移腔室240的兩側(cè)沿轉(zhuǎn)移腔室240的長(zhǎng)軸配置的復(fù)數(shù)個(gè)處理腔室230與復(fù)數(shù)個(gè)裝載固定腔室220、和一存儲(chǔ)部分210。所述裝置進(jìn)一步包括一在存儲(chǔ)部分210與裝載固定腔室220之間旋轉(zhuǎn)和傳送基板100的傳送部分260。
在圖2中，處理腔室230和裝載固定腔室220對(duì)稱配置在轉(zhuǎn)移腔室240的兩側(cè)。然而，應(yīng)理解，處理腔室230和裝載固定腔室220可以以其它類型配置，例如，配置在轉(zhuǎn)移腔室240的一側(cè)。
在轉(zhuǎn)移腔室240中，配置了一沿轉(zhuǎn)移腔室240的長(zhǎng)軸配置的水平移動(dòng)軸271和一沿該水平移動(dòng)軸271移動(dòng)的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250。在存儲(chǔ)部分210中配置了一存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械212，其將基板100輸入到傳送部分260，并將基板100從傳送部分260輸出。
圖3A為顯示沿圖2的III-III線截取的轉(zhuǎn)移腔室和裝載固定腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖。在圖3A中，該轉(zhuǎn)移腔室處于真空狀態(tài)下，且該裝載固定腔室220處于大氣壓力或真空狀態(tài)下。
如圖3A中所示，裝載固定腔室220包括配置在轉(zhuǎn)移腔室240兩側(cè)的第一與第二裝載固定腔室220a和220b。第一與第二裝載固定腔室220a和220b彼此具有不同的高度，換句話說(shuō)，第一裝載固定腔室220a可高于第二裝載固定腔室220b。轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250包括上、下機(jī)械臂251a、251b。分別對(duì)應(yīng)于第一與第二裝載固定腔室220a和220b的上機(jī)械臂與下機(jī)械臂251a和251b彼此具有不同的高度，以在裝載固定腔室220與轉(zhuǎn)移腔室240之間有效地傳送基板100。
上機(jī)械臂251a在轉(zhuǎn)移腔室240與安置在右側(cè)的第一裝載固定腔室220a之間轉(zhuǎn)移基板100，且下機(jī)械臂251b在轉(zhuǎn)移腔室240與安置在左側(cè)的第二裝載固定腔室220b之間轉(zhuǎn)移基板100。
轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250可垂直移動(dòng)到水平移動(dòng)軸271，以在轉(zhuǎn)移腔室240與裝載固定腔室220或處理腔室230(在圖2中)之間轉(zhuǎn)移基板100。換句話說(shuō)，相對(duì)于圖3A的平面，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250作向上/向下和向右/向左移動(dòng)。因此，不同于圖1中的與基板一起旋轉(zhuǎn)的相關(guān)技術(shù)轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械42，本發(fā)明的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250作直線運(yùn)動(dòng)，即，與基板100一起向前/向后、向上/向下和向右/向左移動(dòng)。
在轉(zhuǎn)移腔室240與裝載固定腔室220之間配置一第一門281。根據(jù)第一門281的打開和關(guān)閉狀態(tài)，在轉(zhuǎn)移腔室240與裝載固定腔室220之間傳送基板100。
裝載固定腔室220具有至少兩個(gè)基板槽224以在其上放置至少兩個(gè)基板100。
參考圖3A與3B詳細(xì)闡釋該轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械。圖3B為圖3A的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的側(cè)面圖。
轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250具有一上下配置有上、下機(jī)械臂251a和251b的雙層結(jié)構(gòu)，且所述上下機(jī)械臂251a和251b連接到組合構(gòu)件254。組合構(gòu)件254連接到一垂直移動(dòng)軸272的一垂直移動(dòng)導(dǎo)向器259。垂直移動(dòng)軸272連接到水平移動(dòng)軸271的一端。因此，所述上下機(jī)械臂251a和251b可在轉(zhuǎn)移腔室240中一起移動(dòng)。
