一種粉末狀材料專用等離子處理裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，包括真空艙體、電極、粉末瓶和傳動(dòng)軸。通過磁流體密封裝置將傳動(dòng)軸的一端伸入真空艙體內(nèi)部，在所述傳動(dòng)軸的一端連接安裝法蘭和粉末瓶裝卡系統(tǒng)，通過固定螺栓固定并一體化安裝法蘭和粉末平裝卡系統(tǒng)后，連接并固定粉末瓶；所述傳動(dòng)軸的另一端與減速機(jī)和電機(jī)連接，使電機(jī)能夠帶動(dòng)粉末瓶轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)隨著粉末瓶的轉(zhuǎn)動(dòng)，粉末或小顆粒產(chǎn)品在粉末瓶?jī)?nèi)翻滾，從而使粉末或小顆粒產(chǎn)品的表面輪流暴露出來處在等離子的轟擊之下，使得粉末或小顆粒樣品得到充分和均勻的處理。
【專利說明】
一種粉末狀材料專用等離子處理裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種等離子處理裝置，特別是涉及一種粉末狀材料專用等離子處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子表面處理是一種新興的高科技表面處理方法，通過處理可以使材料表面實(shí)現(xiàn)親水、疏水等特殊功能，以便大幅度增強(qiáng)表面的粘合、焊接、涂鍍或者是防水防腐蝕等能力。這一處理手段目前被廣泛地應(yīng)用于電子、芯片、航空航天、兵器、汽車等領(lǐng)域，而且隨著科技的發(fā)展此技術(shù)的應(yīng)用也越來越廣泛。
[0003]現(xiàn)有通常的等離子表面處理技術(shù)是，在真空艙體內(nèi)，導(dǎo)入射頻或高頻電源，連接到并聯(lián)的、水平布置(或垂直)的一個(gè)或者數(shù)個(gè)電極板上。電極板之間有一定的間隙，可以在間隙處放入水平托盤，需要處理的樣品就放置在托盤上。進(jìn)行處理時(shí)，樣品放入托盤并把托盤置入艙體，用真空栗把艙體內(nèi)的真空度抽到0.1?0.6mbar左右，通入處理氣體并接通射頻電源。因?yàn)榻尤氲纳漕l電源一般電壓在1000V至1600V之間，艙體內(nèi)的電極板被接通射頻電源后會(huì)擊穿艙體內(nèi)通入的處理氣體，將氣體分子電離產(chǎn)生等離子，電極板和艙體之間存在電位差，等離子在電位差的作用下從電極板向艙體或者接地的陰極運(yùn)動(dòng)，并轟擊放置在托盤上的樣品，從而使樣品得到處理。
[0004]但是這種常用的等離子處理設(shè)備結(jié)構(gòu)對(duì)粉末或者小顆粒的材料處理是非常困難的，主要是三個(gè)因素:一、以目前的技術(shù)，材料必須放置在真空艙體中才能得到處理，但是因?yàn)榉勰┗蛐☆w粒材料的單體質(zhì)量都很輕，在抽真空時(shí)會(huì)隨著艙體內(nèi)的空氣一起被抽走，造成真空栗內(nèi)雜質(zhì)的聚集從而損壞，同時(shí)樣品被真空栗抽走造成的材料損失也很大;二、在真空艙體內(nèi)只有暴露在表面的材料才能得到處理;三、由于等離子處理的同時(shí)，材料表面被極度活化，處理同時(shí)伴隨產(chǎn)生熱量，堆放或?qū)愉佋谂擉w內(nèi)的材料會(huì)被輕度燒結(jié)并結(jié)塊，給材料的性能和處理帶來負(fù)面效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決以上問題，本實(shí)用新型采用了粉末瓶技術(shù)，該裝置不僅能夠使粉末或小顆粒材料得到均勻的等離子處理，還能夠有效的保護(hù)真空栗，同時(shí)防止粉末或小顆粒粘結(jié)在托盤或者容器表面。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)所采用的的技術(shù)方案是:一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，包括真空艙體、電極、粉末瓶和傳動(dòng)軸。
[0007]可選地，在傳統(tǒng)的等離子清洗機(jī)的基礎(chǔ)上，從所述真空艙體后部通一根傳動(dòng)軸進(jìn)入真空艙體內(nèi)，所述傳動(dòng)軸通過專用的磁流體密封裝置深入真空艙體內(nèi)部。
