專利名稱：等離子顯示屏的制造方法及煅燒裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為大畫面、薄型、重量輕的顯示裝置而被知曉的等離子顯示屏(以下記為PDP)的制造方法及其使用的煅燒裝置。
背景技術(shù)：
PDP由于與液晶屏相比能高速顯示、視角寬闊、容易大型化、因為是自發(fā)光型所以顯示質(zhì)量高等的理由，最近在平面屏顯示中特別受關(guān)注，作為在多人聚集場所的顯示裝置和在家庭中享受大畫面圖象的顯示裝置被使用于各種用途。
PDP通過氣體放電產(chǎn)生紫外線，用該紫外線激發(fā)螢光體發(fā)光進(jìn)行彩色顯示，大致區(qū)分為在驅(qū)動上有AC型和DC型，在放電形式上有面放電型和相對放電型這兩種。根據(jù)高精細(xì)化、大畫面和制造的簡便性、3電極結(jié)構(gòu)的AC型面放電型成為了主流。3電極結(jié)構(gòu)的AC型面放電型的PDP是在一側(cè)的基板上具有平行配列的多個顯示電極對，在另一側(cè)的基板上具有在與顯示電極交叉方向配列的地址電極、間隔壁、螢光體層的結(jié)構(gòu)，通過能把螢光體層制作得比較厚而適用于使用螢光體的彩色顯示。
PDP的制造方法主要是具有形成工序，在前面基板和背面基板的表面上使用反復(fù)進(jìn)行印刷、干燥、煅燒各工序的厚膜形成工序而把電極、電介體、螢光體等的屏結(jié)構(gòu)物逐次形成；封接工序，把形成有這些屏結(jié)構(gòu)物的前面基板和背面基板重合封接。在這些干燥、煅燒各工序中使用煅燒裝置。
作為煅燒裝置使用適合于大量生產(chǎn)的所謂輥底式連續(xù)煅燒爐。輥底式連續(xù)煅燒爐具有通過在基板的運(yùn)送方向上并列配置多根滾軸結(jié)構(gòu)的運(yùn)送裝置。在煅燒前面基板和背面基板上形成的屏結(jié)構(gòu)物時為了在各自基板上不發(fā)生由運(yùn)送裝置帶來的損傷，是以把基板放置在被叫做載置器的輔助基板上的狀態(tài)(以后把該狀態(tài)記為被煅燒物)邊運(yùn)送邊進(jìn)行煅燒的。
在此屏結(jié)構(gòu)物的質(zhì)量對PDP圖象的顯示特性有大的影響，所以就要求向屏結(jié)構(gòu)物沒有異物附著或混入的煅燒工序以及實現(xiàn)它的煅燒裝置。
但用現(xiàn)在的煅燒裝置煅燒時，煅燒后的屏結(jié)構(gòu)物中可看到異物的附著和混入。而且因為這點、例如在屏結(jié)構(gòu)物進(jìn)行金屬配線時就發(fā)生電阻值偏差，其結(jié)果是產(chǎn)生PDP合格品率降低的問題。在此作為該異物的原因之一能舉出把被煅燒物用滾軸運(yùn)送時由載置器與滾軸間的摩擦而產(chǎn)生的磨損粉末。該磨損粉末主要附著在載置器與滾軸的接觸面一側(cè)，而載置器以該狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)送，所以就被散布在煅燒裝置內(nèi)的整個區(qū)域，其結(jié)果是成為由磨損粉末引起不良情況發(fā)生頻度提高的原因。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這種現(xiàn)狀而開發(fā)的，其目的在于提供一種等離子顯示屏的制造方法及煅燒裝置，實現(xiàn)把由滾軸與載置器的摩擦而產(chǎn)生的磨損粉末向屏結(jié)構(gòu)物的附著和混入降低。
