專利名稱：整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
薄膜晶體管液晶顯示器(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display;以下 簡(jiǎn)稱TFT-LCD)的生產(chǎn)過程中，需進(jìn)行光刻工藝。光刻工藝首先需在玻璃基板上涂布均勻 的光刻膠，然后進(jìn)行后續(xù)工藝?，F(xiàn)有涂膠工藝有兩種，一種是直涂式，直接在玻璃基板上涂布均勻的光刻膠，無需 對(duì)玻璃基板進(jìn)行離心旋轉(zhuǎn)；另一種是預(yù)涂式，在玻璃基板上部分區(qū)域涂布光刻膠，然后利用 離心設(shè)備將玻璃基板旋轉(zhuǎn)，使得玻璃上預(yù)涂的光刻膠均勻覆蓋整個(gè)玻璃基板，且具有較好 的平整度。玻璃基板經(jīng)過離心設(shè)備旋轉(zhuǎn)后，在進(jìn)入下一道工序前，需要對(duì)流水線上的玻璃基 板進(jìn)行整列，避免由于流水線上基板偏移而導(dǎo)致下一道工序中玻璃基板被撞碎。現(xiàn)有的基 板整列裝置是采用氣動(dòng)方式即利用控制氣閥開關(guān)信號(hào)來推動(dòng)氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)安裝在支 架上的整列針(Pin)對(duì)基板從前后左右四個(gè)方向進(jìn)行推移，當(dāng)基板偏移時(shí)，由玻璃基板四 周的整列針將基板推移到合適位置。涂膠工序中，光刻膠會(huì)不可避免地附著在玻璃基板的側(cè)面，且具有較強(qiáng)的粘性，當(dāng) 整列針接觸玻璃基板對(duì)其進(jìn)行整列后，整列針上會(huì)粘黏光刻膠。為了保證后續(xù)整列過程的 順利進(jìn)行，通常應(yīng)用整列針清洗裝置對(duì)整列針進(jìn)行清洗，去除其粘黏的光刻膠。現(xiàn)有的整列針清洗裝置中，噴射清洗液對(duì)整列針進(jìn)行清洗的四個(gè)清洗針分布在垂 直于整列針中心線的平面的四個(gè)方向上，對(duì)整列針進(jìn)行清洗時(shí)，相對(duì)的兩個(gè)清洗針?biāo)鶉娚?出來的清洗液是處于同一直線的，整列針在清洗過程中始終處于靜止?fàn)顟B(tài)，整列針上粘黏 的光刻膠難以清洗干凈。若長(zhǎng)時(shí)間清洗不干凈，光刻膠會(huì)在整列針上形成硬塊，進(jìn)行整列時(shí) 有可能將玻璃基板撞碎。而且，由于整列針上附著的光刻膠會(huì)對(duì)玻璃基板的側(cè)面造成污染， 當(dāng)玻璃基板進(jìn)入到后續(xù)工藝的處理設(shè)備時(shí)，將對(duì)該處理設(shè)備造成污染。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)，在應(yīng)用整列針 清洗裝置清洗整列針的同時(shí)促使整列針旋轉(zhuǎn)，將整列針清洗干凈。本實(shí)用新型提供一種整列針，包括用于與基板接觸的接觸柱體，在所述接觸柱體 上設(shè)置有一能夠帶動(dòng)所述接觸柱體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置。如上所述的整列針，其中，所述旋轉(zhuǎn)裝置為設(shè)置在所述接觸柱體上的至少一個(gè)能 夠基于空氣流動(dòng)而帶動(dòng)所述接觸柱體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的葉輪。如上所述的整列針，其中，所述接觸柱體上還設(shè)置有用于帶動(dòng)所述接觸柱體以所 述接觸柱體的中心線為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的外螺紋套，所述葉輪設(shè)置在所述外螺紋套的外表面 上。[0011]如上所述的整列針，其中，所述葉輪的延長(zhǎng)線與所述外螺紋套的切線平行。如上所述的整列針，其中，所述葉輪的延長(zhǎng)線與所述外螺紋套的切線的夾角為a， 其中0 < a彡90°。如上所述的整列針，其中，在所述外螺紋套的外表面上設(shè)置有多個(gè)所述葉輪，且多 個(gè)所述葉輪均勻分布。本實(shí)用新型提供一種整列針清洗裝置，包括用于對(duì)整列針上用于與基板接觸的接 觸柱體進(jìn)行清洗的基座，所述基座的一端設(shè)置有用于容置所述接觸柱體的凹槽，所述凹槽 的側(cè)壁上設(shè)置有用于向容置在所述凹槽內(nèi)的接觸柱體噴射清洗液的清洗裝置，在所述基座 上方還設(shè)置有一換風(fēng)管，所述換風(fēng)管能夠促使空氣流動(dòng)而帶動(dòng)所述葉輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述基座的另一端還設(shè)置有一用于回收清洗 液的負(fù)壓排氣管。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述換風(fēng)管與所述負(fù)壓排氣管連通，用于通過 吸附所述接觸柱體周圍的空氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述換風(fēng)管與一鼓風(fēng)設(shè)備連接，用于通過向所 述接觸柱體噴氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。