專利名稱：焊接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及應(yīng)用于縫焊的焊接裝置。
背景技術(shù)：
通過在封裝的開口上通過縫焊來焊接作為蓋的罩(Iid)(下面，將封裝和罩總稱為工件)等來制造石英振子等電子部件(例如，參照專利文獻(xiàn)I 3)?？p焊是通過將滾輪電極壓靠在排列配置成X、Y方向矩陣狀的多個(gè)工件上，并一邊對滾輪電極施加脈沖狀的電壓一邊使其轉(zhuǎn)動(dòng)來進(jìn)行的。這樣的縫焊在腔內(nèi)填充有氮?dú)獾牡獨(dú)庀逻M(jìn)行，或者在將腔內(nèi)保持為真空環(huán)境(大致真空)的真空環(huán)境下進(jìn)行。由此，能夠防止工件內(nèi)進(jìn)入空氣。另外，針對各個(gè)X方向的行分別沿著X方向?qū)θ康墓ぜM(jìn)行縫焊之后，針對各個(gè)Y方向的列分別沿著Y方向?qū)θ康墓ぜM(jìn)行縫焊。由此，能夠高效地在短時(shí)間內(nèi)制造多個(gè)電子部件。專利文獻(xiàn)I JP特開2009-147097號公報(bào)；專利文獻(xiàn)2 JP特開2009-147288號公報(bào)；專利文獻(xiàn)3 JP特開2010-194544號公報(bào)。在氮?dú)庀逻M(jìn)行縫焊時(shí)，需要持續(xù)填充氮?dú)?。在這種情況下，在腔內(nèi)發(fā)生異常并在消除了該異常之后，需要重新填充氮?dú)鈦韽?fù)原。并且，為了降低露點(diǎn)，需要重新填充足夠的氮?dú)?。這樣，由于消耗氮?dú)?，所以存在運(yùn)營成本高等問題。另外，在腔內(nèi)發(fā)生了異常的情況下，重新填充氮?dú)饣ㄙM(fèi)的時(shí)間長，存在電子部件生產(chǎn)能力下降等問題。另外，電子部件的價(jià)格具有降低的趨勢，為了彌補(bǔ)價(jià)格降低的趨勢的影響，希望提_與三廣1倉泛力O

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種抑制運(yùn)營成本并能夠提高生產(chǎn)能力的焊接裝置。通過本發(fā)明人的認(rèn)真研究通過下面的手段達(dá)到了上述目的。(I)本發(fā)明的焊接裝置，其特征在于，具有真空腔，其內(nèi)部保持為真空環(huán)境；X方向焊接單元，在所述真空腔內(nèi)，針對各個(gè)X方向的行分別沿著該X方向?qū)Χ鄠€(gè)工件進(jìn)行焊接，該多個(gè)工件排列配置成所述X方向及與該X方向垂直的Y方向的矩陣狀-J方向焊接單元，在所述真空腔內(nèi)，針對各個(gè)所述Y方向的列分別沿著所述Y方向?qū)λ龆鄠€(gè)工件進(jìn)行焊接；緩沖工位，在通過所述X方向焊接單元和所述Y方向焊接單元中的一個(gè)焊接單元焊接了所述多個(gè)工件之后，通過另一個(gè)焊接單元焊接該多個(gè)工件。(2)另外，本發(fā)明是如上述(I)所述的焊接裝置，其特征在于，所述X方向焊接單元具有使所述多個(gè)工件在所述Y方向上偏移的第一 Y方向偏移裝置，所述X方向焊接單元對通過該第一 Y方向偏移裝置在所述Y方向上偏移的所述多個(gè)工件進(jìn)行焊接，所述Y方向焊接單元具有使所述多個(gè)工件在所述Y方向上偏移的第二 Y方向偏移裝置，所述Y方向焊接單元對通過該第二 Y方向偏移裝置在所述Y方向上偏移的所述多個(gè)工件進(jìn)行焊接。(3)另外，本發(fā)明是如上述(2)所述的焊接裝置，其特征在于，在所述X方向焊接單元和所述Y方向焊接單元這兩者中，設(shè)置有在所述X方向上直線地搬運(yùn)所述多個(gè)工件的搬運(yùn)路徑，該搬運(yùn)路徑為從將工件搬入所述真空腔到將工件從所述真空腔搬出為止的路徑。(4)另外，本發(fā)明是如上述(3)所述的焊接裝置，其特征在于，所述X方向焊接單元具有第一 Y方向定位托架，其是所述第一 Y方向偏移裝置，能夠?qū)⑴帕信渲迷诠ぜ斜P上的所述多個(gè)工件和該工件托盤一起載置，并且能夠在所述Y方向上移動(dòng)，X方向焊接頭，位于所述第一 Y方向定位托架的上方，并能夠在所述X方向上移動(dòng)，X方向焊接滾輪(weldingroller)，能夠圍繞與所述Y方向平行的Y軸旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在所述X方向焊接頭上，并且能夠與該X方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)；所述X方向焊接單元一邊使所述X方向焊接頭移動(dòng)來使所述X方向焊接滾輪移動(dòng)，一邊進(jìn)行焊接，并且使所述第一 Y方向定位托架移動(dòng)，來切換要焊接的所述多個(gè)工件的所述行；所述Y方向焊接單元具有第二 Y方向定位托架，其是所述第二 Y方向偏移裝置，將排列配置在所述工件托盤上的所述多個(gè)工件和該工件托盤一起載置，并且能夠在所述Y方向上移動(dòng)，Y方向焊接頭，位于所述第二 Y方向定位托架的上方，并能夠在所述X方向上移動(dòng)，Y方向焊接滾輪，能夠圍繞與所述X方向平行的X軸旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在所述Y方向焊接頭上，并且能夠與該Y方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)；所述Y方向焊接單元一邊使所述第二 Y方向定位托架移動(dòng)來使所述多個(gè)工件移動(dòng)，一邊進(jìn)行焊接，并且使所述Y方向焊接頭移動(dòng)，來切換要焊接的所述多個(gè)工件的所述列。

(5)另外，本發(fā)明是如上述(4)所述的焊接裝置，其特征在于，所述X方向焊接頭具有X方向焊接頭用基座，第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件，能夠相對于所述X方向焊接頭用基座在分別與所述X方向和所述Y方向垂直的Z方向上移動(dòng)，X方向焊接滾輪保持部，配設(shè)在所述第
一Z方向可動(dòng)構(gòu)件上，將所述X方向焊接滾輪保持為能圍繞所述Y軸旋轉(zhuǎn)，并且向該X方向焊接滾輪供給電流；所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性，在所述X方向焊接滾輪上產(chǎn)生的焊接熱，經(jīng)由所述X方向焊接滾輪保持部傳遞到所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件上，同時(shí)，從該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件的表面散熱到外部,并且,通過所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件使所述X方向焊接滾輪保持部與所述X方向焊接頭用基座之間絕緣。(6)另外，本發(fā)明是如上述(5)所述的焊接裝置，其特征在于，所述第一Z方向可動(dòng)構(gòu)件由熱傳導(dǎo)率為170W/(m · K)以上的材料形成。(7)另外，本發(fā)明是如上述(5)或(6)所述的焊接裝置，其特征在于，所述第一Z方向可動(dòng)構(gòu)件由熱輻射率為O. 8以上的材料形成。(8)另外，本發(fā)明是如(5) (7)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述第一Z方向可動(dòng)構(gòu)件由絕緣阻抗值為103Ω · Cm以上的材料形成。(9)另外，本發(fā)明是如(5) ⑶中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述第一Z方向可動(dòng)構(gòu)件由陶瓷形成。(10)另外，本發(fā)明是如上述(9)所述的焊接裝置其特征在于，所述陶瓷是碳化硅或氮化招。(11)另外，本發(fā)明是如上述⑷ (10)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述Y方向焊接頭具有=Y方向焊接頭用基座，第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件，能夠相對于所述Y方向焊接頭用基座在所述Z方向上移動(dòng)，Y方向焊接滾輪保持部，配設(shè)在所述第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件上，將所述Y方向焊接滾輪保持為能夠圍繞所述X軸旋轉(zhuǎn)，并且向該Y方向焊接滾輪供給電流；所述第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性，在所述Y方向焊接滾輪上產(chǎn)生的焊接熱，經(jīng)由所述Y方向焊接滾輪保持部傳遞至所述第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件，同時(shí)，從該第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件的表面散熱到外部，并且，通過所述第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件使所述Y方向焊接滾輪保持部與所述Y方向焊接頭用基座之間絕緣。(12)另外，本發(fā)明是如上述⑷ (11)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述X方向焊接單元具有第一搬運(yùn)桿，該第一搬運(yùn)桿配設(shè)在所述X方向焊接頭上，并能夠在與所述第一 Y方向定位托架相接近的第一接近位置與遠(yuǎn)離該第一 Y方向定位托架的第一分離位置之間移動(dòng)，所述第一搬運(yùn)桿在位于所述第一接近位置的情況下，與所述X方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)并推壓所述工件托盤，以將該工件托盤和所述多個(gè)工件一起在所述X方向上進(jìn)行搬運(yùn)。(13)另外，本發(fā)明是如上述(12)所述的焊接裝置，其特征在于，在所述第一搬運(yùn)桿位于所述第一分離位置的情況下，所述X方向焊接單元一邊使所述X方向焊接頭移動(dòng)來使所述X方向焊接滾輪移動(dòng)，一邊進(jìn)行焊接。(14)另外，本發(fā)明是如上述⑷ (13)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述Y方向焊接單元具有第二搬運(yùn)桿，該第二搬運(yùn)桿配設(shè)在所述Y方向焊接頭上，并能夠在與所述第二Y方向定位托架相接近的第二接近位置和遠(yuǎn)離該第二Y方向定位托架的第二分離位置之間移動(dòng)，所述第二搬運(yùn)桿在位于所述第二接近位置的情況下，與所述Y方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)并推壓所述工件托盤，以將該工件托盤和所述多個(gè)工件一起在所述X方向上進(jìn)行搬運(yùn)。(15)另外，本發(fā)明是如上述(13)或(14)所述的焊接裝置，其特征在于，在所述第二搬運(yùn)桿位于所述第二分離位置的情況下，所述Y方向焊接單元使所述Y方向焊接頭移動(dòng)，來切換要焊接的所述多個(gè)工件的列。(16)另外，本發(fā)明是如上述⑷ (15)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述X方向焊接單元具有第一支撐機(jī)構(gòu)，該第一支撐機(jī)對載置在所述第一 Y方向定位托架上的所述工件托盤進(jìn)行支撐，或解除該支撐，所述Y方向焊接單元具有第二支撐機(jī)構(gòu)，該第二支撐機(jī)構(gòu)對載置在所述第二 Y方向定位托架上的所述工件托盤進(jìn)行支撐，或解除該支撐。(17)另外，本發(fā)明是如上述(16)所述的焊接裝置，其特征在于，所述第一支撐機(jī)構(gòu)具有第一抵接構(gòu)件，在所述Y方向上能夠移動(dòng)，并能夠與在所述Y方向上移動(dòng)了的所述工件托盤抵接，第一推壓構(gòu)件，與所述第一 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)，在所述Y方向上推壓與所述第一抵接構(gòu)件抵接的所述工件托盤，第一施力構(gòu)件，在所述第一抵接構(gòu)件在所述Y方向上移動(dòng)了的情況下，該第一施力構(gòu)件向要復(fù)原的方向?qū)υ摰谝坏纸訕?gòu)件施力；所述第二支撐機(jī)構(gòu)具有第二抵接構(gòu)件，能夠在所述Y方向上移動(dòng)，并能夠與在所述Y方向上移動(dòng)了的所述工件托盤抵接，第二推壓構(gòu)件，與所述第二 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)，在所述Y方向上推壓與所述第二抵接構(gòu)件抵接的所述工件托盤，第二施力構(gòu)件，在所述第二抵接構(gòu)件在所述Y方向上移動(dòng)了的情況下，該第二施力構(gòu)件向要復(fù)原的方向?qū)υ摰诙纸訕?gòu)件施力。(18)另外，本發(fā)明是如上述⑷ (17)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述X方向焊接單元具有第一更換托架，該第一更換托架載置有更換用的所述X方向焊接滾輪，并能夠與所述第一 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)，所述X方向焊接單元對配設(shè)在所述X方向焊接頭上的所述X方向焊接滾輪和載置在所述第一更換托架上的所述更換用的所述X方向焊接滾輪進(jìn)行自動(dòng)更換，所述Y方向焊接單元具有第二更換托架，該第二更換托架載置有更換用的所述Y方向焊接滾輪，并能夠與所述第二 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)，所述Y方向焊接單元對配設(shè)在所述Y方向焊接頭上的所述Y方向焊接滾輪和載置在所述第二更換托架上的所述更換用的所述Y方向焊接滾輪進(jìn)行自動(dòng)更換。(19)另外，本發(fā)明是如上述⑴ (18)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，在所述真空腔內(nèi)具有緩沖工位，在該緩沖工位，對通過所述X方向焊接單元和所述Y方向焊接單元中的一個(gè)焊接單元進(jìn)行了焊接之后且通過另一個(gè)焊接單元來進(jìn)行焊接之前的所述多個(gè)工件進(jìn)行冷卻。(20)另外，本發(fā)明是如上述⑴ (19)中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于，所述焊接裝置具有從外側(cè)冷卻所述真空腔的外部冷卻單元。根據(jù)本發(fā)明，能夠獲得抑制運(yùn)營成本，并且能夠防止成品率降低的有益的效果。