所述上、下機(jī)械臂251a和251b分別具有上支撐構(gòu)件與下支撐構(gòu)件252與253。每個(gè)上、下機(jī)械臂251a與251b在每個(gè)上、下支撐構(gòu)件252與253上具有第一與第二子機(jī)械臂255與256。所述第一與第二子機(jī)械臂255和256分別沿第一與第二移動(dòng)軌257和258作水平移動(dòng)。第一子機(jī)械臂255具有一連接到第一移動(dòng)軌257的第一子機(jī)械臂體255a和一用來(lái)放置基板100的第一放置部分255b，且第二子機(jī)械臂256具有一連接到第二移動(dòng)軌258的第二子機(jī)械臂體256a和一放置基板100的第二放置部分256b。
因?yàn)榈谝慌c第二移動(dòng)軌257和258是配置在相同的平面內(nèi)，所以需要第一與第二子機(jī)械臂255和256不妨礙彼此的移動(dòng)。因此，如圖3B中所示，第一移動(dòng)軌257配置在支撐構(gòu)件252和253的較靠外的部分，而第二移動(dòng)軌258配置在支撐構(gòu)件252和253的較靠?jī)?nèi)的部分。換句話說(shuō)，第二移動(dòng)軌258配置在第一移動(dòng)軌257之間。此外，第一放置部分255b高于第二放置部分256b，而第二子機(jī)械臂體256a配置在第一子機(jī)械臂體255a的內(nèi)部。因此，第二子機(jī)械臂256被第一子機(jī)械臂255包圍。
因?yàn)槊總€(gè)上、下機(jī)械臂251a和251b為第一與第二子機(jī)械臂255和256，所以利用第一與第二子機(jī)械臂255和256分別執(zhí)行基板100的輸入與輸出。因此，可增加轉(zhuǎn)移基板100的效率。
圖4為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的具有一屏蔽構(gòu)件的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的橫斷面圖。
如圖4中所示，在第一與第二子機(jī)械臂255與256之間配置一屏蔽構(gòu)件290。第一與第二子機(jī)械臂255和256彼此具有不同的高度，因而當(dāng)轉(zhuǎn)移基板100時(shí)，其受到由相鄰的基板100產(chǎn)生的粒子擴(kuò)散的污染。因此，為防止基板100收到粒子擴(kuò)散的污染，在第一與第二子機(jī)械臂255與256之間配置了屏蔽構(gòu)件290。
圖5為顯示沿圖2的IV-IV線截取的轉(zhuǎn)移腔室和處理腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖。
如圖5中所示，轉(zhuǎn)移腔室240和處理腔室230的連接結(jié)構(gòu)類似于如3A中所示的轉(zhuǎn)移腔室240與裝載固定腔室220之間的連接結(jié)構(gòu)。處理腔室230包括配置在轉(zhuǎn)移腔室240兩側(cè)的第一與第二處理腔室230a和230b。第一與第二處理腔室230a和230b彼此具有不同的高度，換句話說(shuō)，第一處理腔室230a可高于第二處理腔室230b。彼此相對(duì)的第一與第二處理腔室230a和230b可執(zhí)行相同處理。處理腔室230具有一用來(lái)放置基板100以執(zhí)行處理的基座235。
如上文所述，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250包括上、下機(jī)械臂251a和251b，所述上、下機(jī)械臂251a和251b彼此具有不同的高度以在處理腔室230與轉(zhuǎn)移腔室240之間有效地傳送基板100。
在轉(zhuǎn)移腔室240和處理腔室230之間配置一第二門282。根據(jù)第二門282的打開和關(guān)閉狀態(tài)，在轉(zhuǎn)移腔室240與處理腔室230之間傳送基板100。
在上述的第一實(shí)施例中，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250具有彼此具有不同高度的上機(jī)械臂與下機(jī)械臂251a和251b，且每個(gè)上、下機(jī)械臂251a和251b具有第一與第二子機(jī)械臂255和256。然而，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250可具有其它結(jié)構(gòu)。
圖6到10B為結(jié)構(gòu)不同于圖3A的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的橫斷面圖。在圖6到10中，將省略與圖3A中類似的部件的闡釋。