如上所述的整列針清洗裝置，其中，所述換風(fēng)管包括兩個(gè)支管，所述兩個(gè)支管的換 風(fēng)口分別位于所述接觸柱體的兩側(cè)，且相對(duì)設(shè)置。本實(shí)用新型提供一種整列針清洗系統(tǒng)，包括上述的整列針和整列針清洗裝置。本實(shí)用新型提供的整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)，通過對(duì)整列針和 整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)上的匹配改變，使得整列針清洗裝置在清洗整列針的同時(shí)，促使整列 針旋轉(zhuǎn)，更好地達(dá)到清洗目的；解決了原整列針清洗不干凈而給后序帶來的問題；避免由 于整列針清洗不干凈長(zhǎng)期處于空氣中形成硬塊而撞碎玻璃基板，提高良品率。同時(shí)還可以 避免污染玻璃基板側(cè)面，減少當(dāng)玻璃基板進(jìn)入后續(xù)工序時(shí)，對(duì)后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。
[0021]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的整列針結(jié)構(gòu)示意圖；[0022]圖2為圖1的剖面示意圖；[0023]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖；[0024]圖4為圖3的俯視剖面示意圖；[0025]圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的整列針清洗系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；[0026]圖6為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的整列針清洗系統(tǒng)的工作示意圖[0027]附圖標(biāo)記[0028]1-整列針； 2-整列針清洗裝置；12-接觸柱體；[0029]13- 一字頭螺桿；14-固定螺母；15-卡圈；[0030]16-球軸承； 17-套筒；18-外螺紋套；[0031]19-葉輪； 21-基座；22-凹槽；[0032]23-清洗探針；24-負(fù)壓排氣管；25-換風(fēng)管。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新 型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施 例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于 本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型實(shí)施例針對(duì)現(xiàn)有整列針在清洗過程中因靜止導(dǎo)致清洗不干凈等缺陷， 提供一種新型的整列針，包括接觸柱體，該接觸柱體用于對(duì)基板進(jìn)行整列，即作為整列針與 基板相接觸的部分。為了實(shí)現(xiàn)整列針在清洗時(shí)能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，本實(shí)施例中在接觸柱體上設(shè) 置一能夠帶動(dòng)接觸柱體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置，該旋轉(zhuǎn)裝置可以基于空氣流動(dòng)或外力觸發(fā)而 旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)接觸柱體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。本實(shí)施例中旋轉(zhuǎn)裝置可以為至少一個(gè)葉輪，該葉輪能夠 基于空氣流動(dòng)而帶動(dòng)接觸柱體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型各實(shí)施例中，葉輪可以固定設(shè)置在接 觸柱體上，此時(shí)接觸柱體可以通過葉輪帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)。當(dāng)然也可以通過其他方式實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，