圖1A是本發(fā)明的實(shí)施方式的焊接裝置的俯視圖，示出了該焊接裝置的下方。圖1B是焊接裝置的俯視圖，示出了焊接裝置的上方。圖2是焊接裝置的后視圖。圖3A是焊接裝置的右視圖，示出了上游側(cè)的X方向焊接單元。圖3B是焊接裝置的右視圖，示出了下游側(cè)的Y方向焊接單元。圖4A是第一支撐機(jī)構(gòu)的立體圖。圖4B是第二支撐機(jī)構(gòu)的立體圖。圖5A是X方向焊接頭的主視放大圖。圖5B是X方向焊接頭的側(cè)視放大圖。圖5C是Y方向焊接頭的主視放大圖。圖是Y方向焊接頭的側(cè)視放大圖。圖6是示出了外部冷卻單元的外觀立體圖。圖7是表示通過焊接裝置進(jìn)行縫焊的順序的流程圖。圖8A 8E是說明在X方向焊接單元中針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向焊接多個(gè)工件的順序的圖。圖9A 9E是說明在Y方向焊接單元中針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向焊接多個(gè)工件的順序的圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式的例子。此外，在下面的說明中，以圖示的X、Y、Z軸為基準(zhǔn)來說明方向。X、Y軸是彼此垂直的水平軸，Z軸是垂直于X、Y軸的鉛垂軸。圖中的X軸方向是本發(fā)明的X方向，Y軸方向是本發(fā)明的Y方向，Z軸方向是本發(fā)明的Z方向，本發(fā)明不限于此。在各圖中，適當(dāng)省略一部分結(jié)構(gòu)的圖示，而簡化了附圖。
圖1A是本發(fā)明的實(shí)施方式的焊接裝置I的俯視圖，示出了該焊接裝置I的下方。圖1B是焊接裝置I的俯視圖，示出了該焊接裝置的上方。圖2是焊接裝置I的后視圖。圖3A是焊接裝置I的右視圖，示出了上游側(cè)的X方向焊接單元200。圖3B是焊接裝置I的右視圖，示出了下游側(cè)的Y方向焊接單元300。此外，在圖1A、1B 圖3A、3B及下面說明的其他圖中，將一部分剖切，用斜線表示截面部分。這些圖所示的焊接裝置I設(shè)置在制造電子部件的生產(chǎn)線上，并且，在真空環(huán)境中對工件10進(jìn)行縫焊時(shí)使用。工件10是在封裝的開口上載置或暫時(shí)組裝有作為蓋的罩的狀態(tài)下，排列配置在工件托盤20上。在工件托盤20上呈X、Y軸方向的矩陣狀地形成有用于容置工件10的多個(gè)凹槽，多個(gè)工件10排列配置成X、Y軸方向的矩陣狀。焊接裝置I以排列配置在工件托盤20上的多個(gè)工件10作為整體，一邊沿X軸方向搬運(yùn)一邊集中焊接。具體地說，焊接裝置I具有真空腔100，內(nèi)部保持為真空環(huán)境；x方向焊接單元200，在該真空腔100內(nèi)的上游側(cè)沿著X軸方向進(jìn)行焊接；Y方向焊接單元300，在真空腔100內(nèi)的下游側(cè)沿著Y軸方向進(jìn)行焊接；緩沖工位(buffer station) 400,在真空腔100內(nèi)的中游，使焊接途中的工件10暫時(shí)待機(jī)；外部冷卻單元500，從外側(cè)冷卻真空腔100 ；進(jìn)入室(進(jìn)樣室)600，排列設(shè)置在真空腔100的上游側(cè)；取出室(取樣室)700，排列設(shè)置在真空腔100的下游側(cè)；上游側(cè)搬運(yùn)單元800，用于將工件10送入真空腔100 ;下游側(cè)搬運(yùn)單元900，用于從真空腔100送出工件10 ;控制單元(省略圖示)等。上述的焊接裝置I的各部分由控制單元整體控制?？刂茊卧–PU、RAM及ROM等，來執(zhí)行各種控制。CPU是所謂的中央運(yùn)算處理裝置，執(zhí)行各種程序來實(shí)現(xiàn)各種功能(例如，對焊接次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的功能)。RAM在CPU的作業(yè)領(lǐng)域來使用。ROM存儲(chǔ)由CPU執(zhí)行的程序。這樣構(gòu)成的控制單元如后面詳述進(jìn)行控制，通過焊接次數(shù)判斷X方向焊接滾輪240的更換時(shí)機(jī)，在該更換時(shí)機(jī)將X方向焊接滾輪240更換為更換用的X方向焊接滾輪292。同樣，控制單元進(jìn)行控制，通過焊接次數(shù)判斷Y方向焊接滾輪340的更換時(shí)機(jī)，在該更換時(shí)機(jī)將Y方向焊接滾輪340更換為更換用的Y方向焊接滾輪392。真空腔100具有大致六面體的箱形容器即腔主體110、真空泵120和大氣開放閥130。在腔主體110上，在上游側(cè)的側(cè)壁形成有與進(jìn)入室600連通的第一開口 112，并且在下游側(cè)的側(cè)壁形成有與取出室700連通的第二開口 114。第一開口 112通過后述的進(jìn)入室600的上游側(cè)隔開門615打開或關(guān)閉。第二開口 114通過后述的取出室700的下游側(cè)隔開門715打開或關(guān)閉。第一開口 112及第二開口 114被關(guān)閉的狀態(tài)下的真空腔100通過真空泵120的動(dòng)作而使腔主體110內(nèi)的空氣壓控制為從大氣壓到真空環(huán)境為止范圍內(nèi)的任意壓力。大氣開放閥130在維修等時(shí)使用。此外，在腔主體110內(nèi)，為了配置后述的X方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)260及Y方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)360，而形成有沿著X軸方向的梁116。另外，在腔主體110內(nèi)，為了配置后述的第一 Z方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)270及第二 Z方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)370，而形成有從梁116向Y軸方向延伸的支撐件118。在多個(gè)工件10排列配置成矩陣狀的情況下，X方向焊接單元200針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向?qū)Χ鄠€(gè)工件10進(jìn)行焊接。具體地說，X方向焊接單元200具有第一 Y方向定位托架205，與工件托盤20 —起載置有多個(gè)工件10 ;第一 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)210，使該第一 Y方向定位托架205在Y軸方向上移動(dòng)；第一支撐機(jī)構(gòu)220，將工件托盤20支撐在第一 Y方向定位托架205上，或者解除該支撐；X方向焊接頭230，具有一對X方向焊接滾輪240及三個(gè)(兩對)第一搬運(yùn)桿(finger) 250 ;X方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)260，使該X方向焊接頭230在X軸方向上移動(dòng)；一對第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268，配置在構(gòu)成X方向焊接頭230的X方向焊接頭用基座231上并能夠在Z軸方向上移動(dòng)；一對X方向焊接滾輪殼體269，能夠裝卸地配設(shè)在該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268上，并將X方向焊接滾輪240支撐為能夠旋轉(zhuǎn)；第一 Z方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)270，使X方向焊接滾輪240在Z軸方向等上移動(dòng)，或使第一搬運(yùn)桿250在Z軸方向上移動(dòng)；第一更換托架290，載置有更換用的X方向焊接滾輪292。第一 Y方向定位托架205發(fā)揮第一 Y方向偏移裝置的功能，使通過后面詳述的第一搬運(yùn)桿250在X軸方向上呈直列搬運(yùn)來的多個(gè)工件10在Y軸方向上偏移。X方向焊接單元200對通過第一 Y方向定位托架205在Y軸方向上偏移的多個(gè)工件10進(jìn)行焊接。具體地說，第一 Y方向定位托架205配設(shè)在腔主體110內(nèi)的上游側(cè)底面上，并且能夠在Y軸方向上直線移動(dòng)。第一 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)210作為第一 Y方向定位托架205的動(dòng)力源，配設(shè)在腔主體110內(nèi)的上游側(cè)底面。具體地說，第一 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)210具有兩根第一 Y方向定位托架用軌211，沿著Y軸方向相互平行地配設(shè)；兩對第一 Y方向定位托架用滑塊212，沿著上述的兩根第一 Y方向定位托架用軌211在Y軸方向上直線移動(dòng)；第一Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213，在外周面形成有外螺紋；一對第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸用軸承214、215，將該第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213支撐為能夠旋轉(zhuǎn)；第一 Y方向定位托架用螺母216，螺合在第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213上；第一 Y方向定位托架用位置控制馬達(dá)217，與第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213相連接。第一 Y方向定位托架用軌211構(gòu)成第一 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)210的基礎(chǔ)部分，并且，構(gòu)成后面詳述的第一支撐機(jī)構(gòu)220的基礎(chǔ)部分。S卩，第一 Y方向定位托架205用的軌及后面的第一抵接構(gòu)件221用的軌構(gòu)成為一體。在兩對第一 Y方向定位托架用滑塊212上安裝有第一 Y方向定位托架205,使該第一 Y方向定位托架205能夠沿著兩根第一 Y方向定位托架用軌211在Y軸方向上直線移動(dòng)。第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213與兩個(gè)第一 Y方向定位托架用軌211平行地配設(shè)在這兩者之間。該第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213的一端貫通腔主體110的側(cè)壁露出到外部，并與第一 Y方向定位托架用位置控制馬達(dá)217相連接。一個(gè)第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸用軸承214配置在腔主體110內(nèi)的底面上。另一個(gè)第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸用軸承215是磁性流體密封件等，配設(shè)在腔主體110的側(cè)壁上的貫通部分，來密封該貫通部分。該第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸用軸承215能夠在第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213旋轉(zhuǎn)中及停止中，將腔主體110內(nèi)保持為真空環(huán)境。第一 Y方向定位托架用螺母216固定在第一 Y方向定位托架205的下表面上,隨著被第一 Y方向定位托架用位置控制馬達(dá)217驅(qū)動(dòng)的第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213的旋轉(zhuǎn)，來使第一 Y方向定位托架205在Y軸方向上直線移動(dòng)。此外，第一 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸213及第一 Y方向定位托架用螺母216構(gòu)成在螺合部分具有滾珠的所謂的滾珠絲杠，從而能夠降低滑動(dòng)引起的阻力。在此，詳細(xì)說明第一支撐機(jī)構(gòu)220的結(jié)構(gòu)。圖4A是第一支撐機(jī)構(gòu)220的立體圖。該圖所示的第一支撐 機(jī)構(gòu)220配設(shè)在腔主體110內(nèi)的上游側(cè)下方。具體地說，第一支撐機(jī)構(gòu)220具有第一抵接構(gòu)件221，能夠與跟第一 Y方向定位托架205 —起在Y軸方向上移動(dòng)的工件托盤20抵接，并能夠在Y軸方向上移動(dòng)；兩根第一 Y方向定位托架用軌211，兼用作第一 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)210 ;—對第一抵接構(gòu)件用滑塊222，沿著兩根第一 Y方向定位托架用軌211在Y軸方向上直線移動(dòng)；第一推壓構(gòu)件223，與第一 Y方向定位托架205 —起在Y軸方向上移動(dòng)，來推壓工件托盤20 ;第一施力構(gòu)件224，在第一抵接構(gòu)件221在Y軸方向上移動(dòng)了的情況下，向復(fù)原的方向?qū)υ摰谝坏纸訕?gòu)件221施力；第一限制器225,對被該第一施力構(gòu)件224施力的第一抵接構(gòu)件221在復(fù)原方向上的移動(dòng)范圍進(jìn)行限制。第一抵接構(gòu)件221以與第一推壓構(gòu)件223相向的方式沿著X軸方向配設(shè)在工件托盤20的側(cè)方。第一推壓構(gòu)件223在Y軸方向上移動(dòng)了規(guī)定量的情況下，該第一抵接構(gòu)件221與該第一推壓構(gòu)件223 —起夾持工件托盤20將其支撐在第一 Y方向定位托架205上。在一對第一抵接構(gòu)件用滑塊222上安裝有第一抵接構(gòu)件221，該第一抵接構(gòu)件221能夠沿著兩根第一 Y方向定位托架用軌211在Y軸方向上直線移動(dòng)。第一推壓構(gòu)件223以與第一抵接構(gòu)件221相向的方式沿著X軸方向配設(shè)在第一 Y方向定位托架205上。該第一推壓構(gòu)件223在Y軸方向上移動(dòng)了規(guī)定量的情況下，與第一抵接構(gòu)件221 —起將工件托盤20夾入并將其支撐在第一 Y方向定位托架205上。在此，詳細(xì)說明X方向焊接頭230的結(jié)構(gòu)。圖5A是X方向焊接頭230的主視放大圖。圖5B是X方向焊接頭230的側(cè)視放大圖。X方向焊接頭230具有作為基礎(chǔ)的X方向焊接頭用基座231 ;—對Y方向軌232，沿著Y軸方向相互平行地配設(shè)在該X方向焊接頭用基座231的前表面上；線性馬達(dá)式的兩對Y方向滑塊233，沿著一對Y方向軌232在Y軸方向上直線移動(dòng)；一對第一 Z方向軌234，沿著Z軸方向相互平行地配設(shè)在兩對Y方向滑塊233上；線性馬達(dá)式的兩對第一 Z方向滑塊235,能夠沿著一對第一 Z方向軌234在Z軸方向上直線移動(dòng)；一對第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268，安裝在兩對第一 Z方向滑塊235上，能夠在Z軸方向上移動(dòng)；一對X方向焊接滾輪保持部236，配設(shè)在一對第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的下端；一對X方向焊接滾輪殼體269，能夠裝拆地配設(shè)在一對X方向焊接滾輪保持部236上；一對X方向焊接滾輪240，其X方向焊接滾輪用旋轉(zhuǎn)軸237能夠旋轉(zhuǎn)地支撐在一對X方向焊接滾輪殼體269上。返回圖1A 圖3進(jìn)行說明。X方向焊接頭230在第一 Y方向定位托架205的上方，配設(shè)在腔主體Iio內(nèi)的梁116上，并能夠在X軸方向上直線移動(dòng)。X方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)260作為X方向焊接頭230的動(dòng)力源配設(shè)在第一 Y方向定位托架205的上方。