液體材料的滴下方法以及裝置的制造方法
【專利說明】液體材料的滴下方法以及裝置
[0001]本申請是申請?zhí)枮?00880119046.8，申請日為2008年10月27日，發(fā)明名稱為“液體材料的滴下方法以及裝置”的中國專利申請的分案申請。
技術領域
[0002]本發(fā)明涉及液體材料的滴下方法、程序以及裝置，更詳細地說，涉及如下方法、程序以及裝置:對規(guī)則排列的多個相同面板(也稱為工件)的一片基板，在與基板的被滴下面相對向的面內(nèi)使滴下裝置平行地移動，橫越存在于各面板間的非滴下對象區(qū)域，從基板的一端至另一端途中不停止地一邊使滴下裝置以直線路徑移動一邊僅在滴下對象區(qū)域滴下液體材料。
【背景技術】
[0003]以往，在貼合二片相對向的基板，而在其間形成液晶層的面板(cell)的步驟中，使用在貼合二片基板后使用真空槽注入液晶的方法(真空注入法)。
[0004]但是，對大型的面板來說，也存在僅注入時間就要花費一天以上的情況。因此，近年來，隨著面板的大型化對提高生產(chǎn)性的要求等，一種在貼合前在一邊的基板上滴下液晶后再貼合的方法(滴下注入法)引起人們的注意。該方法由于不需要真空注入法所需的注入口，因此可節(jié)省注入口堵塞的密封步驟，并且可縮短注入時間，因此，格外提高生產(chǎn)性。
[0005]在一片基板上排列多個面板時，以多個吐出頭來實施滴下作業(yè)。在一片基板上排列多行、多列的面板時，從控制上的觀點等，一般在和行(或列)平行的一條直線上配設和行(或列)相同數(shù)量或大約數(shù)量的滴下頭，而在每一列(或每一行)的列方向(或行方向)使其動作而實施滴下作業(yè)。
[0006]該滴下注入法除了數(shù)十英寸大小的大型面板外，也被使用于制造數(shù)英寸大小的小型面板的步驟。
[0007]作為液狀物質滴下裝置，例如有在專利文獻I所揭示的液狀物質滴下裝置，其包括:可檢測出液狀物質供給部件和基板的相對位置的部件；以及依照所檢測出的位置信息而控制液狀物質的吐出時機的控制部件；利用控制部件對吐出時機的控制，在使液狀物質供給部件和基板作相對移動的期間中實施；并且，以根據(jù)滴下位置間隔所決定的液狀物質供給部件和基板的相對移動速度以及吐出時間間隔，使液狀物質供給部件和基板作相對移動；并且，液狀物質供給部件具有多個儲備室，同時，其具有使液狀物質的取出與吐出并行動作的部件。
[0008]專利文獻1:日本專利第3973209號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0009](發(fā)明要解決的問題)
[0010]如專利文獻1，當使噴嘴和基板一邊相對移動一邊實施滴下動作時，存在噴嘴的移動速度受到吐出工作時間(cycle time)(實施I滴吐出所需要的時間)和滴下點間距離的限制的問題。例如，吐出工作時間(f。)為0.2秒，最小滴下點間距離(L。)為1mm時，噴嘴的最大移動速度為50_/秒(=L0/f0)。
[0011]S卩，在滴下點間距離有長短的滴下圖案的情況下，當依據(jù)最小滴下距離LJ滴下點間距離中最短的距離)算出噴嘴的移動速度時，則滴下點間距離在長的部位的移動時間變成障礙而有生產(chǎn)性降低的問題。雖然也不是不能使基板上的噴嘴的移動速度可變，但是因為控制液體材料的落下點非常困難，因此，必需使基板上的噴嘴的移動速度維持一定。例如，在滴下點間距離LI為10mm，而滴下點間距離L2為20mm的滴下圖案的情況下，由于最小滴下距離為10mm，因此，必需以50mm/秒移動噴嘴。像這樣，當?shù)蜗曼c間距離L2比LI大一定程度以上時，則其對生產(chǎn)性的影響很大。
[0012]特別是像小型面板那樣在一片基板上排列多數(shù)個面板時，則滴下數(shù)必然變多，而各滴下點間的間隔變狹窄，在該情況下則其生產(chǎn)性的降低很明顯。當對一片基板不浪費空間地排列面板時，則面板間的距離也變狹窄，由于滴下點間隔變狹窄，因此，也存在同樣的問題。
[0013]為了解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供在使噴嘴和基板以一定速度一邊相對移動一邊實施液體材料的滴下的技術中，可使噴嘴的移動速度高速化，并且可提高生產(chǎn)性的液體材料的滴下方法、程序以及裝置。
[0014](解決技術問題的技術方案)
[0015]本發(fā)明第I方面的液體材料的滴下方法，在基板上排列多個具有滴下點的工件，在多個工件上以吐出裝置所具有的噴嘴在直線路徑多次縱越或橫越的方式，使噴嘴和基板以一定速度一邊相對移動一邊滴下液體材料，所述液體材料的滴下方法的特征在于，在各個直線路徑當?shù)蜗曼c間的最短距離(L。)不同時，算出在一個直線路徑中滴下點間的最短距離(Lci)以及吐出裝置實施一次吐出所需要的時間(fj，并依照LcZfci在各個直線路徑設定噴嘴和基板的相對移動速度。