以下結(jié)合附圖詳細(xì)介紹如下。圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的整列針結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為圖1的剖面示意圖， 如圖1和圖2所示，該整列針1主體部分呈圓柱形，整列針1是通過位于其下端部的接觸柱 體12與基板接觸的，也就是說整列針1通過接觸柱體12的外表面接觸基板的側(cè)面并推動(dòng) 基板移動(dòng)，達(dá)到整列目的。整列針1還包括一字頭螺桿13、固定螺母14、卡圈15、球軸承16、 套筒17和外螺紋套18，其中，一字頭螺桿13用于將整列針1通過卡圈15卡設(shè)在固定支架 上，外螺紋套18套設(shè)在球軸承16和套筒17外，并與接觸柱體12連接。外螺紋套18可以通過 球軸承16和套筒17實(shí)現(xiàn)以整列針1的中心線為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，由于外螺紋套18與接觸柱體12 連接，因此當(dāng)外螺紋套18旋轉(zhuǎn)時(shí)便可以帶動(dòng)接觸柱體12旋轉(zhuǎn)，具體地，外螺紋套18與接觸柱 體12同軸，因此接觸柱體12可以隨著外螺紋套18以接觸柱體12的中心線為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。為了在被清洗的過程中能夠旋轉(zhuǎn)以達(dá)到清洗干凈的目的，本實(shí)施例提供的整列針 在外螺紋套18上增設(shè)至少一個(gè)葉輪19，具體地，葉輪19設(shè)置在外螺紋套18的外表面上，葉 輪19能夠基于周邊空氣的流動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，并且?guī)?dòng)外螺紋套18旋轉(zhuǎn)，而又進(jìn)一步帶動(dòng)接觸柱 體12旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)整列針旋轉(zhuǎn)的目的。當(dāng)整列針1回到整列針清洗裝置上時(shí)，通過清洗裝置 上匹配設(shè)置的噴氣或抽氣設(shè)備來改變?nèi)~輪19周圍空氣的流動(dòng)，實(shí)現(xiàn)整列針旋轉(zhuǎn)。在上述整列針的實(shí)施例中，葉輪可以根據(jù)實(shí)際需求以不同的方式設(shè)置在外螺紋套 上，例如一種設(shè)置方式為將葉輪的延長(zhǎng)線與外螺紋套的切線平行，即葉輪的整體結(jié)構(gòu)是沿 著外螺紋套的切線向外延伸；當(dāng)然，也可以將葉輪的延長(zhǎng)線與外螺紋套的切線設(shè)置成具有 一定夾角《，其中0< a彡90°。當(dāng)a為90°時(shí)，葉輪的整體結(jié)構(gòu)與外螺紋套的切線垂 直設(shè)置。葉輪的材質(zhì)可以選用輕薄具有一定硬度的材料制成，例如硬塑料等。進(jìn)一步地，為了較容易地實(shí)現(xiàn)整列針的旋轉(zhuǎn)，外螺紋套上設(shè)置可以設(shè)置多個(gè)葉輪， 而且該多個(gè)葉輪可均勻地分布在外螺紋套上。上述各實(shí)施例提供的整列針可以是在現(xiàn)有的整列針結(jié)構(gòu)上增設(shè)葉輪，葉輪可通過 焊接或螺接等方式固設(shè)在整列針上，通過空氣流動(dòng)帶動(dòng)葉輪運(yùn)動(dòng)而實(shí)現(xiàn)整列針旋轉(zhuǎn)。該整 列針不但能夠完成基板整列功能，而且在由整列位置回到整列針清洗位置進(jìn)行清洗即回程 清洗的過程中通過旋轉(zhuǎn)而達(dá)到清洗干凈的目的，避免殘留光刻膠，解決了原整列針清洗不干凈而給后續(xù)工藝帶來的一系列問題；減少由于整列針清洗不干凈長(zhǎng)期處于空氣中形成硬 塊而撞碎玻璃基板的可能性，從而提高設(shè)備稼動(dòng)率。圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為圖3的俯 視剖面示意圖，如圖3和圖4所示，該整列針清洗裝置2包括基座21，該基座21用于對(duì)整列 針上用于與基板接觸的接觸柱體進(jìn)行清洗。在基座21 —端設(shè)置有一凹槽22，該凹槽22用 于容置整列針的接觸柱體。具體地，當(dāng)整列針整列回程后到達(dá)整列針清洗裝置的基座21位 置時(shí)，接觸柱體可以沿著凹槽22進(jìn)到基座21內(nèi)部的清洗空間內(nèi)進(jìn)行清洗，當(dāng)清洗結(jié)束后， 再沿著原路遠(yuǎn)離基座21。凹槽22的側(cè)壁上設(shè)置有用于向容置在凹槽22內(nèi)的接觸柱體噴 射清洗液的清洗裝置，具體地，為了達(dá)到更好的清洗效果，本實(shí)施例中在凹槽22的側(cè)壁上 設(shè)置有四個(gè)清洗探針23，可以向容置在該清洗空間中的接觸柱體的四周噴射清洗液。具體 地，四個(gè)清洗探針23分別設(shè)置在凹槽22的四個(gè)側(cè)壁上且兩兩相對(duì)，并分別與輸液管連接。進(jìn)一步地，為了及時(shí)回收用過的清洗液，本實(shí)施例提供的整列針清洗裝置2中還 可以在基座21的另一端設(shè)置一負(fù)壓排氣管24，該負(fù)壓排氣管24通過閥門控制向內(nèi)抽氣，使 得落到基座底部的清洗液被吸到負(fù)壓排氣管24內(nèi)實(shí)現(xiàn)回收。為了配合上述實(shí)施例提供的增設(shè)有葉輪的整列針，并實(shí)現(xiàn)整列針在清洗的過程中 旋轉(zhuǎn)，本實(shí)施例提供的整列針清洗裝置中，在基座21的上方還增設(shè)一換風(fēng)管25，由于要應(yīng) 用該換風(fēng)管25對(duì)整列針上的葉輪進(jìn)行作用，因此換風(fēng)管25的位置需要根據(jù)整列針上葉輪 的高度進(jìn)行實(shí)際調(diào)整設(shè)置。