具體地說，X方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)260具有兩根焊接頭用軌261，以貫通支撐件118的方式沿著X軸方向相互平行地配設(shè)在梁116的側(cè)面上；兩對X方向焊接頭用滑塊262，能夠沿著兩根焊接頭用軌261在X軸方向上直線移動(dòng)；X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263，在外周面形成有外螺紋；一對X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承264、265，將該X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263支撐為能夠旋轉(zhuǎn)；X方向焊接頭用螺母266，螺合在X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263上；X方向焊接頭用位置控制馬達(dá)267，與X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263相連接。該焊接頭用軌261構(gòu)成X方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)260的基礎(chǔ)部分，并且構(gòu)成后述的Y方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)360的基礎(chǔ)部分。即，X方向焊接頭230用的軌及后述的Y方向焊接頭330用的軌構(gòu)成為一體。在兩對X方向焊接頭用滑塊262上固定有X方向焊接頭230，該X方向焊接頭230能夠沿著兩根焊接頭用軌261在X軸方向上直線移動(dòng)。X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263在腔主體110內(nèi)的上游側(cè)與兩個(gè)焊接頭用軌261平行地配設(shè)在這兩者之間。該X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263的一端貫通腔主體110的側(cè)壁而露出到外部，并與X方向焊接頭用位置控制馬達(dá)267相連接。一個(gè)X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承264配設(shè)在腔主體110內(nèi)的支撐件118的側(cè)面上。另一個(gè)X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承265是磁性流體密封件等，配設(shè)在腔主體110的側(cè)壁的貫通部分，來密封該貫通部分。該X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承265能夠在X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263的旋轉(zhuǎn)中及停止中，將腔主體110內(nèi)保持為真空環(huán)境。X方向焊接頭用螺母266固定在X方向焊接頭用基座231的后表面上，隨著被X方向焊接頭用位置控制馬達(dá)267驅(qū)動(dòng)的X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263的旋轉(zhuǎn)，來使X方向焊接頭230在X軸方向直線移動(dòng)。此外，X方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸263及X方向焊接頭用螺母266構(gòu)成在螺合部分具有滾珠的所謂的滾珠絲杠，從而降低滑動(dòng)引起的阻力。第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268以能夠在Z軸方向上移動(dòng)的方式配設(shè)在X方向焊接頭用基座231的前表面上。該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268由具有熱傳導(dǎo)性、熱福射性和絕緣性的材料形成，從而提高了縫焊所產(chǎn)生的熱的散熱性能。在X方向焊接頭230上產(chǎn)生的焊接熱經(jīng)由X方向焊接滾輪保持部236傳遞至第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268，與此同時(shí)，從該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的表面散熱到外部。另外，通過第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268使X方向焊接滾輪保持部236和X方向焊接頭用基座231之間絕緣。此外，優(yōu)選將第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的前表面的面積盡可能設(shè)定得大，來提高散熱性能。具體地說，該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268具有規(guī)定面積的散熱面268A，確保該散熱面的面積為3cm2以上，優(yōu)選確保5cm2以上。優(yōu)選第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的材料的熱傳導(dǎo)率為170W/(m · K)以上。并且,優(yōu)選第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的材料的熱福射率在O. 8以上，即接近I。另外，優(yōu)選第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的材料的絕緣阻抗為IO3 Ω -cm以上。而且，優(yōu)選第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的材料具有防銹性、輕量性。作為第一Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的材料應(yīng)用陶瓷，其中，更優(yōu)選使用碳化硅或氮化鋁。優(yōu)選所采用的陶瓷的熱輻射率在O. 8以上且1. O以下，更優(yōu)選在O. 93以上且O. 95以下。即，與鋁的熱輻射率即O. 02以上且O.1以下或鐵的熱輻射率即O. 5以且上O. 9以下相比，陶瓷的熱輻射率高。碳化硅的熱傳導(dǎo)率為170W/(m · K)，熱輻射率為O. 8以上且1. O以下，絕緣阻抗為103Ω .cm以上且5Χ106Ω · cm以下。氮化鋁的熱傳導(dǎo)率為170W/ (m*K)以上且230W/ (m*K)以下，熱輻射率為O. 93，絕緣阻抗為IO13 Ω · cm以上。此夕卜，碳化硅及氮化鋁滿足上述優(yōu)選的全部條件。X方向焊接滾輪保持部236配設(shè)在第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的下端，將X方向焊接滾輪240保持為能夠旋轉(zhuǎn)，并且向該X方向焊接滾輪240供給電流，能夠通過X方向焊接滾輪240進(jìn)行焊接。X方向焊接滾輪殼體269內(nèi)置有處于該X方向焊接滾輪殼體269和X方向焊接滾輪240之間的通電用的導(dǎo)電膏。該X方向焊接滾輪殼體269與X方向焊接滾輪240構(gòu)成一體，能夠與該X方向焊接滾輪240 —體地更換。一對X方向焊接滾輪240能夠裝卸地配設(shè)在X方向焊接頭用基座231的沿著Y軸的面上，該一對X方向焊接滾輪240能夠圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)且能夠在Z軸方向上移動(dòng)，而且，一對X方向焊接滾輪240能夠與該X方向焊接頭用基座231 —起在X軸方向上移動(dòng)。而且，一對X方向焊接滾輪240通過Y方向滑塊233在Y方向上移動(dòng)，從而能夠調(diào)整相互間的間隔。具體地說，一對X方向焊接滾輪240在后面詳述的第一更換托架290的上方，在Z軸方向上移動(dòng)，從而能夠與X方向焊接滾輪殼體269 —體地自動(dòng)更換為更換用的X方向焊接滾輪292。一對X方向焊接滾輪240構(gòu)成焊接電極，對工件10進(jìn)行縫焊。即，一對X方向焊接滾輪240通過一邊對工件10施加脈沖狀的電壓一邊轉(zhuǎn)動(dòng)，來對該工件10進(jìn)行縫焊。因此，一對X方向焊接滾輪240需要與X方向焊接頭用基座231絕緣，該絕緣能夠通過具有絕緣性的第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268來實(shí)現(xiàn)。第一 Z方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)270具有第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271，以貫通X方向焊接頭230的方式沿著X軸方向配設(shè)；一對第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承272、273，將該第一Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271支撐為能夠旋轉(zhuǎn)；X方向焊接滾輪用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)(省略圖示)，將第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271向規(guī)定的第一方向(例如，從第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274—側(cè)觀察時(shí)左方向)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)力變換為使一對X方向焊接滾輪240向Z軸方向移動(dòng)的移動(dòng)力；第一搬運(yùn)桿用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)(省略圖不)，將第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271向規(guī)定的第二方向(例如，從第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274 —側(cè)觀察時(shí)右方向)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)力變換為使3個(gè)第一搬運(yùn)桿250向Z軸方向移動(dòng)的移動(dòng)力；第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274，與第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271相連接；X方向焊接滾輪間隔變更機(jī)構(gòu)(省略圖示)，用于變更一對X方向焊接滾輪240相互間的間隔；X方向焊接滾輪間隔變更用位置控制馬達(dá)(省略圖示)，與該X方向焊接滾輪間隔變更機(jī)構(gòu)相連接。第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271米用花鍵軸。該第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271的一端貫通腔主體110的側(cè)壁露出到外部，并與第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274相連接。一個(gè)第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承272配設(shè)在腔主體110內(nèi)的支撐件118的側(cè)面上。另一個(gè)第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承273是磁性流體密封件等，配設(shè)在腔主體110的側(cè)壁的貫通部分上，來密封該貫通部分。該第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承273能夠在第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271的旋轉(zhuǎn)中及停止中，將腔主體110內(nèi)保持為真空環(huán)境。X方向焊接滾輪用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)配設(shè)在X方向焊接頭230上，隨著被第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274驅(qū)動(dòng)的第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271向規(guī)定的第一方向(例如，從第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274—側(cè)觀察時(shí)左方向)旋轉(zhuǎn)，使X方向焊接滾輪240在Z軸方向上直線移動(dòng)。X方向焊接滾輪間隔變更機(jī)構(gòu)及X方向焊接滾輪間隔變更用位置控制馬達(dá)配設(shè)在X方向焊接頭230上。X方向焊接滾輪間隔變更機(jī)構(gòu)被X方向焊接滾輪間隔變更用位置控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，來變更一對X方向焊接滾輪240在Y軸方向上的相互間的間隔。3個(gè)第一搬運(yùn)桿250發(fā)揮在X軸方向直列搬運(yùn)多個(gè)工件10的搬運(yùn)裝置的功能。3個(gè)第一搬運(yùn)桿250配設(shè)在X方向焊接頭230上，3個(gè)第一搬運(yùn)桿250沿著X軸方向彼此隔開間隔，并且能夠在Z軸方向上移動(dòng)，而且能夠與該X方向焊接頭230 —起在X軸方向上移動(dòng)。具體地說，3個(gè)第一搬運(yùn)桿250能夠在Z軸方向上，在第一接近位置和第一分離位置之間移動(dòng)，其中，所述第一接近位置指，接近第一 Y方向定位托架205并與其距離規(guī)定間隔的位置，所述第一分離位置指，離開該第一 Y方向定位托架205規(guī)定間隔的位置。另外，3個(gè)第一搬運(yùn)桿250在位于第一接近位置時(shí)，利用其中的兩個(gè)在工件托盤20的前后將工件托盤20夾入，與X方向焊接頭230 —起在X軸方向上移動(dòng)來推壓該工件托盤20，與該工件托盤20 —起在X軸方向上搬運(yùn)多個(gè)工件10。另一方面,3個(gè)第一搬運(yùn)桿250在位于第一分離位置時(shí)，不推壓工件托盤20。上述的一對第一搬運(yùn)桿250在X軸方向上的相互間的間隔保持恒定。上述的第一搬運(yùn)桿用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)配設(shè)在X方向焊接頭230上，隨著被第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274驅(qū)動(dòng)的第一 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸271向規(guī)定的第二方向(例如，從第一 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)274 —側(cè)觀察時(shí)右方向)旋轉(zhuǎn)，使第一搬運(yùn)桿250在Z軸方向上直線移動(dòng)。