[0008]可選地，所述傳動(dòng)軸在真空艙體外的一端連接電機(jī)和減速機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸連接減速機(jī)的輸入軸，所述減速機(jī)的輸出軸連接所述傳動(dòng)軸而提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力;所述傳動(dòng)軸在真空艙體內(nèi)的一端設(shè)有安裝法蘭和粉末瓶裝卡系統(tǒng)，所述安裝法蘭和粉末瓶裝卡系統(tǒng)通過固定螺栓固定，并連為一體。
[0009]可選地，所述粉末瓶設(shè)置在所述真空艙體的內(nèi)部，其底部向內(nèi)，卡接固定于所述粉末瓶裝卡系統(tǒng)，從而使粉末瓶為懸臂結(jié)構(gòu)，電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)就會(huì)通過減速機(jī)-傳動(dòng)軸-粉末瓶裝卡系統(tǒng)傳遞至粉末瓶，并以粉末瓶軸為中心旋轉(zhuǎn)。
[0010]可選地，所述粉末瓶轉(zhuǎn)速為0.1?lOOrpm。
[0011 ]可選地，所述粉末瓶可以從粉末瓶裝卡系統(tǒng)取下。
[0012]可選地，所述粉末瓶的瓶口向外，瓶口的直徑小于瓶身徑向尺寸，所述瓶口設(shè)置有能透氣的瓶蓋。
[0013]可選地，所述粉末瓶的形狀采用四方形或者六角形，以便在旋轉(zhuǎn)時(shí)粉末或小顆粒材料能夠隨著粉末瓶的轉(zhuǎn)動(dòng)而翻動(dòng)。
[0014]可選地，所述電極設(shè)置在所述真空艙體內(nèi)部上端，固定在絕緣柱。
[0015]可選地，所述電極作為陽(yáng)極，真空艙體作為陰極。
[0016]可選地，所述傳動(dòng)軸的上側(cè)設(shè)置有真空栗接口，下側(cè)設(shè)置有高頻電源入口。
[0017]可選地，所述真空艙體的外部上端設(shè)置有處理氣體接口。
[0018]在進(jìn)行等離子處理時(shí)，關(guān)閉真空艙門，真空艙體被抽真空至0.1?0.6mbar以達(dá)到等離子發(fā)生時(shí)所需要的真空度，啟動(dòng)處理氣體輸入，并維持真空度保持穩(wěn)定。啟動(dòng)設(shè)定好了功率的射頻電源，這時(shí)與射頻電源連接的電極帶電，并電離處理氣體，產(chǎn)生等離子，等離子充滿整個(gè)真空艙體包括粉末瓶?jī)?nèi)部，并轟擊裸露在表面的粉末或小顆粒樣品。啟動(dòng)電機(jī)，粉末瓶開始旋轉(zhuǎn)，粉末或小顆粒產(chǎn)品在粉末瓶?jī)?nèi)翻滾，裸露在表面的粉末或小顆粒產(chǎn)品被等離子轟擊并得到處理。為了保證粉末或小顆粒產(chǎn)品得到充分處理，粉末瓶?jī)?nèi)粉末或小顆粒產(chǎn)品裝入量不宜超過粉末瓶容積的30%，同時(shí)處理時(shí)間要足夠長(zhǎng)，以使處理充分。達(dá)到處理時(shí)間后，關(guān)閉電機(jī)和射頻電源，粉末瓶停止旋轉(zhuǎn)。通入空氣以使真空艙體內(nèi)的真空與大氣連通，使真空艙體內(nèi)恢復(fù)常壓。打開艙門，將粉末瓶從粉末瓶裝卡系統(tǒng)上取下拿出，將處理后的粉末或小顆粒產(chǎn)品倒出，完成處理。
[0019]本實(shí)用新型的有益效果是:由于抽真空的口一般接在真空艙體的后部，而粉末瓶的開口向前，同時(shí)開口較小，這樣在抽真空時(shí)粉末或小顆粒就不會(huì)被真空栗抽走，又能夠使真空艙體和粉末瓶?jī)?nèi)得到需要的真空度;等離子處理開始時(shí)同時(shí)啟動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)，這樣粉末或小顆粒材料在粉末瓶?jī)?nèi)處于翻滾狀態(tài)，使得粉末或小顆粒材料都有暴露在等離子輝光之下的機(jī)會(huì)，粉末或小顆粒材料得到均勻處理，同時(shí)因?yàn)榉勰┢啃D(zhuǎn)，粉末或小顆粒隨著粉末瓶旋轉(zhuǎn)而翻滾，粉末或小顆粒材料也不會(huì)板結(jié)；因?yàn)榉勰┎粫?huì)被真空栗抽到粉末瓶外面，也就不會(huì)進(jìn)入真空栗內(nèi)部，從而保障了真空栗的順利使用;本實(shí)用新型的裝置同樣適用于其它真空設(shè)備，如真空鍍膜設(shè)備、真空干燥機(jī)、真空沉積設(shè)備、真空清洗機(jī)等;裝置使用的零件均可現(xiàn)成采購(gòu)，易于實(shí)現(xiàn)。
【附圖說明】
