專利名稱：機(jī)臺(tái)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機(jī)臺(tái)裝置的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及可分解的機(jī)臺(tái)裝置。
背景技術(shù)：
圖9的符號(hào)105顯示了現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)臺(tái)裝置。 該機(jī)臺(tái)裝置105具有底座板lll，底座板111由配置于背面的四角的腳部112a 112d載置于地面上。 在底座板111的表面上鋪設(shè)有軌道117、118，在其上方承載有起重機(jī)架113。在起 重機(jī)架113的與底座板111面對(duì)的面，配置有印刷頭。印刷頭連接于箱114，并從箱114將 吐出液供給至印刷頭，如果使基板107承載于底座板111上并從印刷頭將吐出液吐出，則吐 出液著陸于基板107上。 起重機(jī)架113構(gòu)成為可在軌道117U18上移動(dòng)，如圖IO所示，如果在基板107的 上方將吐出液吐出，則能夠使吐出液著陸于基板107表面的期望位置。
該吐出液例如為液晶取向膜用的有機(jī)薄膜的原料，或液晶顯示裝置的間隔件的分 散液、有機(jī)EL元件的發(fā)光層的原料等，機(jī)臺(tái)裝置105用于將吐出液吐出至大的基板。
然而，吐出對(duì)象的基板一直向大型化發(fā)展，與此相對(duì)應(yīng)地，機(jī)臺(tái)裝置也大型化，從 成本的問題或法規(guī)上的問題看，難以將在工廠中所制造的機(jī)臺(tái)裝置搬運(yùn)至設(shè)置場(chǎng)所。
因此，在現(xiàn)有技術(shù)中也采取對(duì)策，嘗試將底座板分割搬運(yùn)。
專利文獻(xiàn)1 :日本特開2007-73688號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，當(dāng)在設(shè)置場(chǎng)所組裝暫時(shí)分割的底座板時(shí)，需要花費(fèi)極大的人工進(jìn)行對(duì)位，此
外，當(dāng)連接軌道時(shí)，如果軌道的組裝精度惡化，則存在著印刷頭的行走不穩(wěn)定的問題。 為了解決上述問題，本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置具有四邊形形狀的主底座板；兩片副底 座板，固定在上述主底座板的一邊且能夠互相分離；以及移動(dòng)部件，構(gòu)成為能夠在上述主 底座板的上方位置和固定于上述主底座板的上述兩片副底座板間的上方位置之間移動(dòng)，其 中，上述兩片副底座板構(gòu)成為能夠從上述主底座板分離。 此外，本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置具有第一、第二主軌道，直線狀地延伸設(shè)置在上述主底 座板上且互相平行地配置；以及副軌道，分別配置在上述兩片副底座板上且分別接連于上 述第一、第二主軌道的端部，其中，上述移動(dòng)部件，在上述第一、第二主軌道上和上述兩片副 底座板的上述副軌道上行走，構(gòu)成為能夠在上述主底座板的上方位置和上述兩片副底座板 間的上方位置之間移動(dòng)。 由于能夠相對(duì)于主底座板而獨(dú)立地對(duì)第一、第二副底座板進(jìn)行對(duì)位，因而在正式 設(shè)置場(chǎng)所的對(duì)位作業(yè)簡(jiǎn)便，對(duì)位精度提高。


圖1(a)是用于說明暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的主載置臺(tái)的俯視圖，(b)為其側(cè)視圖。 圖2(a)是用于說明暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的副載置臺(tái)的俯視圖，(b)為其側(cè)視圖。 圖3是用于說明在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所相對(duì)于主載置臺(tái)而聯(lián)接副載置臺(tái)的順序的內(nèi)部 俯視圖。 圖4是用于說明在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所或正式設(shè)置場(chǎng)所聯(lián)接的主載置臺(tái)和副載置臺(tái)的 狀態(tài)的內(nèi)部俯視圖。 