第一更換托架290固定在第一 Y方向定位托架205的Y軸方向上的一端,能夠與該第一 Y方向定位托架205 —起在Y軸方向上移動(dòng)。在該第一更換托架290上沿著Y軸方向載置有用于保持更換用的X方向焊接滾輪292的多個(gè)X方向焊接滾輪用保持臺(tái)294。在多個(gè)X方向焊接滾輪用保持臺(tái)294上分別沿著Y軸方向載置有一對更換用的X方向焊接滾輪 292。在多個(gè)工件10排列配置成矩陣狀的情況下，Y方向焊接單元300針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向進(jìn)行焊接。具體地說，Y方向焊接單元300具有第二 Y方向定位托架305，與工件托盤20 —起載置多個(gè)工件10 ;第二 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)310，使該第二 Y方向定位托架305在Y軸方向上移動(dòng)；第二支撐機(jī)構(gòu)320，將工件托盤20支撐在第二 Y方向定位托架305上，或者解除該支撐；Y方向焊接頭330，具有一對Y方向焊接滾輪340及一對第二搬運(yùn)桿350 ；Υ方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)360，使該Y方向焊接頭330在X軸方向上移動(dòng)；第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368，能夠在Z軸方向上移動(dòng)地配設(shè)在Y方向焊接頭330上；一對Y方向焊接滾輪殼體369，能夠裝卸地配設(shè)在該第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368上，將Y方向焊接滾輪340保持為能夠旋轉(zhuǎn)；第二 Z方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)370，使Y方向焊接滾輪340在Z軸方向等上移動(dòng)，或使第二搬運(yùn)桿350在Z軸方向上移動(dòng)；第二更換托架390，載置有更換用的Y方向焊接滾輪392。第二 Y方向定位托架305發(fā)揮第二 Y方向偏移裝置的功能，使通過后面詳述的第二搬運(yùn)桿350在X軸方向上直列搬運(yùn)的多個(gè)工件10在Y軸方向上偏移。Y方向焊接單元300焊接通過第二 Y方向定位托架305在Y軸方向上偏移的多個(gè)工件10。具體地說，第二 Y方向定位托架305配設(shè)在腔主體110內(nèi)的下游側(cè)底面上，能夠在Y軸方向上直線移動(dòng)。第 二Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)310作為第二 Y方向定位托架305的動(dòng)力源配設(shè)在腔主體110內(nèi)的下游側(cè)底面上。具體地說，第二 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)310具有兩根第二 Y方向定位托架用軌311，沿著Y軸方向相互平行地配設(shè)；兩對第二 Y方向定位托架用滑塊312，能夠沿著兩個(gè)第二 Y方向定位托架用軌311在Y軸方向上直線移動(dòng)；第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313，在外周面形成有外螺紋；一對第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸用軸承314、315，將該第二
Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313支撐為能夠旋轉(zhuǎn)；第二 Y方向定位托架用螺母316,螺合在第二
Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313上；第二 Y方向定位托架用位置控制馬達(dá)317，與第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313相連接。第二 Y方向定位托架用軌311構(gòu)成第二 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)310的基礎(chǔ)部分，并且構(gòu)成后面詳述的第二支撐機(jī)構(gòu)320的基礎(chǔ)部分。S卩，第二 Y方向定位托架305用的軌及后面詳述的第二抵接構(gòu)件321用的軌構(gòu)成為一體。在兩對第二 Y方向定位托架用滑塊312上安裝有第二 Y方向定位托架305，該第二 Y方向定位托架305能夠沿著兩根第二 Y方向定位托架用軌311在Y軸方向上直線移動(dòng)。第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313與兩個(gè)第二Y方向定位托架用軌311平行地配設(shè)在這兩者之間。該第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313的一端貫通腔主體110的側(cè)壁露出到外部，并與第二 Y方向定位托架用位置控制馬達(dá)317相連接。一個(gè)第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸用軸承314配設(shè)在腔主體110內(nèi)的底面上。另一個(gè)第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸用軸承315是磁性流體密封件等，配設(shè)在腔主體110的側(cè)壁的貫通部分，來密封該貫通部分。第二 Y方向定位托架用螺母316固定在第二 Y方向定位托架305的下表面上，隨著被第二 Y方向定位托架用位置控制馬達(dá)317驅(qū)動(dòng)的第二 Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313的旋轉(zhuǎn)，使第二 Y方向定位托架305在Y軸方向上直線移動(dòng)。此外，第二
Y方向定位托架驅(qū)動(dòng)軸313及第二 Y方向定位托架用螺母316構(gòu)成在螺合部分具有滾珠的所謂的滾珠絲杠，從而減低滑動(dòng)引起的阻力。在此，詳細(xì)說明第二支撐機(jī)構(gòu)320的結(jié)構(gòu)。圖4B是第二支撐機(jī)構(gòu)320的立體圖。該圖所示的第二支撐機(jī)構(gòu)320配設(shè)在腔主體110內(nèi)的下游側(cè)下方。具體地說，第二支撐機(jī)構(gòu)320具有第二抵接構(gòu)件321，能夠與跟第二 Y方向定位托架305 —起在Y軸方向上移動(dòng)的工件托盤20抵接，并能夠在Y軸方向上移動(dòng)；兩根第二 Y方向定位托架用軌311，兼用作第二 Y方向定位托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)310 ;—對第二抵接構(gòu)件用滑塊322，沿著兩個(gè)第二 Y方向定位托架用軌311在Y軸方向上直線移動(dòng)；第二推壓構(gòu)件323，與第二 Y方向定位托架305 一起在Y軸方向上移動(dòng)，并推壓工件托盤20 ;第二施力構(gòu)件324，在第二抵接構(gòu)件321Y軸方向上移動(dòng)了的情況下，向復(fù)原的方向?qū)υ摰诙纸訕?gòu)件321施力；第二限制器325，對被該第二施力構(gòu)件324施力的第二抵接構(gòu)件321在復(fù)原方向上的移動(dòng)范圍進(jìn)行限制。第二抵接構(gòu)件321以與第二推壓構(gòu)件323相向的方式沿著X軸方向配設(shè)在工件托盤20的側(cè)方。第二推壓構(gòu)件323在Y軸方向移動(dòng)了規(guī)定量的情況下，該第二抵接構(gòu)件321與該第二推壓構(gòu)件323 —起將工件托盤20夾入并將其支撐在第二 Y方向定位托架305上。在一對第二抵接構(gòu)件用滑塊322上安裝有第二抵接構(gòu)件321，該第二抵接構(gòu)件321能夠沿著兩根第二 Y方向定位托架用軌311在Y軸方向上直線移動(dòng)。第一推壓構(gòu)件323以與第二抵接構(gòu)件321相向的方式沿著X軸方向配設(shè)在第二 Y方向定位托架305上。該第二推壓構(gòu)件323在Y軸方向移動(dòng)了規(guī)定量的情況下，與第二抵接構(gòu)件321 —起夾入工件托盤20并使其支撐在第二 Y方向定位托架305上。在此，詳細(xì)說明Y方向焊接頭330的結(jié)構(gòu)。圖5C是Y方向焊接頭330的主視放大圖。圖是Y方向焊接頭330的側(cè)視放大圖。Y方向焊接頭330具有作為基礎(chǔ)的Y方向焊接頭用基座331 ;—對X方向軌332，沿著X軸方向相互平行地配設(shè)在該Y方向焊接頭用基座331的前表面上；線性馬達(dá)式的兩對X方向滑塊333，沿著一對X方向軌332在X軸方向上直線移動(dòng)；一對第二 Z方向軌334，沿著Z軸方向相互平行地配設(shè)在兩對X方向滑塊333上；線性馬達(dá)式的兩對第二 Z方向滑塊335，沿著一對第二 Z方向軌334在Z軸方向上直線移動(dòng)；一對第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368，安裝在兩對第二 Z方向滑塊335上，能夠在Z軸方向上移動(dòng)；一對Y方向焊接滾輪保持部336，配設(shè)在一對第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368的下端；一對Y方向焊接滾輪殼體369，能夠裝卸地配設(shè)在一對Y方向焊接滾輪保持部236上；一對Y方向焊接滾輪340，其Y方向焊接滾輪用旋轉(zhuǎn)軸337能夠旋轉(zhuǎn)地支撐在一對Y方向焊接滾輪殼體369上。返回圖1A、1B 圖3A、3B進(jìn)行說明。Y方向焊接頭330由碳化硅或氮化鋁等熱傳導(dǎo)率高的材料形成，具有高的散熱能力。該Y方向焊接頭330在第二 Y方向定位托架305的上方配設(shè)在腔主體110內(nèi)的梁116上，能夠在X軸方向上直線移動(dòng)。Y方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)360作為Y方向焊接頭330的動(dòng)力源配設(shè)在第二 Y方向定位托架305的上方。具體地說，
Y方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)360具有兩根焊接頭用軌261，兼用作X方向焊接頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)260 ；兩對Y方向焊接頭用滑塊362，沿著兩個(gè)焊接頭用軌261在X軸方向上直線移動(dòng)；Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363，在外周面形成有外螺紋；一對Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承364、365，將該Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363支撐為能夠旋轉(zhuǎn)；Y方向焊接頭用螺母366，螺合在Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363上；Υ方向焊接頭用位置控制馬達(dá)367，與Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363相連接。在兩對Y方向焊接頭用滑塊362上固定有Y方向焊接頭330，該Y方向焊接頭330能夠沿著兩根焊接頭用軌361在X軸方向上直線移動(dòng)。Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363在腔主體110內(nèi)的下游側(cè)與兩個(gè)焊接頭用軌261平行地配設(shè)在這兩者之間。該Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363的一端貫通腔主體110的側(cè)壁露出到外部，并與Y方向焊接頭用位置控制馬達(dá)367相連接。一個(gè)Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承364配設(shè)在腔主體110內(nèi)的支撐件118的側(cè)面上。另一個(gè)Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承365是磁性流體密封件等，配設(shè)在腔主體110的側(cè)壁的貫通部分上，來密封該貫通部分。該Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸用軸承365能夠在Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363的旋轉(zhuǎn)中及停止中，將腔主體110內(nèi)保持為真空環(huán)境。Y方向焊接頭用螺母366固定在Y方向焊接頭用基座331的后表面上，隨著被Y方向焊接頭用位置控制馬達(dá)367驅(qū)動(dòng)的Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363的旋轉(zhuǎn)，使Y方向焊接頭330在X軸方向上直線移動(dòng)。此外，Y方向焊接頭驅(qū)動(dòng)軸363及Y方向焊接頭用螺母366構(gòu)成在螺合部分具有滾珠的所謂的滾珠絲杠，從而降低滑動(dòng)引起的阻力。第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268配設(shè)在Y方向焊接頭用基座331的前表面上，能夠在Z軸方向上移動(dòng)。該第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368由具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性的材料形成，提高了由縫焊產(chǎn)生的熱的散熱性能。在Y方向焊接頭330上產(chǎn)生的焊接熱經(jīng)由Y方向焊接滾輪保持部336傳遞至第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368，與此同時(shí)，從該第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368的表面散熱到外部。另外，通過第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368使Y方向焊接滾輪保持部336和Y方向焊接頭用基座331之間絕緣。此外，優(yōu)選將第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368的前表面的面積盡可能地設(shè)定得大，來提高散熱性能。具體地說，該第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368具有規(guī)定面積的散熱面368Α，確保該散熱面的面積在3cm2以上，優(yōu)選在5cm2以上。