[0020]圖1是本實(shí)用新型的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖中:1、真空艙體(陰極)，2、電極(陽(yáng)極)，3、粉末瓶，4、瓶蓋，5、傳動(dòng)軸，6、粉末瓶裝卡系統(tǒng)，7、磁流體密封裝置，8、真空栗接口，9、絕緣柱，1、高頻電源入口，11、處理氣體接口，12、安裝法蘭。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0023]如圖1所述，一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，包括真空艙體1、電極2、粉末瓶
3、傳動(dòng)軸5。
[0024]從所述真空艙體I后部通一根傳動(dòng)軸5進(jìn)入真空艙體I內(nèi)，所述傳動(dòng)軸I通過專用的磁流體密封裝置7伸入真空艙體I內(nèi)部。
[0025]具體地，所述傳動(dòng)軸5在真空艙體I外的一端連接電機(jī)和減速機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸連接減速機(jī)的輸入軸，所述減速機(jī)的輸出軸連接所述傳動(dòng)軸5而提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力，所述傳動(dòng)軸5在真空艙體I內(nèi)的一端設(shè)有安裝法蘭12和粉末瓶裝卡系統(tǒng)6，所述安裝法蘭12和粉末瓶裝卡系統(tǒng)6通過固定螺栓固定，并連為一體。
[0026]所述粉末瓶3設(shè)置在所述真空艙體I的內(nèi)部，其底部向內(nèi)，卡接固定于所述粉末瓶裝卡系統(tǒng)6，從而使粉末瓶3為懸臂結(jié)構(gòu)，電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)就會(huì)通過減速機(jī)-傳動(dòng)軸5-粉末瓶裝卡系統(tǒng)6傳遞至粉末瓶3，并以粉末瓶3軸為中心旋轉(zhuǎn)。
[0027]所述粉末瓶3轉(zhuǎn)速為0.1?lOOrpm。
[0028]所述粉末瓶3可從粉末瓶裝卡系統(tǒng)6取下。
[0029]所述粉末瓶3的瓶口向外，瓶口的直徑小于瓶身徑向尺寸，所述瓶口設(shè)置有能透氣的瓶蓋4。
[0030]所述粉末瓶3的形狀采用四方形或者六角形，以便在旋轉(zhuǎn)時(shí)粉末或小顆粒材料能夠隨著粉末瓶3的轉(zhuǎn)動(dòng)而翻動(dòng)。
[0031 ]所述電極2設(shè)置在所述真空艙體I內(nèi)部上端，固定在絕緣柱9。
[0032]所述電極2作為陽(yáng)極，真空艙體I作為陰極。
[0033]所述傳動(dòng)軸5的上側(cè)設(shè)置有真空栗接口8，下側(cè)設(shè)置有高頻電源入口 10。
[0034]所述真空艙體I的外部上端設(shè)置有處理氣體接口11。
[0035]在進(jìn)行等離子處理時(shí)，關(guān)閉真空艙門，真空艙體I被抽真空至0.1?0.6mbar以達(dá)到等離子發(fā)生時(shí)所需要的真空度，啟動(dòng)處理氣體輸入，并維持真空度保持穩(wěn)定。啟動(dòng)設(shè)定好了功率的射頻電源，這時(shí)與射頻電源連接的電極2帶電，并電離處理氣體，產(chǎn)生等離子，等離子充滿整個(gè)真空艙體I包括粉末瓶3內(nèi)部，并轟擊裸露在表面的粉末或小顆粒樣品。啟動(dòng)電機(jī)，粉末瓶3開始旋轉(zhuǎn)，粉末或小顆粒產(chǎn)品在粉末瓶3內(nèi)翻滾，裸露在表面的粉末或小顆粒產(chǎn)品被等離子轟擊并得到處理。為了保證粉末或小顆粒產(chǎn)品得到充分處理，粉末瓶3內(nèi)粉末或小顆粒產(chǎn)品裝入量不宜超過粉末瓶3容積的30%，同時(shí)處理時(shí)間要足夠長(zhǎng)，以使處理充分。達(dá)到處理時(shí)間后，關(guān)閉電機(jī)和射頻電源，粉末瓶3停止旋轉(zhuǎn)。通入空氣以使真空艙體I內(nèi)的真空與大氣連通，使真空艙體I內(nèi)恢復(fù)常壓。打開艙門，將粉末瓶3從粉末瓶裝卡系統(tǒng)6上取下拿出，將處理后的粉末或小顆粒產(chǎn)品倒出，完成處理。