如圖6中所示，上機(jī)械臂251a可具有一上支撐構(gòu)件252，所述上支撐構(gòu)件252包括彼此具有不同高度的第一與第二支撐構(gòu)件252a和252b。下機(jī)械臂251b可具有一下支撐構(gòu)件253，所述下支撐構(gòu)件253包括彼此具有不同高度的第三與第四支撐構(gòu)件253a和253b。在第一與第三支撐構(gòu)件252a和253a上配置一第一移動(dòng)軌257，且在第二與第四支撐構(gòu)件252b和253b上配置一第二移動(dòng)軌258。第一與第二子機(jī)械臂255和256分別沿第一與第二移動(dòng)軌257和258移動(dòng)。如此，將各支撐構(gòu)件與各機(jī)械臂對(duì)應(yīng)配置。因此，每個(gè)支撐構(gòu)件可防止粒子的擴(kuò)散。
如圖7中所示，每個(gè)上機(jī)械臂與下機(jī)械臂251a和251b可具有一個(gè)子機(jī)械臂255。因此，上、下機(jī)械臂251a和251b具有上、下支撐構(gòu)件252和253，一個(gè)移動(dòng)軌257配置在各上支撐構(gòu)件與下支撐構(gòu)件252與253上，且子機(jī)械臂255沿移動(dòng)軌257移動(dòng)。
如圖8中所示，在較高層的上支撐構(gòu)件252可朝著轉(zhuǎn)移腔室240(在圖3A中)的一側(cè)而配置，且在較下層的下支撐構(gòu)件253可朝著轉(zhuǎn)移腔室240(在圖3A中)的另一側(cè)而配置。此結(jié)構(gòu)可防止粒子擴(kuò)散。
如圖9中所示，在支撐構(gòu)件252上配置一第一移動(dòng)軌257和第二移動(dòng)軌(未顯示)。盡管在圖9中未顯示，但是第二移動(dòng)軌可類似于圖3B配置在第一桿257的內(nèi)部。此外，第一與第二子機(jī)械臂255和256彼此反向移動(dòng)。在第一與第二放置部分255b與256b之間配置一屏蔽構(gòu)件290。此結(jié)構(gòu)可防止粒子擴(kuò)散，且可增加空間利用率。
在圖3A到9中，裝載固定腔室或處理腔室配置在轉(zhuǎn)移腔室的兩側(cè)，且轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的子機(jī)械臂朝轉(zhuǎn)移腔室的兩側(cè)移動(dòng)。然而，裝載固定腔室或處理腔室可配置在轉(zhuǎn)移腔室的一側(cè)，而子機(jī)械臂可朝轉(zhuǎn)移腔室的一側(cè)移動(dòng)。
如圖10A中所示，第一與第二子機(jī)械臂255和256可沿配置在一支撐構(gòu)件252上的第一移動(dòng)軌257和第二移動(dòng)軌(未顯示)朝轉(zhuǎn)移腔室240(在圖3A中)的一側(cè)移動(dòng)。此外，如圖10B中所示，第一與第二子機(jī)械臂255和256可分別地配置在彼此具有不同高度的第一與第二支撐構(gòu)件252a和252b上，且朝轉(zhuǎn)移腔室240(在圖3A中)的一側(cè)移動(dòng)。
圖11A為顯示沿圖2的Va-Va線截取的，存儲(chǔ)部分、傳送部分和裝載固定腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖。圖11B為顯示沿圖2的Vb-Vb線截取的，轉(zhuǎn)移腔室、處理腔室和裝載固定腔室的連接結(jié)構(gòu)的橫斷面圖。圖12為顯示傳送部分的運(yùn)作的圖。
如圖11A中所示，傳送部分260具有第一與第二傳送部分260a和260b，且配置在存儲(chǔ)部分210與裝載固定腔室220之間。第一傳送部分260a具有一通過(guò)發(fā)動(dòng)機(jī)(未顯示)運(yùn)作并旋轉(zhuǎn)90或180度的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件265。
旋轉(zhuǎn)構(gòu)件265旋轉(zhuǎn)基板100并將其從存儲(chǔ)部分210傳送到裝載固定腔室220。例如，參考圖12，將基板100輸入到第一傳送部分260a中，且基板100的較短邊垂直于輸入方向。如圖12的箭頭所示，基板100旋轉(zhuǎn)90度。接著，將基板100輸入到裝載固定腔室220中，且基板100的較長(zhǎng)邊垂直于輸入方向。
因?yàn)樾D(zhuǎn)構(gòu)件265是用來(lái)旋轉(zhuǎn)基板100，以將旋轉(zhuǎn)的基板100傳送到第二傳送部分260b，該第一傳送部分260a可具有一諸如滾軸的傳送構(gòu)件。為相對(duì)于基板100的較短邊或較長(zhǎng)邊來(lái)傳送基板100，所述滾軸可包括x軸和y軸滾軸。此外，可向上或向下移動(dòng)兩個(gè)滾軸的驅(qū)動(dòng)軸，使所需要的滾軸可上升，從而傳送基板。
第二傳送部分260b通過(guò)在第一傳送部分260a與裝載固定腔室220之間使用傳送帶、滾軸等來(lái)傳送基板100。在第二傳送部分260b與裝載固定腔室220之間配置一第三門283，用來(lái)打開或關(guān)閉裝載固定腔室220。