優(yōu)選第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368的材料具有與第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的材料同樣的物理參數(shù)。第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368的材料應(yīng)用陶瓷，其中更優(yōu)選碳化硅或氮化鋁。 Y方向焊接滾輪保持部336配設(shè)在第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368的下端，將Y方向焊接滾輪340保持為能夠旋轉(zhuǎn)，并且向該Y方向焊接滾輪340供給電流，能夠通過Y方向焊接滾輪340進(jìn)行焊接。Y方向焊接滾輪殼體369內(nèi)置有處于該Y方向焊接滾輪殼體369和Y方向焊接滾輪340之間的通電用的導(dǎo)電膏。該Y方向焊接滾輪殼體369與Y方向焊接滾輪340構(gòu)成為一體，能夠與該Y方向焊接滾輪340 —體地更換。一對Y方向焊接滾輪340能夠裝卸地配設(shè)在Y方向焊接頭用基座331的沿著X軸的面上，該一對Y方向焊接滾輪340能夠圍繞X軸旋轉(zhuǎn)且能夠在Z軸方向移動(dòng)，而且能夠與該Y方向焊接頭用基座331 —起在X軸方向上移動(dòng)。而且，一對Y方向焊接滾輪340通過X方向滑塊333在X方向上移動(dòng)，并能夠調(diào)整相互間的間隔。具體地說，一對Y方向焊接滾輪340通過在后面詳述的第二更換托架390的上方，在Z軸方向上移動(dòng)，從而與Y方向焊接滾輪殼體369 —體地自動(dòng)更換為更換用的Y方向焊接滾輪392。一對Y方向焊接滾輪340構(gòu)成焊接電極，來對工件10進(jìn)行縫焊。即，一對Y方向焊接滾輪340 —邊對工件10施加脈沖狀的電壓一邊轉(zhuǎn)動(dòng)，從而對該工件10進(jìn)行焊接。因此，一對Y方向焊接滾輪340需要與Y方向焊接頭用基座331絕緣，該絕緣由具有絕緣性的第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368實(shí)現(xiàn)。第二 Z方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)370具有第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371，以貫通Y方向焊接頭330的方式沿著X軸方向配設(shè)；一對第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承372、373，將該第二Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371支撐為能夠旋轉(zhuǎn)；Y方向焊接滾輪用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)(省略圖示)，將第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371向規(guī)定的第一方向(例如，從第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374—側(cè)觀察時(shí)左方向)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)力變換為一對Y方向焊接滾輪340向Z軸方向移動(dòng)的移動(dòng)力；第二搬運(yùn)桿用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)(省略圖示)，將第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371向規(guī)定的第二方向(例如，從第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374 —側(cè)觀察時(shí)右方向)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)力變換為使一對第二搬運(yùn)桿350向Z軸方向移動(dòng)的移動(dòng)力；第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374，與第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371相連接；Υ方向焊接滾輪間隔變更機(jī)構(gòu)(省略圖示)，變更一對Y方向焊接滾輪340相互間的間隔；Υ方向焊接滾輪間隔變更用位置控制馬達(dá)(省略圖示)，與該Y方向焊接滾輪間隔變更機(jī)構(gòu)相連接。第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371采用花鍵軸。該第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371的一端貫通腔主體110的側(cè)壁露出到外部，并與第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374相連接。一個(gè)第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承372配設(shè)在腔主體110內(nèi)的支撐件118的側(cè)面上。另一個(gè)第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承373是磁性流體密封件等，配設(shè)在腔主體110的側(cè)壁的貫通部分上，來密封該貫通部分。該第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸用軸承373能夠在第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371旋轉(zhuǎn)中及停止中，將腔主體110內(nèi)保持為真空環(huán)境。Y方向焊接滾輪用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)配設(shè)在Y方向焊接頭330上，隨著被第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374驅(qū)動(dòng)的第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371向規(guī)定的第一方向(例如，從第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374 —側(cè)觀察時(shí)左方向)的旋轉(zhuǎn)，使Y方向焊接滾輪340在Z軸方向上直線移動(dòng)。Y方向焊接滾輪間隔變更機(jī)構(gòu)及Y方向焊接滾輪間隔變更用位置控制馬達(dá)配設(shè)在Y方向焊接頭330上。Y方向焊接滾輪間隔變更機(jī)``構(gòu)由Y方向焊接滾輪間隔變更用位置控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，用于變更一對Y方向焊接滾輪340在X軸方向上的相互間的間隔。一對第二搬運(yùn)桿350發(fā)揮在X方向上直列搬運(yùn)多個(gè)工件10的搬運(yùn)裝置的功能。一對第二搬運(yùn)桿350配設(shè)在Y方向焊接頭330上，沿著X軸方向彼此隔開間隔，并且能夠在Z軸方向上移動(dòng)，一對第二搬運(yùn)桿350能夠與該Y方向焊接頭330 —起在X軸方向上移動(dòng)。具體地說，一對第二搬運(yùn)桿350在Z軸方向上，在第二接近位置和第二分離位置之間移動(dòng)，其中，所述第二接近位置指，接近第二 Y方向定位托架305且與其隔開規(guī)定的間隔的位置，所述第二分離位置指，離開該第二 Y方向定位托架305規(guī)定的間隔的位置。另外，一對第二搬運(yùn)桿350在位于第二接近位置的情況下，從工件托盤20的前后將工件托盤20夾入，與Y方向焊接頭330 —起在X軸方向上移動(dòng)來推壓該工件托盤20，從而與該工件托盤20 —起在X軸方向上搬運(yùn)多個(gè)工件10。另一方面，一對第二搬運(yùn)桿350在位于第二分離位置的情況下，不推壓工件托盤20。一對第二搬運(yùn)桿350的X軸方向上的相互間的間隔保持恒定。此外，關(guān)于焊接裝置1，作為在X軸方向上直線搬運(yùn)多個(gè)工件10的搬運(yùn)裝置，在第一焊接單元200上具有三個(gè)(兩對)第一搬運(yùn)桿250，并且在第二焊接單元300上具有一對第二搬運(yùn)桿350，但不限于此。即，作為焊接裝置I的該搬運(yùn)裝置，可以在第一焊接單元200或第二焊接單元300中的一個(gè)上具有四個(gè)(三對)搬運(yùn)桿。上述的第二搬運(yùn)桿用動(dòng)力變換機(jī)構(gòu)配設(shè)在Y方向焊接頭330上，隨著被第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374驅(qū)動(dòng)的第二 Z方向移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)軸371向規(guī)定的第二方向(例如，從第二 Z方向移動(dòng)用位置控制馬達(dá)374 —側(cè)觀察時(shí)右方向)的旋轉(zhuǎn)，使第二搬運(yùn)桿350在Z軸方向上直線移動(dòng)。第二更換托架390固定在第二 Y方向定位托架305的Y軸方向上的一端，能夠與該第二 Y方向定位托架305 —起在Y軸方向上移動(dòng)。在該第二更換托架390上，沿著X軸方向載置有用于保持更換用的Y方向焊接滾輪392的多個(gè)Y方向焊接滾輪用保持臺(tái)394。在多個(gè)Y方向焊接滾輪用保持臺(tái)394上分別沿著X軸方向載置有一對更換用的Y方向焊接滾輪392。緩沖工位400為了避免X方向焊接單元200本身或位于該X方向焊接單元200上的工件10與Y方向焊接單元300本身或位于該Y方向焊接單元300上的工件10干涉而配設(shè)。該緩沖工位400具有將工件托盤20和由X方向焊接單元200焊接之后且由Y方向焊接單元300焊接之前的多個(gè)工件10 —起冷卻的功能。具體地說，緩沖工位400具有搬運(yùn)面410，沿著X軸方向配設(shè)在第一搬運(yùn)桿250及第二搬運(yùn)桿350能夠移動(dòng)的范圍的下方；一對側(cè)引導(dǎo)件420、430，沿著X軸方向配設(shè)在搬運(yùn)面410的側(cè)方；一對內(nèi)部冷卻用配管440、450 ;內(nèi)部冷卻用熱交換器460 ;內(nèi)部冷卻用泵470。搬運(yùn)面410通過第一搬運(yùn)桿250接受在第一 Y方向定位托架205上搬運(yùn)的工件托盤20。所接受的工件托盤20被后面詳述的側(cè)引導(dǎo)件420內(nèi)的水冷卻，之后，通過第二搬運(yùn)桿350送出到第二 Y方向定位托架305。一對側(cè)引導(dǎo)件420、430在X軸方向引導(dǎo)搬運(yùn)面410上的工件托盤20。一個(gè)側(cè)引導(dǎo)件420構(gòu)成冷媒用的貯存器，連接有一對內(nèi)部冷卻用配管440、450。一對內(nèi)部冷卻用配管440、450分別將側(cè)引導(dǎo)件420和配設(shè)在腔主體110外的內(nèi)部冷卻用泵470連接。一個(gè)內(nèi)部冷卻用配管440將來自內(nèi)部冷卻用泵470的冷媒送出至側(cè)引導(dǎo)件420。另一個(gè)內(nèi)部冷卻用配管450將在側(cè)引導(dǎo)件420中進(jìn)行了循環(huán)的冷媒經(jīng)由內(nèi)部冷卻用熱交換器460回收到內(nèi)部冷卻用泵470。內(nèi)部冷卻用熱交換器460及內(nèi)部冷卻用泵470配設(shè)在腔主體110外。內(nèi)部冷卻用熱交換器460在冷卻中使用，來冷卻帶有熱量的冷媒。內(nèi)部冷卻用泵470使冷媒循環(huán)。作為冷媒使用水等。在此，詳細(xì)說明外部冷卻單元500的結(jié)構(gòu)。圖6是外部冷卻單元500的外觀立體圖。該圖所示的外部冷卻單元500配設(shè)在腔主體110的外表面上。該外部冷卻單元500吸收工件焊接而產(chǎn)生并輻射的熱，進(jìn)而來冷卻工件10等。具體地說，外部冷卻單元500具有作為冷媒用的貯存器的水套(jacket) 510、一對外部冷卻用配管520、530、外部冷卻用熱交換器540和外部冷卻用泵550。水套510形成為“ 口 ”字形，具有數(shù)毫米左右的厚度。在該水套510的兩端連接有一對外部冷卻用配管520、530。一對外部冷卻用配管520、530分別將水套510和外部冷卻用泵550連接。一個(gè)外部冷卻用配管520將來自外部冷卻用泵550的冷媒送出至水套510。另一個(gè)外部冷卻用配管530將在水套510中進(jìn)行了循環(huán)的冷媒經(jīng)由熱交換器XE即外部冷卻用熱交換器540回收到泵P即外部冷卻用泵550。外部冷卻用熱交換器540在冷卻時(shí)使用，來冷卻帶有熱的冷媒。外部冷卻用泵550使冷媒循環(huán)。作為冷媒使用水等。進(jìn)入室600具有一邊將真空腔100保持為真空環(huán)境一邊從大氣中將多個(gè)工件10送入該真空腔100的功能。具體地說，進(jìn)入室600具有大致六面體的箱形容器即進(jìn)入室主體610、進(jìn)入室主體用真空泵620和進(jìn)入室主體用大氣開放閥630。在進(jìn)入室主體610的上游側(cè)的側(cè)壁形成有與外部連通的進(jìn)入室主體用外部開口 612，并具有打開或關(guān)閉該進(jìn)入室主體用外部開口 612的進(jìn)入室主體用外部門613。另外，在進(jìn)入室主體610的真空腔100 —側(cè)的側(cè)壁上形成有經(jīng)由第一開口 112與真空腔100連通的進(jìn)入室主體用連通口 614，具有打開或關(guān)閉該進(jìn)入室主體用連通口 614的上游側(cè)隔開門615。進(jìn)入室主體用外部開口 612及進(jìn)入室主體用連通口 614被關(guān)閉的狀態(tài)下的進(jìn)入室600，通過進(jìn)入室主體用真空泵620的動(dòng)作，將進(jìn)入室主體610內(nèi)的空氣壓控制為從大氣壓到真空環(huán)境的范圍內(nèi)的任意壓力。此夕卜，可以將真空泵120兼用作進(jìn)入室600的進(jìn)入室主體用真空泵620，也可以省略進(jìn)入室主體用真空泵620。取出室700具有一邊將真空腔100保持為真空環(huán)境一邊從該真空腔100將多個(gè)工件10送出至大氣中的功能。具體地說，取出室700具有大致六面體的箱形容器即取出室主體710、取出室主體用真空泵720和取出室主體用大氣開放閥730。在取出室主體710的下游側(cè)的側(cè)壁上形成有與外部連通的取出室主體用外部開口 712，并具有打開或關(guān)閉該取出室主體用外部開口 712的取出室主體用外部門713。另外，在取出室主體710的真空腔100一側(cè)的側(cè)壁上形成有經(jīng)由第二開口 114與真空腔100連通的取出室主體用連通口 714，具有打開或關(guān)閉該取出室主體用連通口 714的下游側(cè)隔開門715。取出室主體用外部開口 712及取出室主體用連通口 714被關(guān)閉的狀態(tài)下的取出室700，通過取出室主體用真空泵720的動(dòng)作，將取出室主體710內(nèi)的空氣壓控制為從大氣壓到真空環(huán)境的范圍內(nèi)的任意的壓力。