[0036]本實(shí)用新型的有益效果是:由于抽真空的口一般接在真空艙體的后部，而粉末瓶的開口向前，同時(shí)開口較小，這樣在抽真空時(shí)粉末或小顆粒就不會(huì)被真空栗抽走，又能夠使真空艙體和粉末瓶?jī)?nèi)得到需要的真空度;等離子處理開始時(shí)同時(shí)啟動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)，這樣粉末或小顆粒材料在粉末瓶?jī)?nèi)處于翻滾狀態(tài)，使得粉末或小顆粒材料都有暴露在等離子輝光之下的機(jī)會(huì)，粉末或小顆粒材料得到均勻處理，同時(shí)因?yàn)榉勰┢啃D(zhuǎn)，粉末或小顆粒隨著粉末瓶旋轉(zhuǎn)而翻滾，粉末或小顆粒材料也不會(huì)板結(jié)；因?yàn)榉勰┎粫?huì)被真空栗抽到粉末瓶外面，也就不會(huì)進(jìn)入真空栗內(nèi)部，從而保障了真空栗的順利使用；本實(shí)用新型的裝置同樣適用于其它真空設(shè)備，如真空鍍膜設(shè)備、真空干燥機(jī)、真空沉積設(shè)備、真空清洗機(jī)等;裝置使用的零件均可現(xiàn)成采購(gòu)，易于實(shí)現(xiàn)。
[0037]以上結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)說明，但本實(shí)用新型不限于上述實(shí)施方式，凡依據(jù)本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實(shí)用新型的涵蓋范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于:包括真空艙體(I)、電極(2)、粉末瓶(3)和傳動(dòng)軸(5);所述傳動(dòng)軸(5)—端通過專用的磁流體密封裝置(7)伸入真空艙體(1)內(nèi)，伸入真空艙體(I)內(nèi)部的一端設(shè)置有安裝法蘭(12)和粉末瓶裝卡系統(tǒng)(6);所述安裝法蘭(12)和粉末瓶裝卡系統(tǒng)(6)依靠固定螺栓固定并連為一體;所述粉末瓶(3)設(shè)置在所述真空艙體(I)內(nèi)部，其底部向內(nèi)，并卡接固定于所述粉末瓶裝卡系統(tǒng)(6)，使粉末瓶(3)為懸臂結(jié)構(gòu)，所述粉末瓶(3)的瓶口向外。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述粉末瓶(3)的瓶口直徑小于瓶身徑向尺寸，瓶口設(shè)置有透氣型瓶蓋(4)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述粉末瓶(3)為四方形或六角形，可從所述粉末瓶裝卡系統(tǒng)(6)取下。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)軸(5)在真空艙體外的另一端連接電機(jī)和減速機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸連接減速機(jī)的輸入軸，所述減速機(jī)的輸出軸連接所述傳動(dòng)軸(5)而提供旋轉(zhuǎn)動(dòng)力，電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，旋轉(zhuǎn)就會(huì)通過減速機(jī)-傳動(dòng)軸(5)-粉末瓶裝卡系統(tǒng)(6)傳遞至所述粉末瓶(3)，并以粉末瓶(3)軸為中心旋轉(zhuǎn)。5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述粉末瓶(3)轉(zhuǎn)速為0.1?lOOrpm。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述電極(2)設(shè)置在所述真空艙體(I)內(nèi)部上端，固定在絕緣柱(9)。7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述電極(2)作為陽(yáng)極，真空艙體(I)作為陰極。8.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)軸(5)的上側(cè)設(shè)置有真空栗接口(8)，下側(cè)設(shè)置有高頻電源入口(10)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述真空艙體(I)的外部上端設(shè)置有處理氣體接口( 11)。
【文檔編號(hào)】H01J37/32GK205582881SQ201620340829
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年4月21日
【發(fā)明人】鄭亮
【申請(qǐng)人】鄭亮