為了實現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的PDP制造方法具有煅燒步驟，把形成有屏結(jié)構(gòu)物的基板放置在載置器上，通過由多根滾軸構(gòu)成的運(yùn)送裝置邊運(yùn)送邊用規(guī)定溫度煅燒；洗凈步驟，把所述載置器洗凈。
用該方法來降低由滾軸與載置器的摩擦而產(chǎn)生的磨損粉末向屏結(jié)構(gòu)物的附著和混入，能實現(xiàn)可良好煅燒PDP的制造方法及煅燒裝置。
圖1是表示PDP結(jié)構(gòu)的剖面立體圖；圖2是本發(fā)明實施例PDP制造方法的工序圖；圖3是表示本發(fā)明實施例PDP煅燒裝置結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖4是表示本發(fā)明實施例PDP煅燒裝置中洗凈裝置結(jié)構(gòu)的剖面圖。
具體實施例方式
下面用
本發(fā)明的實施例。
圖1表示了用本發(fā)明PDP制造方法制造的PDP的結(jié)構(gòu)。PDP由前面基板1和背面基板2構(gòu)成。前面基板1包括條紋狀的顯示電極6，把例如用浮體法制造的由硼硅鈉系玻璃等構(gòu)成的玻璃基板等透明絕緣性基板3上形成的掃描電極4與維持電極5結(jié)成對；電介體層7，形成為覆蓋住顯示電極6群；保護(hù)膜8，形成在電介體層7上、由MgO構(gòu)成。掃描電極4與維持電極5由象ITO那樣透明導(dǎo)電性材料形成的透明電極4a、5a和為了電連接在該透明電極4a、5a上而形成的例如由銀(Ag)構(gòu)成的總線電極4b、5b。
背面基板2在與構(gòu)成前面基板1的基板3相對配置的基板9上包括地址電極10，形成在與顯示電極6正交的方向上；電介體層11，形成為覆蓋住其地址電極10；多個間隔壁12，在地址電極10間的電介體層11上與地址電極10平行地形成條紋狀；螢光體層13，在該間隔壁12間形成。為彩色顯示用的螢光體層13通常把紅色、綠色、蘭色這3色按順序配置。
前面基板1和背面基板2是以顯示電極6與地址電極10正交地夾住微小放電空間相對配置的狀態(tài)通過封接構(gòu)件(未圖示)密封周圍的結(jié)構(gòu)，在放電空間內(nèi)封入把氖(Ne)和氙(Xe)混合了的放電氣體。放電空間用間隔壁12間隔成多個區(qū)間，在間隔壁12間形成多個成為單位發(fā)光區(qū)域的放電單元。
通過向地址電極10和顯示電極6施加周期性電壓而發(fā)生放電，把由該放電產(chǎn)生的紫外線向螢光體層13照射變換成可視光，這樣來進(jìn)行圖象顯示。
下面對這種結(jié)構(gòu)的PDP制造方法用圖2進(jìn)行說明。圖2是表示本發(fā)明實施例PDP制造方法的工序的圖。
首先敘述制造前面基板1的前面基板制造工序。在接受基板3的基板接受工序(S11)之后就進(jìn)入在基板3上形成顯示電極6的顯示電極形成工序(S12)。顯示電極形成工序(S12)包括形成透明電極4a和5a的透明電極形成工序(S12-1)和在其后進(jìn)行的形成總線電極4b和5b的總線電極形成工序?？偩€電極形成工序(S12-2)包括把例如銀(Ag)等的導(dǎo)電性膏用網(wǎng)狀印刷等進(jìn)行涂布的導(dǎo)電性膏涂布工序(S12-2-1)和然后把涂布的導(dǎo)電性膏進(jìn)行煅燒的導(dǎo)電性膏煅燒工序(S12-2-2)。在顯示電極形成工序(S12)之后就進(jìn)入為把顯示電極6上覆蓋住的形成電介體層7的電介體層形成工序(S13)。電介體層形成工序(S13)包括把含有鉛系玻璃材料(其組成例如是氧化鉛[PbO]70％的重量、氧化硼[B2O3]15％的重量、氧化硅[SiO2]15％的重量。)的膏用網(wǎng)狀印刷等進(jìn)行涂布的玻璃膏涂布工序(S13-1)和把涂布的玻璃材料進(jìn)行煅燒的玻璃膏煅燒工序(S13-2)。進(jìn)而再經(jīng)過在電介體層7的表面上用真空蒸鍍法等形成氧化鎂(MgO)等保護(hù)膜8的保護(hù)膜形成工序(S14)，就制造了前面基板1。