為將基板100傳送到裝載固定腔室220，裝載固定腔室220具有連接到一諸如第二傳送部分260b的滾軸的傳送構(gòu)件的傳送帶或滾軸。例如，使用一具有復(fù)數(shù)個(gè)凸出的滾軸的滾軸板作為裝載固定腔室220的板。
如圖11B中所示，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250沿水平移動(dòng)軸271水平移動(dòng)，并在轉(zhuǎn)移腔室240與裝載固定腔室220或處理腔室230之間轉(zhuǎn)移基板100。轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250沿垂直移動(dòng)軸272垂直移動(dòng)。
轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250沿垂直移動(dòng)軸272作向上或向下移動(dòng)，使上、下機(jī)械臂可位于對(duì)應(yīng)的裝載固定腔室220或?qū)?yīng)的處理腔室230。
水平移動(dòng)軸251可向上與向下移動(dòng)，取代轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250的向上與向下移動(dòng)。
圖13為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的具有雙層結(jié)構(gòu)的裝載固定腔室和處理腔室的圖。如圖13所示，裝載固定腔室220和處理腔室230可在轉(zhuǎn)移腔室240的一側(cè)或兩側(cè)具有雙層結(jié)構(gòu)。此外，裝載固定腔室220和處理腔室230可具有多層結(jié)構(gòu)。
圖14為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的具有雙層結(jié)構(gòu)的裝載固定腔室的橫斷面圖。如圖14中所示，當(dāng)轉(zhuǎn)移腔室240兩側(cè)的裝載固定腔室220具有雙層結(jié)構(gòu)時(shí)，所述上、下機(jī)械臂251a和251b沿垂直移動(dòng)軸272向上和向下移動(dòng)，并在轉(zhuǎn)移腔室240與第一和第二雙層裝載固定腔室220a和220b之間轉(zhuǎn)移基板100。關(guān)于雙層裝載固定腔室220的說(shuō)明可適應(yīng)于雙層處理腔室。
圖15為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的具有雙層結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移腔室和處理腔室的橫斷面圖。
如圖15中所示，雙層轉(zhuǎn)移腔室240具有上轉(zhuǎn)移腔室與下轉(zhuǎn)移腔室240a與240b。第一與第二雙層處理腔室230a和230b配置在雙層轉(zhuǎn)移腔室240的兩側(cè)。具體而言，第一雙層處理腔室230a連接到上轉(zhuǎn)移腔室240a，且第二雙層處理腔室230b連接到下轉(zhuǎn)移腔室240b。
上、下轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250a和250b分別配置在上、下轉(zhuǎn)移腔室240a和240b中。所述上、下轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250a和250沿分離的水平移動(dòng)軌(未顯示)移動(dòng)。盡管圖15中未顯示，但是裝載固定腔室可具有雙層結(jié)構(gòu)。
下文將根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例闡釋基板的移動(dòng)過(guò)程。
首先，存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械212將基板100從存儲(chǔ)部分210傳送到第一傳送部分260a。所傳送的基板100通過(guò)旋轉(zhuǎn)構(gòu)件265旋轉(zhuǎn)90度，且接著通過(guò)第二傳送部分260b將基板100輸入到裝載固定腔室220中。此時(shí)，裝載固定腔室220處于大氣壓力狀態(tài)下，且第一門281是關(guān)閉的。
當(dāng)基板100被放置在裝載固定腔室220中時(shí)，關(guān)閉第三門283，且執(zhí)行抽真空處理，使裝載固定腔室220達(dá)到真空狀態(tài)。
當(dāng)裝載固定腔室220的真空等于處理腔室230或轉(zhuǎn)移腔室240的真空時(shí)，第一門281打開，且轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250將未處理的基板100從裝載固定腔室220中輸出。
轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250沿水平移動(dòng)軸271移動(dòng)，并將基板100轉(zhuǎn)移到處理腔室230中。
