元件基板的制造方法
【專利摘要】在本發(fā)明的陣列基板（20）的制造方法中，進(jìn)行配線形成工序，在玻璃基板（GS）上，以跨越玻璃基板（GS）的第1區(qū)域（A1）和與第1區(qū)域（A1）的外側(cè)相鄰的第2區(qū)域（A2）的形式形成多個(gè)源極配線（27），以跨越第2區(qū)域（A2）和與第1區(qū)域（A1）的外側(cè)相鄰且與第2區(qū)域（A2）相鄰的第3區(qū)域（A3）的形式形成多個(gè)第1源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線（45A），在第2區(qū)域（A2）形成連接源極配線（27）和第1源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線（45A）的多個(gè)第1配線連接部（49），以跨越第1區(qū)域（A1）和第3區(qū)域（A3）的形式形成電容配線主干（43）和共用配線（44），在第3區(qū)域（A3）形成連接第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線（45B）、電容配線主干（43）和共用配線（44）以及第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線（45B）的第2配線連接部（50）。
【專利說明】元件基板的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及元件基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]用于液晶顯不裝置的液晶面板是在一對(duì)玻璃基板間夾持有液晶層的構(gòu)成，其中的一方玻璃基板是作為用于控制各像素的動(dòng)作的有源元件而形成有TFT的陣列基板。在該陣列基板的顯示區(qū)域以格子狀設(shè)有多個(gè)柵極配線和源極配線，具有在柵極配線與源極配線的交叉部設(shè)有TFT的構(gòu)成。另一方面，在包圍陣列基板的顯示區(qū)域的非顯示區(qū)域，設(shè)有用于在陣列基板的制造工序中檢查柵極配線、源極配線的斷線、短路的檢查配線、用于將檢查配線與各配線連接的的配線連接部以及與檢查配線連接而可輸入檢查信號(hào)的檢查輸入部等。這些檢查配線、配線連接部和檢查輸入部在經(jīng)過陣列基板的制造工序中的檢查工序之后被除去。此外，如上述那樣的陣列基板的制造方法被記載于下述專利文獻(xiàn)I。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)_4] 專利文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)1:特開2002-90424號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

_6] 發(fā)明要解決的問題
[0007]然而，如果能縮小陣列基板中的非顯示區(qū)域的面積，則能使顯示區(qū)域的面積變大與其相應(yīng)的量，因此在謀求大畫面化的方面是有用的。另外，陣列基板是從大型的母玻璃取出多個(gè)而制造的，因此如果使各陣列基板的非顯示區(qū)域的面積變小，則能使各個(gè)陣列基板的外形變小，由此能增加從母玻璃取出的個(gè)數(shù)。然而，單使非顯示區(qū)域的面積變小會(huì)減小檢查配線、配線連接部和檢查輸入部的配置空間，因此有可能產(chǎn)生無法充分確保檢查配線的線寬度、檢查輸入部的面積等的問題，對(duì)于縮小非顯示區(qū)域的面積存在極限。
[0008]本發(fā)明是基于上述情況而完成的，目的在于提供適于使元件基板的外周側(cè)的區(qū)域窄小化的制造方法。
_9] 用于解決問題的方案
[0010]在本發(fā)明的第I元件基板的制造方法中，進(jìn)行如下工序:配線形成工序，在基板上，以跨越上述基板中的第I區(qū)域和與上述第I區(qū)域的外側(cè)相鄰的第2區(qū)域的形式形成多個(gè)第I配線，以跨越上述第2區(qū)域和與上述第I區(qū)域的外側(cè)相鄰且與上述第2區(qū)域相鄰的第3區(qū)域的形式形成多個(gè)第I檢查配線，在上述第2區(qū)域形成連接上述第I配線和上述第I檢查配線的多個(gè)第I配線連接部，以跨越上述第I區(qū)域和上述第3區(qū)域的形式形成第2配線，在上述第3區(qū)域分別形成第2檢查配線以及連接上述第2配線和上述第2檢查配線的第2配線連接部；檢查工序，對(duì)多個(gè)上述第I檢查配線和上述第2檢查配線輸入檢查信號(hào)，由此分別檢查多個(gè)上述第I配線和上述第2配線；以及除去工序，在上述第2區(qū)域和上述第3區(qū)域中至少除去上述第I檢查配線和上述第2檢查配線的至少一部分，由此使上述第I配線和上述第I檢查配線以及上述第2配線和上述第2檢查配線分別為非連接狀態(tài)。
[0011]這樣，一旦通過配線形成工序在基板形成各配線、各檢查配線和各配線連接部，就能通過檢查工序來檢查在各配線中是否產(chǎn)生了斷線、短路。并且，一旦檢查工序結(jié)束，至少能通過除去工序來分別除去各檢查配線的至少一部分，由此能使各配線和各檢查配線分別為非連接狀態(tài)。
[0012]并且，在配線形成工序中，多個(gè)第I檢查配線以跨越基板的第2區(qū)域和第3區(qū)域的形式形成，而將多個(gè)第I檢查配線與多個(gè)第I配線連接的多個(gè)第I配線連接部形成于第2區(qū)域，與第2配線連接的第2檢查配線和第2配線連接部形成于第3區(qū)域，多個(gè)第I配線連接部以及第2檢查配線和第2配線連接部是分開形成的，因此與假設(shè)除了多個(gè)第I檢查配線和多個(gè)第I配線連接部以外還在相同的區(qū)域集約地形成第2檢查配線和第2配線連接部的情況相比，能保證第2區(qū)域和第3區(qū)域的外端與第I區(qū)域的外端之間的距離短。由此，能謀求第2區(qū)域和第3區(qū)域的窄小化，因此能使第I區(qū)域擴(kuò)大該窄小化的量，換言之，能使基板的外形小型化。
[0013]本發(fā)明的第I元件基板的制造方法的實(shí)施方式優(yōu)選如下構(gòu)成。
[0014](I)在上述配線形成工序中，用相同的材料且在同一層形成多個(gè)上述第I檢查配線，而用與上述第I檢查配線不同的材料并且在與上述第I檢查配線隔著絕緣層而不同的層形成上述第2檢查配線。這樣，能采用第I檢查配線和第2檢查配線中的至少一部分彼此重合的配置，因此能以更高密度配置多個(gè)第I檢查配線和第2檢查配線，更適于謀求第2區(qū)域和第3區(qū)域的窄小化。
[0015](2)在上述配線形成工序中，用與上述第2檢查配線相同的材料且在上述第2檢查配線的同一層形成多個(gè)上述第I配線和上述第2配線，在上述絕緣層中的與上述第I配線或者上述第I檢查配線重疊的位置形成開口部，以覆蓋上述開口部的形式形成上述第I配線連接部，上述第I配線連接部連接作為不同的層的上述第I配線和上述第I檢查配線。這樣，以覆蓋形成于絕緣層的開口部的形式形成第I配線連接部，由此能良好地連接處于不同的層的第I配線和第I檢查配線。另外，第2配線和第2檢查配線為相同的材料且形成于同一層，因此能利用第2配線連接部良好地連接。
[0016](3)在上述配線形成工序中，形成像素電極，并且用與上述像素電極相同的材料且在上述像素電極的同一層形成上述第I配線連接部。這樣，能在形成像素電極時(shí)也形成第I配線連接部，因此能謀求制造成本的減少。
[0017](4)在上述配線形成工序中，形成與多個(gè)上述第I檢查配線和上述第2檢查配線連接的ESD保護(hù)電路。這樣，能利用ESD保護(hù)電路來保護(hù)多個(gè)第I檢查配線和第2檢查配線免受ESD (靜電放電)。
[0018](5)在上述配線形成工序中，形成晶體管作為上述ESD保護(hù)電路，上述晶體管將多個(gè)上述第I檢查配線彼此連接并且將上述第I檢查配線和上述第2檢查配線連接，并且上述晶體管的閾值電壓與在上述檢查工序中輸入上述第I檢查配線和上述第2檢查配線的上述檢查信號(hào)的電壓值相比較高。這樣，在檢查工序中對(duì)第I檢查配線和第2檢查配線中的任一方輸入檢查信號(hào)時(shí)，其電壓值與作為ESD保護(hù)電路的晶體管的閾值電壓相比相對(duì)較低，因此避免了檢查信號(hào)流到第I檢查配線和第2檢查配線中另一方側(cè)。因此，能正常地進(jìn)行各配線的檢查。另一方面，在對(duì)任一檢查配線施加超過晶體管的閾值電壓的ESD電壓的情況下，通過晶體管對(duì)其它檢查配線也施加ESD電壓，由此能防止在各檢查配線和各配線間產(chǎn)生電位差。
[0019](6)在上述配線形成工序中，至少形成一對(duì)與上述第2區(qū)域的外端平行的上述第I檢查配線作為多個(gè)上述第I檢查配線，并且形成多個(gè)上述第I配線連接部，上述第I配線連接部配置在與上述第2區(qū)域的外端平行的至少一對(duì)上述第I檢查配線之間，并且沿著其延伸方向并排。這樣，能進(jìn)一步縮短第2區(qū)域的外端與第I區(qū)域的外端之間的距離，能謀求第2區(qū)域的進(jìn)一步窄小化。
[0020](7)在上述配線形成工序中，至少形成一對(duì)與上述第2區(qū)域的外端平行的上述第I檢查配線作為多個(gè)上述第I檢查配線，并且在夾著與上述第2區(qū)域的外端平行的至少一對(duì)上述第I檢查配線中的任一個(gè)的位置形成多個(gè)上述第I配線連接部。這樣，在與第2區(qū)域的外端平行的至少一對(duì)第I檢查配線的延伸方向上能以窄間距配置多個(gè)第I配線連接部，因此能在上述一對(duì)第I檢查配線的延伸方向上使第2區(qū)域窄小化。
[0021]在本發(fā)明的第2元件基板的制造方法中，進(jìn)行如下工序:配線形成工序，在基板上，以跨越上述基板中的非除去區(qū)域和與上述非除去區(qū)域的外側(cè)相鄰的第I除去區(qū)域的形式形成配線，以跨越上述第I除去區(qū)域和與上述非除去區(qū)域的外側(cè)相鄰且與上述第I除去區(qū)域相鄰的第2除去區(qū)域的形式形成檢查配線，在上述第I除去區(qū)域形成連接上述配線和上述檢查配線的配線連接部，以跨越上述非除去區(qū)域和上述第2除去區(qū)域的形式形成與上述檢查配線連接的檢查輸入部；檢查工序，對(duì)上述檢查輸入部輸入檢查信號(hào)，由此通過上述檢查配線檢查上述配線；以及除去工序，在上述第I除去區(qū)域和上述第2除去區(qū)域中至少除去上述檢查配線的至少一部分和上述配線連接部，由此使上述配線和上述檢查配線為非連接狀態(tài)，并且除去上述檢查輸入部的一部分。
[0022]這樣，一旦通過配線形成工序在基板上形成了配線、檢查配線、配線連接部和檢查輸入部，就能通過檢查工序來檢查在各配線中是否產(chǎn)生了斷線、短路。并且，一旦檢查工序結(jié)束，就通過除去工序除去至少檢查配線的至少一部分和配線連接部，由此使配線和檢查配線為非連接狀態(tài)，并且除去檢查輸入部的一部分。
[0023]另外，在配線形成工序中，檢查配線以跨越基板中的第I除去區(qū)域和第2除去區(qū)域的形式形成，而將檢查配線與配線連接的配線連接部則形成于第I除去區(qū)域，通過與檢查配線連接而可輸入檢查信號(hào)的檢查輸入部則形成于第2除去區(qū)域，上述配線連接部和檢查輸入部是分開形成的，因此與假設(shè)除了檢查配線和配線連接部以外還在相同的區(qū)域集約地形成檢查輸入部的情況相比，能保證第I除去區(qū)域和第2除去區(qū)域的外端與非除去區(qū)域的外端之間的距離短。由此，能謀求第I除去區(qū)域和第2除去區(qū)域的窄小化，因此能使非除去區(qū)域擴(kuò)大該窄小化的量，換言之，能使基板的外形小型化。而且，檢查輸入部從第I除去區(qū)域擴(kuò)大到非除去區(qū)域，因此與假設(shè)僅形成于第I除去區(qū)域的情況相比，能確保充分大的面積。由此，在檢查工序中，能提高在進(jìn)行對(duì)檢查輸入部輸入檢查信號(hào)的作業(yè)時(shí)的作業(yè)性，另外也適于謀求檢查工序的設(shè)備成本的低廉化。
[0024]在本發(fā)明的第3元件基板的制造方法中，進(jìn)行如下工序:配線形成工序，在基板上，以跨越上述基板的內(nèi)周側(cè)區(qū)域和一對(duì)外周側(cè)區(qū)域的形式形成至少一對(duì)配線，上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域配置為從兩外側(cè)夾著上述內(nèi)周側(cè)區(qū)域，在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中的一方外周側(cè)區(qū)域形成與上述至少一對(duì)配線中的一方配線的一端側(cè)連接的一方檢查配線，在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中的另一方外周側(cè)區(qū)域形成與上述至少一對(duì)配線中的另一方配線的另一端側(cè)連接的另一方檢查配線；檢查工序，對(duì)上述一方檢查配線和上述另一方檢查配線輸入檢查信號(hào)，由此檢查上述至少一對(duì)配線；以及除去工序，在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中，至少分別除去上述一方檢查配線和上述另一方檢查配線的至少一部分，由此使上述一方配線和上述一方檢查配線以及上述另一方配線和上述另一方檢查配線分別為非連接狀態(tài)。
[0025]這樣，一旦通過配線形成工序在基板上形成各配線和各檢查配線，就能通過檢查工序來檢查在各配線中是否產(chǎn)生了斷線、短路。并且，一旦檢查工序結(jié)束，就能通過除去工序至少分別除去各檢查配線的至少一部分，由此能使各配線和各檢查配線為非連接狀態(tài)。
[0026]另外，在配線檢查工序中，與一方配線的一端側(cè)連接的一方檢查配線配置在以從兩外側(cè)夾著基板中的內(nèi)周側(cè)區(qū)域的方式配置的一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中的一方外周側(cè)區(qū)域，與另一方配線的另一端側(cè)連接的另一方檢查配線形成于另一方外周側(cè)區(qū)域，因此與假設(shè)在單方外周側(cè)區(qū)域集約地形成兩檢查配線的情況下對(duì)配線的連接結(jié)構(gòu)會(huì)變復(fù)雜化的傾向相比，能使各檢查配線與各配線的連接結(jié)構(gòu)變簡單，并且保證各外周側(cè)區(qū)域的外端與內(nèi)周側(cè)區(qū)域的外端之間的距離短。由此，能謀求各外周側(cè)區(qū)域的窄小化，因此能使內(nèi)周側(cè)區(qū)域擴(kuò)大該該窄小化的量，換言之，能使基板的外形小型化。
[0027]本發(fā)明的第3元件基板的制造方法的實(shí)施方式優(yōu)選如下構(gòu)成。
[0028](I)在上述配線形成工序和上述檢查工序之間進(jìn)行通過分割基板母材來取出多個(gè)上述基板的基板分割工序，在上述配線形成工序中，以跨越上述基板分割工序中的上述基板的分割位置的形式形成上述一方檢查配線和上述另一方檢查配線中的至少一方。這樣，在進(jìn)行基板分割工序之前的階段中，確保在基板母材中以跨越基板的分割位置的形式形成的檢查配線的線寬度足夠大并且其配線電阻低，因此對(duì)于ESD (靜電放電)對(duì)策等是有效的。另外，在經(jīng)過基板分割工序之后，檢查配線存在于直到外周側(cè)區(qū)域的外端位置，因此確保該檢查配線的線寬度大，對(duì)ESD對(duì)策等是有效的。
[0029](2)在上述配線形成工序中，在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中的至少任一方形成第2配線，以跨越上述基板分割工序中的上述基板的分割位置的形式形成與上述第2配線連接的第2檢查配線，在比上述基板分割工序中的上述基板的分割位置靠外側(cè)的區(qū)域形成與上述一方檢查配線或者上述另一方檢查配線和上述第2檢查配線連接的檢查配線連接部，在上述基板分割工序中，隨著從上述基板母材分割上述基板而從上述基板除去上述檢查配線連接部。這樣，在進(jìn)行基板分割工序之前的階段，以跨越基板的分割位置的形式形成的一方檢查配線或者另一方檢查配線和第2檢查配線由檢查配線連接部連接，因此能使相互連接的一方檢查配線或者另一方檢查配線與第2檢查配線的配線電阻更低，對(duì)于ESD對(duì)策等更加有效。
[0030]另外，本發(fā)明的第I至第3元件基板的制造方法的實(shí)施方式優(yōu)選如下構(gòu)成。
[0031 ] (I)在上述配線形成工序中，形成多個(gè)除去檢查輸入部，上述多個(gè)除去檢查輸入部配置在上述基板中的至少一部分在上述除去工序中不被除去的預(yù)定的位置，形成除去檢查連接配線，上述除去檢查連接配線將多個(gè)上述除去檢查輸入部相互連接，且配置在上述基板中的在上述除去工序中被除去的預(yù)定的位置，在進(jìn)行了上述除去工序之后，進(jìn)行基于多個(gè)上述除去檢查輸入部間的通電狀態(tài)判斷上述除去工序是否正常進(jìn)行的上述除去檢查工序。這樣，如果除去工序正常進(jìn)行，除去檢查連接配線被除去，因此在除去檢查工序中多個(gè)除去檢查輸入部間不能通電。另一方面，如果除去工序沒有正常進(jìn)行，除去檢查連接配線沒有被完全除去，因此在除去檢查工序中多個(gè)除去檢查輸入部間能通電。通過這種除去檢查工序能實(shí)現(xiàn)次品的減少。
[0032](2)在上述除去工序中，從上述基板中的外端起涵蓋規(guī)定范圍來進(jìn)行去角。這樣，與假設(shè)在除去工序中分?jǐn)嗷宓耐舛藗?cè)部分來進(jìn)行除去的情況相比，適于謀求基板的第2區(qū)域和第3區(qū)域、第I除去區(qū)域和第2除去區(qū)域或者外周側(cè)區(qū)域的窄小化，而且能使除去工序中所用的裝置的成本低廉化。
[0033](3)在上述除去工序之前進(jìn)行偏振板裝配工序，在上述偏振板裝配工序中，在上述基板的與配線形成面相反側(cè)的面裝配偏振板。這樣，在偏振板裝配工序中，雖然在裝配偏振板時(shí)容易產(chǎn)生靜電，卻能利用形成于基板的各檢查配線來保護(hù)各配線免受ESD (靜電放電)。
[0034]發(fā)明效果
[0035]根據(jù)本發(fā)明，能提供適于使元件基板的外周側(cè)的區(qū)域窄小化的制造方法。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式I的電視接收裝置的概要構(gòu)成的分解立體圖。
[0037]圖2是示出電視接收裝置所具備的液晶顯示裝置的概要構(gòu)成的分解立體圖。
[0038]圖3是概略地示出液晶顯示裝置的截面構(gòu)成的截面圖。
[0039]圖4是概略地示出液晶面板的截面構(gòu)成的截面圖。
[0040]圖5是示出構(gòu)成液晶面板的陣列基板中的顯示區(qū)域的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0041]圖6是示出構(gòu)成液晶面板的CF基板中的顯示區(qū)域的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0042]圖7是圖5的vi1-vii線截面圖。
[0043]圖8是概略地示出構(gòu)成液晶面板的陣列基板中的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0044]圖9是示出陣列基板中的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0045]圖10是示出陣列基板中的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0046]圖11是示出第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0047]圖12是圖11的xi1-xii線截面圖。
[0048]圖13是概略地示出ESD保護(hù)電路的電路構(gòu)成的電路圖。
[0049]圖14是示出液晶面板的制造方法的流程圖。
[0050]圖15是母玻璃的俯視圖。
[0051]圖16是示出實(shí)施方式I的變形例I的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0052]圖17是示出實(shí)施方式I的變形例2的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0053]圖18是示出實(shí)施方式I的變形例3的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0054]圖19是示出實(shí)施方式I的變形例4的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0055]圖20是示出實(shí)施方式I的變形例5的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。[0056]圖21是示出本發(fā)明的實(shí)施方式2的陣列基板中的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0057]圖22是示出本發(fā)明的實(shí)施方式3的陣列基板中的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0058]圖23是示出本發(fā)明的實(shí)施方式4的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0059]圖24是示出實(shí)施方式4的變形例I的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0060]圖25是示出實(shí)施方式4的變形例2的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0061]圖26是示出實(shí)施方式4的變形例3的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0062]圖27是示出實(shí)施方式4的變形例4的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第I配線連接部的平面構(gòu)成的俯視圖。
[0063]圖28是示出本發(fā)明的實(shí)施方式5的陣列基板中的角部的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0064]圖29是概略地示出本發(fā)明的實(shí)施方式6的陣列基板中的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0065]圖30是示出陣列基板中的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0066]圖31是概略地示出本發(fā)明的實(shí)施方式7的陣列基板中的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0067]圖32是示出本發(fā)明的實(shí)施方式8的陣列基板中的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部的配線構(gòu)成的俯視圖。
[0068]圖33是示出本發(fā)明的其它實(shí)施方式(I)的液晶面板的制造方法的流程圖。
[0069]圖34是示出本發(fā)明的其它實(shí)施方式(2)的液晶面板的制造方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0070]<實(shí)施方式I >
[0071]利用圖1至圖15說明本發(fā)明的實(shí)施方式I。在本實(shí)施方式中，舉例示出構(gòu)成液晶顯示裝置10的液晶面板(顯示面板)11中具備的陣列基板20的制造方法。此外，在各附圖的一部分示出了 X軸、Y軸和Z軸，各軸方向描繪為在各附圖中所示的方向。另外，設(shè)圖3所示的上側(cè)為表側(cè)，并且設(shè)該圖下側(cè)為里側(cè)。
[0072]如圖1所示，本實(shí)施方式的電視接收裝置TV構(gòu)成為具備液晶顯示裝置(顯示裝置)
10、以夾著該液晶顯示裝置10的方式收納該液晶顯示裝置10的表里兩機(jī)箱Ca、Cb、電源P、調(diào)諧器T以及臺(tái)座S。液晶顯示裝置10整體上為橫長的方形，如圖2和圖3所示，具備作為顯示面板的液晶面板11和作為外部光源的背光源裝置(照明裝置)12，利用外框13等一體地保持它們。