接著敘述制造背面基板2的背面基板制造工序。在接受基板9的基板接受工序(S21)之后就進(jìn)入在基板9上形成地址電極10的地址電極形成工序(S22)。其包括把例如銀(Ag)等的導(dǎo)電性膏用網(wǎng)狀印刷等進(jìn)行涂布的導(dǎo)電性膏涂布工序(S22-1)和然后把涂布的導(dǎo)電性膏進(jìn)行煅燒的導(dǎo)電性膏煅燒工序(S22-2)。接著就進(jìn)入在地址電極10上形成電介體層11的電介體層形成工序(S23)。其包括把含有氧化鈦(TiO2)粒子和電介體玻璃粒子的電介體用膏用網(wǎng)狀印刷等進(jìn)行涂布的電介體用膏涂布工序(S23-1)和然后把涂布的電介體用膏進(jìn)行煅燒的電介體用膏煅燒工序(S23-2)。接著就進(jìn)入在電介體層11上地址電極10間形成間隔壁12的間隔壁形成工序(S24)。其包括把含有玻璃粒子的間隔壁用膏用網(wǎng)狀印刷等進(jìn)行涂布的間隔壁用膏涂布工序(24-1)和然后把涂布的隔壁用膏涂布進(jìn)行煅燒的隔壁用膏煅燒工序(S24-2)。之后就進(jìn)入在間隔壁12上形成螢光體層13的螢光體層形成工序(S25)。其包括制作紅色、綠色、蘭色的各色螢光體膏并把它涂布在間隔壁之間間隙內(nèi)的螢光體膏涂布工序(S25-1)和然后把涂布的螢光體膏進(jìn)行煅燒的螢光體膏煅燒工序(S25-2)，經(jīng)過這些工序就制造了背面基板2。
下面敘述這樣制造成的前面基板1與背面基板2的封接工序和然后的真空排氣以及放電氣體封入工序。首先進(jìn)入在前面基板1和背面基板2的某一側(cè)或兩側(cè)上形成由封接用玻璃燒結(jié)料構(gòu)成的封接構(gòu)件的封接構(gòu)件形成工序(S31)。其包括把封接用玻璃膏進(jìn)行涂布的工序(S31-1)和然后為了把涂布的玻璃膏內(nèi)樹脂等成分除去而進(jìn)行預(yù)煅燒的玻璃膏預(yù)煅燒工序(S31-2)。然后就進(jìn)入為把前面基板1的顯示電極6與背面基板2的地址電極10正交并相對地重疊用的重疊工序(S32)。然后進(jìn)入通過加熱重疊了的兩基板使封接構(gòu)件軟化而進(jìn)行封接的封接工序(S33)，經(jīng)過把由被封接的兩基板形成的微小放電空間邊進(jìn)行真空排氣邊進(jìn)行屏煅燒的排氣·焙燒工序(S34)，通過把放電氣體以規(guī)定的壓力封入的放電氣體封入工序(S35)，就完成了PDP(S36)。
這樣制造PDP時，在屏結(jié)構(gòu)物的總線電極4b、5b，電介體層7，地址電極10，電介體層11，間隔壁12，螢光體層13和封接構(gòu)件(未圖示)的形成工序等中多使用煅燒工序。下面對在這些煅燒工序中使用的煅燒裝置進(jìn)行說明。
圖3是表示本實施例PDP的制造方法中所用煅燒裝置結(jié)構(gòu)的剖面圖。煅燒裝置21中，作為它的運(yùn)送裝置具備去路用運(yùn)送裝置22，把多個滾軸22a在運(yùn)送方向上并列構(gòu)成；回路用運(yùn)送裝置23，把多個滾軸23a在運(yùn)送方向上并列構(gòu)成；升降裝置24，把多個滾軸24a在運(yùn)送方向上并列、并且在去路用運(yùn)送裝置22與回路用運(yùn)送裝置23之間能升降地構(gòu)成。