以帶有外螺紋套的整列針為例，換風(fēng)管25可以與整列針上用于 帶動(dòng)接觸柱體以接觸柱體的中心線為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的外螺紋套等高，其目的是通過換風(fēng)管25 改變外螺紋套周邊的空氣流動(dòng)以觸發(fā)外螺紋套旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步地，換風(fēng)管25的換風(fēng)口沿著與 接觸柱體外表面相切的方向設(shè)置，由于外螺紋套與接觸柱體同軸，因此，換風(fēng)管25的換風(fēng) 口沿著與外螺紋套的外表面相切的方向設(shè)置。本實(shí)施例中通過將換風(fēng)管25的換風(fēng)口沿著 與接觸柱體外表面相切的方向設(shè)置，可以使得在換風(fēng)管25的換風(fēng)口處交換的氣體的流向 與外螺紋套的外表面相切，這樣交換的氣體可直接對(duì)外螺紋套上的葉輪施力，便可通過氣 體的流動(dòng)帶動(dòng)整列針進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。本實(shí)施例提供的整列針清洗裝置中，增設(shè)的換風(fēng)管既可以用來抽氣，也可以用來 噴氣。具體地，當(dāng)換風(fēng)管用來抽氣時(shí)可以將換風(fēng)管25與負(fù)壓排氣管24連通，使用同一抽氣 設(shè)備。當(dāng)換風(fēng)管用來噴氣時(shí)可以將換風(fēng)管25單獨(dú)與一噴氣設(shè)備連接，通過向外螺紋套噴氣 觸發(fā)外螺紋套帶動(dòng)接觸柱體旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步地，本實(shí)施例提供的整列針清洗裝置中，換風(fēng)管還可以是包括兩個(gè)支管的 結(jié)構(gòu)，且該兩個(gè)支管的換風(fēng)口分別位于外螺紋套的兩側(cè)，且相對(duì)設(shè)置。本實(shí)施提供的整列針清洗裝置可以是在現(xiàn)有的整列針清洗裝置上增設(shè)換風(fēng)管，通 過設(shè)置的換風(fēng)管，整列針清洗裝置不但能夠完成自身的清洗整列針的功能，而且清洗的過 程中通過觸發(fā)整列針旋轉(zhuǎn)而達(dá)到清洗干凈的目的，避免整列針上殘留的光刻膠，解決了原 整列針清洗不干凈而給后序帶來的一系列問題；減少由于整列針清洗不干凈長(zhǎng)期處于空氣 中形成硬塊而撞碎玻璃基板的可能性，從而提高設(shè)備稼動(dòng)率；同時(shí)整列針清洗干凈，還可以 避免污染玻璃基板側(cè)面，減少當(dāng)玻璃基板進(jìn)入后續(xù)工序時(shí)，對(duì)后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的整列針清洗系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，圖6為本實(shí)用新 型一實(shí)施例提供的整列針清洗系統(tǒng)的工作示意圖，如圖5和圖6所示，該整列針清洗系統(tǒng)包
6括整列針1和用于對(duì)整列針1進(jìn)行清洗的整列針清洗裝置2，其中整列針1和整列針清洗裝 置2可以采用上述各裝置實(shí)施例提供的整列針和整列針清洗裝置，本實(shí)施例結(jié)合附圖，以 在整列針清洗裝置增設(shè)抽氣管為例，介紹整列針清洗裝置在清洗整列針的過程中如何實(shí)現(xiàn) 整列針的旋轉(zhuǎn)。如圖所示，整列針清洗裝置2中在原負(fù)壓排氣管24上通過安裝三通接頭連接換風(fēng) 管25，通過閥門控制負(fù)壓排氣管24和換風(fēng)管25同時(shí)抽氣，通過基座21內(nèi)部的四個(gè)清洗探 針23清洗接觸柱體12的同時(shí)，負(fù)壓排氣管24回收清洗液，同時(shí)換風(fēng)管25通過負(fù)壓來帶動(dòng) 葉輪19進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)下端接觸柱體12 —起旋轉(zhuǎn)，起到清洗同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)作用，使整 列針清洗干凈。本實(shí)施例中，換風(fēng)管25包括兩個(gè)支管，分別為第一支管251和第二支管252，且第 一支管251和第二支管252分別位于外螺紋套18的兩側(cè)，且相對(duì)設(shè)置。在清洗過程中，第 一支管251和第二支管252同時(shí)進(jìn)行抽氣，第一支管251抽氣口的周圍空氣沿F1方向流動(dòng)， 第二支管252抽氣口的周圍空氣沿F2方向流動(dòng)，這樣便觸發(fā)整列針1沿著順時(shí)針即W方向 旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型提供的整列針清洗系中，通過對(duì)整列針和整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)上的匹 配改變，使得整列針清洗裝置在清洗整列針的同時(shí)，促使整列針旋轉(zhuǎn)，更好地達(dá)到清洗目 的；解決了原整列針清洗不干凈而給后序帶來的問題；避免由于整列針清洗不干凈長(zhǎng)期處 于空氣中形成硬塊而撞碎玻璃基板，從而提高良品率；同時(shí)整列針清洗干凈，還可以避免污 染玻璃基板側(cè)面，減少當(dāng)玻璃基板進(jìn)入后續(xù)工序時(shí)，對(duì)后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。