[0073]首先概略地說明背光源裝置12的構(gòu)成。背光源裝置12是在液晶面板11的背面正下方配置有光源的所謂直下型。背光源裝置12構(gòu)成為具有:底座14，其具有在表側(cè)(光出射側(cè)，液晶面板11側(cè))開口的光出射部；鋪設(shè)于底座14內(nèi)的反射片(反射構(gòu)件)15 ;裝配為覆蓋底座14的光出射部的光學(xué)構(gòu)件16 ;用于保持光學(xué)構(gòu)件16的框架17 ;以在底座14內(nèi)并排的狀態(tài)被收納的多個(gè)冷陰極管(光源)18 ;以及燈支架19，其對(duì)冷陰極管18的端部進(jìn)行遮光，并且自身具備光反射性。
[0074]下面說明液晶面板11。如圖4所示，液晶面板11是在一對(duì)基板20、21間封入有包括作為光學(xué)特性隨著施加電場而變化的物質(zhì)的液晶材料的液晶層22。在液晶面板11中，畫面中央側(cè)的區(qū)域?yàn)槟茱@示圖像的顯示區(qū)域(內(nèi)周側(cè)區(qū)域)AA，而處于畫面外周端側(cè)而包圍顯示區(qū)域AA的框狀(邊框狀)的區(qū)域?yàn)椴荒茱@示圖像的非顯示區(qū)域(外周側(cè)區(qū)域)NAA (參照?qǐng)D8)。此外，在圖8中用點(diǎn)劃線包圍的內(nèi)側(cè)的區(qū)域表示為顯示區(qū)域AA。另外，在兩基板20、21的外面?zhèn)确謩e貼附有表里一對(duì)偏振板23。
[0075]如圖4所示，構(gòu)成液晶面板11的一對(duì)基板20、21中的配置于里側(cè)(背光源裝置12偵D是陣列基板(元件基板，有源矩陣基板)20，配置于表側(cè)(光出射側(cè))是CF基板(相對(duì)基板)21。該陣列基板20和CF基板21是分別在透明的(具有透光性的)玻璃制的基板GS上層疊形成有后述的各種結(jié)構(gòu)物(薄膜)而成的。在制造這些陣列基板20和CF基板21時(shí)，如圖15所示，考慮到生產(chǎn)效率、生產(chǎn)設(shè)備的成本等而采用能取出多個(gè)玻璃基板GS的大型母玻璃(基板母材)MGS，具體地說，通過分割I(lǐng)個(gè)母玻璃MGS來取出合計(jì)9個(gè)玻璃基板GS。此夕卜，在圖15中由點(diǎn)劃線包圍的框表示玻璃基板GS的外形。
[0076]首先概要說明陣列基板20中的顯示區(qū)域AA的構(gòu)成。如圖5所示，在陣列基板20 (玻璃基板GS)的內(nèi)面?zhèn)?液晶層22側(cè)，與CF基板21的相對(duì)面?zhèn)?，配線形成面)的顯示區(qū)域AA中，并排設(shè)有多個(gè)作為具有3個(gè)電極24a?24c的開關(guān)元件的TFT (Thin FilmTransistor:薄膜晶體管)24和像素電極25，并且在這些TFT24和像素電極25的周圍以包圍的方式配設(shè)有呈格子狀的柵極配線26和源極配線27。像素電極25包括ITO (IndiumTin Oxide:銦錫氧化物)、IZ0 (Indium Zinc Oxide:銦鋅氧化物)等透光性導(dǎo)電材料(透明導(dǎo)電材料)。柵極配線26和源極配線27均包括導(dǎo)電性金屬材料。特別是源極配線27為層疊有不同的金屬膜39、40而成的雙層結(jié)構(gòu)，其中下層側(cè)的金屬膜39包括鈦(Ti)，而上層側(cè)的金屬膜40包括鋁(Al)(參照?qǐng)D7)。柵極配線26和源極配線27分別與TFT24的柵極電極24a和源極電極24b連接，像素電極25通過漏極配線34與TFT24的漏極電極24c連接。在陣列基板20設(shè)有與柵極配線26平行并且相對(duì)于像素電極25俯視重疊的電容配線(輔助電容配線，存儲(chǔ)電容配線，Cs配線)33。該電容配線33包括與柵極配線26相同的材料，且在制造工序的同一工序中形成于同一層。電容配線33在Y軸方向上與柵極配線26交替配置。柵極配線26配置在Y軸方向上相鄰的像素電極25之間，而電容配線33配置在橫穿各像素電極25在Y軸方向的大致中央部的位置。另外，在陣列基板20的內(nèi)面?zhèn)刃纬捎杏糜谑挂壕?2中所包含的液晶分子取向的取向膜28 (圖4)。
[0077]下面說明CF基板21中的顯示區(qū)域AA的構(gòu)成的概要。如圖4和圖6所示，在CF基板21 (玻璃基板GS)中的內(nèi)面?zhèn)?液晶層22側(cè)，與陣列基板20的相對(duì)面?zhèn)?的顯示區(qū)域AA，在與陣列基板20側(cè)的各像素電極25俯視重疊的位置并排設(shè)有多個(gè)彩色濾光片。彩色濾光片為呈R (紅色)、G (綠色)、B (藍(lán)色)的各著色部29沿著X軸方向交替排列的配置。另外，各著色部29的外形與像素電極25的外形相似，為俯視縱長的方形。在構(gòu)成彩色濾光片的各著色部29之間形成有用于防止混色的成格子狀的遮光部(黑矩陣)30。遮光部30相對(duì)于陣列基板20側(cè)的柵極配線26、源極配線27和電容配線33俯視重疊配置。另外，在各著色部29和遮光部30的表面設(shè)有與陣列基板20側(cè)的像素電極25相對(duì)的相對(duì)電極31。另外，在CF基板21的內(nèi)面?zhèn)确謩e形成有用于使液晶層22中包含的液晶分子取向的取向膜32。[0078]另外，形成于兩基板20、21的取向膜28、32均為使液晶層22中包含的液晶分子大致垂直取向的垂直取向膜，并且是對(duì)其表面進(jìn)行光取向處理從而能對(duì)液晶分子施加取向限制力的光取向膜。關(guān)于光取向處理，在各基板20、21的制造過程中，在使各取向膜28、32成膜后，從特定的角度對(duì)其表面照射紫外線(UV光)等特定波長區(qū)域的光，由此各取向膜28、32能使液晶分子沿著光的照射方向取向。在該光取向處理中，對(duì)于各取向膜28、32，與各自的面內(nèi)區(qū)域相應(yīng)地使光的照射方向不同，由此以使一對(duì)取向膜28、32相對(duì)的狀態(tài)將I個(gè)像素區(qū)域(例如I個(gè)透明電極25)分割為液晶分子的取向方向相互不同的4個(gè)區(qū)域，即進(jìn)行疇分割。由此，視野角特性平均化，能得到良好的顯示。此外，關(guān)于上述光取向處理，例如能應(yīng)用特開2008-145700號(hào)公報(bào)等記載的技術(shù)。
[0079]在此對(duì)于陣列基板20所具有的結(jié)構(gòu)物中的作為開關(guān)元件的TFT24進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖7所示，TFT24是在成為陣列基板20的玻璃基板GS上依次層疊多個(gè)薄膜的構(gòu)成，具體地說，從下層側(cè)(玻璃基板GS側(cè))起按順序?qū)盈B有:與柵極配線26連接的柵極電極24a、柵極絕緣膜35、半導(dǎo)體膜36、摻雜半導(dǎo)體膜42、與源極配線27連接的源極電極24b和與漏極配線34連接的漏極電極24c、層間絕緣膜(鈍化膜)37、保護(hù)膜38。
[0080]柵極電極24a包括與柵極配線26相同的材料并且與柵極配線26在相同工序中被圖案化在玻璃基板GS的正上方，例如除了鋁(Al)以外還可以由鉻(Cr)、鉭(Ta)、鈦(Ti)、銅(Cu)等的金屬膜單體或者它們的層疊膜形成。如圖5所示，柵極電極24a包括從沿著X軸方向延伸的柵極配線26的與源極配線27的交叉部附近沿著Y軸方向延出的分支線的延出頂端部。柵極絕緣膜35包括例如硅氮化膜(SiNx)，如圖7所示，將柵極電極24a與后述的半導(dǎo)體膜36保持絕緣狀態(tài)。該柵極絕緣膜35不僅在TFT24的形成區(qū)域而且在玻璃基板GS的大致整個(gè)面上為填充狀的圖案。
[0081]半導(dǎo)體膜36例如包括非晶硅(a - Si)，如圖7所示，具有溝道區(qū)域CH，上述溝道區(qū)域CH的一端側(cè)與源極電極24b連接，另一端側(cè)與漏極電極24c連接，由此謀求相互間的導(dǎo)通。摻雜半導(dǎo)體膜42包括例如以高濃度摻雜有磷(P)等n型雜質(zhì)的非晶硅(n + Si)。摻雜半導(dǎo)體膜42沿著半導(dǎo)體膜36延伸，與溝道區(qū)域CH的范圍有關(guān)的部分被除去，隔著該溝道區(qū)域CH配置的一對(duì)的部分構(gòu)成后述的源極電極24b和漏極電極24c的一部分。
[0082]如圖7所示，源極電極24b和漏極電極24c包括與源極配線27和漏極配線34相同的材料，并且通過與源極配線27和漏極配線34相同的工序被圖案化在玻璃基板GS上。源極電極24b和漏極電極24c在X軸方向上隔開規(guī)定的間隔并以相對(duì)狀配置。源極電極24b和漏極電極24c分別隔著柵極絕緣膜35和半導(dǎo)體膜36相對(duì)于柵極電極24a配置在上層側(cè)，并且其一部分(相對(duì)部分)配置在相對(duì)于柵極電極24a俯視重疊的位置，該重疊部分搭在柵極電極24a上。源極電極24b和漏極電極24c是將下層側(cè)(半導(dǎo)體膜36側(cè))的第I導(dǎo)電膜24bl、24cl和上層側(cè)(層間絕緣膜37側(cè))的第2導(dǎo)電膜24b2、24c2層疊的構(gòu)成。下層側(cè)的第I導(dǎo)電膜24bl、24cl分別包括上述摻雜半導(dǎo)體膜42的端部，發(fā)揮對(duì)下層側(cè)的半導(dǎo)體膜36進(jìn)行歐姆接觸的歐姆接觸層的功能。上層側(cè)的第2導(dǎo)電膜24b2、24c2是將不同的金屬膜層疊而成的雙層結(jié)構(gòu)，其中的下層側(cè)的金屬膜39包括鈦(Ti )，而上層側(cè)的金屬膜40包括鋁(Al)。也就是說，源極電極24b和漏極電極24c在具有包括雙層的金屬膜39、40的第2導(dǎo)電膜24b2、24c2這一點(diǎn)與源極配線27是共同的，在具有包括摻雜半導(dǎo)體膜42的第I導(dǎo)電膜24bl、24cl這一點(diǎn)與源極配線27在構(gòu)成上不同。另外，如圖5所示,源極電極24b包括從沿著Y軸方向延伸的源極配線27的與柵極配線26的交叉部附近沿著X軸方向延出的分支線的延出頂端部。
[0083]層間絕緣膜37包括例如硅氮化膜(SiNx)，為與上述柵極絕緣膜35相同的材料。保護(hù)膜38包括作為有機(jī)材料的丙烯酸樹脂(例如聚甲基丙烯酸甲酯樹脂(PMMA))、聚酰亞胺樹脂。因此，該保護(hù)膜38與包括其它無機(jī)材料的柵極絕緣膜35、層間絕緣膜37相比膜厚較厚，并且發(fā)揮平坦化膜的功能。這些層間絕緣膜37和保護(hù)膜38均為不僅在TFT24的形成區(qū)域而且在玻璃基板GS的大體整個(gè)面上為大致填充狀的圖案。層間絕緣膜37和保護(hù)膜38在TFT24的形成區(qū)域外，介于相對(duì)下層側(cè)的源極配線27和漏極配線34與相對(duì)上層側(cè)的像素電極25之間來將它們保持絕緣狀態(tài)。
[0084]在如上所述構(gòu)成的TFT24中，如圖5所示，與漏極電極24c連接的漏極配線34在俯視時(shí)為大致L字型，其一端側(cè)與漏極電極24c連接，而另一端側(cè)與連接到像素電極25的像素連接部41連接。如圖7所示，該漏極配線34形成在柵極絕緣膜35上，包括與源極配線27相同的材料并且為相同的雙層結(jié)構(gòu)，包括:包括鈦(Ti)的下層側(cè)的金屬膜39和包括鋁(Al)的上層側(cè)的金屬膜40。因此，漏極配線34與源極配線27同樣，由源極電極24b和漏極電極24c中的第2導(dǎo)電膜24b2、24c2 (39、40)構(gòu)成，不具有第I導(dǎo)電膜24b1、24cI (42)，在這一點(diǎn)上與它們的構(gòu)成不同。
[0085]下面說明陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA的構(gòu)成。在構(gòu)成陣列基板20的玻璃基板GS的內(nèi)面?zhèn)鹊姆秋@示區(qū)域NAA，如圖8所示，用于驅(qū)動(dòng)TFT24的柵極驅(qū)動(dòng)器(柵極側(cè)驅(qū)動(dòng)部件)GD和源極驅(qū)動(dòng)器(源極側(cè)驅(qū)動(dòng)部件)SD通過各向異性導(dǎo)電膜連接。柵極驅(qū)動(dòng)器GD和源極驅(qū)動(dòng)器SD與未圖示的控制基板連接，將從該控制基板輸出的各種信號(hào)等提供給陣列基板20的各配線，由此能驅(qū)動(dòng)TFT24。在陣列基板20的沿著長邊方向(X軸方向)的一方端部(源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部)沿著X軸方向并排地裝配有3個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD。另一方面，在陣列基板20的沿著短邊方向(Y軸方向)的一對(duì)端部(柵極驅(qū)動(dòng)器GD側(cè)的端部)沿著Y軸方向并排地分別裝配有2個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器GD。
[0086]如圖8所示，在陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA，在顯示區(qū)域AA側(cè)存在的柵極配線26、源極配線27和電容配線33分別延出，其中柵極配線26到達(dá)柵極驅(qū)動(dòng)器⑶的連接部位，源極配線27到達(dá)源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位。也就是說，柵極配線26、源極配線27和電容配線33以跨越顯示區(qū)域AA和非顯示區(qū)域NAA的形式形成。關(guān)于電容配線33，其延出端部配置在比非顯示區(qū)域NAA中的柵極驅(qū)動(dòng)器⑶的連接部位靠內(nèi)側(cè)(顯示區(qū)域AA側(cè))的位置，并且與在此形成的電容配線主干43連接。電容配線主干43分別配置在陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA的沿著短邊方向的兩端部，并且橫穿全部的電容配線33且沿著Y軸方向(與源極配線27并行)延伸，其端部到達(dá)在X軸方向上配置在兩端的各源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位，分別與該源極驅(qū)動(dòng)器SD連接。而且，在陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部，在比各源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位靠內(nèi)側(cè)(顯示區(qū)域AA側(cè))的位置，形成有用于對(duì)CF基板21側(cè)的相對(duì)電極31提供共用電位的共用配線44。在陣列基板20中，與各源極驅(qū)動(dòng)器SD的靠近中央的位置相對(duì)應(yīng)地分別配置有多個(gè)共用配線44，其一端側(cè)與各源極驅(qū)動(dòng)器SD連接，另一方面，另一端側(cè)利用以貫穿液晶層22的形式配置的導(dǎo)電粒子(未圖示)與CF基板21側(cè)的相對(duì)電極31連接。因此，與I個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的源極配線27組在源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位，以通過靠近中央配置的共用配線44而左右分隔的狀態(tài)配置(參照?qǐng)D9)。電容配線主干43和共用配線44均包括與源極配線27相同的材料且在制造工序的同一工序中形成于同一層，具備下層側(cè)的金屬膜39和上層側(cè)的金屬膜40。這樣,從柵極驅(qū)動(dòng)器GD對(duì)柵極配線26、從源極驅(qū)動(dòng)器SD對(duì)源極配線27、電容配線33和共用配線44分別提供各種信號(hào)等。此外，柵極配線26的兩端部分別與兩側(cè)的柵極驅(qū)動(dòng)器GD連接從而被兩側(cè)驅(qū)動(dòng)，而源極配線27僅有一方端部與源極驅(qū)動(dòng)器SD連接從而被單側(cè)驅(qū)動(dòng)。
[0087]另外，如圖9和圖10所示，在陣列基板20的非顯示區(qū)域(外周側(cè)區(qū)域)NAA形成有用于檢查在柵極配線26、源極配線27、電容配線主干43 (電容配線33)和共用配線44中是否產(chǎn)生了斷線、短路等問題的檢查配線45、46。該檢查配線45、46在液晶面板11的制造過程中進(jìn)行的檢查工序中使用，因此在檢查工序結(jié)束后進(jìn)行的去角(除去工序)中從玻璃基板GS上除去至少一部分。而且，在陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA形成有能對(duì)上述檢查配線45、46從外部輸入檢查信號(hào)的檢查輸入部47、48。在檢查配線45、46中，包括與源極配線27、電容配線主干43和共用配線44分別連接的多個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45以及與柵極配線26連接的多個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46。與此相應(yīng)，在檢查輸入部47、48中包括與源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45連接的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47和與柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46連接的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48。如圖9所示，源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47配置于陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的沿著長邊方向的一端部(源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部)。如圖10所示，柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46和柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48分別配置在陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的沿著短邊方向的兩端部(柵極驅(qū)動(dòng)器GD側(cè)的端部)。此外，在圖9和圖10中，線寬度粗并且點(diǎn)的間隔大的點(diǎn)劃線表示玻璃基板GS的外形(外端位置，分?jǐn)辔恢?。
[0088]首先對(duì)于源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖9所示，源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45中包括與源極配線27連接的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和與電容配線主干43或者共用配線44連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B。與此相應(yīng)，在源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47中，包括與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A連接的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A和與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B。在每個(gè)與各源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的源極配線27組中各設(shè)有一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A，合計(jì)設(shè)有6個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A (參照?qǐng)D8)。換言之，對(duì)與I個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的源極配線27組連接著一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A。關(guān)于第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B，分別設(shè)有2個(gè)與分別連接到配置在陣列基板20的長邊方向的兩端的兩源極驅(qū)動(dòng)器SD的電容配線主干43和共用配線44對(duì)應(yīng)的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B，設(shè)有I個(gè)與連接到配置在中央的源極驅(qū)動(dòng)器SD的共用配線44對(duì)應(yīng)的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B，合計(jì)設(shè)有5個(gè)第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B(參照?qǐng)D8)。此外，第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A按與所連接的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A相同的數(shù)目設(shè)置，同樣，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B按與所連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B相同的數(shù)目設(shè)置。
[0089]如圖9所示，I個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A與多個(gè)源極配線27連接，利用分別獨(dú)立設(shè)置的多個(gè)第I配線連接部49與各源極配線27連接。另一方面，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B利用第2配線連接部50與電容配線主干43或者共用配線44連接。詳細(xì)地說，源極配線27具有延出到非顯示區(qū)域NAA中源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位并且與源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的縱長形狀的源極端子部27a，而且具有從源極端子部27a進(jìn)一步向外延長的延長部27b，而從第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A以與上述延長部27b重疊的方式延出形成有枝線45Aa，在這些延長部27b與枝線45Aa的重疊部設(shè)有第I配線連接部49。該源極端子部27a構(gòu)成為利用與像素電極25相同的ITO、IZO等的透明電極材料覆蓋構(gòu)成源極配線27的雙層金屬膜39、40中的下層側(cè)的金屬膜39 (鈦)的表面，不形成上層側(cè)的金屬膜40 (鋁)。此外，第I配線連接部49的詳細(xì)連接結(jié)構(gòu)在后面重新說明。另一方面，電容配線主干43和共用配線44分別具有在非顯示區(qū)域NAA中延出到源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位并且與源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的電容端子部(未圖示)和共用端子部44a。這些電容端子部和共用端子部44a與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B直接連接，由此兼作第2配線連接部50。另外，電容端子部和共用端子部44a構(gòu)成為利用與像素電極25相同的IT0、IZ0等的透明電極材料覆蓋構(gòu)成電容配線主干43和共用配線44的雙層金屬膜39、40中的下層側(cè)的金屬膜39 (鈦)的表面，不形成上層側(cè)的金屬膜40 (鋁)。此外，電容配線主干43和第2配線連接部50的連接結(jié)構(gòu)與圖9所示的共用配線44和第2配線連接部50的連接結(jié)構(gòu)同樣，因此省略圖示。