把由作為屏結(jié)構(gòu)物102的總線電極4b、5b，電介體層7，地址電極10，電介體層11，間隔壁12，螢光體層13或封接構(gòu)件(未圖示)等形成的PDP前面基板1或背面基板2的基板101放置在輔助基板載置器103上、用去路用運(yùn)送裝置22運(yùn)送。在此、載置器103是以防止對基板101造成損傷作為目的而設(shè)置的。以后把基板101被放置在載置器103上的狀態(tài)叫做被煅燒物104。
以上的結(jié)構(gòu)中本實施例特征的點在于設(shè)置了為洗凈載置器103用的洗凈裝置105。如圖3所示，在載置器103通過滾軸22a、23a、24a的旋轉(zhuǎn)被運(yùn)送時、由滾軸22a、23a、24a與載置器103的摩擦而產(chǎn)生磨損粉末附著在載置器103的接觸面一邊(以后記為背面一邊)上。在本發(fā)明的實施例中把為洗凈載置器103背面一邊用的洗凈裝置105設(shè)置在例如下段通路23c內(nèi)。
圖4是表示本發(fā)明實施例PDP煅燒裝置的洗凈裝置結(jié)構(gòu)的剖面圖。作為洗凈裝置105例如可舉出如圖4A所示的干式洗凈裝置105a和如圖4B所示的濕式洗凈裝置105b。
圖4A所示的干式洗凈裝置105a與載置器103是非接觸狀態(tài)，通過由吸引產(chǎn)生的氣流來吸引載置器103背面一邊上附著的異物等進(jìn)行洗凈。吹進(jìn)氣流并不是把異物吹飛、而是吸引異物的洗凈方法，所以附著在載置器103背面的異物不會被散布到處飛舞，不會對周圍的環(huán)境給予壞影響，能有效地進(jìn)行載置器103的洗凈。為了更有效地除去載置器103背面的異物，如圖4A的箭頭所示，載置器103背面的氣流最好是沿載置器103背面的面方向流動來進(jìn)行吸引。
圖4B所示的濕式洗凈裝置105b使用有機(jī)或無機(jī)的溶劑來洗凈載置器103的背面一邊，圖中表示了通過洗凈刷105c的旋轉(zhuǎn)來洗凈載置器103背面的結(jié)構(gòu)。圖中表示了使用洗凈刷105c的例子，但也可以是不用洗凈刷105c而把溶劑吹向載置器103背面的結(jié)構(gòu)。
濕式洗凈中當(dāng)是載置器103的溫度T1(℃)比溶劑的沸點T2(℃)高的狀態(tài)時、則溶劑瞬時蒸發(fā)，洗凈不能充分進(jìn)行。而相反當(dāng)過低時，則溶劑的干燥變慢，有時產(chǎn)生由濕氣引起的不好影響。因此作為載置器103的溫度T1(℃)與溶劑的沸點T2(℃)的關(guān)系是在溶劑不沸騰·蒸發(fā)且容易干燥·蒸發(fā)的溫度范圍，例如在洗凈后用5分鐘左右進(jìn)行干燥的溫度關(guān)系為好。這種溫度關(guān)系具體說就是載置器103的溫度T1(℃)對溶劑的沸點T2(℃)在滿足了0.9×T2≤T1＜T2的條件時就能得到，這被實驗所確認(rèn)。通過用上述的溫度條件洗凈，在洗凈后溶劑自然蒸發(fā)，不需要載置器103干燥處理用的工序和裝置。為了滿足上述的溫度條件可以在煅燒裝置中選擇載置器103成為該溫度的場所來設(shè)置濕式洗凈裝置105b。
