專利名稱:檢測設備的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及基板測試設備領域,尤其涉及一種檢測設備。
背景技術:
在TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶體管液晶 顯示器)的檢測工藝中,需要通過檢測設備的調(diào)節(jié)器(Modulator)模擬TFT-IXD的顯示原 理,在距離TFT基板上方15微米至20微米處,對TFT基板進行檢測。調(diào)節(jié)器是一種鏡面結 構,該鏡面結構的鏡面是一種薄膜材料,且鏡面內(nèi)側有一層液晶。由于在對TFT基板檢測時 距離TFT基板非常近,當TFT基板上有大的異物時,會造成鏡面的劃傷,導致鏡面內(nèi)側的液 晶泄露,使檢測設備的調(diào)節(jié)器損壞。檢測設備的調(diào)節(jié)器損壞后無法對TFT基板進行檢測,需 要更換調(diào)節(jié)器。并且如果該調(diào)節(jié)器的鏡面臟了,在對TFT基板進行檢測時會出現(xiàn)假不良,影 響檢測結果,這樣就需要不定期將調(diào)解器拆下進行擦拭。傳統(tǒng)的TFT-LCD檢測設備的結構如圖1所示,Modulator安裝在VI0SSystem(光 學與成像系統(tǒng))底部的底板上,底板內(nèi)部有兩個由氣閥控制的卡子來卡住Modulator,如需 要更換或檢查Modulator時,需將Modulator移動到人可以用雙手能扶住Modulator的位 置,并手動給氣閥信號,氣閥吹,卡子松開,Modulator便可以拆下來了。這樣手動更換或檢測調(diào)節(jié)器,由于沒有很好的防護措施和工具,很容易因人為操 作失誤造成調(diào)節(jié)器損壞,造成設備的停機。
實用新型內(nèi)容本實用新型的實施例提供一種檢測設備,避免手動更換或檢查調(diào)節(jié)器時,由于人 為失誤造成調(diào)節(jié)器的損壞,從而減少了調(diào)節(jié)器的損失,并且防止了由于所述調(diào)節(jié)器的損壞 導致不必要的停機。為達到上述目的,本實用新型的實施例采用如下技術方案—種檢測設備,包括基臺、檢測系統(tǒng)、以及設置在所述檢測系統(tǒng)底端底板上的調(diào)節(jié) 器,還包括調(diào)節(jié)器更換裝置。進一步地,所述調(diào)節(jié)器更換裝置包括升降軸,所述升降軸的底端與用于固定所述 調(diào)節(jié)器更換裝置的底座相連,頂端與所述調(diào)節(jié)器更換裝置的承接支架相連。進一步地,所述承接支架的頂端設置有支撐柱,所述支撐柱的位置與所述調(diào)節(jié)器 邊緣的邊緣孔相對應,并且所述支撐柱上端的尺寸小于所述邊緣孔的尺寸,下端的尺寸大 于所述邊緣孔的尺寸。進一步地,所述檢測設備還包括延時繼電器,所述延時繼電器與用于卡住所述調(diào) 節(jié)器的卡子的氣閥相連接。進一步地,所述檢測設備還包括與所述延時繼電器電連接的位置傳感器。進一步地,所述承接支架包括支撐框架和橫跨所述支撐框架的頂端并與所述支撐 框架相軸接的旋轉軸,所述支撐框架的底端與所述升降軸的頂端相連;所述旋轉軸與所述支持框架底端的距離大于所述調(diào)節(jié)器的最大尺寸;所述支撐柱設置于所述旋轉軸上。進一步地,所述支撐柱為空心的支撐柱,其內(nèi)放置有固定件。 進一步地,所述固定件為螺釘。進一步地,所述旋轉軸與所述支撐框架軸接部位設置有位置固定塞。進一步地,所述檢測設備還包括位于所述基臺上且用于從固定位置取放所述調(diào)節(jié) 器的機械手。本實用新型實施例中,在傳統(tǒng)的檢測設備中增加了調(diào)節(jié)器更換裝置,當調(diào)節(jié)器損 壞需要更換或者需要擦拭時,通過所述調(diào)節(jié)器更換裝置對所述調(diào)節(jié)器進行拆卸和安裝,避 免了手動更換或檢查時由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損壞,從而減少了調(diào)節(jié)器的損失,并且 防止了由于所述調(diào)節(jié)器的損壞造成的不必要的停機。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將對實施例 或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅 是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提 下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術中檢測設備組成結構示意圖;圖2為本實用新型中檢測設備組成結構示意圖;圖3為本實用新型中檢測設備的調(diào)節(jié)器更換裝置組成結構示意圖;圖4為本實用新型中檢測設備的調(diào)節(jié)器更換裝置的側視圖;圖5為本實用新型中檢測設備的調(diào)節(jié)器更換裝置的俯視圖;圖6為本實用新型中檢測設備的調(diào)節(jié)器更換裝置升起且上面承載有調(diào)節(jié)器時的 狀態(tài)圖;圖7為本實用新型中檢測設備的調(diào)節(jié)器更換裝置升起且上面承載有調(diào)節(jié)器時的 側視狀態(tài)圖圖8為本實用新型中檢測設備的調(diào)節(jié)器更換裝置下降且上面承載有調(diào)節(jié)器時的 狀態(tài)圖圖9為本實用新型中檢測設備的調(diào)節(jié)器更換裝置下降且上面承載有調(diào)節(jié)器時的 側視狀態(tài)圖。