[0090]如圖9所示，各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47在俯視時(shí)為大致正方形，并且與源極端子部27a相比面積相對(duì)較大。第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A利用第3配線連接部51與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A連接。詳細(xì)地說，從配置在相對(duì)外側(cè)(靠近玻璃基板GS的外端)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A形成有向作為連接對(duì)象的圖9所示的右側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A延出的延出線45Ab，而從第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A形成有以與延出線45Ab重疊的方式伸出的伸出部47Aa，在延出線45Ab和重疊部47Aa的重疊部設(shè)有第3配線連接部51。此外，第3配線連接部51的詳細(xì)連接結(jié)構(gòu)在后面重新說明。對(duì)于配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A，也與上述同樣，形成有向作為連接對(duì)象的圖9所示的左側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A延出的延出線45Ab，而從第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A也形成有伸出部47Aa，它們由第3配線連接部51來實(shí)現(xiàn)連接。另一方面，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B利用第4配線連接部52與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B連接。詳細(xì)地說，從第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B向第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B延出形成有枝線45Ba，并且直接與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B連接，枝線45Ba構(gòu)成第4配線連接部52。
[0091]下面詳細(xì)說明陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45 (第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B)、源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47 (第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B)、第I配線連接部49、第2配線連接部50、第3配線連接部51和第4配線連接部52的配置。首先，如圖9所示，陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的沿著連接著各源極驅(qū)動(dòng)器SD的長邊方向的一端部能區(qū)分為與顯示區(qū)域AA的外側(cè)相鄰的第I區(qū)域(內(nèi)周側(cè)區(qū)域)Al、與第I區(qū)域Al的外側(cè)相鄰的第2區(qū)域(外周側(cè)區(qū)域)A2以及與第I區(qū)域Al的外側(cè)相鄰且與第2區(qū)域A2相鄰的第3區(qū)域(外周側(cè)區(qū)域)A3。也就是說，第I區(qū)域Al為涵蓋陣列基板20的長邊的全長而沿著X軸方向延伸的帶狀，而第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3沿著X軸方向交替并排配置。此夕卜，在圖9中，用線寬度與表示玻璃基板GS的外形的點(diǎn)劃線大致相同且點(diǎn)的間隔較窄的點(diǎn)劃線表示在第I區(qū)域Al、第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3之間進(jìn)行區(qū)分的區(qū)分線。并且，源極配線27以跨越第I區(qū)域Al和第2區(qū)域A2的形式形成，電容配線主干43和共用配線44以跨越第I區(qū)域Al和第3區(qū)域A3的形式形成，第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A以跨越第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3的形式形成，第I配線連接部49形成為位于第2區(qū)域A2，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B、各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47和第2配線連接部50均形成為位于第3區(qū)域A3。另外，第3配線連接部51和第4配線連接部52均配置于第3區(qū)域A3。第2區(qū)域A2與第3區(qū)域A3的位置關(guān)系為，具體地說，配置有共用配線44的一部分的第3區(qū)域A3配置在各源極驅(qū)動(dòng)器SD的大致中央位置，而一對(duì)第2區(qū)域A2以在X軸方向上從兩側(cè)夾住中央側(cè)的第3區(qū)域A3的形式配置，而且配置有電容配線主干43的一部分的第3區(qū)域A3配置在位于陣列基板20的兩端的兩源極驅(qū)動(dòng)器SD的靠近陣列基板20的端部的端部位置。
[0092]詳細(xì)地說，首先，如圖9所示，各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47在第3區(qū)域A3的大致中央位置沿著X軸方向并排配置，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B配置在中央，一對(duì)第
I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A以從其兩側(cè)夾著第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B的形式配置。一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A在第2區(qū)域A2中在Y軸方向上隔開規(guī)定的間隔且相互平行地沿著X軸方向(第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3的外端，玻璃基板GS的外形)延伸，在第3區(qū)域A3中，配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)(第I區(qū)域Al側(cè)，圖9所示的下側(cè))的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A為了繞過上述各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47而以在比各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47靠內(nèi)側(cè)通過的方式彎曲。該配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A的彎曲部分為與3個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47組的外形相似的形狀，并且為通過源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47組和電容配線主干43或者共用配線44之間的配置。此外，配置在相對(duì)外側(cè)(與第I區(qū)域Al側(cè)相反的一側(cè)，圖9所示的上側(cè))的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A在第3區(qū)域A3中也中途不彎曲地沿著X軸方向延伸，在整個(gè)長度上為大致直線狀。第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B在第3區(qū)域A3中，中央側(cè)的大部分配置為沿著X軸方向延伸，在Y軸方向上通過相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47之間并且通過一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A之間，而兩端部向內(nèi)側(cè)彎曲并且橫穿相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A并分別與第2配線連接部50連接。
[0093]如圖9所示，第I配線連接部49在第2區(qū)域A2中在Y軸方向上配置在一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A之間，并且沿著X軸方向(第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A的延伸方向)并列配置有多個(gè)第I配線連接部49。因此，相鄰的第I配線連接部49在Y軸方向上處于部分重合的位置關(guān)系，因此與假設(shè)為不重合的位置關(guān)系的情況相比，Y軸方向上的的配置空間變小。由此，能使沿著X軸方向延伸的帶狀的第2區(qū)域A2的寬度尺寸即第2區(qū)域A2的外端與第I區(qū)域Al的外端之間的距離縮短，從而能實(shí)現(xiàn)第2區(qū)域A2的窄小化。以橫穿并列的多個(gè)第I配線連接部49的形式配置的一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A交替地與各第I配線連接部49 (源極配線27)連接。也就是說，任一方第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A與并列的多個(gè)第I配線連接部49(源極配線27)中的第奇數(shù)個(gè)第I配線連接部49(源極配線27)連接，而另一方第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A則與第偶數(shù)個(gè)第I配線連接部49 (源極配線27)連接。另外，第2配線連接部50以與最靠近第3區(qū)域A3的第I配線連接部49相鄰的方式沿著X軸方向并排配置。換言之，第2配線連接部50位于第3區(qū)域A3中的第2區(qū)域A2側(cè)的端部。
[0094]如上所述，如圖9所示，第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B處于一部分彼此俯視時(shí)重合的位置關(guān)系，形成于相互不同的層并且隔著柵極絕緣膜35而絕緣，因此不會(huì)短路。具體地說，第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A包括與柵極配線26相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層，而第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B包括與源極配線27、電容配線主干43和共用配線44相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層，具備下層側(cè)的金屬膜39和上層側(cè)的金屬膜40。另一方面，3個(gè)各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47均包括與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和源極配線27相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。詳細(xì)地說，各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47構(gòu)成為利用與像素電極25相同的ITO、IZO等的透明電極材料覆蓋構(gòu)成源極配線27的雙層金屬膜39、40中的下層側(cè)的金屬膜39 (鈦)的表面，不形成上層側(cè)的金屬膜40 (鋁)。
[0095]這樣，第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A隔著柵極絕緣膜35與作為連接對(duì)象的源極配線27和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A形成于不同的層，因此連接它們的第I配線連接部49和第3配線連接部51具有如下連接結(jié)構(gòu)。即，如圖11和圖12所示，第I配線連接部49以覆蓋形成于柵極絕緣膜35、層間絕緣膜37和保護(hù)膜38的開口部35a、37a、38a的形式形成，由此連接通過各開口部35a、37a、38a露出的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A的枝線45Aa和源極配線27的延長部27b。該第I配線連接部49包括與在保護(hù)膜38上層疊形成的像素電極25相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。第I配線連接部49和各開口部35a、37a、38a配置在與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A的枝線45Aa和源極配線27的延長部27b的重疊部重疊的位置。各開口部35a、37a、38a中的層間絕緣膜37和保護(hù)膜38的各開口部37a、38a與柵極絕緣膜35的開口部35a相比形成在較大范圍。源極配線27的延長部27b與柵極絕緣膜35的開口部35a相比在較大范圍被部分除去，其除去范圍為包括鋁(Al)的上層側(cè)的金屬膜40比包括鈦(Ti)的下層側(cè)的金屬膜39大。由此，包括與像素電極25相同的ITO的第I配線連接部49構(gòu)成為僅與包括鈦的下層側(cè)的金屬膜39接觸，不與包括鋁的上層側(cè)的金屬膜40直接接觸，因此能防止產(chǎn)生電化腐蝕(galvaniccorrosion),從而能得到高連接可靠性。
[0096]第3配線連接部51也具有與上述第I配線連接部49大致同樣的連接結(jié)構(gòu)，通過各開口部35a、37a、38a連接第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A的延出線45Ab和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A的伸出部47Aa。在該第3配線連接部51中，分別并排配置有3個(gè)開口部35a、37a、38a，并且延出線45Ab與伸出部47Aa的連接部位為3個(gè)部位，這一點(diǎn)與第I配線連接部49不同(參照?qǐng)D9)。另外，在圖11和圖12中，關(guān)于第3配線連接部51的連接結(jié)構(gòu)的附圖標(biāo)記用括號(hào)表示。此外，省略詳細(xì)圖示，與源極配線27配置在同一層的電容配線主干43通過與上述第I配線連接部49同樣的連接結(jié)構(gòu)連接到與柵極配線26配置在同一層的各電容配線33 (參照?qǐng)D10)。
[0097]另外，如圖9所示，沿著X軸方向并列配置的各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47通過ESD保護(hù)電路53相互連接，由此，與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47A連接的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47B連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B通過ESD保護(hù)電路53相互連接。第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A連接著多個(gè)源極配線27，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B分別連接著電容配線主干43或者共用配線44，因此利用ESD保護(hù)電路53連接各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45，由此能保護(hù)與源極配線27連接的TFT24、電容配線主干43和共用配線44免受ESD (靜電放電)導(dǎo)致的高電壓(沖擊電壓)。[0098]如圖13所示，ESD保護(hù)電路53是在相鄰的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47之間并聯(lián)連接有2個(gè)作為晶體管元件的保護(hù)電路用TFT53a而成的。該保護(hù)電路用TFT53a為與配置在陣列基板20的顯示區(qū)域AA的TFT24相同的結(jié)構(gòu)，并且與TFT24在同一工序中一并形成。并聯(lián)連接的2個(gè)保護(hù)電路用TFT53a各自的柵極電極和源極電極與同一條線相連從而為相互相同的電位。并聯(lián)連接的2個(gè)保護(hù)電路用TFT53a連接為，一方保護(hù)電路用TFT53a的柵極電極和源極電極為與另一方保護(hù)電路用TFT53a的漏極電極相同的電位，并且另一方保護(hù)電路用TFT53a的柵極電極和源極電極為與一方保護(hù)電路用TFT53a的漏極電極相同的電位。并且，各保護(hù)電路用TFT53a的閾值電壓比檢查信號(hào)的電壓值高，而比ESD發(fā)生時(shí)施加的電壓值(沖擊電壓值)低。由此，在檢查工序中，在對(duì)各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47輸入檢查信號(hào)的情況下，不驅(qū)動(dòng)保護(hù)電路用TFT53a，由此防止通過ESD保護(hù)電路53在相鄰的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47間流通電流。另一方面，在隨著ESD的發(fā)生而高電壓被施加到源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47的情況下，保護(hù)電路用TFT53a被驅(qū)動(dòng)，并且通過ESD保護(hù)電路53在相鄰的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47間流通電流，由此電流流到全部源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45，從而能保護(hù)與源極配線27連接的TFT24、電容配線主干43和共用配線44。
[0099]下面詳細(xì)說明柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46和柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48。如圖10所示，在陣列基板20的非顯示區(qū)域(外周側(cè)區(qū)域)NAA沿著短邊方向的兩端部配置有一對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46，以從兩側(cè)夾著沿著X軸方向延伸的柵極配線26的形式配置。按每個(gè)與各柵極驅(qū)動(dòng)器GD連接的柵極配線26組分別配置I個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46，合計(jì)設(shè)有4個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46。詳細(xì)地說，柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46在非顯示區(qū)域NAA中配置在比柵極驅(qū)動(dòng)器⑶的連接部位(柵極端子部26a)靠外側(cè)的位置，并且以橫穿各柵極配線26的方式沿著Y軸方向(源極配線27、電容配線主干43)按大致直線延伸。而柵極配線26具有在非顯示區(qū)域NAA中延出到各柵極驅(qū)動(dòng)器GD的連接部位并且與各柵極驅(qū)動(dòng)器GD連接的橫長形狀的柵極端子部26a，而且具有從柵極端子部26a進(jìn)一步向外延長的延長部26b，該延長部26b與柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46連接。在各柵極配線26的兩端部分別形成有一對(duì)柵極端子部26a，并且分別與在X軸方向上裝配在陣列基板20的兩側(cè)的柵極驅(qū)動(dòng)器GD連接，由此能對(duì)柵極配線26進(jìn)行兩側(cè)驅(qū)動(dòng)。該柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46包括與柵極配線26相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層，因此能與柵極配線26的延長部26b直接連接。
[0100]如圖10所示，一對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46與在Y軸方向上并排的多個(gè)柵極配線26交替連接。也就是說，一對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46中的任一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46與第奇數(shù)個(gè)柵極配線26連接，而另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46則與第偶數(shù)個(gè)柵極配線26連接。詳細(xì)地說，各柵極配線26在其兩端部分別具有柵極端子部26a，而延長部26b僅形成在一對(duì)柵極端子部26a中的單方。并且，在第奇數(shù)個(gè)柵極配線26和第偶數(shù)個(gè)柵極配線26中，延長部26b在X軸方向上向相互相反側(cè)延出，換言之，形成延長部26b的柵極端子部26a為相互相反側(cè)。
[0101]按每個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46分別設(shè)有I個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48。如圖10所示，柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48俯視時(shí)為大致正方形，并且與柵極端子部26a相比面積較大。柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48配置在各柵極配線26的相對(duì)于柵極端子部26a和延長部26b在Y軸方向上相鄰的位置，換言之，配置于在X軸方向上重合的位置。柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48配置在相對(duì)于柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46在X軸方向上相鄰的位置，其相鄰側(cè)的端部與柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46連接。柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48包括與柵極配線26相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層，因此能與柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46直接連接。
