技術編號：3399811
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于制造用于半導體設備、液晶顯示設備等的基板的裝置。背景技術 一般而言，為了制造基板，要將沉積薄膜的沉積過程、使用感光材料來光曝露或光屏蔽一薄膜的選定區(qū)域的照相平版印刷過程、移除該選定區(qū)域的蝕刻過程和移除殘留物的清潔過程重復若干次。在包括各處理腔室的裝置中進行所述各處理。近來，將一包括一轉(zhuǎn)移基板的轉(zhuǎn)移腔室、與一用來暫時存儲基板并且連接到所述轉(zhuǎn)移腔室以及所述多個處理腔室裝載固定腔室(load-lock chamber)的組合件用作所述裝置。組合...
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