圖5(a)是本發(fā)明的一個(gè)示例的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖，(b)為其側(cè)視圖。 圖6(a)是用于說明該機(jī)臺(tái)裝置的動(dòng)作狀態(tài)的俯視圖，(b)為其側(cè)視圖。 圖7是用于說明在正式設(shè)置場(chǎng)所將副載置臺(tái)聯(lián)接于主載置臺(tái)的順序的俯視圖。 圖8(a)是用于說明本發(fā)明的其它示例的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖，(b)為其側(cè)視圖。 圖9(a)是現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖(1) ， (b)為其側(cè)視圖(1)。 圖10(a)是現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖(2) ， (b)為其側(cè)視圖(2)。 符號(hào)說明 5 :機(jī)臺(tái)裝置 10 :主載置臺(tái) 11 :主底座板 13 :移動(dòng)部件(起重機(jī)架) 16 :主定位部件 20a 20f:副載置臺(tái) 21 :副底座板 24p242 :副定位部件 30 :調(diào)整機(jī)構(gòu) 33 :聯(lián)接部件
具體實(shí)施例方式
圖5(a)、(b)的符號(hào)5顯示了本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置。同圖(a)為俯視圖，同圖(b)為 側(cè)視圖。 該機(jī)臺(tái)裝置5具有一臺(tái)主載置臺(tái)10以及兩臺(tái)或四臺(tái)(在此，為四臺(tái))副載置臺(tái) 20a 20d。 在主載置臺(tái)10和副載置臺(tái)20a 20d的上部，分別設(shè)置有表面平坦的四邊形形狀 的主底座板11和副底座板21。 在主底座板11的表面上，配置有互相平行的第一、第二主軌道17a、17b，在副底座 板21的表面上，配置有一條副軌道18。 第一、第二主軌道17a、17b配置成與主底座板11的四邊之中的兩邊平行且與其它 兩邊垂直，第一、第二主軌道17a、17b的至少一端延伸至主底座板11的四邊之中的與第一、 第二主軌道17a、17b垂直的同一邊。 在此，第一、第二主軌道17a、17b的兩端分別延伸至與第一、第二主軌道17a、17b 垂直的兩邊。
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副軌道18也配置成與副底座板21的四邊之中的兩邊平行且與其它兩邊垂直，兩 端中的至少一端延伸至與副軌道18垂直的一邊。 主底座板11和副底座板21的表面配置成在相同的高度分別成為水平。
主底座板11的四邊之中，如果以第一、第二主軌道17a、17b的端部所位于的兩邊 為主連接邊F，以副軌道18的一端所位于的邊為副連接邊B，則各副載置臺(tái)20a 20d以其 上部的副底座板21上的副軌道18的端部密接于第一、第二主軌道17a、17b的端部的方式， 使副底座板21的副連接邊B與主底座板11的主連接邊F密接而配置，在副載置臺(tái)為兩臺(tái) 的情況下，第一、第二主軌道17a、 17b構(gòu)成為通過副軌道18而延長(zhǎng)至相同側(cè)，在為四臺(tái)的情 況下，第一、第二主軌道17a、 17b的兩端與副軌道18的端部密接，第一、第二主軌道17a、 17b 構(gòu)成為通過副軌道18而延長(zhǎng)至兩端部方向。 圖中，符號(hào)19a、19b分別表示第一、第二主軌道17a、17b通過副軌道18而延長(zhǎng)的 第一、第二延長(zhǎng)軌道。 在主底座板11上，配置有作為移動(dòng)部件的起重機(jī)架13。在該起重機(jī)架13的底面 部分，設(shè)置有印刷頭(圖中未顯示)。配置有吐出液的箱14連接于起重機(jī)架13。
構(gòu)成為如果從箱14供給吐出液，并使印刷頭內(nèi)部的吐出機(jī)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)作，則從設(shè)置 于印刷頭的多個(gè)吐出孔向著主底座板11上吐出吐出液。 在位于主底座板11表面的主軌道17a、17b之間的部分的上方，配置有基板7。