當(dāng)將基板100輸入到處理腔室230中且完成對(duì)應(yīng)的處理時(shí)，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250進(jìn)入到處理腔室230中，并將基板100從處理腔室230中輸出。接著，攜有基板100的轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250沿水平移動(dòng)軸271移動(dòng)，并將基板100轉(zhuǎn)移到執(zhí)行下一處理的處理腔室230中。
當(dāng)在處理腔室230中完成所有處理時(shí)，以與上述順序相反的順序轉(zhuǎn)移基板100。換句話說(shuō)，通過(guò)轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械250將基板100傳送到裝載固定腔室220，再將基板100傳送到第二傳送部分260b和第一傳送部分260a。接著，使基板100在第一傳送部分260a上旋轉(zhuǎn)90度，且接著通過(guò)存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械212將基板100輸出到存儲(chǔ)部分210。
在上述第一實(shí)施例中，為了在存儲(chǔ)部分210與傳送部分260之間轉(zhuǎn)移基板100，使用了存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械212。如此，當(dāng)使用存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械212轉(zhuǎn)移基板100時(shí)，基板100被裝載到一盒子(未顯示)中，且通過(guò)AGV(自動(dòng)導(dǎo)引工具)將該盒轉(zhuǎn)移到存儲(chǔ)部分210。然而，如果基板100不是通過(guò)AGV而是通過(guò)使用傳送帶、滾軸等的直列式設(shè)備來(lái)轉(zhuǎn)移的，那么可不需要存儲(chǔ)部分210和存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械212。因此，為了將基板100轉(zhuǎn)移到傳送部分260，可使用直列式設(shè)備。直列式設(shè)備可被連接到該傳送部分，以便可將基板100直接輸入到傳送部分260。此外，可通過(guò)傳送部分100或其它傳送部分將處理完成的基板100輸出到直列式設(shè)備。
在上述的第一實(shí)施例中，相對(duì)于圖2，基板100相對(duì)于其垂直于轉(zhuǎn)移方向的短邊在轉(zhuǎn)移腔室240與裝載固定腔室220或處理腔室230之間轉(zhuǎn)移。原因是裝載固定腔室220與處理腔室230的長(zhǎng)邊垂直于轉(zhuǎn)移腔室240的長(zhǎng)邊。因此，將基板100相對(duì)于其短邊從存儲(chǔ)部分210輸入到傳送部分260，接著使基板100旋轉(zhuǎn)90度，再將基板100輸入到裝載固定腔室220。然而，如圖16中所示，顯示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的不同于圖2的基板制造裝置，不同于圖2，基板100可從傳送部分260的另一側(cè)輸入。換句話說(shuō)，基板100從存儲(chǔ)部分210轉(zhuǎn)移到傳送部分260的轉(zhuǎn)移方向垂直于基板100從傳送部分260轉(zhuǎn)移到裝載固定腔室220的轉(zhuǎn)移方向，此與圖2相反。因此，盡管在圖16中基板100是相對(duì)于其短邊轉(zhuǎn)移，但是不需要在傳送部分260中旋轉(zhuǎn)基板。
圖17為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基板制造裝置的圖。在第二實(shí)施例中，將省略對(duì)與第一實(shí)施例類似的部件的闡釋。
如圖17中所示，在第二實(shí)施例的基板制造裝置中，復(fù)數(shù)個(gè)裝載固定腔室420與復(fù)數(shù)個(gè)存儲(chǔ)部分410是轉(zhuǎn)移腔室440的兩端。裝載固定腔室420包括一在轉(zhuǎn)移腔室440一端的輸入腔室420a和一在轉(zhuǎn)移腔室440的另一端的輸出腔室420b。存儲(chǔ)部分410包括一在轉(zhuǎn)移腔室440一端的輸入存儲(chǔ)部分410a和一在轉(zhuǎn)移腔室440的另一端的輸出存儲(chǔ)部分410b。在轉(zhuǎn)移腔室440與裝載固定腔室420之間配置一第一門481，在轉(zhuǎn)移腔室440與處理腔室430之間配置一第二門482，且在裝載固定腔室420與傳送部分460之間配置一第三門483。輸入與輸出存儲(chǔ)部分自動(dòng)機(jī)械412a和412b分別配置在輸入與輸出存儲(chǔ)部分410a和410b。