[0102]在此，說明在液晶面板11的制造過程中進(jìn)行的去角工序中，陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA的結(jié)構(gòu)物的去角范圍(除去范圍)。陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA在去角工序中并不在整個(gè)區(qū)域范圍被除去，而是外周側(cè)的框狀的區(qū)域(從玻璃基板GS的外端涵蓋規(guī)定范圍的區(qū)域)為通過去角被除去的除去區(qū)域RA，而比除去區(qū)域RA靠內(nèi)周側(cè)的框狀的區(qū)域?yàn)椴槐怀サ姆浅^(qū)域NRA。除去區(qū)域RA的大小會(huì)由于去角工序中使用的去角裝置(除去裝置)的處理時(shí)的誤差等而略有變動(dòng)。在圖9和圖10中，用相互平行的2條點(diǎn)劃線(與表示玻璃基板GS的外形的點(diǎn)劃線相比線寬度細(xì)的點(diǎn)劃線)表示，相對(duì)內(nèi)側(cè)的點(diǎn)劃線表示除去區(qū)域RA的最大允許范圍，而相對(duì)外側(cè)的點(diǎn)劃線表示除去區(qū)域RA的最小允許范圍。也就是說，除去區(qū)域RA設(shè)計(jì)為能在圖9和圖10所示的2條點(diǎn)劃線之間的范圍變動(dòng)。
[0103]說明陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部的除去區(qū)域RA和非除去區(qū)域NRA。如圖9所示，除去區(qū)域RA與上述第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3相比在Y軸方向上窄，反之，非除去區(qū)域NRA與第I區(qū)域Al相比在Y軸方向上寬。也就是說，在非除去區(qū)域NRA中，除了第I區(qū)域Al以外還包括第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3的內(nèi)周側(cè)部分。此夕卜，以下，將除去區(qū)域RA中的與第2區(qū)域A2重合的區(qū)域設(shè)為第I除去區(qū)域RAl，將與第3區(qū)域A3重合的區(qū)域設(shè)為第2除去區(qū)域RA2。
[0104]如圖9所示，源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部的除去區(qū)域RA和非除去區(qū)域NRA的分界線為沿著X軸方向的直線狀，并且位于源極端子部27a和第I配線連接部49之間。因此，在非除去區(qū)域NRA中，分別整體地配置有源極端子部27a、源極配線27的主體部分、電容端子部、電容配線主干43、共用端子部44a、共用配線44、第3配線連接部51和ESD保護(hù)電路53，而分別部分地配置起自源極配線27的延長部27b、配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A的彎曲部分、第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47。另一方面，在除去區(qū)域RA中，分別整體地配置有第I配線連接部49和配置于相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A，而分別部分地配置有起自源極配線27的延長部27b、配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A、第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47。也就是說，各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45配置為跨越除去區(qū)域RA中的第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2，而第I配線連接部49配置于第I除去區(qū)域RA1，而且各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47配置為跨越非除去區(qū)域NRA和第2除去區(qū)域RA2。因此，可以說第I配線連接部49和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47分別分開配置于第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2，與假設(shè)將它們集約在相同的區(qū)域的情況相比，能使第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2的寬度尺寸即第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2的外端與非除去區(qū)域NRA的外端之間的距離縮短。而且，各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47從第I除去區(qū)域RAl擴(kuò)大到非除去區(qū)域NRA，因此與假設(shè)僅形成于第I除去區(qū)域RAl的情況相比，能確保足夠大的面積。
[0105]下面說明陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的柵極驅(qū)動(dòng)器GD側(cè)的端部的除去區(qū)域RA和非除去區(qū)域NRA。如圖10所示，除去區(qū)域RA和非除去區(qū)域NRA的分界線為沿著Y軸方向的直線狀，并且位于柵極端子部26a與柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46之間。因此，在非除去區(qū)域NRA中分別整體地配置有柵極端子部26a、柵極配線26的主體部分、電容配線33和電容配線主干43，而分別部分地配置有起自柵極配線26的延長部26b和各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48。另一方面，在除去區(qū)域RA中，整體地配置有柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46，而分別部分地配置有起自柵極配線26的延長部26b和各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48。也就是說，柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48以跨越除去區(qū)域RA和非除去區(qū)域NRA的形式配置，因此與僅形成于除去區(qū)域RA的情況相比，能確保足夠大的面積。
[0106]本實(shí)施方式是如上所述的結(jié)構(gòu)，下面說明其作用。首先，概要說明液晶顯示裝置10的制造方法。在制造液晶顯示裝置10時(shí)，分別單獨(dú)制造液晶面板11和背光源裝置12，通過外框13等將該液晶面板11和背光源裝置12組裝起來。以下詳細(xì)說明液晶面板11的制造方法，特別是陣列基板20的制造方法。
[0107]如圖14所示，在制造液晶面板11時(shí)，分別進(jìn)行在成為陣列基板20的母玻璃MGS上形成各結(jié)構(gòu)物的陣列基板用結(jié)構(gòu)物形成工序(配線形成工序)和在成為CF基板21的母玻璃MGS上形成各結(jié)構(gòu)物的CF基板結(jié)構(gòu)物形成工序之后，進(jìn)行使成為陣列基板20的母玻璃MGS和產(chǎn)生CF基板21的母玻璃MGS隔著液晶層22并貼合的基板貼合工序。然后，進(jìn)行使貼合的母玻璃MGS分?jǐn)鄰亩〕龈饕壕姘?1 (各陣列基板20和各CF基板21)的分?jǐn)喙ば?基板分割工序)之后，進(jìn)行檢查各配線26、27、33、43、44中是否產(chǎn)生了斷線、短路等的檢查工序。然后進(jìn)行對(duì)成為液晶面板11的一對(duì)玻璃基板GS的外面?zhèn)荣N附偏振板23的偏振板貼付工序之后，進(jìn)行通過去角來除去陣列基板20的除去區(qū)域RA中存在的結(jié)構(gòu)物的去角工序(除去工序)。然后，通過進(jìn)行對(duì)陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA安裝柵極驅(qū)動(dòng)器GD和源極驅(qū)動(dòng)器SD的驅(qū)動(dòng)器安裝工序來制造液晶面板11。下面詳細(xì)說明各工序。
[0108]在陣列基板用結(jié)構(gòu)物形成工序中，通過已知的光刻法在成為陣列基板20的母玻璃MGS上依次層疊形成TFT24、各配線26、27、33、43、44、各絕緣膜35、37、38和像素電極25等。在該陣列基板用結(jié)構(gòu)物形成工序中，在非顯示區(qū)域NAA中，在形成柵極配線26時(shí)，一起形成第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A、柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46和柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48等(參照?qǐng)D9和圖10 )。另外，在形成源極配線26時(shí)，一起形成第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47等(參照?qǐng)D9)。另外，在形成像素電極25時(shí)，一起形成第I配線連接部49和第3配線連接部51(參照?qǐng)D12)。另外，在形成TFT24時(shí)，一起形成構(gòu)成ESD保護(hù)電路53的保護(hù)電路用TFT53a (參照?qǐng)D13)。這樣，在陣列基板用結(jié)構(gòu)物形成工序中，除了顯示區(qū)域AA的各配線26、27、33以外，還形成了非顯示區(qū)域NAA的各配線43?47和各配線連接部49?52，可以說在陣列基板用結(jié)構(gòu)物形成工序中包括配線形成工序。在形成像素電極25之后，形成取向膜28，對(duì)該取向膜28進(jìn)行光取向處理。在光取向處理中，通過對(duì)取向膜28從特定的方向按規(guī)定時(shí)間照射紫外線來進(jìn)行處理。這樣，可以說在陣列基板用結(jié)構(gòu)物形成工序中包括取向膜形成工序和光取向處理工序。此外，在CF基板用結(jié)構(gòu)物形成工序中，在依次形成彩色濾光片的各著色部29、遮光部30和相對(duì)電極31之后，形成取向膜32，然后對(duì)該取向膜32與上述同樣地進(jìn)行光取向處理。
[0109]在基板貼合工序中，在一方母玻璃MGS上涂敷密封劑并且滴下液晶材料之后，使另一方母玻璃MGS貼合并且使密封劑固化從而進(jìn)行該工序。在分?jǐn)喙ば?基板分割工序)中，利用照射激光的激光式分?jǐn)嘌b置或者具有銑槽刀的機(jī)械式分?jǐn)嘌b置中的任一種來分?jǐn)噘N合狀態(tài)的母玻璃MGS，取出多個(gè)(在圖15中為9個(gè))液晶面板11。
[0110]在檢查工序中，對(duì)液晶面板11照射來自檢查用的背光源裝置(未圖示)的光，并且使與檢查裝置(未圖示)連接的探針與配置于陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA的各檢查輸入部47、48接觸，從檢查裝置通過各檢查輸入部47、48將檢查信號(hào)輸入到各檢查配線45、46。在此，一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A與并列的多個(gè)源極配線27交替(跳過I個(gè)地)連接，因此在檢查工序中，例如對(duì)相鄰的源極配線27提供不同的檢查信號(hào)。同樣，一對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46與并列的多個(gè)柵極配線26交替連接，因此在檢查工序中，例如對(duì)相鄰的柵極配線26提供不同的檢查信號(hào)。這樣輸入檢查信號(hào)并且操作員對(duì)顯示于液晶面板11的圖像進(jìn)行目視觀察，或者利用拍攝元件拍攝圖像并進(jìn)行圖像處理，由此能檢查有無線缺陷、亮點(diǎn)缺陷、黑點(diǎn)缺陷等由斷線、短路等造成的各種缺陷。此外，具有將相鄰的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47彼此連接的ESD保護(hù)電路53的保護(hù)電路用TFT53a設(shè)定為其閾值電壓比檢查信號(hào)的電壓值大，因此在輸入檢查信號(hào)時(shí)保護(hù)電路用TFT53a不被驅(qū)動(dòng)，由此能防止對(duì)全部的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45輸入相同的檢查信號(hào)的情況。
[0111]在偏振板貼付工序中，在對(duì)一對(duì)玻璃基板GS的外面分別貼付帶壓膜的偏振板23之后，從偏振板23剝離壓膜。因此，在偏振板貼付工序中容易發(fā)生ESD。然而，在陣列基板20中，形成有將相鄰的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47彼此連接的ESD保護(hù)電路53，全部的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45通過ESD保護(hù)電路連接。因此，在偏振板貼付工序中發(fā)生ESD，隨之超過保護(hù)電路用TFT53a的閾值電壓的高電壓被施加到任一源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47的情況下，如圖13所示，ESD保護(hù)電路53中的保護(hù)電路用TFT53a被驅(qū)動(dòng)，并且通過ESD保護(hù)電路53在相鄰的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47間相互流通電流，由此電流流到全部的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45。由此，能保護(hù)與源極配線27連接的TFT24、電容配線主干43和共用配線44免受高電壓。
[0112]在去角工序(除去工序)中，利用磨床等去角裝置(除去裝置)對(duì)液晶面板11中的陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中的除去區(qū)域RA進(jìn)行去角，從而進(jìn)行該工序。在去角中，利用例如研磨材料對(duì)成為陣列基板20的玻璃基板GS的內(nèi)面(配線形成面)側(cè)的外端的角部進(jìn)行研磨等來進(jìn)行除去，此時(shí)也會(huì)同時(shí)除去形成于除去區(qū)域RA的各結(jié)構(gòu)物。在該去角工序中，如圖9所示，陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中配置在源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部的結(jié)構(gòu)物中的配置于第I配線連接部49和相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A分別大致涵蓋整個(gè)區(qū)域地被除去，而起自源極配線27的延長部27b、配置于相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A、第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47分別被部分地除去。同樣，在該去角工序中，如圖10所示，在陣列基板20的非顯示區(qū)域NAA中配置于柵極驅(qū)動(dòng)器GD側(cè)的端部的結(jié)構(gòu)物中的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46大致涵蓋整個(gè)區(qū)域地被除去，而起自柵極配線26的延長部26b和各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部48分別被部分地除去。通過以上過程，多個(gè)源極配線27從通過第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A而短路的狀態(tài)變?yōu)殡姫?dú)立，并且多個(gè)柵極配線26從通過柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46而短路狀態(tài)變?yōu)殡姫?dú)立。
[0113]另外，在進(jìn)行上述去角工序期間，存在外光入射到液晶面板11的可能性，然而在該階段已經(jīng)在液晶面板11的外面貼附有偏振板23。因此，由于偏振板23而外光(特別是紫外線)難以入射到液晶面板11的內(nèi)部，因此防止了取向膜28、32的取向限制由于外光而發(fā)生變化(參照?qǐng)D4)。
[0114]在驅(qū)動(dòng)器安裝工序中，在陣列基板20中的各源極端子部27a、各電容端子部和各共用端子部44a的形成部位涂敷各向異性導(dǎo)電膜，然后熱壓接源極驅(qū)動(dòng)器SD來將源極驅(qū)動(dòng)器SD固定為裝配狀態(tài)。同樣，在驅(qū)動(dòng)器安裝工序中，對(duì)陣列基板20中的各柵極端子部26a的形成部位涂敷各向異性導(dǎo)電膜，然后熱壓接?xùn)艠O驅(qū)動(dòng)器GD來將柵極驅(qū)動(dòng)器GD固定為裝配狀態(tài)。
[0115]如以上說明的那樣，在本實(shí)施方式的陣列基板(元件基板)20的制造方法中進(jìn)行如下工序:配線形成工序，在玻璃基板(基板)GS上以跨越玻璃基板GS的第I區(qū)域Al和與第I區(qū)域Al的外側(cè)相鄰的第2區(qū)域A2的形式形成多個(gè)源極配線(第I配線)27，以跨越第2區(qū)域A2和與第I區(qū)域Al的外側(cè)相鄰且與第2區(qū)域A2相鄰的第3區(qū)域A3的形式形成多個(gè)第
I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(第I檢查配線)45A，在第2區(qū)域A2形成連接源極配線27和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A的多個(gè)第I配線連接部49，以跨越第I區(qū)域Al和第3區(qū)域A3形式形成電容配線主干43 (第2配線)和共用配線44 (第2配線)，在第3區(qū)域A3形成將第
2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(第2檢查配線)45B、電容配線主干43和共用配線44與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B連接的第2配線連接部50 ;檢查工序，對(duì)多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B輸入檢查信號(hào)，由此分別檢查多個(gè)源極配線27以及電容配線主干43和共用配線44 ；以及除去工序，在第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3中，至少除去第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B的至少一部分，由此使源極配線27和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A以及電容配線主干43、共用配線44和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B分別為非連接狀態(tài)。
[0116]這樣，一旦通過配線形成工序在玻璃基板GS形成各配線27、43、44、各檢查配線45A，45B和各配線連接部49，50，就能通過檢查工序來檢查是否在各配線27、43、44中產(chǎn)生了斷線、短路。并且，一旦檢查工序結(jié)束，至少能通過除去工序來分別除去各檢查配線45A、45B的至少一部分，由此能使各配線27、43、44和各檢查配線45A、45B分別為非連接狀態(tài)。
[0117]并且，在配線形成工序中，多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A以跨越玻璃基板GS的第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3形式形成，而將多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A與多個(gè)源極配線27連接的多個(gè)第I配線連接部49形成于第2區(qū)域A2，與電容配線主干43和共用配線44連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和第2配線連接部50形成于第3區(qū)域A3，多個(gè)第I配線連接部49以及第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和第2配線連接部50是分開形成的，因此與假設(shè)除了多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和多個(gè)第I配線連接部49以外還在相同的區(qū)域集約地形成第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B和第2配線連接部50的情況相比，能保證第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3的外端與第I區(qū)域Al的外端之間的距離短。由此，能謀求第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3的窄小化，因此能使第I區(qū)域Al擴(kuò)大該窄小化的量，換言之，能使玻璃基板GS的外形小型化。由此，能提供適于使陣列基板20的外周側(cè)的區(qū)域窄小化的制造方法。
[0118]另外，在配線形成工序中，用相同的材料且在同一層形成多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A，而用與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A不同的材料并且在與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A隔著柵極絕緣膜(絕緣層)35而不同的層形成第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B。這樣，能采取第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B中的至少一部分彼此重合的配置，因此能以更高密度配置多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B，更適于謀求第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3的窄小化。
[0119]另外，在配線形成工序中，用與第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B相同的材料且在同一層形成多個(gè)源極配線27和電容配線主干43和共用配線44，在柵極絕緣膜35中的與源極配線27或者第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A重疊的位置形成開口部35a，以覆蓋開口部35a的形式形成第I配線連接部49，上述第I配線連接部49連接作為不同的層的源極配線27和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A。這樣，以覆蓋形成于柵極絕緣膜35的開口部35a的形式形成第I配線連接部49，由此能良好地連接處于不同的層的源極配線27和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A。另外，電容配線主干43和共用配線44以及第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B為相同的材料且形成于同一層，因此能利用第2配線連接部50良好地連接。