起重機(jī)架13承載于第一、第二延長(zhǎng)軌道19a、 19b上，并構(gòu)成為能夠在第一、第二延 長(zhǎng)軌道19a、19b上行走。 印刷頭通過控制裝置(圖中未顯示)來控制吐出，如圖6(a) 、 (b)所示，如果在起 重機(jī)架13位于基板7上的狀態(tài)下，從印刷頭將吐出液吐出，則吐出液著陸于基板7表面。如 果移動(dòng)起重機(jī)架13，則能夠使吐出液著陸于基板7表面的期望位置。 該機(jī)臺(tái)裝置5配置在對(duì)基板7進(jìn)行吐出作業(yè)的正式設(shè)置場(chǎng)所，但由于主底座板11 較大，因而如圖5、6所示，在將副載置臺(tái)20a 20d聯(lián)接于主載置臺(tái)10并使主底座板11和 副底座板21密接的狀態(tài)下，無法從制造機(jī)臺(tái)裝置5時(shí)進(jìn)行組裝的暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所搬送至正式 設(shè)置場(chǎng)所。 在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5中，副載置臺(tái)20a 20d構(gòu)成為能夠相對(duì)于主載置臺(tái)10而 分別獨(dú)立地裝卸，在安裝的狀態(tài)下，各副載置臺(tái)20a 20d上的副底座板21的副連接邊B 密接于主底座板11的主連接邊F，在脫離的狀態(tài)下，副底座板21構(gòu)成為能夠從主底座板11 脫離并被獨(dú)立地搬送。 通過該構(gòu)成，在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所進(jìn)行組裝和對(duì)位后分離，從暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所搬送至正
式設(shè)置場(chǎng)所，并能夠在正式設(shè)置場(chǎng)所復(fù)原在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所經(jīng)過對(duì)位的狀態(tài)。 對(duì)其順序進(jìn)行說明，圖l(a)顯示了不放置在正式設(shè)置場(chǎng)所而是放置在暫時(shí)設(shè)置
場(chǎng)所的狀態(tài)的主載置臺(tái)10的俯視圖，同圖(b)顯示了該主載置臺(tái)10的側(cè)視圖。 在主底座板11的背面的四角附近，配置有腳部12a 12d。 在同圖(a)(以及后述的圖3(a)、圖4)中，以兩點(diǎn)劃線表示主底座板11和主軌道 17a、17b，以實(shí)線表示腳部12a 12d。腳部12a 12d固定于主底座板11的背面。
接著，圖2(a)為副載置臺(tái)20a 20d的俯視圖，同圖(b)為其側(cè)視圖。
副載置臺(tái)20a 20d分別具有臺(tái)車22，副底座板21承載于臺(tái)車22上。
在臺(tái)車22上設(shè)置有多個(gè)搬送車輪23。在此，臺(tái)車22具有臺(tái)座27，搬送車輪23設(shè) 置于臺(tái)座27的底面的四處。 主底座板11和副底座板21為長(zhǎng)方形或正方形形狀。副底座板21為主底座板11
的一半以下的大小，副底座板21在主底座板的兩旁，能夠分別在每側(cè)連接兩個(gè)。 搬送車輪23設(shè)置在副底座板21以連接于主底座板11的部分為先頭而至少能夠
前進(jìn)和后退的方向，如果使搬送車輪23接觸于地面并向著前進(jìn)方向或后退方向施加力，則
搬送車輪23旋轉(zhuǎn)，副載置臺(tái)20a 20d沿施加力的方向在地面上行走。 在臺(tái)座27上，設(shè)置有一個(gè)乃至多個(gè)由輥和旋轉(zhuǎn)軸形成的副定位部件24p242。 在此，副定位部件24"242設(shè)置有兩個(gè)，在臺(tái)座27上的副載置臺(tái)20a 20d的前進(jìn)