輸入存儲(chǔ)部分410a存儲(chǔ)一未處理的基板300。通過(guò)輸入裝載固定腔室420a將從輸入存儲(chǔ)部分410a輸入的基板300傳送到轉(zhuǎn)移腔室440。通過(guò)轉(zhuǎn)移腔室440和輸出裝載固定腔室420b將處理完成的基板300傳送到輸出存儲(chǔ)部分410b。為了將基板300從轉(zhuǎn)移腔室440輸出到輸出裝載固定腔室420b，轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械450可具有一轉(zhuǎn)移構(gòu)件，例如，用來(lái)旋轉(zhuǎn)該轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械450的機(jī)械臂的構(gòu)件或使該機(jī)械臂直線移動(dòng)到輸出裝載固定腔室420b的構(gòu)件。
在輸入存儲(chǔ)部分410a與輸入裝載固定腔室420a之間配置一輸入傳送部分460a，且在輸出存儲(chǔ)部分410b與輸出裝載固定腔室420b之間配置一輸出傳送部分460b。類似于第一實(shí)施例的傳送部分，所述輸入與輸出傳送部分460a與460b旋轉(zhuǎn)并傳送基板300。換句話說(shuō)，將未處理的基板300相對(duì)于垂直于該輸入方向的基板300的短邊輸入到輸入傳送部分460a，接著，該輸入傳送部分460a將基板旋轉(zhuǎn)90度，再相對(duì)于垂直于該輸入方向的基板300的短邊將基板300輸入到該輸入裝載固定腔室420a。此外，相對(duì)于垂直于該輸出方向的基板300的短邊，將處理完成的基板300從該輸出裝載固定腔室420b中輸出，接著，該輸出傳送部分460b將基板旋轉(zhuǎn)90度，且接著相對(duì)于垂直于該輸出方向的基板300的短邊將基板300輸出到該輸出存儲(chǔ)部分410b。盡管圖17中未顯示，所述輸入與輸出傳送部分460a和460b可包括類似第一實(shí)施例中的第二傳送部分的傳送構(gòu)件。
在第二實(shí)施例中，因?yàn)檠b載固定腔室420配置在轉(zhuǎn)移腔室440的兩端，所以是相對(duì)于垂直于傳送方向的基板300的長(zhǎng)邊在裝載固定腔室420與轉(zhuǎn)移腔室440之間傳送基板300。
在上述的第二實(shí)施例中，基板300順序地移動(dòng)穿過(guò)輸入裝載固定腔室420a、處理腔室430和輸出裝載固定腔室420b。然而，將不需要在轉(zhuǎn)移腔室440兩端的各個(gè)裝載固定腔室420必須對(duì)應(yīng)于各個(gè)輸入與輸出裝載固定腔室420a和420b。換句話說(shuō)，可將基板300輸入穿過(guò)安置在圖17的右側(cè)的存儲(chǔ)部分410a、傳送部分460a和裝載固定腔室420a，且接著以與輸入順序相反的順序?qū)⑵漭敵?。此外，可將基?00輸入穿過(guò)安置在圖17左側(cè)的存儲(chǔ)部分410b、傳送部分460b和裝載固定腔室420b，且接著以與輸入順序相反的順序?qū)⑵漭敵?。此外，可將基?00輸入穿過(guò)安置在圖17左側(cè)的存儲(chǔ)部分410b、傳送部分460b和裝載固定腔室420b，接著將其輸出穿過(guò)安置在圖17右側(cè)的裝載固定腔室420a、傳送部分460b和存儲(chǔ)部分410a。
在根據(jù)本發(fā)明的基板制造裝置中，轉(zhuǎn)移腔室具有直列式結(jié)構(gòu)，且處理腔室可配置在轉(zhuǎn)移腔室的側(cè)面。因此，處理腔室可容易地連接到轉(zhuǎn)移腔室，而沒(méi)有數(shù)目和配置的限制。此外，可降低因基板的增加而引起的轉(zhuǎn)移腔室和處理腔室的增加比率。
所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)了解，可在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下對(duì)基板分布構(gòu)件制造裝置做出各種修改和變化。因而，本發(fā)明欲涵蓋在上述權(quán)利要求及其等同物的范圍之內(nèi)對(duì)本發(fā)明作出的修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種基板制造裝置，其包含一沿一縱向(a long direction)延伸的轉(zhuǎn)移腔室；沿所述縱向連接到所述轉(zhuǎn)移腔室的至少一個(gè)處理腔室；在所述轉(zhuǎn)移腔室的至少一邊連接到所述轉(zhuǎn)移腔室的至少一個(gè)裝載固定腔室(load-lock chamber)；和一轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械，其在所述轉(zhuǎn)移腔室中沿所述縱向移動(dòng)并轉(zhuǎn)移一基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械包括彼此具有不同高度的第一與第二機(jī)械臂。