[0120]另外，在配線形成工序中，形成像素電極25并且用與像素電極25相同的材料且在像素電極25的同一層形成第I配線連接部49。這樣，能在形成像素電極25時(shí)也形成第I配線連接部49，因此能謀求制造成本的減少。
[0121]另外，在配線形成工序中，形成與多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B連接的ESD保護(hù)電路53。這樣，能利用ESD保護(hù)電路53來保護(hù)多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B免受ESD (靜電放電)。
[0122]另外，在配線形成工序中，作為ESD保護(hù)電路53而形成保護(hù)電路用TFT (晶體管)53a，上述保護(hù)電路用TFT (晶體管)53a將多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A彼此連接并且與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B分別連接，并且上述保護(hù)電路用TFT53a的閾值電壓與在檢查工序中輸入第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B的檢查信號(hào)的電壓值相比較高。這樣，在檢查工序中對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B中的任一方輸入檢查信號(hào)時(shí)，其電壓值與作為ESD保護(hù)電路53的保護(hù)電路用TFT53a的閾值電壓相比較低，因此避免了檢查信號(hào)流到第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45B中的另一方側(cè)。因此，能正常地進(jìn)行各配線27、43、44的檢查。另一方面，在對(duì)任一源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A、45B施加超過保護(hù)電路用TFT53a的閾值電壓的ESD電壓的情況下，通過保護(hù)電路用TFT53a對(duì)其它源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A、45B也施加ESD電壓，由此能防止源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A、45B和各配線27、43、44間產(chǎn)生電位差。
[0123]另外，在配線形成工序中，作為多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A至少形成一對(duì)與第2區(qū)域A2的外端平行的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A，并且形成多個(gè)第I配線連接部49，使其配置在與第2區(qū)域A2的外端平行的至少一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A之間，并且沿著其延伸方向并排。這樣，能進(jìn)一步縮短第2區(qū)域A2的外端與第I區(qū)域Al的外端之間的距離,能謀求第2區(qū)域A2的進(jìn)一步窄小化。
[0124]另外，在本實(shí)施方式的陣列基板(元件基板)20的制造方法中進(jìn)行如下工序:配線形成工序，在玻璃基板GS上以跨越玻璃基板GS中的非除去區(qū)域NRA和與非除去區(qū)域NRA的外側(cè)相鄰的第I除去區(qū)域RAl的形式形成源極配線(配線)27，以跨越第I除去區(qū)域RAl和與非除去區(qū)域NRA的外側(cè)相鄰且與第I除去區(qū)域RAl相鄰的第2除去區(qū)域RA2的形式形成源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(檢查配線)45，在第I除去區(qū)域RAl形成連接源極配線27和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45的第I配線連接部(配線連接部)49，以跨越非除去區(qū)域NRA和第2除去區(qū)域RA2的形式形成與源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45連接的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部(檢查輸入部)47 ;檢查工序，對(duì)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47輸入檢查信號(hào)，由此通過源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45檢查源極配線27 ；以及除去工序，在第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2中至少除去源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45的至少一部分和第I配線連接部49，由此使源極配線27和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45為非連接狀態(tài)，并且除去源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47的一部分。
[0125]這樣，一旦通過配線形成工序在玻璃基板GS上形成了源極配線27、源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45、第I配線連接部49和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47，就能通過檢查工序來檢查在各源極配線27中是否產(chǎn)生了斷線、短路。并且，一旦檢查工序結(jié)束，就通過除去工序至少除去源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45的至少一部分和第I配線連接部49，由此使源極配線27和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45為非連接狀態(tài)，并且除去源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47的一部分。
[0126]并且，在配線形成工序中，源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45以跨越玻璃基板GS中的第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2的形式形成，而將源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45與源極配線27連接的第I配線連接部49則形成于第I除去區(qū)域RAl，通過與源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45連接而可輸入檢查信號(hào)的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47則形成于第2除去區(qū)域RA2，第I配線連接部49和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47是分開形成的，因此與假設(shè)除了源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45和第I配線連接部49以外還在相同的區(qū)域集約地形成源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47的情況相比，能保證第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2的外端與非除去區(qū)域NRA的外端之間的距離短。由此，能謀求第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2的窄小化，因此能使非除去區(qū)域NRA擴(kuò)大該窄小化的量，換言之，能使玻璃基板GS的外形小型化。而且，源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47從第I除去區(qū)域RAl擴(kuò)大到非除去區(qū)域NRA，因此與假設(shè)僅形成于第I除去區(qū)域RAl的情況相比，能確保足夠大的面積。由此，檢查工序中，能提高在進(jìn)行對(duì)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部47輸入檢查信號(hào)的作業(yè)時(shí)的作業(yè)性，另外也適于謀求檢查工序的設(shè)備成本的低廉化。
[0127]另外，在本實(shí)施方式的陣列基板(元件基板)20的制造方法中，進(jìn)行如下工序:配線形成工序，在玻璃基板GS上，以跨越玻璃基板GS的顯示區(qū)域(內(nèi)周側(cè)區(qū)域)AA和以從兩外側(cè)夾著顯示區(qū)域AA配置的一對(duì)非顯示區(qū)域(外周側(cè)區(qū)域)NAA的形式形成至少一對(duì)柵極配線(一對(duì)配線)26，在一對(duì)非顯示區(qū)域NAA中的一方非顯示區(qū)域NAA形成與至少一對(duì)柵極配線26中的一方柵極配線(一方配線)26的一端側(cè)連接的一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(一方檢查配線)46，在一對(duì)非顯示區(qū)域NAA中的另一方非顯示區(qū)域NAA形成與至少一對(duì)柵極配線
26中的另一方柵極配線(另一方配線)26的另一端側(cè)連接的另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(另一方檢查配線)46 ;檢查工序，對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46和另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46輸入檢查信號(hào)，由此檢查至少一對(duì)柵極配線26 ;以及除去工序，在一對(duì)非顯示區(qū)域NAA中，至少分別除去柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46和另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46的至少一部分，由此使一方柵極配線26和柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46以及另一方柵極配線26和另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46分別為非連接狀態(tài)。
[0128]這樣，一旦通過配線形成工序在玻璃基板GS上形成各柵極配線26和各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46，就能通過檢查工序來檢查在各柵極配線26中是否產(chǎn)生了斷線、短路。并且，一旦檢查工序結(jié)束，就能通過除去工序至少分別除去各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46的至少一部分，由此能使各柵極配線26和各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46為非連接狀態(tài)。
[0129]并且，在配線檢查工序中，與一方柵極配線26的一端側(cè)連接的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46形成于玻璃基板GS中的以從兩外側(cè)夾著顯示區(qū)域AA的方式配置的一對(duì)非顯示區(qū)域NAA中的一方非顯示區(qū)域NAA，而與另一方柵極配線26的另一端側(cè)連接的另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46形成于另一方非顯示區(qū)域NAA，因此與假設(shè)在單方非顯示區(qū)域NAA中集約地形成兩柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線的情況下對(duì)柵極配線的連接結(jié)構(gòu)會(huì)變復(fù)雜化的傾向相t匕，能使各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線46與各柵極配線26的連接結(jié)構(gòu)簡單，并且保證各非顯示區(qū)域NAA的外端與顯示區(qū)域AA的外端之間的距離短。由此,能謀求各非顯示區(qū)域NAA的窄小化，因此能使顯示區(qū)域AA擴(kuò)大該窄小化的量，換言之，能使玻璃基板GS的外形小型化。
[0130]另外，在除去工序中，從玻璃基板GS中的外端起涵蓋規(guī)定范圍來進(jìn)行去角。這樣，與假設(shè)在除去工序中分?jǐn)嗖ＡЩ錑S的外端側(cè)部分來進(jìn)行除去的情況相比，更適于謀求玻璃基板GS的第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3、第I除去區(qū)域RAl和第2除去區(qū)域RA2或者非顯示區(qū)域NAA的窄小化，而且能使除去工序中所用的裝置的成本低廉化。
[0131]另外，在除去工序之前進(jìn)行偏振板裝配工序，在玻璃基板GS的與配線形成面相反側(cè)的面裝配偏振板23。這樣，在偏振板裝配工序中，雖然在裝配偏振板23時(shí)容易產(chǎn)生靜電，卻能利用形成于玻璃基板GS的各檢查配線來保護(hù)各配線免受ESD (靜電放電)。
[0132]以上示出了本發(fā)明的實(shí)施方式1，但是本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，例如也能包括如下變形例。此外，在以下的各變形例中，對(duì)與上述實(shí)施方式同樣的構(gòu)件標(biāo)注與上述實(shí)施方式相同的附圖標(biāo)記，省略圖示和說明。
[0133]實(shí)施方式I的變形例I
[0134]利用圖16說明實(shí)施方式I的變形例I。在此示出變更了第I配線連接部49 -1的配置的方案。
[0135]如圖16所示，在本變形例的第I配線連接部49 -1中，包括在Y軸方向上配置于一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1之間的第I配線連接部49 -1和比配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1更靠內(nèi)側(cè)配置的第I配線連接部49-1。換言之，第I配線連接部49 -1包括在Y軸方向上配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I配線連接部49 -1和配置在相對(duì)外側(cè)的第I配線連接部49 -1，它們?yōu)閵A著配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1的位置關(guān)系。另外，配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1與配置在相對(duì)外側(cè)的第I配線連接部49 -1連接，配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1與配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I配線連接部49 -1連接。根據(jù)這種構(gòu)成，能使配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I配線連接部49 -1和配置在相對(duì)外側(cè)的第I配線連接部49 -1例如在X軸方向上部分重合配置。因此，能在X軸方向上以窄間距配置第I配線連接部49 - 1，從而能使第I配線連接部49 -1的配置空間或者第2區(qū)域A2在X軸方向上縮小。
[0136]如以上說明的那樣，根據(jù)本變形例，在配線形成工序中，作為多個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1至少形成一對(duì)與第2區(qū)域A2的外端平行的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1，并且將多個(gè)第I配線連接部49 -1形成在夾著與第2區(qū)域A2的外端平行的至少一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1中的任一方的位置。這樣，能在與第2區(qū)域A2的外端平行的至少一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1的延伸方向上以窄間距配置多個(gè)第I配線連接部49-1，因此能在上述一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -1的延伸方向上使第2區(qū)域A2窄小化。
[0137]實(shí)施方式I的變形例2
[0138]利用圖17說明實(shí)施方式I的變形例2。在此示出從上述實(shí)施方式I的變形例I進(jìn)一步變更了第I配線連接部49 - 2的配置的方案。
[0139]如圖17所示，本變形例的第I配線連接部49-2中包括在Y軸方向上配置在一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 2之間的第I配線連接部49 - 2和比配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 2配置在更外側(cè)的第I配線連接部49-2。也就是說，在Y軸方向上配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I配線連接部49 - 2和配置在相對(duì)外側(cè)的第I配線連接部49-2以在它們之間夾著配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A-2的位置關(guān)系配置。根據(jù)這種構(gòu)成，能得到與上述實(shí)施方式I的變形例I同樣的效果。
[0140]實(shí)施方式I的變形例3
[0141]利用圖18說明實(shí)施方式I的變形例3。在此示出從上述實(shí)施方式I的變形例I進(jìn)一步變更了第I配線連接部49 - 3的配置的方案。
[0142]如圖18所示，在本變形例的第I配線連接部49-3中包括比配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A-3配置在更外側(cè)的第I配線連接部49-3和比配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 3配置在更內(nèi)側(cè)的第I配線連接部49-3。也就是說，在Y軸方向上配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I配線連接部49 - 3和配置在相對(duì)外側(cè)的第I配線連接部49-3為在它們之間在Y軸方向上從內(nèi)側(cè)和外側(cè)一起夾住一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A-3的位置關(guān)系。根據(jù)這種構(gòu)成，能得到與上述實(shí)施方式I的變形例I同樣的效果。
[0143]實(shí)施方式I的變形例4
[0144]利用圖19說明實(shí)施方式I的變形例4。在此示出從上述實(shí)施方式I的變形例I進(jìn)一步變更了第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 4的構(gòu)成和與源極配線27 - 4的連接結(jié)構(gòu)的方案。
[0145]如圖19所示，本變形例的一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 4中的配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 4包括與源極配線27 - 4相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。因此，配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A-4與上述實(shí)施方式I同樣地通過第I配線連接部49 -4與形成于不同的層的源極配線
27- 4的延長部27b - 4連接，而配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 4與形成于同一層的源極配線27 - 4的延長部27b - 4直接連接。詳細(xì)地說，源極配線27 - 4的延長部27b - 4延長到配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 4的位置從而實(shí)現(xiàn)連接。這樣，能使第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 4和源極配線27 - 4的連接結(jié)構(gòu)變簡單。
[0146]實(shí)施方式I的變形例5
[0147]利用圖20說明實(shí)施方式I的變形例5。在此示出從上述實(shí)施方式I的變形例I進(jìn)一步變更了第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 5的配置的方案。
[0148]如圖20所示，本變形例的一對(duì)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A -5配置在相互俯視重疊的位置。如在上述實(shí)施方式I的變形例4中說明的那樣，配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 5和配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 5形成于相互不同的層，在其間隔著柵極絕緣膜(未圖示)。因此，能使配置在上層側(cè)的配置在相對(duì)外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A - 5為與配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A-5重疊的位置關(guān)系。這樣，能在Y軸方向上縮小第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線45A-5的配置空間，從而能實(shí)現(xiàn)第2區(qū)域A2的進(jìn)一步窄小化。
[0149]<實(shí)施方式2>
[0150]利用圖21說明本發(fā)明的實(shí)施方式2。在該實(shí)施方式2中，示出變更了柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146的配置等的方案。此外，對(duì)與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)、作用和效果省略重復(fù)的說明。
[0151]如圖21所示，在本實(shí)施方式的陣列基板120中，在非顯示區(qū)域NAA的柵極驅(qū)動(dòng)器⑶側(cè)的端部形成有共用配線(第2配線)144。共用配線144配置在相對(duì)于在Y軸方向上排列的柵極配線126組在Y軸方向上相鄰的位置。在共用配線144中，中央側(cè)的大部分沿著Y軸方向延伸，而兩端部向外側(cè)彎曲并延出到柵極驅(qū)動(dòng)器GD的連接部位并且具有與柵極驅(qū)動(dòng)器⑶連接的共用端子部144a。該共用配線144包括與柵極配線126相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。
