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用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置及電解加工方法與流程

文檔序號:12769726閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,包括:腔體,連接在所述腔體里的襯底,安裝在所述襯底上的工件,設(shè)置在所述工件的上表面的掩模板,以及設(shè)置在所述掩模板的上表面的陰極塊;其中,

所述掩模板的內(nèi)部設(shè)置有加工區(qū)彎折主流道,以及與所述加工區(qū)彎折主流道的彎折處連接的輔助供液流道。

2.如權(quán)利要求1所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,所述加工區(qū)彎折主流道為鏤空結(jié)構(gòu),所述輔助供液流道為凹槽結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求2所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,一條所述加工區(qū)彎折主流道具有兩個(gè)彎折處;

各所述彎折處具有一條所述輔助供液流道。

4.如權(quán)利要求3所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,所述輔助供液流道的延伸方向均相同。

5.如權(quán)利要求2所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,所述加工區(qū)彎折主流道的寬度比所述輔助供液流道的寬度寬;

所述加工區(qū)彎折主流道的高度比所述輔助供液流道的高度高。

6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,所述工件的上表面與所述掩模板的下表面緊密貼合;

所述陰極塊的下表面與所述掩模板的上表面緊密貼合。

7.如權(quán)利要求6所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,還包括:直流電源;

所述直流電源的正極與所述工件電性連接;負(fù)極與所述陰極塊的外壁電性連接。

8.如權(quán)利要求7所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置,其特征在于,還包括:水泵、水槽和夾具;

所述水泵的一端與所述水槽連接,所述水泵的另一端與所述夾具的入液口連接;

所述夾具的入液口與所述掩模板連接,所述夾具的出液口與所述水槽連接。

9.一種平面曲折群溝槽的電解加工方法,其特征在于,包括:

在水泵的作用下將電解液從水槽中抽出;

所述電解液流入夾具的入液口,并流入掩模板的加工區(qū)彎折主流道,以及與所述加工區(qū)彎折主流道的彎折處連接的輔助供液流道;

所述電解液從所述夾具的出液口流回所述水槽。

10.如權(quán)利要求9所述的電解加工方法,其特征在于,所述掩模板的加工區(qū)彎折主流道和輔助供液流道的圖形通過3D打印工藝或微銑削工藝形成。

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