此外，可以將真空泵120兼用作取出室700的取出室主體用真空泵720，也可以省略取出室主體用真空泵720。上游側(cè)搬運(yùn)單元800具有上游側(cè)第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)810、上游側(cè)第二搬運(yùn)機(jī)構(gòu)820和上游側(cè)第三搬運(yùn)機(jī)構(gòu)830，這些搬運(yùn)機(jī)構(gòu)從上游側(cè)開始依次配設(shè)。上游側(cè)第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)810配設(shè)在進(jìn)入室主體610的外側(cè)底面上的進(jìn)入室主體用外部門613附近，從進(jìn)入室主體610的外側(cè)向內(nèi)側(cè)搬運(yùn)工件托盤20。具體地說，上游側(cè)第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)810具有在X軸方向上連續(xù)配設(shè)的多個(gè)上游側(cè)第一搬運(yùn)輥812。多個(gè)上游側(cè)第一搬運(yùn)輥812能夠分別圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，在X軸方向上搬運(yùn)工件托盤20。上游側(cè)第二搬運(yùn)機(jī)構(gòu)820配設(shè)在進(jìn)入室主體610的內(nèi)側(cè)底面上，從進(jìn)入室主體610向腔主體110搬運(yùn)工件托盤20。具體地說，上游側(cè)第二搬運(yùn)機(jī)構(gòu)820具有在X軸方向上連續(xù)配設(shè)的多個(gè)上游側(cè)第二搬運(yùn)輥822。多個(gè)上游側(cè)第二搬運(yùn)輥822分別能夠圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，用于在X軸方向上搬運(yùn)工件托盤20。上游側(cè)第三搬運(yùn)機(jī)構(gòu)830配設(shè)在腔主體110的內(nèi)側(cè)底面上的第一開口 112附近，用于從腔主體110內(nèi)的上游向中游搬運(yùn)工件托盤20。具體地說，上游側(cè)第三搬運(yùn)機(jī)構(gòu)830具有在X軸方向上連續(xù)配設(shè)的多個(gè)上游側(cè)第三搬運(yùn)輥832。多個(gè)上游側(cè)第三搬運(yùn)輥832能夠分別圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，在X軸方向上搬運(yùn)工件托盤20。下游側(cè)搬運(yùn)單元900具有下游側(cè)第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)910、下游側(cè)第二搬運(yùn)機(jī)構(gòu)920和下游側(cè)第三搬運(yùn)機(jī)構(gòu)930，這些搬運(yùn)機(jī)構(gòu)向下游側(cè)依次配設(shè)。下游側(cè)第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)910配設(shè)在取出室主體710的內(nèi)側(cè)底面上的第二開口 114附近，用于從腔主體110內(nèi)的中游向下游搬運(yùn)工件托盤20。具體地說，下游側(cè)第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)910具有在X軸方向上連續(xù)配設(shè)的多個(gè)下游側(cè)第一搬運(yùn)輥912。多個(gè)下游側(cè)第一搬運(yùn)輥912能夠分別圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，在X軸方向上搬運(yùn)工件托盤20。下游側(cè)第二搬運(yùn)機(jī)構(gòu)920配設(shè)在取出室主體710的內(nèi)側(cè)底面上，用于從取出室主體710的內(nèi)側(cè)向外側(cè)搬運(yùn)工件托盤20。具體地說，下游側(cè)第二搬運(yùn)機(jī)構(gòu)920具有在X軸方向上連續(xù)配設(shè)的多個(gè)下游側(cè)第二搬運(yùn)輥922。多個(gè)下游側(cè)第二搬運(yùn)輥922能夠分別圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，用于在X軸方向上搬運(yùn)工件托盤20。下游側(cè)第三搬運(yùn)機(jī)構(gòu)930配設(shè)在取出室主體710的外側(cè)底面上的取出室主體用外部門713附近，用于從取出室主體710的外側(cè)搬運(yùn)工件托盤20使其遠(yuǎn)離取出室主體710。具體地說，下游側(cè)第三搬運(yùn)機(jī)構(gòu)930具有在X軸方向上連續(xù)配設(shè)的多個(gè)下游側(cè)第三搬運(yùn)輥932。多個(gè)下游側(cè)第三搬運(yùn)輥932能夠分別圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，用于在X軸方向上搬運(yùn)工件托盤20。在該焊接裝置I中，在X方向焊接單元200中，使第一 Y方向定位托架205在Y軸方向上移動(dòng)，并且使X方向焊接頭230在X軸方向上移動(dòng)，從而能夠?qū)⒁粚方向焊接滾輪240配置在呈矩陣狀排列配置于工件托盤20上的任意的工件10之上。另外，在Y方向焊接單元300中，使第二 Y方向定位托架305在Y軸方向上移動(dòng)，并且使Y方向焊接頭330在X軸方向上移動(dòng)，從而能夠?qū)⒁粚方向焊接滾輪340配置在呈矩陣狀排列配置于工件托盤20上的任意的工件10之上。下面，使用圖7說明利用焊接裝置I進(jìn)行縫焊的順序。圖7是表示利用焊接裝置I進(jìn)行縫焊的順序的流程圖。首先，將排列配置在工件托盤20上的多個(gè)工件10送入真空腔100內(nèi)(步驟S100)。在X方向焊接單元200中，針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向?qū)λ腿肭恢黧w110內(nèi)的多個(gè)工件10進(jìn)行焊接(步驟S200)。然后，判斷是否為到了 X方向焊接滾輪240的更換時(shí)機(jī)(步驟S210)，在到了更換時(shí)機(jī)時(shí)(在步驟S210中為“是”的情況下)進(jìn)行更換(步驟S220)。之后，在從X方向焊接單元200向Y方向焊接單元300的搬運(yùn)中，在緩沖工位400冷卻多個(gè)工件10(步驟S300)。在Y方向焊接單元300中，針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向焊接多個(gè)工件10 (步驟S400)。然后，判斷是否到了 Y方向焊接滾輪340的更換時(shí)機(jī)(步驟S410)，在到了更換時(shí)機(jī)時(shí)(在步驟S310中為“是”的情況下)進(jìn)行更換(步驟S420)。之后，將焊接后的多個(gè)工件10從真空腔100內(nèi)送出至大氣中(步驟S500)。接著，對步驟SlOO的詳細(xì)順序，即，將排列配置在工件托盤20上的多個(gè)工件10送入真空腔100內(nèi)的順序進(jìn)行說明。在該順序中，真空腔100、進(jìn)入室600及上游側(cè)搬運(yùn)單元800進(jìn)行動(dòng)作。在預(yù)先關(guān)閉上游側(cè)隔開門615及下游側(cè)隔開門715而使腔主體110內(nèi)密閉之后，使真空泵120進(jìn)行動(dòng)作，使腔主體110內(nèi)的壓力減小，保持為真空環(huán)境。首先，打開進(jìn)入室主體用外部門613，并且驅(qū)動(dòng)多個(gè)搬運(yùn)輥812、822使其旋轉(zhuǎn)。由此，載置在搬運(yùn)輥812、822上的多個(gè)工件10與工件托盤20 —起在X軸方向上移動(dòng)，經(jīng)由進(jìn)入室主體用外部開口 612被搬運(yùn)到進(jìn)入室主體610內(nèi)。然后，在關(guān)閉進(jìn)入室主體用外部門613而使進(jìn)入室主體610內(nèi)密閉之后，使進(jìn)入室主體用真空泵620進(jìn)行動(dòng)作，減小進(jìn)入室主體610內(nèi)的壓力，并保持為真空環(huán)境。接著，打開上游側(cè)隔開門615，并且驅(qū)動(dòng)多個(gè)搬運(yùn)輥822、832使其旋轉(zhuǎn)。由此，載置在搬運(yùn)輥822、832上的多個(gè)工件10與工件托盤20 —起在X軸方向上移動(dòng)，經(jīng)由進(jìn)入室主體用連通口 614及第一開口 112被搬運(yùn)到腔主體110內(nèi)。之后，關(guān)閉上游側(cè)隔開門615，來使腔主體110內(nèi)密閉。下面，使用圖8A 圖8E，對步驟S200、步驟S210及步驟S220的詳細(xì)順序進(jìn)行說明，即，對在X方向焊接單元200針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向焊接多個(gè)工件10的順序等進(jìn)行說明。圖8A 圖SE是說明在X方向焊接單元200中針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向焊接多個(gè)工件10的順序的圖。首先，使第一搬運(yùn)桿250向Z軸方向的上方移動(dòng)而位于第一分離位置。然后，在使X方向焊接頭230向X軸方向的上游側(cè)移動(dòng)來使第一搬運(yùn)桿250移動(dòng)到上游側(cè)第三搬運(yùn)輥832上方之后，使該第一搬運(yùn)桿250向Z軸方向的下方移動(dòng)而位于第一接近位置。接著，使X方向焊接頭230向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)來使第一搬運(yùn)桿250向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)，將多個(gè)工件10與工件托盤20 —起搬運(yùn)到第一 Y方向定位托架205上。進(jìn)而，使第一搬運(yùn)桿250向Z軸方向的上方移動(dòng)而位于第一分離位置，并且使X方向焊接滾輪240在Z軸方向上移動(dòng)并移動(dòng)到能夠焊接的期望的高度。由此，完成了 X方向焊接單元200中的焊接準(zhǔn)備。當(dāng)完成了準(zhǔn)備時(shí)，首先，使X方向焊接頭230在X軸方向上移動(dòng)來使X方向焊接滾輪240在X軸方向上移動(dòng)，沿著X軸方向?qū)Χ鄠€(gè)工件10中的第一行工件進(jìn)行焊接(參照圖8A)。然后,使第一 Y方向定位托架205在Y軸方向上移動(dòng)一行的距離之后(參照圖8B),使X方向焊接頭230向X軸方向上的折回方向移動(dòng)來使X方向焊接滾輪240向X軸方向上的折回方向移動(dòng)，沿著X軸方向?qū)Χ鄠€(gè)工件10的第二行工件進(jìn)行焊接(參照圖SC)。以后同樣，在使第一 Y方向定位托架205在Y軸方向移動(dòng)一行的距離之后(參照圖8D)，使X方向焊接頭230向X軸方向上的折回方向移動(dòng)來使X方向焊接滾輪240向X軸方向上的折回方向移動(dòng)，由此針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向焊接多個(gè)工件10 (參照圖8E)。這樣，X方向焊接單元200 —邊使X方向焊接頭230移動(dòng)來使X方向焊接滾輪240移動(dòng)一邊進(jìn)行焊接，并且使第一 Y方向定位托架205移動(dòng)，來切換要焊接的多個(gè)工件10的行。另外，X方向焊接單元200 —邊在第一搬運(yùn)桿250位于第一分離位置的情況下，使X方向焊接頭230移動(dòng)來使X方向焊接滾輪240移動(dòng)，一邊進(jìn)行焊接。此外，在本實(shí)施方式的X方向焊接單元200中，使X方向焊接頭230相對于多個(gè)工件10呈彎折狀地相對移動(dòng)，也可以使X方向焊接頭230相對于多個(gè)工件10呈“三”字狀相對移動(dòng)。在X方向焊接單元200中進(jìn)行焊接結(jié)束之后，將X軸方向的焊接次數(shù)加上I。以相加后的焊接次數(shù)是否達(dá)到規(guī)定的次數(shù)(例如，25000次)來判斷是否到了 X方向焊接滾輪240的更換時(shí)機(jī)。在達(dá)到了規(guī)定的次數(shù)的情況下，將X方向焊接滾輪240更換為更換用的X方向焊接滾輪292。使位于第一 Y方向定位托架205上方的第一搬運(yùn)桿250向Z軸方向的下方移動(dòng)而位于第一接近位置。然后，使X方向焊接頭230向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)來使第一搬運(yùn)桿250向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)，將多個(gè)工件10與工件托盤20 —起搬運(yùn)到搬運(yùn)面410上。由此，多個(gè)工件10被移交到緩沖工位400上。接著，使用圖9A 9E，對步驟S400、步驟S410及步驟S420的詳細(xì)順序進(jìn)行說明，即，對在Y方向焊接單元300中針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向焊接多個(gè)工件10的順序等進(jìn)行說明。圖9A 9E是對在Y方向焊接單元300中針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向焊接多個(gè)工件10的順序進(jìn)行說明的圖。首先，使第二搬運(yùn)桿350向Z軸方向的上方移動(dòng)而位于第二分離位置。然后，在使Y方向焊接頭330向X軸方向的上游側(cè)移動(dòng)來使第二搬運(yùn)桿350移動(dòng)到搬運(yùn)面410的上方之后，使該第二搬運(yùn)桿350向Z軸方向的下方移動(dòng)而位于第二接近位置。接著，使Y方向焊接頭330向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)來使第二搬運(yùn)桿350向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)，將多個(gè)工件10與工件托盤20 —起搬運(yùn)到第二 Y方向定位托架305上。進(jìn)而，使第二搬運(yùn)桿350向Z軸方向的上方移動(dòng)而位于第二分離位置，并且使Y方向焊接滾輪340在Z軸方向上移動(dòng)并移動(dòng)到能夠焊接的期望的高度。由此，完成了 Y方向焊接單元300中的焊接準(zhǔn)備工作。當(dāng)準(zhǔn)備完成時(shí)，首先使第二 Y方向定位托架305在Y軸方向上移動(dòng)來使多個(gè)工件10在Y軸方向上移動(dòng)，沿著Y軸方向?qū)Χ鄠€(gè)工件10中的第一列工件進(jìn)行焊接(參照圖9A)。然后，使Y方向焊接頭330在X軸方向移動(dòng)一列的距離之后(參照圖9B)，使第二 Y方向定位托架305向Y軸方向上的折回方向移動(dòng)來使多個(gè)工件10向Y軸方向上的折回方向移動(dòng)，沿著Y軸方向?qū)Χ鄠€(gè)工件10中的第二列工件進(jìn)行焊接(參照圖9C)。