[0152]柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146除了與柵極配線126 (配線)連接的第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(一方檢查配線或者另一方檢查配線)146A以外還具有與上述共用配線144連接的第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(第2檢查配線)146B。第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B均為沿著Y軸方向直線延伸的形態(tài)，在X軸方向上配置在大致相同的位置，即配置在大致同一直線上(在Y軸方向上相鄰的配置)。第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B包括與柵極配線126和第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B直接連接著從共用配線144的共用端子部144a進(jìn)一步向外側(cè)延長的延長部144b。另一方面，柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148除了與第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A連接的第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148A以外還具有與上述第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B連接的第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部(除去檢查輸入部)148B。第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B包括與柵極配線126和第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148A相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B直接連接著從第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B向內(nèi)側(cè)延出的枝線146Ba。由此，在檢查工序中，能通過第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B對(duì)第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B和共用配線144輸入檢查信號(hào)來進(jìn)行共用配線的檢查。
[0153]并且，在從母玻璃MGS分割玻璃基板GS之前的狀態(tài)下，在跨越圖21中用線寬度粗且點(diǎn)的間隔大的點(diǎn)劃線表示的玻璃基板GS的分割位置(外形，外端)內(nèi)外的形式分別形成有第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B。也就是說，對(duì)于第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B來說，分割玻璃基板GS前的線寬度比分割玻璃基板GS之后的線寬度大，在圖21中為約2倍。在分割玻璃基板GS之后的狀態(tài)下，第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B也存在于玻璃基板GS的外端位置。而且，在分割玻璃基板GS前的狀態(tài)下，第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B利用檢查配線連接部54相互連接。檢查配線連接部54在母玻璃MGS中比玻璃基板GS的分割位置靠外側(cè)，比第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B進(jìn)一步向外側(cè)突出配置。因此，檢查配線連接部54隨著從母玻璃MGS分割玻璃基板GS而從玻璃基板GS除去整個(gè)區(qū)域。根據(jù)以上構(gòu)成，在柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146中，分割玻璃基板GS前的配線電阻比分割玻璃基板GS之后的配線電阻低。因此，即使在制造過程中發(fā)生ESD，高電壓被施加到柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146的情況下，也能保護(hù)與柵極配線126連接的TFT24、共用配線144免受高電壓。
[0154]另外，在本實(shí)施方式中，進(jìn)行檢查經(jīng)過了去角工序(除去工序)的陣列基板120中的實(shí)際的去角范圍(除去范圍)是否正常的去角檢查工序(除去檢查工序)。此外，在圖21中，用相互平行的2條點(diǎn)劃線(與表示玻璃基板GS的分割位置的點(diǎn)劃線相比線寬度較細(xì)的點(diǎn)劃線)表示除去區(qū)域RA和非除去區(qū)域NRA的分界線，相對(duì)內(nèi)側(cè)的點(diǎn)劃線表示除去區(qū)域RA的最大允許范圍，而相對(duì)外側(cè)的點(diǎn)劃線表示除去區(qū)域RA的最小允許范圍。并且，在陣列基板120的非除去區(qū)域NRA中形成有在去角檢查工序中使用的除去檢查輸入部55。除去檢查輸入部55相對(duì)于第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B沿著Y軸方向并排配置。除去檢查輸入部55包括與第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B相鄰的第I除去檢查輸入部55A和與第I除去檢查輸入部55A相鄰的第2除去檢查輸入部55B。第I除去檢查輸入部55A、第2除去檢查輸入部55B和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B在X軸方向上的外端位置整理為大致齊平面狀，與表示除去區(qū)域RA的最大允許范圍的點(diǎn)劃線(線寬度細(xì)的2條點(diǎn)劃線中的內(nèi)側(cè)的點(diǎn)劃線)一致。第I除去檢查輸入部55A和第2除去檢查輸入部55B俯視時(shí)為大致正方形，具有與第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B大致相同的面積。
[0155]并且，第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B和第I除去檢查輸入部55A通過第I除去檢查連接配線56連接，而且第I除去檢查輸入部55A和第2除去檢查輸入部55B通過第2除去檢查連接配線57連接。第I除去檢查連接配線56沿著Y軸方向延伸，并且與第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B和第I除去檢查輸入部55A在X軸方向上的外端分別連接，其整個(gè)區(qū)域存在于表示除去區(qū)域RA的最大允許范圍的點(diǎn)劃線和表示最小允許范圍的點(diǎn)劃線之間。另一方面，第2除去檢查連接配線57為將第I除去檢查輸入部55A和第2除去檢查輸入部55B在X軸方向上的外端彼此相連的大致環(huán)狀，沿著X軸方向延伸的一對(duì)部分分別橫穿表示除去區(qū)域RA的最大允許范圍的點(diǎn)劃線和表示最小允許范圍的點(diǎn)劃線，而沿著Y軸方向延伸的部分配置在比表示最小允許范圍的點(diǎn)劃線更靠外側(cè)。
[0156]根據(jù)以上構(gòu)成，在去角工序中，如果陣列基板120的除去范圍正常，非除去區(qū)域NRA和除去區(qū)域RA的邊界位置位于圖21所示的線寬度較細(xì)的2條點(diǎn)劃線之間，則第2除去檢查連接配線57斷線，而第I除去檢查連接配線56不斷線，第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B和第I除去檢查輸入部55A保持連接狀態(tài)。因此，在去角檢查工序中，如果第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B和第I除去檢查輸入部55A通電，并且第I除去檢查輸入部55A和第2除去檢查輸入部55B不通電，則判斷為去角工序正常進(jìn)行。
[0157]另一方面，在去角工序中，陣列基板120的除去范圍過大(過度)的情況下，非除去區(qū)域NRA和除去區(qū)域RA的邊界位置為比圖21所示的線寬度較細(xì)的2條點(diǎn)劃線中的內(nèi)側(cè)的點(diǎn)劃線更靠內(nèi)側(cè)，因此第I除去檢查連接配線56和第2除去檢查連接配線57均為斷線。因此，如果在去角檢查工序中，第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B和第I除去檢查輸入部55A不通電，且第I除去檢查輸入部55A和第2除去檢查輸入部55B不通電，則判斷為去角工序中的除去范圍過大。[0158]而且，在去角工序中，陣列基板120的除去范圍RA過小(不足)的情況下，非除去區(qū)域NRA和除去區(qū)域RA的邊界位置位于比圖21所示的線寬度較細(xì)的2條點(diǎn)劃線中的外側(cè)的點(diǎn)劃線靠外側(cè)，因此第I除去檢查連接配線56和第2除去檢查連接配線57均不斷線，第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B和第I除去檢查輸入部55A保持連接狀態(tài)，并且第I除去檢查輸入部55A和第2除去檢查輸入部55B保持連接狀態(tài)。因此，在去角檢查工序中，如果第
2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部148B和第I除去檢查輸入部55A通電，并且第I除去檢查輸入部55A和第2除去檢查輸入部55B通電，則判斷為去角工序中的除去范圍過小。
[0159]如以上說明的那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，在配線形成工序和檢查工序之間進(jìn)行通過分割母玻璃(基板母材)MGS來取出多個(gè)玻璃基板GS的基板分割工序，在配線形成工序中，使一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146和另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146中的至少任一方以跨越基板分割工序中的玻璃基板GS的分割位置的形式形成。這樣，在進(jìn)行基板分割工序前的階段，確保在母玻璃MGS中以跨越玻璃基板GS的分割位置的形式形成的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146的線寬度足夠大，并且其配線電阻低，因此對(duì)于ESD (靜電放電)對(duì)策等是有效的。另外，在經(jīng)過基板分割工序之后，柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146也存在于直到非顯示區(qū)域NAA的外端位置，因此能確保該柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146的線寬度大，對(duì)ESD對(duì)策等是有效的。
[0160]另外，在配線形成工序中，在一對(duì)非顯示區(qū)域NAA中的至少任一方形成共用配線144，以跨越基板分割工序中的玻璃基板GS的分割位置的形式形成與共用配線144連接的第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B，將與第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B連接的檢查配線連接部54形成在比基板分割工序中的玻璃基板GS的分割位置靠外側(cè)的區(qū)域，在基板分割工序中，隨著從母玻璃MGS分割玻璃基板GS而從玻璃基板GS除去檢查配線連接部54。這樣，在進(jìn)行基板分割工序前的階段，以跨越玻璃基板GS的分割位置的形式形成的第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B通過檢查配線連接部54連接，因此能使相互連接的第I柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146A和第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線146B的配線電阻更低，對(duì)ESD對(duì)策等更加有效。
[0161]另外，在配線形成工序中，形成多個(gè)除去檢查輸入部55，該多個(gè)除去檢查輸入部55配置在玻璃基板GS中的至少一部分在除去工序中不除去的預(yù)定位置，形成除去檢查連接配線57，該除去檢查連接配線57連接在除去檢查輸入部55之間，并且配置在玻璃基板GS中的在除去工序中被除去的預(yù)定位置，在進(jìn)行除去工序之后，進(jìn)行基于多個(gè)除去檢查輸入部55間的通電狀態(tài)判斷除去工序是否正常進(jìn)行的除去檢查工序。這樣，如果除去工序正常進(jìn)行，則除去檢查連接配線57被除去，因此在除去檢查工序中多個(gè)除去檢查輸入部55間不能通電。另一方面，如果除去工序沒有正常進(jìn)行，則除去檢查連接配線57沒有被完全除去，因此在除去檢查工序中多個(gè)除去檢查輸入部55間可以通電。通過這種除去檢查工序來謀求次品的減少。
[0162]<實(shí)施方式3>
[0163]利用圖22說明本發(fā)明的實(shí)施方式3。在該實(shí)施方式3中示出了如下方案:在陣列基板220的非顯示區(qū)域NAA的源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部形成冗長配線58，形成用于檢查該冗長配線58的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245B等。此外，對(duì)于與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)、作用和效果省略重復(fù)的說明。[0164]如圖22所示，在陣列基板220的非顯示區(qū)域NAA的源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部形成有能在源極配線227斷線的情況下進(jìn)行其修理的冗長配線(預(yù)備配線)58。冗長配線58布置在與共用配線244相鄰的位置，大致與共用配線244平行配置。在冗長配線58的一方端部形成有與源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的冗長端子部58a，該冗長端子部58a與共用端子部244a相鄰配置。冗長配線58包括與共用配線244和源極配線227相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。此外，雖然省略圖示，在冗長配線58的另一方端部，橫穿并列的源極配線227組并沿著X軸方向延伸，并且連接到與柵極配線26形成于同一層的配線，使與該配線斷線的源極配線227的重疊部短路，由此能對(duì)斷線的源極配線227通過冗長配線58提供信號(hào)。
[0165]并且，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245B和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247B中，除了與共用配線244連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245B和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247B以外，還分別具備與上述冗長配線58連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245B和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247B。與冗長配線58連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245B整體上為L字型，為從冗長端子部58a沿著Y軸方向向外延出再沿著X軸方向延伸的形態(tài)。與冗長配線58連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247B配置在與配置在相對(duì)內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245A連接的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247A和冗長端子部58a之間。因此，可以說第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245B沿著X軸方向交替并排配置。
[0166]而且，在本實(shí)施方式中，將與I個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的源極配線227組、共用配線244和冗長配線58分為2組，對(duì)每組設(shè)有專用的各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247。也就是說，每I個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD的各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245和各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247的設(shè)置數(shù)量為實(shí)施方式I的2倍。具體地說，在非顯示區(qū)域NAA的第3區(qū)域A3分別配置有4個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247B，沿著X軸方向并排配置。此外，合計(jì)8個(gè)并列的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247通過ESD保護(hù)電路253將相鄰的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部247彼此相互連接。另外，第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線245B各4個(gè)在圖22中以左右對(duì)稱的形態(tài)分別布置、形成，均以跨越第2區(qū)域A2和第3區(qū)域A3的形式配置。
[0167]<實(shí)施方式4>
[0168]利用圖23說明本發(fā)明的實(shí)施方式4。在該實(shí)施方式4中，示出變更了第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A的設(shè)置數(shù)量等的方案。此外，對(duì)于與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)、作用和效果省略重復(fù)的說明。
[0169]如圖23所示，對(duì)源極配線327組設(shè)有3個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A。在3個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A中，包括在第2區(qū)域A2中在Y軸方向上配置在最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A、配置在最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A以及配置在中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A。這3個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A交替地與源極配線327組中包含的各源極配線327反復(fù)連接。具體地說，按如下順序連接:源極配線327組中的從圖23所示的左側(cè)數(shù)第一個(gè)源極配線327連接著最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A，第二個(gè)源極配線327連接著中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A，第三個(gè)源極配線327連接著最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A，并且第四個(gè)源極配線327連接著最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A。也就是說，可以說設(shè)“n”為自然數(shù)時(shí)，最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A連接著第(3n-2)個(gè)源極配線327，中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A連接著第(3n-l)個(gè)源極配線327，最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A連接著第3n個(gè)源極配線327。
[0170]在此，各源極配線327與連接到CF基板21側(cè)的與彩色濾光片的R、G、B這3色的著色部29相對(duì)的像素電極25的各TFT24連接(參照?qǐng)D4)，因此被區(qū)分為R像素用的源極配線327R、G像素用的源極配線327G以及B像素用的源極配線327B。并且，上述3條第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A分別按種類連接著R像素用的源極配線327R、G像素用的源極配線327G以及B像素用的源極配線327B。例如，最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A與多個(gè)R像素用的源極配線327R連接，中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A與多個(gè)G像素用的源極配線327G連接，最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A與多個(gè)B像素用的源極配線327B連接。因此，在檢查工序中，對(duì)3個(gè)第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A分別獨(dú)立地輸入檢查信號(hào)，使液晶面板11顯示單色的圖像來進(jìn)行檢查。具體地說，如果對(duì)最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A輸入白顯示用的檢查信號(hào)(例如，灰度級(jí)值的最大值)，對(duì)其它的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A輸入黑顯示用的檢查信號(hào)(例如，灰度級(jí)值的最小值)，則在液晶面板11中顯示紅色的單色的圖像。另外，如果對(duì)中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A輸入白顯示用的檢查信號(hào)，對(duì)其它的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A輸入黑顯示用的檢查信號(hào)，則在液晶面板11中顯示綠色的單色的圖像。另外，如果對(duì)最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A輸入白顯示用的檢查信號(hào)，對(duì)其它的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A輸入黑顯示用的檢查信號(hào)，則在液晶面板11中顯示藍(lán)色的單色的圖像。