最后應(yīng)說明的是以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解: 其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求一種整列針，包括用于與基板接觸的接觸柱體，其特征在于，在所述接觸柱體上設(shè)置有一能夠帶動(dòng)所述接觸柱體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整列針，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置為設(shè)置在所述接觸柱體 上的至少一個(gè)能夠基于空氣流動(dòng)而帶動(dòng)所述接觸柱體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的葉輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的整列針，其特征在于，所述接觸柱體上還設(shè)置有用于帶動(dòng)所 述接觸柱體以所述接觸柱體的中心線為軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的外螺紋套，所述葉輪設(shè)置在所述外螺 紋套的外表面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的整列針，其特征在于，所述葉輪的延長(zhǎng)線與所述外螺紋套的 切線平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的整列針，其特征在于，所述葉輪的延長(zhǎng)線與所述外螺紋套的 切線的夾角為α，其中0 < α彡90°。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5所述的整列針，其特征在于，在所述外螺紋套的外表面上設(shè) 置有多個(gè)所述葉輪，且多個(gè)所述葉輪均勻分布。
7.—種整列針清洗裝置，包括用于對(duì)整列針上用于與基板接觸的接觸柱體進(jìn)行清洗的 基座，所述基座的一端設(shè)置有用于容置所述接觸柱體的凹槽，所述凹槽的側(cè)壁上設(shè)置有用 于向容置在所述凹槽內(nèi)的接觸柱體噴射清洗液的清洗裝置，其特征在于，在所述基座上方 還設(shè)置有一換風(fēng)管，所述換風(fēng)管能夠促使空氣流動(dòng)而帶動(dòng)所述葉輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述基座的另一端還設(shè)置有 一用于回收清洗液的負(fù)壓排氣管。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述換風(fēng)管與所述負(fù)壓排氣 管連通，用于通過吸附所述接觸柱體周圍的空氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述換風(fēng)管與一鼓風(fēng)設(shè)備 連接，用于通過向所述接觸柱體噴氣觸發(fā)所述接觸柱體旋轉(zhuǎn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7或8或9或10所述的整列針清洗裝置，其特征在于，所述換風(fēng)管包 括兩個(gè)支管，所述兩個(gè)支管的換風(fēng)口分別位于所述接觸柱體的兩側(cè)，且相對(duì)設(shè)置。
12.—種整列針清洗系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至6任一所述的整列針以及 如權(quán)利要求7至11任一所述的整列針清洗裝置。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統(tǒng)。本實(shí)用新型提供的實(shí)施例通過對(duì)整列針和整列針清洗裝置結(jié)構(gòu)上的匹配改變，使得整列針清洗裝置在清洗整列針的同時(shí)，促使整列針旋轉(zhuǎn)，更好地達(dá)到清洗目的；解決了原整列針清洗不干凈給后續(xù)工序帶來的問題；避免由于整列針清洗不干凈長(zhǎng)期處于空氣中形成硬塊而撞碎玻璃基板，從而提高良品率；同時(shí)還可以避免污染玻璃基板側(cè)面，減少當(dāng)玻璃基板進(jìn)入后續(xù)工序時(shí)，對(duì)后續(xù)工序的設(shè)備造成的污染。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK201765414SQ201020171479
公開日2011年3月16日 申請(qǐng)日期2010年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月20日
發(fā)明者張學(xué)智, 張琨鵬, 焦宇 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司