以后同樣地，使Y方向焊接頭330在X軸方向上移動(dòng)一列的距離之后(參照圖9D)，使第二 Y方向定位托架305向Y軸方向上的折回方向移動(dòng)來使多個(gè)工件10向Y軸方向上的折回方向移動(dòng)，由此針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向焊接多個(gè)工件10 (參照圖9E)。這樣，Y方向焊接單元300 一邊使第二 Y方向定位托架305移動(dòng)來使多個(gè)工件10移動(dòng)一邊進(jìn)行焊接，并且使Y方向焊接頭330移動(dòng)，來切換要焊接的多個(gè)工件10的列。另外，Y方向焊接單元300在第二搬運(yùn)桿350位于第二分離位置的情況下，使Y方向焊接頭330移動(dòng)，切換要焊接的多個(gè)工件10的列。此外，在本實(shí)施方式的Y方向焊接單元300中，使Y方向焊接頭330相對于多個(gè)工件10呈彎折狀地相對移動(dòng)，也可以使Y方向焊接頭330相對于多個(gè)工件10呈“川”字狀地相對移動(dòng)。在Y方向焊接單元300中進(jìn)行的焊接結(jié)束之后，將Y軸方向的焊接次數(shù)加上I。通過相加后的焊接次數(shù)是否達(dá)到了規(guī)定的次數(shù)(例如，25000次)來判斷是否為Y方向焊接滾輪340的更換時(shí)機(jī)。在達(dá)到了規(guī)定次數(shù)的情況下，將Y方向焊接滾輪340更換為更換用的Y方向焊接滾輪392。使位于第二 Y方向定位托架305上方的第二搬運(yùn)桿350向Z軸方向的下方移動(dòng)而位于第二接近位置。然后，使Y方向焊接頭330向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)來使第二搬運(yùn)桿350向X軸方向的下游側(cè)移動(dòng)，從而將多個(gè)工件10與工件托盤20 —起搬運(yùn)到下游側(cè)第一搬運(yùn)輥912上。由此，多個(gè)工件10被交接到下游側(cè)搬運(yùn)單元900上。接著，對步驟S500的詳細(xì)順序，即，將焊接后的多個(gè)工件10從真空腔100內(nèi)送出到大氣中的順序進(jìn)行說明。在該順序中，真空腔100、取出室700及下游側(cè)搬運(yùn)單元900進(jìn)行動(dòng)作。首先，在關(guān)閉取出室主體用外部門713而使取出室主體710密閉之后，使取出室主體用真空泵720進(jìn)行動(dòng)作，來降低取出室主體710內(nèi)的壓力，并保持為真空環(huán)境。然后，打開下游側(cè)隔開門715，并且驅(qū)動(dòng)多個(gè)搬運(yùn)輥912、914旋轉(zhuǎn)。由此，載置在搬運(yùn)輥912、914上的多個(gè)工件10與工件托盤20 —起在X軸方向上移動(dòng)，經(jīng)由第二開口 114及取出室主體用連通口 714被搬運(yùn)到取出室主體710內(nèi)。接著，在使取出室主體用大氣開放閥730進(jìn)行動(dòng)作來使取出室主體710內(nèi)的壓力升高并保持為大氣壓之后，打開取出室主體用外部門713，并且驅(qū)動(dòng)多個(gè)搬運(yùn)輥914、916使其旋轉(zhuǎn)。由此，載置在搬運(yùn)輥914、916上的多個(gè)工件10與工件托盤20 —起在X軸方向上移動(dòng)，經(jīng)由取出室主體用外部開口 712被搬運(yùn)到取出室主體710外。然后，關(guān)閉下游側(cè)隔開門715，使取出室主體710密閉。接著，以X方向焊接單元200為例說明通過縫焊產(chǎn)生的熱的路徑。
通過縫焊在工件10和X方向焊接滾輪240上產(chǎn)生的熱轉(zhuǎn)移至X方向焊接滾輪殼體269。轉(zhuǎn)移到X方向焊接滾輪殼體269上的熱從該X方向輥殼體269轉(zhuǎn)移到第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268上。轉(zhuǎn)移到第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268上的熱在該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268內(nèi)傳導(dǎo)，擴(kuò)散至該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的前表面。擴(kuò)散至第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的前表面的熱在真空環(huán)境中輻射，而放出到真空腔100的外部。如以上所說明那樣，本實(shí)施方式的焊接裝置I在真空腔100內(nèi)配設(shè)有X方向焊接單元200，針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向焊接多個(gè)工件10 ；Y方向焊接單元300，針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向焊接多個(gè)工件10。并且，在通過X方向焊接單元200對多個(gè)工件10進(jìn)行了焊接之后，通過Y方向焊接單元300焊接該多個(gè)工件10。因此，能夠在保持為真空環(huán)境的真空腔100內(nèi)完成縫焊，從而能夠提高生產(chǎn)能力。另外，與在填充有氮?dú)獾那粌?nèi)進(jìn)行縫焊要消耗氮?dú)獾那闆r相比，能夠抑制運(yùn)營成本。而且，在填充有氮?dú)獾那粌?nèi)發(fā)生了異常的情況下，在消除了該異常之后，需要重新填充足夠的氮?dú)鈦斫档吐饵c(diǎn)。結(jié)果，所花費(fèi)的時(shí)間長，而存在電子部件生產(chǎn)能力降低等問題，本發(fā)明不需要氮?dú)?，因而沒有這樣的問題。另外，X方向焊接單元200的使多個(gè)工件10在Y軸方向上偏移的第一 Y方向偏移裝置具有第一 Y方向定位托架205，來對通過該第一 Y方向定位托架205在Y方向上偏移的多個(gè)工件10進(jìn)行焊接。Y方向焊接單元300具有使多個(gè)工件10在Y軸方向上偏移的第二Y方向定位托架305，對通過該第二 Y方向定位托架305在Y方向上偏移的多個(gè)工件10進(jìn)行焊接。因此，多個(gè)工件10在X軸方向被直線搬運(yùn)的過程中，僅通過在Y軸方向上偏移的移動(dòng)就被焊接。即，多個(gè)工件10不進(jìn)行多余的運(yùn)動(dòng)。結(jié)果，能夠縮短焊接所需的時(shí)間，進(jìn)一步提高生產(chǎn)能力，并且能夠節(jié)省空間。并且，X方向焊接單元200及Y方向焊接單元300這兩者中，設(shè)置有在X軸方向上直線地搬運(yùn)多個(gè)工件10的搬運(yùn)路徑，該搬運(yùn)路徑為從將工件搬入真空腔100到將工件從真空腔100搬出為止的路徑。 因此，多個(gè)工件10不進(jìn)行多余的運(yùn)動(dòng)。結(jié)果，能夠縮短焊接所需的時(shí)間，進(jìn)一步提聞生廣能力，并且能夠節(jié)省空間。而且，X方向焊接單元200配設(shè)有第一 Y方向定位托架205，能夠在Y軸方向上移動(dòng)；Χ方向焊接頭230，能夠在該第一 Y方向定位托架205的上方，在X軸方向上移動(dòng)；父方向焊接滾輪240，能夠圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在該X方向焊接頭230上。并且，X方向焊接單元200 —邊使X方向焊接頭230移動(dòng)來使X方向焊接滾輪240移動(dòng)一邊進(jìn)行焊接，并且使第一 Y方向定位托架205移動(dòng)，來切換要焊接的多個(gè)工件10的行。因此，能夠針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向在短時(shí)間內(nèi)，高效率且集中地焊接排列配置成X、Y軸方向的矩陣狀的多個(gè)工件10。接著，Y方向焊接單元300配設(shè)有第二 Y方向定位托架305，能夠在Y軸方向上移動(dòng)；γ方向焊接頭330，能夠在該第二 Y方向定位托架305的上方，在X軸方向上移動(dòng)'Y方向焊接滾輪340，能夠圍繞X軸旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在該Y方向焊接頭330上。并且，Y方向焊接單元300 —邊使第二 Y方向定位托架305移動(dòng)來使多個(gè)工件10移動(dòng)一邊進(jìn)行焊接，并且使Y方向焊接頭330移動(dòng)，來切換要焊接的多個(gè)工件10的列。因此，能夠針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向在短時(shí)間內(nèi)，高効率且集中地焊接排列配置成X、Y軸方向的矩陣狀的多個(gè)工件10。
另外，X方向焊接頭230具有X方向焊接頭用基座231、能夠相對于該X方向焊接頭用基座231在Z軸方向上移動(dòng)的第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268、X方向焊接滾輪保持部236，該X方向焊接滾輪保持部236配設(shè)在該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268上，將X方向焊接滾輪240保持為能夠圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)，并且向該X方向焊接滾輪240供給電流。并且，第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268具有絕緣性。因此，不需要為了使X方向焊接頭230與X方向焊接滾輪240絕緣，而在X方向焊接滾輪殼體269和第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268之間安裝絕緣體。在沒有這樣的絕緣體的情況下，不會(huì)妨礙因縫焊而在X方向焊接滾輪240上產(chǎn)生的熱從X方向焊接滾輪殼體269向第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268轉(zhuǎn)移。另外，第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268具有熱傳導(dǎo)性。因此，能夠使從X方向焊接滾輪殼體269轉(zhuǎn)移到第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268上的熱擴(kuò)散到該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的前表面。而且,第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268具有熱輻射性。因此，能夠使擴(kuò)散到第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268的前表面的熱輻射，進(jìn)而，能夠防止在X方向焊接滾輪240及X方向焊接滾輪殼體269上蓄積熱。S卩，提高了散熱性能。結(jié)果，能夠防止處于X方向焊接滾輪240和X方向焊接滾輪殼體269之間的導(dǎo)電膏融化而流出到外部，進(jìn)而，能夠防止對X方向焊接滾輪240的通電發(fā)生異常。結(jié)果，能夠長時(shí)間連續(xù)使用焊接裝置I。同樣地，Y方向焊接頭330具有Y方向焊接頭用基座331、能夠相對于Y方向焊接頭用基座331在Z軸方向上移動(dòng)的第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368和Y方向焊接滾輪保持部336，該Y方向焊接滾輪保持部336配設(shè)在該第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368上，將Y方向焊接滾輪340保持為能夠圍繞X軸旋轉(zhuǎn)，并且向該Y方向焊接滾輪340供給電流。并且，第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件368具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性。因此，起到與第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268同樣的效果。另外，X方向焊接頭230不僅具有X方向焊接滾輪240，還具有在X軸方向上搬運(yùn)多個(gè)工件10的第一搬運(yùn)桿250。另外，Y方向焊接頭330不僅具有Y方向焊接滾輪340，還具有在X軸方向上搬運(yùn)多個(gè)工件10的第二搬運(yùn)桿350。因此，能夠?qū)方向焊接滾輪240及Y方向焊接滾輪340的動(dòng)力兼用作搬運(yùn)工件10的動(dòng)力，進(jìn)而，能夠簡化用于搬運(yùn)工件10的結(jié)構(gòu)。另外，因?yàn)閮H在X軸方向上直線搬運(yùn)工件10，所以能夠?qū)ê附友b置I的生產(chǎn)線整體的布局呈直線配置，能夠形成有效的布局。而且，X方向焊接單元200具有第一支撐機(jī)構(gòu)220，該第一支撐機(jī)構(gòu)220對載置在第一 Y方向定位托架205上的工件托盤20進(jìn)行支撐。另外，Y方向焊接單元300具有第二支撐機(jī)構(gòu)320，該第二支撐機(jī)構(gòu)320對載置在第二 Y方向定位托架305上的工件托盤20進(jìn)行支撐。因此，能夠防止在焊接中工件托盤20和工件10偏移，進(jìn)而，能夠高精度地進(jìn)行縫焊。