用圖3對這種使用了有載置器103洗凈裝置結(jié)構(gòu)的煅燒裝置21進(jìn)行說明。首先把被煅燒物104放置在去路用運(yùn)送裝置22的始端部22b上。然后被煅燒物104通過去路用運(yùn)送裝置22被引導(dǎo)向煅燒裝置21的上段通路22c，邊原封不動地用去路運(yùn)送裝置22運(yùn)送、邊首先在加熱部由設(shè)置在上段通路22c內(nèi)部的加熱器(未圖示)等加熱裝置來加熱，這樣加熱到規(guī)定的煅燒溫度被煅燒。然后被煅燒物104在緩冷部邊被冷卻邊向去路用運(yùn)送裝置22的終端部22d運(yùn)送。接著被煅燒物104在被運(yùn)送到去路用運(yùn)送裝置22的運(yùn)送終端部22d后還照樣被進(jìn)行運(yùn)送而到達(dá)升降裝置24。到達(dá)了升降裝置24的被煅燒物104通過升降裝置24下降到與回路用運(yùn)送裝置23連接的高度、向與去路用運(yùn)送裝置22的運(yùn)送方向相反的方向運(yùn)送、移送到回路用運(yùn)送裝置23的運(yùn)送始端部23b。然后被煅燒物104通過回路用運(yùn)送裝置23在冷卻部下段通路23c內(nèi)邊被運(yùn)送邊被冷卻到常溫。洗凈裝置105設(shè)置在下段通路23c內(nèi)。
通過洗凈裝置105、載置器103與滾軸22a、23a、24a的接觸面被洗凈，所以在運(yùn)送中由載置器103與滾軸22a、23a、24a的接觸而產(chǎn)生并附著在載置器103背面上的從滾軸22a、23a、24a等產(chǎn)生的磨損粉末等異物被除去。然后被煅燒物104在到達(dá)回路用運(yùn)送裝置23的運(yùn)送終端部23d時，完成煅燒的基板101被從載置器103取出?？樟说妮d置器103再次移動到上段位置的去路運(yùn)送裝置22的運(yùn)送始端部22b，在此載置下一個基板、再次為了煅燒而引導(dǎo)入上段通路22c內(nèi)。
在此，所述這種本實施例的PDP制造方法所用的煅燒裝置21中，能把在運(yùn)送時由滾軸22a、23a、24a與載置器103的接觸而產(chǎn)生并附著在載置器103背面上的磨損粉末等異物除去。因此在下一個基板的煅燒工序中使用時就不會有附著在這些載置器103上的異物由運(yùn)送而散布在煅燒裝置21內(nèi)，能防止向屏結(jié)構(gòu)物102的異物附著和混入。因此能使屏結(jié)構(gòu)物的質(zhì)量均勻、以高制造合格品率制造PDP。
本實施例中把洗凈裝置105a、105b設(shè)置在煅燒裝置21的回路運(yùn)送裝置23的下段通路23c中。因此在屏結(jié)構(gòu)物被煅燒固化前的上段通路22c內(nèi)沒有飛舞，所以能制造更高質(zhì)量的PDP。
本實施例對只設(shè)置了一個洗凈裝置的例子進(jìn)行了說明，但也可以把干式洗凈裝置或濕式洗凈裝置分別設(shè)置多個。特別是把濕式洗凈裝置設(shè)置在運(yùn)送的上流，把干式洗凈裝置設(shè)置在其下流時能把與溶劑沸點有關(guān)系的溫度控制更有效地進(jìn)行。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性根據(jù)以上的本發(fā)明，降低了由滾軸與載置器的摩擦而產(chǎn)生的磨損粉末向屏結(jié)構(gòu)物的附著和混入，能實現(xiàn)可進(jìn)行良好煅燒的PDP的制造方法和煅燒裝置。
權(quán)利要求
1.一種等離子顯示屏的制造方法，其中，具有煅燒步驟，把形成有屏結(jié)構(gòu)物的基板放置在載置器上，通過由多根滾軸構(gòu)成的運(yùn)送裝置邊運(yùn)送邊把所述屏結(jié)構(gòu)物用規(guī)定溫度進(jìn)行煅燒；洗凈步驟，把所述載置器洗凈。