方向先頭，互相離開地配置在行進(jìn)方向的兩側(cè)位置。 腳部12a 12d接觸于地面，并具有支撐主底座板11的支撐部15和設(shè)置于支撐 部15的外周側(cè)面的板狀的主定位部件16。主定位部件16配置于離地面一定距離的上方， 在主定位部件16和地面之間形成有間隙。 副定位部件2^、242構(gòu)成為相對(duì)于臺(tái)座27能夠移動(dòng)和固定，預(yù)先增大副定位部件 24p242之間的距離，如圖3的副載置臺(tái)20d所示，如果以主軌道17a或17b和副軌道18成 為一條直線的方式使副載置臺(tái)20d的先頭部分向著腳部12b前進(jìn)，則如同圖的副載置臺(tái)20a 所示，臺(tái)座27插入主定位部件16和地面之間。 主定位部件16配置于腳部12a 12d的側(cè)面之中的與主軌道17a、17b平行的側(cè)面。 主定位部件16配置在與副定位部件24p242相同的高度，但副定位部件24p242的 間隔，預(yù)先形成為比主定位部件16的寬度更寬，臺(tái)座27在副定位部件2^、242和主定位部 件16不接觸的情況下，插入主定位部件16的下方，如同圖的副載置臺(tái)20b所示，副底座板 21和主底座板ll接觸。 在該狀態(tài)下，偏離主底座板11和副底座板21之間的理想位置關(guān)系的誤差較大。
在副載置臺(tái)20a 20d上設(shè)置有能夠變更副底座板21的高度、斜率以及水平方向 的位置和方向的調(diào)整機(jī)構(gòu)30。 該調(diào)整機(jī)構(gòu)30具有能夠粗略變更副底座板21的高度、斜率、水平面內(nèi)的位置、方 向的粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31以及能夠比粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31更精密地變更的微調(diào)整機(jī)構(gòu)32。
粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31構(gòu)成為能夠比微調(diào)整機(jī)構(gòu)32更大幅地變更副底座板21的高度、斜 率、水平方向的位置，首先，由粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31對(duì)每個(gè)副載置臺(tái)20a 20d進(jìn)行副底座板21 相對(duì)于主底座板11的粗略的對(duì)位。 如果暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的地面為水平，且主底座板11由設(shè)置于主載置臺(tái)10的主調(diào)整 機(jī)構(gòu)(圖中未顯示)預(yù)先使表面水平，則由粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31使副底座板21在與主底座板11 的表面大致相同的高度成為水平，并且，粗調(diào)整與主底座板ll相對(duì)的位置和方向，進(jìn)行粗 略的對(duì)位。 在該狀態(tài)下，雖然包含偏離理想的對(duì)位狀態(tài)的誤差，但如果以粗調(diào)整前的誤差量 (絕對(duì)值)為開始誤差Ep以粗調(diào)整后的誤差量(絕對(duì)值)為粗調(diào)整誤差E2，則粗調(diào)整誤差 E2比開始誤差E工小經(jīng)過粗調(diào)整的程度。 在經(jīng)過粗調(diào)整的狀態(tài)下，副底座板21與主底座板11接觸，副載置臺(tái)20a 20d即使無法前進(jìn)，也能夠向左右方向和后退方向移動(dòng)。 接著，固定粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31 (的粗調(diào)整螺絲)， 一邊使經(jīng)過粗調(diào)整的副底座板21和 主底座板11的相對(duì)位置不變化， 一邊移動(dòng)副定位部件24p242，如果在接觸于主定位部件16 的狀態(tài)下，將副定位部件2^、242固定于臺(tái)座27，則主定位部件16被副定位部件24p242夾著。 支撐部15比主底座板11的外周更位于內(nèi)側(cè)，主定位部件16形成為遠(yuǎn)離主底座板
11的外周的部分的寬度寬，接近主底座板11的外周的部分的寬度窄，在由副定位部件24p
242夾著主定位部件16的狀態(tài)下，副載置臺(tái)20a 20d能夠向主底座板11的外側(cè)方向移動(dòng)
(后退方向)，但無法相對(duì)于腳部12a 12d前進(jìn)，也無法向左右方向移動(dòng)。 接著，由微調(diào)整機(jī)構(gòu)32調(diào)整副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置和方向，并
對(duì)每個(gè)副載置臺(tái)20a 20d微調(diào)整副底座板21相對(duì)于主底座板11的位置。 如果以偏離經(jīng)過微調(diào)整的狀態(tài)的副底座板21和主底座板11的相對(duì)位置關(guān)系