接著，第一支撐機(jī)構(gòu)220具有第一抵接構(gòu)件221，能夠在Y軸方向上移動(dòng)，用于與跟第一 Y方向定位托架205 —起在Y軸方向上移動(dòng)的工件托盤20抵接；第一推壓構(gòu)件223，與第一 Y方向定位托架205 —起在Y軸方向上移動(dòng)，并推壓工件托盤20 ;第一施力構(gòu)件224，在第一抵接構(gòu)件221沿Y軸方向移動(dòng)了的情況下，向復(fù)原的方向?qū)υ摰谝坏纸訕?gòu)件221施力。因此，通過載置由工件托盤20的第一 Y方向定位托架205在Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)，能夠自動(dòng)地將工件托盤20夾入并支撐。即，雖然結(jié)構(gòu)簡單，但能夠可靠地支撐工件托盤20。并且，X方向焊接單元200具有載置有更換用的X方向焊接滾輪292的第一更換托架290。該第一更換托架290能夠與第一 Y方向定位托架205 —起在Y軸方向上移動(dòng)。另外，Y方向焊接單元300具有載置有更換用的Y方向焊接滾輪392的第二更換托架390。該第二更換托架390能夠與第二 Y方向定位托架305 —起在Y軸方向上移動(dòng)。因此，能夠?qū)⒌谝?Y方向定位托架205及第二 Y方向定位托架305的動(dòng)力兼用作使更換用的X方向焊接滾輪292及更換用的Y方向焊接滾輪392移動(dòng)的動(dòng)力，進(jìn)而，能夠簡化用于使更換用的X方向焊接滾輪292及更換用的Y方向焊接滾輪392移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。另外，在真空腔100內(nèi)具有緩沖工位400，該緩沖工位400對通過X方向焊接單元200焊接之后且通過Y方向焊接單元300焊接之前的多個(gè)工件10進(jìn)行冷卻。因此，在緩沖工位400，能夠暫時(shí)冷卻焊接途中的多個(gè)工件10，能夠防止因熱產(chǎn)生不良品而使成品率降低的情況。另外，在沒有采取熱對策的情況下，第一 Y方向定位托架205和第二 Y方向定位托架305會(huì)發(fā)生彎曲、延長，或者腔主體110等各構(gòu)件發(fā)生變形，但通過緩沖工位400中的熱對策，能夠防止各構(gòu)件變形。而且，焊接裝置I在腔主體110的外表面具有從外側(cè)冷卻真空腔100的外部冷卻單元500。因此，能夠進(jìn)一步防止因熱產(chǎn)生不良品而使成品率降低的情況。另外，能夠進(jìn)一步防止第一 Y方向定位托架205、第二 Y方向定位托架305產(chǎn)生彎曲、延長，或者腔主體110等各構(gòu)件變形。本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式，能夠在不脫離其宗旨和技術(shù)思想的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。即，在上述實(shí)施方式中，在緩沖工位400，對通過X方向焊接單元200沿著X軸方向焊接之后且通過Y方向焊接單元300沿著Y軸方向焊接之前的多個(gè)工件10進(jìn)行冷卻，但是本發(fā)明不限于此，可以在緩沖工位400對沿著Y軸方向焊接之后且沿著X軸方向焊接之前的多個(gè)工件10進(jìn)行冷卻。另外，在上述實(shí)施方式中，關(guān)于第一、第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件268、368，不僅可以整體由具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性的材料形成，而且也可以一部分由具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性的材料形成。這種情況下，重要的是，至少上述一部分處于輥保持部的接觸之處來確保絕緣并且回收輥保持部的熱。另外，優(yōu)選至少上述一部分確保能夠與真空腔的任意的內(nèi)壁相向的程度的表面。這是因?yàn)?，能夠?qū)⒃摫砻孀鳛樯崦妫瑢妮伇３植炕厥盏臒嵯蛘婵涨坏膬?nèi)壁輻射。本發(fā)明的焊接裝置能夠在制造電子設(shè)備、電子部件或其他的各種物品領(lǐng)域或物流領(lǐng)域中應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.一種焊接裝置，其特征在于， 具有: 真空腔，其內(nèi)部保持為真空環(huán)境， X方向焊接單元，在所述真空腔內(nèi)，對多個(gè)工件沿著X方向進(jìn)行焊接，所述多個(gè)工件排列配置成所述X方向及與該X方向垂直的Y方向的矩陣狀， Y方向焊接單元，在所述真空腔內(nèi)，對所述多個(gè)工件沿著所述Y方向進(jìn)行焊接； 在通過所述X方向焊接單元和所述Y方向焊接單元中的一個(gè)焊接單元來對所述多個(gè)工件進(jìn)行了焊接之后，通過所述X方向焊接單元和所述Y方向焊接單元中的另一個(gè)焊接單元來對該多個(gè)工件進(jìn)行焊接。
2.如權(quán)利要求1所述的焊接裝置，其特征在于， 所述X方向焊接單元具有使所述多個(gè)工件在所述Y方向上偏移的第一 Y方向偏移裝置，所述X方向焊接單元對通過該第一 Y方向偏移裝置在所述Y方向上偏移的所述多個(gè)工件進(jìn)行焊接， 所述Y方向焊接單元具有使所述多個(gè)工件在所述Y方向上偏移的第二 Y方向偏移裝置，所述Y方向焊接單元對通過該第二 Y方向偏移裝置在所述Y方向上偏移的所述多個(gè)工件進(jìn)行焊接。
3.如權(quán)利要求2所述的焊接裝置，其特征在于， 所述X方向焊接單元和所述Y方向焊接單元這兩者中，設(shè)置有在所述X方向上直線地搬運(yùn)所述多個(gè)工件的搬運(yùn)路徑，該搬運(yùn)路徑為從將工件搬入所述真空腔到將工件從所述真空腔搬出為止的路徑。
4.如權(quán)利要求3所述的焊接裝置，其特征在于， 所述X方向焊接單元具有 第一 Y方向定位托架，其是所述第一 Y方向偏移裝置，能夠?qū)⑴帕信渲迷诠ぜ斜P上的所述多個(gè)工件和該工件托盤一起載置，并且能夠在所述Y方向上移動(dòng)， X方向焊接頭，位于所述第一 Y方向定位托架的上方，并能夠在所述X方向上移動(dòng)， X方向焊接滾輪，能夠圍繞與所述Y方向平行的Y軸旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在所述X方向焊接頭上，并且能夠與該X方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)； 所述X方向焊接單元一邊使所述X方向焊接頭移動(dòng)來使所述X方向焊接滾輪移動(dòng)，一邊進(jìn)行焊接，并且使所述第一 Y方向定位托架移動(dòng)，來切換要焊接的所述多個(gè)工件的所述行； 所述Y方向焊接單元具有 第二 Y方向定位托架，其是所述第二 Y方向偏移裝置，能夠?qū)⑴帕信渲迷谒龉ぜ斜P上的所述多個(gè)工件和該工件托盤一起載置，并且能夠在所述Y方向上移動(dòng)， Y方向焊接頭，位于所述第二 Y方向定位托架的上方，并且能夠在所述X方向上移動(dòng)， Y方向焊接滾輪，能夠圍繞與所述X方向平行的X軸旋轉(zhuǎn)地配設(shè)在所述Y方向焊接頭上，并且能夠與該Y方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)； 所述Y方向焊接單元一邊使所述第二 Y方向定位托架移動(dòng)來使所述多個(gè)工件移動(dòng)，一邊進(jìn)行焊接，并且使所述Y方向焊接頭移動(dòng)，來切換要焊接的所述多個(gè)工件的所述列。
5.如權(quán)利要求4所述的焊接裝置，其特征在于，所述X方向焊接頭具有 X方向焊接頭用基座， 第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件，能夠相對于所述X方向焊接頭用基座在分別與所述X方向和所述Y方向垂直的Z方向上移動(dòng)， X方向焊接滾輪保持部，配設(shè)在所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件上，將所述X方向焊接滾輪保持為能圍繞所述Y軸旋轉(zhuǎn)，并且向該X方向焊接滾輪供給電流； 所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性， 在所述X方向焊接滾輪上產(chǎn)生的焊接熱，經(jīng)由所述X方向焊接滾輪保持部傳遞到所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件上，同時(shí),從該第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件的表面散熱到外部,并且,通過所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件使所述X方向焊接滾輪保持部與所述X方向焊接頭用基座之間絕緣。
6.如權(quán)利要求5所述的焊接裝置，其特征在于， 所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件由熱傳導(dǎo)率為170W/(m K)以上的材料形成。
7.如權(quán)利要求5或6所述的焊接裝置，其特征在于， 所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件由熱輻射率為0. 8以上的材料形成。
8.如權(quán)利要求5 7中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件由絕緣阻抗值為IO3Q cm以上的材料形成。
9.如權(quán)利要求5 8中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述第一 Z方向可動(dòng)構(gòu)件由陶瓷形成。
10.如權(quán)利要求9所述的焊接裝置，其特征在于， 所述陶瓷是碳化硅或氮化鋁。
11.如權(quán)利要求4 10中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述Y方向焊接頭具有 Y方向焊接頭用基座， 第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件，能夠相對于所述Y方向焊接頭用基座在所述Z方向上移動(dòng)， Y方向焊接滾輪保持部，配設(shè)在所述第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件上，將所述Y方向焊接滾輪保持為能夠圍繞所述X軸旋轉(zhuǎn)，并且向該Y方向焊接滾輪供給電流； 所述第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件具有熱傳導(dǎo)性、熱輻射性和絕緣性， 在所述Y方向焊接滾輪上產(chǎn)生的焊接熱，經(jīng)由所述Y方向焊接滾輪保持部傳遞至所述第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件，同時(shí)，從該第二 Z方向可動(dòng)構(gòu)件的表面散熱到外部，并且，通過所述第二Z方向可動(dòng)構(gòu)件使所述Y方向焊接滾輪保持部與所述Y方向焊接頭用基座之間絕緣。
12.如權(quán)利要求4 11中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述X方向焊接單元具有第一搬運(yùn)桿，該第一搬運(yùn)桿配設(shè)在所述X方向焊接頭上，并能夠在與所述第一 Y方向定位托架相接近的第一接近位置和遠(yuǎn)離該第一 Y方向定位托架的第一分離位置之間移動(dòng)， 所述第一搬運(yùn)桿在位于所述第一接近位置的情況下，與所述X方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)并推壓所述工件托盤，以將該工件托盤和所述多個(gè)工件一起在所述X方向上進(jìn)行搬運(yùn)。
13.如權(quán)利要求12所述的焊接裝置，其特征在于， 在所述第一搬運(yùn)桿位于所述第一分離位置的情況下，所述X方向焊接單元一邊使所述X方向焊接頭移動(dòng)來使所述X方向焊接滾輪移動(dòng)，一邊進(jìn)行焊接。
14.如權(quán)利要求4 13中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述Y方向焊接單元具有第二搬運(yùn)桿，該第二搬運(yùn)桿配設(shè)在所述Y方向焊接頭上，并能夠在與所述第二Y方向定位托架相接近的第二接近位置和遠(yuǎn)離該第二Y方向定位托架的第二分離位置之間移動(dòng)， 所述第二搬運(yùn)桿在位于所述第二接近位置的情況下，與所述Y方向焊接頭一起在所述X方向上移動(dòng)并推壓所述工件托盤，以將該工件托盤和所述多個(gè)工件一起在所述X方向上進(jìn)行搬運(yùn)。
15.如權(quán)利要求13或14所述的焊接裝置，其特征在于， 在所述第二搬運(yùn)桿位于所述第二分離位置的情況下，所述Y方向焊接單元使所述Y方向焊接頭移動(dòng)來切換要焊接的所述多個(gè)工件的列。
16.如權(quán)利要求4 15中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述X方向焊接單元具有第一支撐機(jī)構(gòu)，該第一支撐機(jī)對載置在所述第一 Y方向定位托架上的所述工件托盤進(jìn)行支撐，或解除該支撐， 所述Y方向焊接單元具有第二支撐機(jī)構(gòu)，該第二支撐機(jī)構(gòu)對載置在所述第二 Y方向定位托架上的所述工件托盤進(jìn)行支撐，或解除該支撐。
17.如權(quán)利要求16所述的焊接裝置，其特征在于， 所述第一支撐機(jī)構(gòu)具有 第一抵接構(gòu)件，能夠在所述Y方向上移動(dòng)，并能夠與在所述Y方向上移動(dòng)了的所述工件托盤相抵接， 第一推壓構(gòu)件，與所述第一 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)，在所述Y方向上推壓與所述第一抵接構(gòu)件抵接的所述工件托盤， 第一施力構(gòu)件，在所述第一抵接構(gòu)件在所述Y方向上移動(dòng)了的情況下，該第一施力構(gòu)件向要復(fù)原的方向?qū)υ摰谝坏纸訕?gòu)件施力； 所述第二支撐機(jī)構(gòu)具有 第二抵接構(gòu)件，能夠在所述Y方向上移動(dòng)，并能夠與在所述Y方向上移動(dòng)了的所述工件托盤抵接， 第二推壓構(gòu)件，與所述第二 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)，在所述Y方向上推壓與所述第二抵接構(gòu)件抵接的所述工件托盤， 第二施力構(gòu)件，在所述第二抵接構(gòu)件在所述Y方向上移動(dòng)了的情況下，該第二施力構(gòu)件向要復(fù)原的方向?qū)υ摰诙纸訕?gòu)件施力。
18.如權(quán)利要求4 17中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述X方向焊接單元具有第一更換托架，該第一更換托架載置有更換用的所述X方向焊接滾輪，并能夠與所述第一 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)， 所述X方向焊接單元對配設(shè)在所述X方向焊接頭上的所述X方向焊接滾輪和載置在所述第一更換托架上的所述更換用的所述X方向焊接滾輪進(jìn)行自動(dòng)更換， 所述Y方向焊接單元具有第二更換托架，該第二更換托架載置有更換用的所述Y方向焊接滾輪，并能夠與所述第二 Y方向定位托架一起在所述Y方向上移動(dòng)， 所述Y方向焊接單元對配設(shè)在所述Y方向焊接頭上的所述Y方向焊接滾輪和載置在所述第二更換托架上的所述更換用的所述Y方向焊接滾輪進(jìn)行自動(dòng)更換。
19.如權(quán)利要求1 18中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 在所述真空腔內(nèi)具有緩沖工位，在該緩沖工位，對通過所述X方向焊接單元和所述Y方向焊接單元中的一個(gè)焊接單元進(jìn)行了焊接之后且通過另一個(gè)焊接單元來進(jìn)行焊接之前的所述多個(gè)工件進(jìn)行冷卻。
20.如權(quán)利要求1 19中任一項(xiàng)所述的焊接裝置，其特征在于， 所述焊接裝置具有從外側(cè)冷卻所述真空腔的外部冷卻單元。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠抑制運(yùn)營成本且提高生產(chǎn)能力的焊接裝置。焊接裝置(1)具有真空腔(100)，其內(nèi)部保持為真空環(huán)境；X方向焊接單元(200)，在該真空腔(100)內(nèi)，針對各個(gè)X軸方向的行分別沿著X軸方向?qū)Χ鄠€(gè)工件(10)進(jìn)行焊接，該多個(gè)工件(10)排列配置成X、Y軸方向的矩陣狀；Y方向焊接單元(300)，在真空腔(100)內(nèi)，針對各個(gè)Y軸方向的列分別沿著Y軸方向?qū)Χ鄠€(gè)工件(10)進(jìn)行焊接。
文檔編號B23K11/06GK103028830SQ20121001849
公開日2013年4月10日 申請日期2012年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月7日
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