[0171]下面說明將各第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A連接到各源極配線327的第I配線連接部349的配置。連接最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A和源極配線327的第I配線連接部349配置于在Y軸方向上比最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A靠外側(cè)。另一方面，連接中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A和源極配線327的第I配線連接部349以及連結(jié)最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A和源極配線327的第I配線連接部349均在Y軸方向上配置在中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A和最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A之間，并且為沿著X軸方向并排并在Y軸方向上重合的位置關(guān)系。
[0172]以上示出了本發(fā)明的實(shí)施方式4，但是本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，例如也能包括如下變形例。此外，在以下各變形例中，對(duì)與上述實(shí)施方式同樣的構(gòu)件標(biāo)注與上述實(shí)施方式相同的附圖標(biāo)記，省略圖不和說明。
[0173]實(shí)施方式4的變形例I
[0174]利用圖24說明實(shí)施方式4的變形例I。在此示出變更了第I配線連接部349 -1的配置的方案。
[0175]如圖24所示，本變形例的第I配線連接部349 -1均配置在相鄰的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1之間。具體地說，連接最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1和源極配線327 -1的第I配線連接部349 - 1以及連結(jié)中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1和源極配線327 -1的第I配線連接部349 -1均在Y軸方向上配置在最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1和中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1之間，并且為沿著X軸方向并排配置并在Y軸方向上重合的位置關(guān)系。另一方面，連接最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1和源極配線327 -1的第I配線連接部349 -1在Y軸方向上配置在中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1和最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -1之間。
[0176]實(shí)施方式4的變形例2
[0177]利用圖25說明實(shí)施方式4的變形例2。在此示出變更了第I配線連接部349 - 2的配置的方案。
[0178]如圖25所示，本變形例的第I配線連接部349 -2為在Y軸方向上不重合的配置。具體地說，連接最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 2和源極配線327 - 2的第I配線連接部349 - 2在Y軸方向上配置于比最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 2靠外側(cè)。連接中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 2和源極配線327 - 2的第I配線連接部349 - 2在Y軸方向上配置在最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 2和中央偵_第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A-2之間。連接最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 2和源極配線327 - 2的第I配線連接部349 - 2在Y軸方向上配置在中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 2和最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 2之間。
[0179]實(shí)施方式4的變形例3
[0180]利用圖26說明實(shí)施方式4的變形例3。在此示出從上述實(shí)施方式4的變形例2進(jìn)一步變更了第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 3的構(gòu)成和與源極配線327 - 3的連接結(jié)構(gòu)的方案。
[0181]如圖26所示，本變形例的3條第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -3中的最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 3包括與源極配線327 - 3相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。因此，其它2條第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A -3通過第I配線連接部349 - 3分別與形成于不同的層的源極配線327 - 3的延長部327b - 3連接，最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 3與形成于同一層的源極配線327 - 3的延長部327b - 3直接連接。詳細(xì)地說，源極配線327 - 3的延長部327b - 3延長到最外側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 3的位置從而實(shí)現(xiàn)連接。這樣，能使第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 3和源極配線327 - 3的連接結(jié)構(gòu)變簡單。
[0182]實(shí)施方式4的變形例4
[0183]利用圖27說明實(shí)施方式4的變形例4。在此示出從上述實(shí)施方式4的變形例3進(jìn)一步變更了第I配線連接部349 - 4的配置的方案。
[0184]在本變形例中，連接中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 4和源極配線327 - 4的第I配線連接部349 - 4以及連接最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 4和源極配線327 - 4的第I配線連接部349 - 4均在Y軸方向上配置在中央側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 4和最內(nèi)側(cè)的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線345A - 4之間，并且為沿著X軸方向并排配置并在Y軸方向上重合的位置關(guān)系。
[0185]<實(shí)施方式5>
[0186]利用圖28說明本發(fā)明的實(shí)施方式5。在該實(shí)施方式5中，示出在陣列基板420的非顯示區(qū)域NAA設(shè)有電源配線59、時(shí)鐘配線60和接地配線61的方案。此外，對(duì)于與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)、作用和效果省略重復(fù)的說明。[0187]如圖28所示，在本實(shí)施方式的陣列基板420的非顯示區(qū)域NAA的角部形成有用于從源極驅(qū)動(dòng)器SD對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)器GD分別傳輸電源電位、時(shí)鐘信號(hào)和接地電位的電源配線59、時(shí)鐘配線60和接地配線61。電源配線59、時(shí)鐘配線60和接地配線61分別整體上為L字型，并且布置、形成為從源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位到達(dá)柵極驅(qū)動(dòng)器GD的連接部位。在電源配線59、時(shí)鐘配線60和接地配線61中的柵極驅(qū)動(dòng)器GD側(cè)的端部形成有柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59a、柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60a和柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)接地端子部61a，在源極驅(qū)動(dòng)器SD側(cè)的端部形成有源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59b、源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60b和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)接地端子部61b。電源配線59、時(shí)鐘配線60和接地配線61均包括與源極配線427相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。此外，在圖28中分別示出了 2個(gè)電源配線59、2個(gè)時(shí)鐘配線60、I個(gè)接地配線61。
[0188]并且，在陣列基板420的非顯示區(qū)域NAA的角部，形成有用于檢查在電源配線59、時(shí)鐘配線60和接地配線61中是否產(chǎn)生了斷線、短路等的檢查配線62?64。檢查配線62?64包括:包括與源極配線427相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層的第I種檢查配線62以及包括與像素電極25相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層的第2種檢查配線63、64。另一方面，在陣列基板420的非顯示區(qū)域NAA的角部形成有與上述檢查配線62?64連接并且能輸入檢查信號(hào)的檢查輸入部65。3個(gè)檢查輸入部65相對(duì)于柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部448沿著Y軸方向并排配置。3個(gè)檢查輸入部65均包括與源極配線427相同的材料并且在制造工序的同一工序中形成于同一層。
[0189]詳細(xì)地說，在第I種檢查配線62中，包括:連接5個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59a?61a中的圖28中最上側(cè)的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59a和3個(gè)檢查輸入部65中的中央的檢查輸入部65的第I種檢查配線62 ;連接5個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59a?61a中的從上數(shù)第二個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59a和3個(gè)檢查輸入部65中的最上側(cè)的檢查輸入部65的第I種檢查配線62 ;以及連接5個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59a?61a中的位于從上數(shù)第三個(gè)位置的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60a和5個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59a?61a中的從上數(shù)第五個(gè)位置的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)接地端子部61a的第I種檢查配線62。各第I種檢查配線62與各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59a?61a和各檢查輸入部65形成于同一層，因此與它們直接連接。
[0190]另一方面，第2種檢查配線63、64中的配置在柵極驅(qū)動(dòng)器⑶的連接部位側(cè)的第2種檢查配線63連接著5個(gè)柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59a?61a中的在圖28中位于從上數(shù)第四個(gè)位置的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60a和3個(gè)檢查輸入部65中的最下側(cè)的檢查輸入部65。該第2種檢查配線63與柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60a、檢查輸入部65和第I種檢查配線62形成于不同的層(隔著層間絕緣膜37和保護(hù)膜38的上層)，因此通過形成于層間絕緣膜37和保護(hù)膜38的開口部(未圖示)與柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60a和檢查輸入部65接觸，還與第I種檢查配線62部分地俯視重疊配置。
[0191]而且，第2種檢查配線63、64中的配置在源極驅(qū)動(dòng)器SD的連接部位側(cè)的第2種檢查配線64具有:連接著5個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59b?61b中的在圖28中最左側(cè)的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59b和位于從左側(cè)起第三個(gè)位置的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60b的第2種檢查配線64 ;以及連接著位于從左側(cè)起第二個(gè)位置的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59b和位于從左側(cè)起第四個(gè)位置的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60b的第2種檢查配線64。從源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59b和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60b形成有向與第2種檢查配線64的連接部位延長的延長部。第2種檢查配線64形成在與源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部5%、源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60b和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線445A不同的層(隔著層間絕緣膜37和保護(hù)膜38的上層)，因此通過形成于層間絕緣膜37和保護(hù)膜38的開口部(未圖示)與源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)電源端子部59b和源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)時(shí)鐘端子部60b接觸，還與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線445A部分地俯視重疊配置。
[0192]另外，5個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)端子部59b?61b中的在圖28中位于最右側(cè)的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)接地端子部61b具有向外延長的延長部，該延長部與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線445A連接。因此，接地配線61通過第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線445A與第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部447A連接。
[0193]在檢查工序中，例如檢查在3個(gè)檢查輸入部65中的圖28中央的檢查輸入部65和連接著接地配線61的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部447之間是否通電。此時(shí)如果不通電，則表明圖28中最上側(cè)(左側(cè))的電源配線59、位于從上(左)數(shù)第三個(gè)位置的時(shí)鐘配線60以及最下側(cè)(右側(cè))的接地配線61中的任一個(gè)發(fā)生了斷線，如果通電則表明這些配線59?61沒有產(chǎn)生斷線。另外，在檢查工序中，檢查3個(gè)檢查輸入部65中的圖28中最上側(cè)的檢查輸入部65和最下側(cè)的檢查輸入部65之間是否通電。此時(shí)如果不通電,則表明在圖28中位于從上(左)數(shù)第二個(gè)位置的電源配線59和從上(左)數(shù)第四個(gè)位置的時(shí)鐘配線60中的任一個(gè)發(fā)生了斷線，如果通電則表明這些配線59、60沒有發(fā)生斷線。而且，在檢查工序中，例如檢查在3個(gè)檢查輸入部65中的圖28中最上側(cè)的檢查輸入部65和中央的檢查輸入部65之間是否通電。此時(shí)，如果通電，則表明各配線59?61中的任一個(gè)彼此短路，如果不通電則表明在各配線59?61間沒有發(fā)生短路。
[0194]<實(shí)施方式6>
[0195]利用圖29或者圖30說明本發(fā)明的實(shí)施方式6。在該實(shí)施方式6中，示出除去了柵極驅(qū)動(dòng)器GD的方案。此外，對(duì)于與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)、作用和效果省略重復(fù)的說明。
[0196]如圖29所不,在本實(shí)施方式的陣列基板520中，未裝配上述實(shí)施方式I記載的柵極驅(qū)動(dòng)器GD，而是設(shè)有柵極驅(qū)動(dòng)部62。柵極驅(qū)動(dòng)部62直接形成在成為陣列基板520的玻璃基板GS上，在制造過程中，在形成形成于顯示區(qū)域AA的TFT24時(shí)一并形成。并且，在陣列基板520的非顯示區(qū)域NAA的角部形成有用于從源極驅(qū)動(dòng)器SD對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)部62提供各種信號(hào)的配線63?66。
[0197]在上述配線63?66中，包括對(duì)柵極驅(qū)動(dòng)部62提供開始信號(hào)的STV配線63、提供第I時(shí)鐘信號(hào)的CKV配線64、提供第2時(shí)鐘信號(hào)的CKVB配線65以及提供接地電位的VSS配線66。如圖30所示，這些配線63?66的一方端部與柵極驅(qū)動(dòng)部62連接，而另一方端部分別與檢查輸入部67連接。從各檢查輸入部67分別形成延出配線68，其端部與相對(duì)于源極端子部527a和共用端子部544a沿著X軸方向并列的延出端子部68a連接。延出端子部68a與源極驅(qū)動(dòng)器SD連接，由此將來自源極驅(qū)動(dòng)器SD的信號(hào)等傳輸?shù)礁髋渚€63?66。另夕卜，在沿著X軸方向并列的各檢查輸入部67間，通過ESD保護(hù)電路553分別相互連接。并且，上述各配線63?66、各檢查輸入部67、各延出配線68和各延出端子部68a在X軸方向上配置在各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部547的配置區(qū)域和第I配線連接部549的配置區(qū)域之間。
[0198]<實(shí)施方式7>
[0199]利用圖31說明本發(fā)明的實(shí)施方式7。該實(shí)施方式7也可以說是上述實(shí)施方式I的變形例，示出變更了源極驅(qū)動(dòng)器SD的設(shè)置數(shù)量和共用配線644的配置的方案。此外，對(duì)于與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)、作用和效果省略重復(fù)的說明。
[0200]如圖31所示，6個(gè)本實(shí)施方式的源極驅(qū)動(dòng)器SD在陣列基板620中的沿著長邊方向的一方端部沿著X軸方向并排裝配。共用配線644在陣列基板620中與各源極驅(qū)動(dòng)器SD的端部附近位置對(duì)應(yīng)配置，其一端側(cè)與各源極驅(qū)動(dòng)器SD連接。詳細(xì)地說，共用配線644相對(duì)于6個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD中的配置于陣列基板620的長邊方向的兩端的一對(duì)源極驅(qū)動(dòng)器SD配置在與連接著共用配線主干643的端部相反側(cè)的端部連接的位置，并且相對(duì)于中央側(cè)的4個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD配置在與兩端部分別連接的位置。因此，在非顯示區(qū)域NAA中，與I個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器SD連接的源極配線627組配置在被夾在配置于源極驅(qū)動(dòng)器SD的端部側(cè)的共用配線主干643和共用配線644之間的區(qū)域，或者配置在被夾在兩共用配線644間的區(qū)域。在如上的陣列基板620中也能采用與上述實(shí)施方式I同樣的配線構(gòu)成。
[0201]<實(shí)施方式8>
[0202]利用圖32說明本發(fā)明的實(shí)施方式8。在該實(shí)施方式8中，示出源極配線727在顯示區(qū)域AA和非顯示區(qū)域NAA中包括不同層的金屬膜構(gòu)成的方案。此外，對(duì)于與上述實(shí)施方式I同樣的結(jié)構(gòu)、作用和效果省略重復(fù)的說明。
[0203]如圖32所示，本實(shí)施方式的源極配線727中的配置于顯示區(qū)域AA的部分配置在柵極絕緣膜35的上層側(cè)，并且為包括鈦(Ti)的下層側(cè)的金屬膜39和包括鋁(Al)的上層側(cè)的金屬膜40的二層結(jié)構(gòu)(參照?qǐng)D5和圖7)的顯示區(qū)域側(cè)配線部69。另一方面，源極配線727中的配置于非顯示區(qū)域NAA的部分配置在柵極絕緣膜35的下層側(cè)，并且為包括與柵極電極24a (參照?qǐng)D5和圖7)相同的材料的非顯示區(qū)域側(cè)配線部70。此外，圖32的最下側(cè)示出的沿著X軸方向延伸的點(diǎn)劃線表示顯示區(qū)域AA和非顯示區(qū)域NAA的分界線。顯示區(qū)域側(cè)配線部69的端部延長到非顯示區(qū)域NAA，相對(duì)于非顯示區(qū)域側(cè)配線部70的端部俯視重疊配置。在該重疊部位形成有連接隔著柵極絕緣膜35配置于不同層的顯示區(qū)域側(cè)配線部69和非顯示區(qū)域側(cè)配線部70的源極配線連接部71。此外，源極配線連接部71的具體連接結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式I記載的第I配線連接部49和第3配線連接部51的連接結(jié)構(gòu)(參照?qǐng)D11和圖12)同樣，省略重復(fù)的說明。