[0016]本發(fā)明第2方面的液體材料的滴下方法的特征在于，在本發(fā)明第I方面中，在工件具有多個滴下點的情況下，在噴嘴的一個直線路徑的移動中，對一個工件設定一次吐出的滴下順序，并依照其滴下順序中的最短距離(L。)設定噴嘴和基板的相對移動速度。
[0017]本發(fā)明第3方面的液體材料的滴下方法，在基板上排列多個具有多個滴下點的工件，在多個工件上以吐出裝置所具有的噴嘴在直線路徑多次縱越或橫越的方式，使噴嘴和基板以一定速度一邊相對移動一邊滴下液體材料，所述液體材料的滴下方法的特征在于，在噴嘴的一個直線路徑的移動中，對一個工件設定一次吐出的滴下順序，算出在其滴下順序中的最短距離(Lci)以及吐出裝置實施一次吐出所需要的時間(O，并依照LcZfci設定噴嘴和基板的相對移動速度。
[0018]本發(fā)明第4方面的液體材料的滴下方法的特征在于，在本發(fā)明第2或第3方面中，當噴嘴在一行或一列的滴下點上以直線路徑移動時，在一個工件中僅以和一行或一列的滴下點數(shù)相同的次數(shù)，設定噴嘴以直線路徑在一行或一列移動的滴下順序。
[0019]本發(fā)明第5方面的液體材料的滴下方法的特征在于，在本發(fā)明第I至4的任一方面中，算出在基板上的縱方向以直線路徑移動所需要的時間以及在基板上的橫方向以直線路徑移動所需要的時間，并依照其來決定直線路徑的移動方向。
[0020]本發(fā)明第6方面的程序，用于使液體材料的滴下裝置實施本發(fā)明第I至5的任一方面的液體材料的滴下方法。
[0021]本發(fā)明第7方面的液體材料的滴下裝置，具備有:具有可吐出液體材料的噴嘴的吐出裝置；載置基板的平臺；可使吐出裝置和平臺相對移動的驅動機構；以及可控制這些動作的控制部；所述液體材料的滴下裝置的特征在于，當所述控制部在排列于基板上的具有滴下點的多個工件上，以吐出裝置所具有的噴嘴在直線路徑多次縱越或橫越的方式使噴嘴和基板以一定速度一邊相對移動一邊滴下液體材料時，在各個直線路徑當?shù)蜗曼c間的最短距離(Lci)不同時，算出在一個直線路徑中滴下點間的最短距離(Lci)以及吐出裝置實施一次吐出所需要的時間(fj，并依照1^/%在各個直線路徑設定噴嘴和基板的相對移動速度。
[0022]本發(fā)明第8方面的液體材料的滴下裝置的特征在于，在本發(fā)明第7方面中，在工件具有多個滴下點的情況下，所述控制部在噴嘴的一個直線路徑的移動中，對一個工件設定一次吐出的滴下順序，并依照其滴下順序中的最短距離(Lci)設定噴嘴和基板的相對移動速度。
[0023]本發(fā)明第9方面的液體材料的滴下裝置，具備有:具有可吐出液體材料的噴嘴的吐出裝置；載置基板的平臺；可使吐出裝置和平臺相對移動的驅動機構；以及可控制這些動作的控制部；所述液體材料的滴下裝置的特征在于，當所述控制部在排列于基板上的具有多個滴下點的多個工件上，以吐出裝置所具有的噴嘴在直線路徑多次縱越或橫越的方式使噴嘴和基板以一定速度一邊相對移動一邊滴下液體材料時，在噴嘴的一個直線路徑的移動中，對一個工件設定一次吐出的滴下順序，算出在其滴下順序中的最短距離(L。)以及吐出裝置實施一次吐出所需要的時間(f。)，并依照LcZfci設定噴嘴和基板的相對移動速度。
[0024]本發(fā)明第10方面的液體材料的滴下裝置的特征在于，在本發(fā)明第8或第9方面中，當噴嘴在一行或一列的滴下點上以直線路徑移動時，所述控制部在一個工件中僅以和一行或一列的滴下點數(shù)相同的次數(shù)，設定噴嘴以直線路徑在一行或一列移動的滴下順序。
[0025]本發(fā)明第11方面的液體材料的滴下裝置的特征在于，在本發(fā)明第7至10的任一方面中，所述控制部算出在基板上的縱方向以直線路徑移動所需要的時間以及在基板上的橫方向以直線路徑移動所需要的時間，并依照其來決定直線路徑的移動方向。
[0026]本發(fā)明第12方面的液體材料的滴下裝置的特征在于，在本發(fā)明第7至11的任一方面中，所述吐出裝置使與連通于具有吐出口的噴嘴的計量部內(nèi)面密接滑動的柱塞，以所希望量移動而吐出液體材料。
[0027](發(fā)明的效果)
[0028]根據(jù)本發(fā)明，能夠使噴嘴的移動速度增大，并且能夠使滴下涂布的生產(chǎn)性提高。
【附圖說明】
[0029]圖1表不本發(fā)明的滴下圖案例的說明圖。
[0030]圖2是說明現(xiàn)有的方法的滴下路徑圖。
[0031]圖3是說明本發(fā)明的第一方式的滴下路徑圖。
[0032]圖4是說明本發(fā)明的第二方式的滴下路徑圖。
[0033]圖5是實施本實施例的方法的滴下裝置的概略斜視圖。