2.一種等離子顯示屏的制造方法，其中，具有去路步驟，把形成有屏結(jié)構(gòu)物的基板放置在載置器上，通過由多根滾軸構(gòu)成的運(yùn)送裝置邊運(yùn)送邊把所述屏結(jié)構(gòu)物進(jìn)行煅燒；回路步驟，把形成有屏結(jié)構(gòu)物的基板放置在載置器上，通過由多根滾軸構(gòu)成的運(yùn)送裝置運(yùn)送煅燒完的所述屏結(jié)構(gòu)物；洗凈步驟，在所述回路步驟中把所述載置器洗凈。
3.如權(quán)利要求1或2所述的等離子顯示屏的制造方法，其特征在于，洗凈步驟的洗凈是由使用溶劑的濕式洗凈裝置進(jìn)行的洗凈。
4.如權(quán)利要求3所述的等離子顯示屏的制造方法，其中，洗凈步驟中載置器的溫度T1(℃)與溶劑的沸點溫度T2(℃)具有0.9×T2≤T1＜T2的關(guān)系。
5.如權(quán)利要求1或2所述的等離子顯示屏的制造方法，其特征在于，洗凈步驟的洗凈是由使用氣流吸引的干式洗凈裝置進(jìn)行的洗凈。
6.如權(quán)利要求5所述的等離子顯示屏的制造方法，其特征在于，通過氣流吸引沿載置器的面方向產(chǎn)生氣流。
7.如權(quán)利要求1到6任一項所述的等離子顯示屏的制造方法，其特征在于，把與滾軸接觸的載置器的面洗凈。
8.一種等離子顯示屏的煅燒裝置，其中，具有運(yùn)送裝置，通過至少把多根滾軸在基板的運(yùn)送方向上并列配置而構(gòu)成；煅燒裝置，把形成了屏結(jié)構(gòu)物的基板放置在載置器上、通過所述運(yùn)送裝置邊運(yùn)送邊進(jìn)行加熱煅燒；洗凈裝置，把所述載置器洗凈。
9.一種等離子顯示屏的煅燒裝置，其中，具有去路用運(yùn)送裝置，通過至少把多根滾軸在基板的運(yùn)送方向上并列配置而構(gòu)成；回路用運(yùn)送裝置，通過把多根滾軸在基板的運(yùn)送方向上并列配置而構(gòu)成；煅燒裝置，把形成了屏結(jié)構(gòu)物的基板放置在載置器上、通過所述運(yùn)送裝置邊運(yùn)送邊進(jìn)行加熱煅燒；洗凈裝置，設(shè)置在所述回路用運(yùn)送裝置上，把所述載置器洗凈。
10.如權(quán)利要求8或9所述的等離子顯示屏的煅燒裝置，其特征在于，是使用溶劑的濕式洗凈裝置。
11.如權(quán)利要求10所述的等離子顯示屏的煅燒裝置，其特征在于，在載置器的溫度T1(℃)與溶劑的沸點T2(℃)具有0.9×T2≤T1＜T2關(guān)系的位置設(shè)置濕式洗凈裝置。
12.如權(quán)利要求8或9所述的等離子顯示屏的煅燒裝置，其中，是使用氣流吸引的干式洗凈裝置。
13.如權(quán)利要求12所述的等離子顯示屏的煅燒裝置，其特征在于，通過氣流吸引沿載置器的面方向產(chǎn)生氣流。
14.如權(quán)利要求8到13任一項所述的等離子顯示屏的煅燒裝置，其特征在于，把與滾軸接觸的載置器的面洗凈。
全文摘要
一種等離子顯示屏的制造方法及其使用的煅燒裝置，把載置器洗凈并能良好進(jìn)行屏結(jié)構(gòu)物的煅燒。通過設(shè)置在下段通路(23c)的洗凈裝置(105)，把載置器(103)在通過滾軸(22a)、(23a)、(24a)的旋轉(zhuǎn)而被運(yùn)送時產(chǎn)生的磨損粉末洗凈除去而降低向屏結(jié)構(gòu)物的附著和混入。
文檔編號H01J11/34GK1518754SQ03800499
公開日2004年8月4日 申請日期2003年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月12日
發(fā)明者
弘恭, 辻弘恭, 森田真登, 登, 教, 鈴木雅教 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社