[0204]源極配線727所具有的源極端子部727a和延長部727b包括與上述非顯示區(qū)域側(cè)配線部70相同的材料，配置于同一層。其中，源極端子部727a為利用與像素電極25相同的ITO、IZO等的透明電極材料覆蓋構(gòu)成柵極電極24a的金屬膜的表面的構(gòu)成。與作為該源極配線727的非顯示區(qū)域側(cè)配線部70的延長部727b連接的第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線745A包括與源極配線727的顯示區(qū)域側(cè)配線部69相同的材料，為下層側(cè)的金屬膜39和上層側(cè)的金屬膜40的二層結(jié)構(gòu)。此外，連接源極配線727的延長部727b和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線745A的第I配線連接部749為與上述實(shí)施方式I記載的方案(參照?qǐng)D11和圖12)同樣的結(jié)構(gòu)，省略重復(fù)的說明。
[0205]另一方面，共用配線744包括與柵極電極24a相同的材料，其共用端子部744a(第2配線連接部750)為利用與像素電極25相同的IT0、IZ0等的透明電極材料覆蓋構(gòu)成柵極電極24a的金屬膜的表面的構(gòu)成。與共用配線744連接的第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線745B包括與柵極電極24a和共用配線744相同的材料。
[0206]第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部747A和第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部747B均包括與柵極電極24a相同的材料，為其表面由與像素電極25相同的IT0、IZ0等的透明電極材料覆蓋的構(gòu)成。另外，連接第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線745A和第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部747A的第3配線連接部751為與上述實(shí)施方式I記載的方案(參照?qǐng)D11和圖12)同樣的結(jié)構(gòu)，省略重復(fù)的說明。
[0207]<其它實(shí)施方式>
[0208]本發(fā)明不限于通過上述記載和【專利附圖】

【附圖說明】的實(shí)施方式，例如如下實(shí)施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍。
[0209](I)除了上述各實(shí)施方式以外，還能適當(dāng)變更液晶面板(陣列基板)的制造方法。例如，如圖33所示，也可以進(jìn)行兩次利用各檢查配線和各檢查輸入部的檢查工序，在分?jǐn)喙ば蚪Y(jié)束之后進(jìn)行第一次的第I檢查工序，在偏振板貼付工序結(jié)束之后進(jìn)行第二次的第2檢查工序。
[0210]( 2 )除了上述(I)以外，也可以代替去角工序而通過分?jǐn)嗖ＡЩ鍋沓ジ鳈z查配線等。具體地說，如圖34所示，只要在基板貼合工序結(jié)束之后進(jìn)行從母玻璃分割各液晶面板的一次分?jǐn)喙ば?，在偏振板貼付工序結(jié)束之后為了除去各檢查配線等而進(jìn)行分?jǐn)嗖ＡЩ宓亩瞬康亩畏謹(jǐn)喙ば?除去工序)即可。
[0211](3)在上述各實(shí)施方式中，示出了連接源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和源極配線的第I配線連接部配置在從源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線在Y軸方向上偏離的位置的方案，第I配線連接部也可以是配置在與源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線俯視重疊的位置的構(gòu)成。
[0212](4)在上述各實(shí)施方式中，示出了第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線以跨越第2區(qū)域和第3區(qū)域的形式形成，第I配線連接部形成于第2區(qū)域，第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和第2配線連接部形成于第3區(qū)域的方案，也可以將這些配置構(gòu)成應(yīng)用于柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和配線連接部。
[0213](5)在上述各實(shí)施方式中，示出了一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線與一方柵極配線的一端側(cè)連接，另一方柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線與另一方柵極配線的另一端側(cè)連接的配置構(gòu)成，也可以將這些配置構(gòu)成應(yīng)用于源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線和源極配線。
[0214](6)在上述各實(shí)施方式中，示出了源極驅(qū)動(dòng)器僅裝配于陣列基板的單側(cè)的端部，源極配線通過源極驅(qū)動(dòng)器被單側(cè)驅(qū)動(dòng)的構(gòu)成，也可以是源極驅(qū)動(dòng)器分別裝配在陣列基板的兩端部，對(duì)源極配線進(jìn)行兩側(cè)驅(qū)動(dòng)的構(gòu)成。
[0215](7)在上述各實(shí)施方式中，示出了柵極驅(qū)動(dòng)器分別裝配在陣列基板的兩側(cè)的端部，柵極配線通過柵極驅(qū)動(dòng)器被兩側(cè)驅(qū)動(dòng)的構(gòu)成，但是也可以是將柵極驅(qū)動(dòng)器僅裝配在陣列基板的單側(cè)的端部，對(duì)柵極配線進(jìn)行單側(cè)驅(qū)動(dòng)的構(gòu)成。
[0216](8)在上述實(shí)施方式2中，示出了各柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線以跨越玻璃基板的分?jǐn)辔恢玫男问叫纬傻姆桨?，也可以將該結(jié)構(gòu)應(yīng)用于各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線，構(gòu)成為各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線以跨越玻璃基板的分?jǐn)辔恢玫男问叫纬?。而且，也可以是通過檢查配線連接部來連接相鄰的各源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線彼此的構(gòu)成。
[0217](9)在上述實(shí)施方式2中，示出了除去檢查輸入部和除去檢查連接配線形成于陣列基板中的柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部的方案，但是也可以在陣列基板中的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)的端部形成除去檢查輸入部和除去檢查連接配線。
[0218](10)在上述各實(shí)施方式中，示出了用于將不同的層彼此連接的第I配線連接部和第3配線連接部為與像素電極相同的材料且形成于同一層的構(gòu)成，但是也可以用與像素電極不同的導(dǎo)電材料而形成于不同的層。
[0219](11)除了上述各實(shí)施方式以外，也可以適當(dāng)變更ESD保護(hù)電路的具體構(gòu)成，例如也可以使用可變電阻元件。
[0220](12)在上述各實(shí)施方式中，示出了從源極驅(qū)動(dòng)器通過電容配線主干對(duì)電容配線提供基準(zhǔn)電位的構(gòu)成，但是也可以在陣列基板上形成與柵極驅(qū)動(dòng)器連接的電容連接配線，從源極驅(qū)動(dòng)器通過電容連接配線和柵極驅(qū)動(dòng)器對(duì)電容配線提供基準(zhǔn)電位。
[0221]( 13)在上述各實(shí)施方式中，示出了進(jìn)行基板貼合工序后使用各檢查配線和各檢查輸入部的檢查工序的方案，但是也可以進(jìn)行陣列基板用結(jié)構(gòu)物形成工序后進(jìn)行檢查工序，然后進(jìn)行基板貼合工序。
[0222]( 14)在上述各實(shí)施方式中，示出了利用冷陰極管作為構(gòu)成液晶顯示裝置的背光源裝置的光源的情況，但是利用熱陰極管、LED等其它光源的方案也包含于本發(fā)明。
[0223](15)在上述各實(shí)施方式中，作為液晶顯示裝置所具備的背光源裝置而舉例示出了直下型的背光源裝置，但是使用邊光型背光源裝置的方案也包含于本發(fā)明。
[0224](16)在上述各實(shí)施方式中，舉例示出了具備作為外部光源的背光源裝置的透射型的液晶顯示裝置，但是本發(fā)明也能應(yīng)用于利用外光來進(jìn)行顯示的反射型液晶顯示裝置，在這種情況下可以省略背光源裝置。
[0225](17)在上述各實(shí)施方式中，采用TFT作為液晶顯示裝置的開關(guān)元件，但是也能應(yīng)用于采用TFT以外的開關(guān)元件(例如薄膜二極管(TFD))的液晶顯示裝置，除了進(jìn)行彩色顯示的液晶顯示裝置以外，也能應(yīng)用于進(jìn)行黑白顯示的液晶顯示裝置。
[0226](18)在上述各實(shí)施方式中，舉例示出了利用液晶面板作為顯示面板的液晶顯示裝置，但是本發(fā)明也能應(yīng)用于采用其它種類的顯示面板(PDP、有機(jī)EL面板等)的顯示裝置。在這種情況下，也可以省略背光源裝置。
[0227](19)上述實(shí)施方式7記載的構(gòu)成(對(duì)源極驅(qū)動(dòng)器的端部連接共用配線的構(gòu)成)除了實(shí)施方式I及其各變形例以外，也能適當(dāng)應(yīng)用于實(shí)施方式2?實(shí)施方式6、實(shí)施方式8(包括實(shí)施方式4的各變形例)。
[0228](20)上述實(shí)施方式8記載的構(gòu)成(源極配線在顯示區(qū)域和非顯示區(qū)域包括不同層的金屬膜的構(gòu)成)除了實(shí)施方式I及其各變形例以外，也能適當(dāng)應(yīng)用于實(shí)施方式2?實(shí)施方式7 (包括實(shí)施方式4的各變形例)。
[0229](21)除了上述各實(shí)施方式以外，對(duì)陣列基板的源極驅(qū)動(dòng)器、柵極驅(qū)動(dòng)器的具體的設(shè)置個(gè)數(shù)能適當(dāng)變更。
[0230](22)在上述各實(shí)施方式中，示出了按每個(gè)各源極驅(qū)動(dòng)器分別配置多個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線的構(gòu)成，但是也可以是源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線配置于跨越多個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器的配置區(qū)域的范圍的構(gòu)成。例如，可以是如下構(gòu)成:2個(gè)源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線配置于跨越全部的源極驅(qū)動(dòng)器的配置區(qū)域的范圍，其中的一方源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線與第奇數(shù)個(gè)源極配線連接，另一方源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線與第偶數(shù)個(gè)源極配線連接。此外，在采用上述構(gòu)成時(shí)，形成在陣列基板上的源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線的總個(gè)數(shù)除了 2個(gè)以外也能適當(dāng)變更，例如可以是源極驅(qū)動(dòng)器的設(shè)置數(shù)的2倍以下的個(gè)數(shù)。
[0231](23)在上述實(shí)施方式I中，公開了全部的源極配線在顯示區(qū)域和非顯示區(qū)域包括相同的金屬膜的構(gòu)成，而在實(shí)施方式8中，公開了全部的源極配線在顯示區(qū)域和非顯示區(qū)域包括不同的層的金屬膜的構(gòu)成，但是也可以是例如實(shí)施方式I記載的構(gòu)成的源極配線和實(shí)施方式8記載的構(gòu)成的源極配線混合在I個(gè)陣列基板上的配線構(gòu)成。
[0232]附圖標(biāo)記說明
[0233]20:陣列基板(元件基板)，23:偏振板，25:像素電極，26:柵極配線(配線，一對(duì)配線)，27:源極配線(第I配線，配線)，35:柵極絕緣膜(絕緣層)，35a:開口部，43:電容配線主干(第2配線)，44:共用配線(第2配線)，45:源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(檢查配線)，45A:第I源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(第I檢查配線)，45B --第2源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(第2檢查配線)，46:柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(檢查配線，一方檢查配線，另一方檢查配線)，47:源極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部，48:柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部，49:第I配線連接部(配線連接部)，50:第2配線連接部(配線連接部)，53:ESD保護(hù)電路，53a:保護(hù)電路用TFT (晶體管)，54:檢查配線連接部，55:除去檢查輸入部，56:第I除去檢查連接配線(除去檢查連接配線)，57 --第2除去檢查連接配線(除去檢查連接配線)，144:共用配線(第2配線)，146B:第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查配線(第2檢查配線)，148B --第2柵極驅(qū)動(dòng)器側(cè)檢查輸入部(除去檢查輸入部)，AA:顯示區(qū)域(內(nèi)周側(cè)區(qū)域)，Al:第I區(qū)域，A2:第2區(qū)域，A3:第3區(qū)域，GS:玻璃基板(基板)，MGS:母玻璃(基板母材)，NAA:非顯示區(qū)域(外周側(cè)區(qū)域)，NRA:非除去區(qū)域，RAl:第I除去區(qū)域，RA2:第2除去區(qū)域。`
【權(quán)利要求】
1.一種元件基板的制造方法，進(jìn)行如下工序: 配線形成工序，在基板上，以跨越上述基板中的第I區(qū)域和與上述第I區(qū)域的外側(cè)相鄰的第2區(qū)域的形式形成多個(gè)第I配線， 以跨越上述第2區(qū)域和與上述第I區(qū)域的外側(cè)相鄰且與上述第2區(qū)域相鄰的第3區(qū)域的形式形成多個(gè)第I檢查配線， 在上述第2區(qū)域形成連接上述第I配線和上述第I檢查配線的多個(gè)第I配線連接部， 以跨越上述第I區(qū)域和上述第3區(qū)域的形式形成第2配線， 在上述第3區(qū)域分別形成第2檢查配線以及連接上述第2配線和上述第2檢查配線的第2配線連接部； 檢查工序，對(duì)多個(gè)上述第I檢查配線和上述第2檢查配線輸入檢查信號(hào)，由此分別檢查多個(gè)上述第I配線和上述第2配線；以及 除去工序，在上述第2區(qū)域和上述第3區(qū)域中至少除去上述第I檢查配線和上述第2檢查配線的至少一部分，由此使上述第I配線和上述第I檢查配線以及上述第2配線和上述第2檢查配線分別為非連接狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中，用相同的材料且在同一層形成多個(gè)上述第I檢查配線，而用與上述第I檢查配線不同的材料并且在與上述第I檢查配線隔著絕緣層而不同的層形成上述第2檢查配線。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述`的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中， 用與上述第2檢查配線相同的材料且在上述第2檢查配線的同一層形成多個(gè)上述第I配線和上述第2配線， 在上述絕緣層中的與上述第I配線或者上述第I檢查配線重疊的位置形成開口部， 以覆蓋上述開口部的形式形成上述第I配線連接部，上述第I配線連接部連接作為不同的層的上述第I配線和上述第I檢查配線。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中，形成像素電極，并且用與上述像素電極相同的材料且在上述像素電極的同一層形成上述第I配線連接部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中的任一項(xiàng)所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中，形成與多個(gè)上述第I檢查配線和上述第2檢查配線連接的ESD保護(hù)電路。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中，形成晶體管作為上述ESD保護(hù)電路，上述晶體管將多個(gè)上述第I檢查配線彼此連接并將上述第I檢查配線和上述第2檢查配線連接，并且上述晶體管的閾值電壓與在上述檢查工序中輸入上述第I檢查配線和上述第2檢查配線的上述檢查信號(hào)的電壓值相比較高。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求6中的任一項(xiàng)所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中，至少形成一對(duì)與上述第2區(qū)域的外端平行的第I檢查配線作為多個(gè)上述第I檢查配線，并且形成多個(gè)上述第I配線連接部，上述第I配線連接部配置在與上述第2區(qū)域的外端平行的上述至少一對(duì)第I檢查配線之間，并且沿著其延伸方向排列。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中，至少形成一對(duì)與上述第2區(qū)域的外端平行的第I檢查配線作為多個(gè)上述第I檢查配線，并且在夾著與上述第2區(qū)域的外端平行的至少一對(duì)上述第I檢查配線中的任一個(gè)的位置形成多個(gè)上述第I配線連接部。
9.一種元件基板的制造方法，進(jìn)行如下工序: 配線形成工序，在基板上，以跨越上述基板中的非除去區(qū)域和與上述非除去區(qū)域的外側(cè)相鄰的第I除去區(qū)域的形式形成配線， 以跨越上述第I除去區(qū)域和與上述非除去區(qū)域的外側(cè)相鄰且與上述第I除去區(qū)域相鄰的第2除去區(qū)域的形式形成檢查配線， 在上述第I除去區(qū)域形成連接上述配線和上述檢查配線的配線連接部， 以跨越上述非除去區(qū)域和上述第2除去區(qū)域的形式形成與上述檢查配線連接的檢查輸入部；檢查工序，對(duì)上述檢查輸入部輸入檢查信號(hào)，由此通過上述檢查配線檢查上述配線；以及 除去工序，在上述第I除去區(qū)域和上述第2除去區(qū)域中至少除去上述檢查配線的至少一部分和上述配線連接部，由此使上述配線和上述檢查配線為非連接狀態(tài)，并且除去上述檢查輸入部的一部分。
10.一種元件基板的制造方法，進(jìn)行如下工序: 配線形成工序，在基板上，以跨越上述基板的內(nèi)周側(cè)區(qū)域和一對(duì)外周側(cè)區(qū)域的形式形成至少一對(duì)配線，上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域配置為從兩外側(cè)夾著上述內(nèi)周側(cè)區(qū)域， 在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中的一方外周側(cè)區(qū)域形成與上述至少一對(duì)配線中的一方配線的一端側(cè)連接的一方檢查配線， 在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中的另一方外周側(cè)區(qū)域形成與上述至少一對(duì)配線中的另一方配線的另一端側(cè)連接的另一方檢查配線； 檢查工序，對(duì)上述一方檢查配線和上述另一方檢查配線輸入檢查信號(hào)，由此檢查上述至少一對(duì)配線；以及 除去工序，在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域中，至少分別除去上述一方檢查配線和上述另一方檢查配線每一個(gè)的至少一部分，由此使上述一方配線和上述一方檢查配線以及上述另一方配線和上述另一方檢查配線分別為非連接狀態(tài)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序和上述檢查工序之間進(jìn)行通過分割基板母材來取出多個(gè)上述基板的基板分割工序， 在上述配線形成工序中，以跨越上述基板分割工序中的上述基板的分割位置的形式形成上述一方檢查配線和上述另一方檢查配線中的至少一方。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中， 在上述一對(duì)外周側(cè)區(qū)域 中的至少任一方形成第2配線， 以跨越上述基板分割工序中的上述基板的分割位置的形式形成與上述第2配線連接的第2檢查配線， 在比上述基板分割工序中的上述基板的分割位置靠外側(cè)的區(qū)域形成與上述一方檢查配線或者上述另一方檢查配線和上述第2檢查配線連接的檢查配線連接部， 在上述基板分割工序中，隨著從上述基板母材分割上述基板而從上述基板除去上述檢查配線連接部。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求12中的任一項(xiàng)所述的元件基板的制造方法， 在上述配線形成工序中， 形成多個(gè)除去檢查輸入部，上述多個(gè)除去檢查輸入部配置在上述基板中的至少一部分在上述除去工序中不被除去的預(yù)定的位置， 形成除去檢查連接配線，上述除去檢查連接配線將多個(gè)上述除去檢查輸入部相互連接，且配置在上述基板中的在上述除去工序中被除去的預(yù)定的位置， 在進(jìn)行了上述除去工序之后，進(jìn)行基于多個(gè)上述除去檢查輸入部間的通電狀態(tài)判斷上述除去工序是否正常進(jìn)行的上述除去檢查工序。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求13中的任一項(xiàng)所述的元件基板的制造方法， 在上述除去工序中，從上述基板中的外端起涵蓋規(guī)定范圍來進(jìn)行去角。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求14中的任一項(xiàng)所述的元件基板的制造方法， 在上述除去工序之前進(jìn)行偏振板裝配工序，在上述偏振板裝配工序中，在上述基板的 與配線形成面相反側(cè)的面裝配偏振板。
【文檔編號(hào)】G02F1/1345GK103608856SQ201280030580
【公開日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2012年7月12日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月19日
【發(fā)明者】山田崇晴, 伊藤了基, 吉田昌弘, 中川英俊, 大石琢也, 松田成裕, 木田和壽 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社