技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種運(yùn)動(dòng)體的測(cè)量和初始化裝置，用于測(cè)量運(yùn)動(dòng)體在X、Y及Rz方向的位移以及對(duì)運(yùn)動(dòng)體進(jìn)行初始化復(fù)位，包括三組二維測(cè)量機(jī)構(gòu)、設(shè)于每組二維測(cè)量機(jī)構(gòu)上的解耦機(jī)構(gòu)、以及四組初始復(fù)位機(jī)構(gòu)，其中兩組二維測(cè)量機(jī)構(gòu)位于運(yùn)動(dòng)體的X方向上，另外一組二維測(cè)量機(jī)構(gòu)位于運(yùn)動(dòng)體的Y方向上，每組二維測(cè)量機(jī)構(gòu)包括與運(yùn)動(dòng)體連接的兩個(gè)相互垂直的移動(dòng)副以及一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)副；解耦機(jī)構(gòu)與轉(zhuǎn)動(dòng)副和其中一個(gè)移動(dòng)副連接；兩組初始復(fù)位機(jī)構(gòu)位于運(yùn)動(dòng)體的X方向上，另外兩組初始復(fù)位機(jī)構(gòu)位于運(yùn)動(dòng)體的Y方向上。本發(fā)明既能實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)體Rx、Ry及Z方向的解耦，又能實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)體初始化復(fù)位，有效提高了測(cè)量的精度和測(cè)量裝置的穩(wěn)定性以及工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：劉屈武;李進(jìn)春
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司
文檔號(hào)碼：201510731086
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.30
技術(shù)公布日：2017.05.10