的理想位置關(guān)系的誤差量(絕對(duì)值)為微調(diào)整誤差E3，則微調(diào)整誤差E3接近于零，為
E!〉E2〉E3 —0。 如果在微調(diào)整后固定微調(diào)整機(jī)構(gòu)32(的微調(diào)整螺絲)，則維持了經(jīng)過微調(diào)整的狀 態(tài)。 在臺(tái)座27和副底座板21之間，配置有架臺(tái)25。副底座板21固定于架臺(tái)25。在 該架臺(tái)25上設(shè)置有聯(lián)接部件33，如果由該聯(lián)接部件33將架臺(tái)25固定于腳部12a 12d， 則主底座板11和副底座板21在經(jīng)過粗調(diào)整和微調(diào)整的狀態(tài)下，經(jīng)由架臺(tái)25和腳部12a 12d而固定相對(duì)位置。 通過以上的順序，在副底座板21和主底座板11對(duì)位的狀態(tài)下，組裝機(jī)臺(tái)裝置5，副 軌道18筆直地連接于主軌道17a、17b的兩端，獲得直線狀的第一、第二延長(zhǎng)軌道19a、19b。
如果在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所進(jìn)行了該暫時(shí)組裝后，卸下聯(lián)接部件33，解除主載置臺(tái)10和 副載置臺(tái)20a 20d之間的聯(lián)接，使副載置臺(tái)20a 20d后退，分離主載置臺(tái)10和副載置 臺(tái)20a 20d，則成為能夠分別搬送的狀態(tài)。 此時(shí)，不解除副定位部件2^、242的固定，使副定位部件24"242之間的距離不變 更。此外，也維持粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31和微調(diào)整機(jī)構(gòu)32 (的粗動(dòng)螺絲和微動(dòng)螺絲)，從而使經(jīng)過粗 調(diào)整和微調(diào)整的狀態(tài)不變化。 將主載置臺(tái)10和副載置臺(tái)20a 20d分別搭載于車輛等，通過陸路或海路等而搬 送至正式設(shè)置場(chǎng)所，并首先將主載置臺(tái)10配置于正式設(shè)置場(chǎng)所的規(guī)定位置。
接著，向著腳部12a 12d而配置副載置臺(tái)20a 20d，如圖7所示，以能夠復(fù)原在 暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所將各副載置臺(tái)20a 20d組裝的狀態(tài)的方式，使副載置臺(tái)20a 20d分別向 著腳部12a 12d前進(jìn)。 由于主定位部件16的寬度向著副載置臺(tái)20a 20d的行進(jìn)方向的縱深方向擴(kuò)大， 因而，如果各副載置臺(tái)20a 20d的臺(tái)座27進(jìn)入主定位部件16的下方，則主定位部件16 插入副定位部件2^、242之間，如果副定位部件2^、242和主定位部件16接觸，貝幅U載置臺(tái) 20a 20d的前進(jìn)停止。 該狀態(tài)與圖4所示的狀態(tài)相同，暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所和正式設(shè)置場(chǎng)所的地面為水平，當(dāng) 副定位部件24p242和主定位部件16在與位于暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所中所接觸的位置相同的位置處接觸時(shí)，副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的位置關(guān)系復(fù)原。 g卩，由于副底座板21和主底座板11變得與經(jīng)過粗調(diào)整和微調(diào)整的狀態(tài)相同，因
而，如果由聯(lián)接部件33聯(lián)接固定副載置臺(tái)20a 20d的架臺(tái)25和主載置臺(tái)10的腳部12a
12d，并相對(duì)于腳部12a 12d而固定臺(tái)座27，則結(jié)束在正式設(shè)置場(chǎng)所的正式組裝。 但是，由于解除了副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10之間的聯(lián)接，再分離搬送副
載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10，因而有時(shí)候因搬送時(shí)的振動(dòng)或溫度變化等而產(chǎn)生小的對(duì)