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，還包含在所述第一與第二機(jī)械臂之間的一屏蔽構(gòu)件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，還包含一沿所述縱向延伸并連接到所述轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的水平移動(dòng)軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，還包含一垂直連接到所述水平軸并連接到所述轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械的垂直移動(dòng)軸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述至少一個(gè)處理腔室包括連接到所述轉(zhuǎn)移腔室的兩個(gè)長(zhǎng)邊(long sides)的第一與第二處理腔室。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其中所述第一與第二處理腔室彼此具有不同的高度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述至少一個(gè)裝載固定腔室包括連接到所述轉(zhuǎn)移腔室的兩個(gè)長(zhǎng)邊的第一與第二裝載固定腔室。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述第一與第二裝載固定腔室彼此具有不同的高度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述至少一個(gè)裝載固定腔室包括連接到所述轉(zhuǎn)移腔室的兩個(gè)短邊(short sides)的第一與第二裝載固定腔室。到所述轉(zhuǎn)移腔室的兩個(gè)短邊(short sides)的第一與第二裝載固定腔室。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述第一裝載固定腔室將所述基板輸入到所述轉(zhuǎn)移腔室，且所述第二裝載固定腔室將所述基板從所述轉(zhuǎn)移腔室輸出。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述轉(zhuǎn)移腔室具有至少雙層結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)移腔室的每一層具有所述轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述處理腔室具有至少一層結(jié)構(gòu)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述裝載固定腔室具有至少一層結(jié)構(gòu)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，還包含一裝載所述基板的存儲(chǔ)部分和一連接所述裝載固定腔室和所述存儲(chǔ)部分的傳送部分。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述傳送部分包括一將所述基板傳送到所述裝載固定腔室的傳送構(gòu)件。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其中所述傳送構(gòu)件包括一傳送帶和一滾軸。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述傳送部分包括一旋轉(zhuǎn)所述基板的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件。
全文摘要
一種基板制造裝置，其包括一沿一縱向延伸的轉(zhuǎn)移腔室；沿所述縱向連接到所述轉(zhuǎn)移腔室的至少一個(gè)處理腔室；在所述轉(zhuǎn)移腔室的至少一側(cè)連接到所述轉(zhuǎn)移腔室的至少一個(gè)裝載固定腔室(load－lockchamber)；和一轉(zhuǎn)移腔室自動(dòng)機(jī)械，其在所述轉(zhuǎn)移腔室中沿所述縱向移動(dòng)并轉(zhuǎn)移一基板。
文檔編號(hào)C23C16/00GK1674220SQ200510056909
公開日2005年9月28日 申請(qǐng)日期2005年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月24日
發(fā)明者崔宰旭, 金映綠 申請(qǐng)人:周星工程股份有限公司