位誤差E4。 此外，在正式設(shè)置場(chǎng)所不水平且將主底座板11表面重新設(shè)定為水平的情況下，也 產(chǎn)生對(duì)位誤差。 該對(duì)位誤差E4為與微調(diào)整誤差E3相同的程度的大小，被維持在經(jīng)過粗調(diào)整的狀 態(tài)。 所以，在主底座板ll的表面為水平后，解除微調(diào)整機(jī)構(gòu)32的固定，并由微調(diào)整機(jī) 構(gòu)32對(duì)副載置臺(tái)20a 20d的上下方向的高度、斜率以及水平方向的位置和方向進(jìn)行微調(diào) 整，由聯(lián)接部件33聯(lián)接固定副載置臺(tái)20a 20d的架臺(tái)25和主載置臺(tái)10的腳部12a 12d，則副底座板21相對(duì)于主底座板11的位置變更，對(duì)位誤差E4變小，能夠使主底座板11 和副底座板21的對(duì)位誤差成為與搬送前的微調(diào)整誤差E3相同的程度的大小。
尤其是在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5中，能夠獨(dú)立地對(duì)每個(gè)各副載置臺(tái)20a 20d的副 底座板21進(jìn)行對(duì)位，與其它副載置臺(tái)20a 20d的副底座板21的對(duì)位無關(guān)。當(dāng)在一片副 底座板上設(shè)置兩條副軌道，并與第一、第二主軌道17a、17b連接時(shí)，如果在一方的副軌道和 第一或第二主軌道17a、17b的對(duì)位結(jié)束的狀態(tài)下，進(jìn)行另一方的副軌道和第一或第二主軌 道17a、17b的對(duì)位，則在對(duì)位結(jié)束的副軌道和第一或第二主軌道17a、17b之間產(chǎn)生對(duì)位誤 差，但在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5中，由于一方的副底座板21的對(duì)位作業(yè)不對(duì)另一方的副底座 板21的對(duì)位狀態(tài)產(chǎn)生影響，因而，在已經(jīng)對(duì)位的副底座板21上不產(chǎn)生誤差。
圖5(a) 、 (b)是通過以上順序而在正式設(shè)置場(chǎng)所進(jìn)行組裝，直線狀地連接主載置 臺(tái)10上的主軌道17a、17b和副載置臺(tái)20a 20d上的副軌道18并形成第一、第二延長(zhǎng)軌 道19a、 19b，在第一、第二延長(zhǎng)軌道19a、 19b上承載起重機(jī)架13的狀態(tài)的機(jī)臺(tái)裝置5的俯視 圖和側(cè)視圖。 在同圖中，起重機(jī)架13位于主載置臺(tái)10的外側(cè)位置的副載置臺(tái)20c、20d上，在該 位置，能夠進(jìn)行印刷頭的清潔等。此外，由于起重機(jī)架13不位于基板上，因而能夠更換主載 置臺(tái)10上的基板7。 由于主底座板11和副底座板21之間的對(duì)位精度高，因而如圖6(a) 、 (b)所示，即 使在副載置臺(tái)20a 20d上和主載置臺(tái)10上之間使起重機(jī)架13移動(dòng)，也不產(chǎn)生振動(dòng)。
架臺(tái)25可從臺(tái)車22分離，如果通過聯(lián)接部件33而將架臺(tái)25固定于腳部12a 12d，則如同圖(b)所示，即使從架臺(tái)25的下方拔去臺(tái)車22，副底座板21也成為相對(duì)于主底 座板ll而固定的狀態(tài)。 如上所述，依照本發(fā)明，在正式設(shè)置場(chǎng)所組裝副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10 之前，預(yù)先在制造該機(jī)臺(tái)裝置5的工廠內(nèi)等的暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所，進(jìn)行副底座板21和主底座板 11的對(duì)位，然后，以能夠復(fù)原該狀態(tài)的方式進(jìn)行分離、搬送，并能夠在正式設(shè)置場(chǎng)所進(jìn)行組 裝。
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另外，組裝中所用的聯(lián)接部件33可以設(shè)置于副載置臺(tái)20a 20d，也可以設(shè)置于主
載置臺(tái)10。此外，也可以從副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10的兩者卸下。 在上述實(shí)施例中，由板狀的部件構(gòu)成主定位部件16，由接觸于其側(cè)面的輥構(gòu)成副
定位部件24p2^但并不限定于此，只要是能夠再現(xiàn)副底座板21和主底座板11的相對(duì)位
置關(guān)系的部件即可。也能夠由輥構(gòu)成主定位部件，由板狀部件構(gòu)成副定位部件。 此外，在上述實(shí)施例中，主定位部件16被固定在腳部12a 12d內(nèi)，主定位部件16
和主底座板11之間的位置關(guān)系固定，另一方面，副定位部件2^、242構(gòu)成為相對(duì)于臺(tái)座27
可移動(dòng)和固定，但也可與此相反，副定位部件2^、242和副底座板21的位置關(guān)系固定，可變
更和固定主定位部件16和主底座板11之間的相對(duì)位置。這種情況下，可以在粗調(diào)整后，由
聯(lián)接部件33進(jìn)行固定，然后，使主定位部件16移動(dòng)并與副定位部件2^、242接觸，固定主定
位部件16相對(duì)于主底座板11的位置。 另外，圖8的符號(hào)6表示兩片副底座板21連接于一片主底座板11的一個(gè)主連接 邊F且副底座板不連接于另一邊的機(jī)臺(tái)裝置。 此外，在上述實(shí)施例中，在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5、6的主載置臺(tái)IO和副載置臺(tái)
20a 20d上配置有起重機(jī)架13，并作為噴墨裝置而使用，但本發(fā)明并不限定于此，也能夠
在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5、6配置激光照射裝置，并作為加熱裝置、檢查裝置、或曝光裝置而使
用，或者也能夠配置基板對(duì)位裝置，并作為對(duì)準(zhǔn)器而使用。 總而言之，本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5、6并不限定于噴墨裝置。 而且，移動(dòng)部件并不限定于起重機(jī)架13，只要能夠在主底座板11上和副底座板21 上移動(dòng)，那么，例如可以為載置有基板等處理對(duì)象物的載置臺(tái)。
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權(quán)利要求
一種機(jī)臺(tái)裝置，具有四邊形形狀的主底座板；兩片副底座板，固定在所述主底座板的一邊且能夠互相分離；以及移動(dòng)部件，構(gòu)成為能夠在所述主底座板的上方位置和固定于所述主底座板的所述兩片副底座板間的上方位置之間移動(dòng)，其中，所述兩片副底座板構(gòu)成為能夠從所述主底座板分離。
2. —種機(jī)臺(tái)裝置，具有第一、第二主軌道，直線狀地延伸設(shè)置在所述主底座板上且互相平行地配置；以及副軌道，分別配置在所述兩片副底座板上且分別接連于所述第一、第二主軌道的端部，其中，所述移動(dòng)部件，在所述第一、第二主軌道上和所述兩片副底座板的所述副軌道上行走， 構(gòu)成為能夠在所述主底座板的上方位置和所述兩片副底座板間的上方位置之間移動(dòng)。
全文摘要
提供了一種在正式設(shè)置場(chǎng)所的組裝精度較高且作業(yè)容易的機(jī)臺(tái)裝置。在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置(5)中，分別連接于主底座板(11)上的第一、第二主軌道(17a、17b)且使第一、第二主軌道(17a、17b)延長(zhǎng)的副軌道(18)設(shè)置于各個(gè)副底座板(21)上。所以，當(dāng)對(duì)副底座板(21)進(jìn)行對(duì)位并固定于主底座板(11)時(shí)，不影響已經(jīng)固定在主底座板(11)的副底座板(21)的對(duì)位精度。
文檔編號(hào)B23Q1/00GK101790785SQ200880105619
公開日2010年7月28日 申請(qǐng)日期2008年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月28日
發(fā)明者伊藤慎也, 南展史, 湯山純平, 田中保三, 矢作充, 高橋誠(chéng) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛發(fā)科