附圖標識說明1-檢測系統(tǒng);2-調(diào)節(jié)器;3-運動系統(tǒng)裝置;4-檢測設備的基臺;5-調(diào)節(jié)器更換裝置;6-位置傳感器;51-升降軸;52-底座;53-承接支架;54-支撐柱;55-固定件;56-位置固定塞;531-支撐框架; 532-旋轉軸。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行 清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下 所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
本實用新型實施例提供一種檢測設備,如圖2,包括基臺4、檢測系統(tǒng)1、設置在檢 測系統(tǒng)1底端底板上的調(diào)節(jié)器2,以及供調(diào)節(jié)器2移動且位于基臺4上的運動系統(tǒng)裝置3, 還包括調(diào)節(jié)器更換裝置5,調(diào)節(jié)器更換裝置5位于基臺4上,并且當調(diào)節(jié)器更換裝置5處于 使用狀態(tài)時,調(diào)節(jié)器更換裝置5的位置與調(diào)節(jié)器2的位置相對應。其中,檢測系統(tǒng)可以為光 學與成像系統(tǒng),基臺4可以為大理石平臺,本實用新型實施例對此不進行限制,本實用新型 實施例以基臺4為大理石平臺為例進行圖示。本實用新型實施例中,在當調(diào)節(jié)器需要擦拭或者損壞需要更換時,通過調(diào)節(jié)器更 換裝置對調(diào)節(jié)器進行拆卸和安裝,避免了手動更換或檢查時由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損 壞,從而減少了調(diào)節(jié)器的損失,并且防止了由于調(diào)節(jié)器的損壞造成的不必要的停機。進一步,如圖3、圖4和圖5所示,調(diào)節(jié)器更換裝置5包括升降軸51,升降軸51的 底端與用于固定調(diào)節(jié)器更換裝置的底座52相連,頂端與調(diào)節(jié)器更換裝置的承接支架53相 連,承接支架53可以為但不局限于框形承接支架,任何可以承接調(diào)節(jié)器的支架都屬于本實 用新型保護的范圍,本實用新型實施例對此不進行限制;承接支架53的頂端設置有支撐柱 54,支撐柱54的位置與調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔相對應,并且支撐柱54上端的尺寸小于邊緣孔 的尺寸,下端的尺寸大于邊緣孔的尺寸,以便在承接調(diào)節(jié)器時,使調(diào)節(jié)器的鏡面結構不與承 接面直接接觸,避免對該調(diào)節(jié)器造成不必要的損壞,從而減小了調(diào)節(jié)器的損失。其中,邊緣 孔設置在調(diào)節(jié)器的邊緣,用于與調(diào)節(jié)器更換裝置的支撐柱進行接合。支撐柱所使用的材料, 本實用新型實施例對此不進行限制,任何材料均屬本實用新型保護的范圍,例如支撐柱可 以為金屬柱,金屬柱與其他材料的支撐柱相比更不易損壞;金屬柱的橫截面積的形狀與邊 緣孔的形狀相對應,本實用新型實施例對此不進行限制,任何滿足金屬柱可以插入與拔出 邊緣孔的形狀均屬于本實用新型實施例保護的范圍,例如邊緣孔的橫截面積為圓形,則金 屬柱的橫截面積可以為圓形,可以更方便支撐柱的插入與拔出。為了實現(xiàn)調(diào)節(jié)器更換裝置能夠自動的更換調(diào)節(jié)器,如圖2所示,該檢測設備還包 括延時繼電器(圖中未示出),延時繼電器與用于卡住調(diào)節(jié)器的卡子的氣閥相連接,并電連 接有位置傳感器6,位置傳感器6設置于檢測系統(tǒng)1底端底板上,以便于及時的感應到調(diào)節(jié) 器更換裝置是否已經(jīng)運動到預定位置,預定位置為支撐柱的頂端與調(diào)節(jié)器的框架在同一水 平線上的位置,該位置可以使拆卸下的調(diào)節(jié)器準確的降落到調(diào)節(jié)器更換裝置上,并且不易 使其在降落的過程中受損壞,因此該位置為調(diào)節(jié)器拆卸過程中調(diào)節(jié)器下落的最佳位置。其中,如圖6和圖7所示,當需要將調(diào)節(jié)器2拆下時,啟動升降軸51,由升降軸51 連帶承接支架53向上運動,當支撐柱54伸入調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔中,并且支撐柱54的頂 端與調(diào)節(jié)器的框架相水平時,升降軸51停止上升,位置傳感器感應到該支撐柱54,便向延 時繼電器發(fā)送信號,延時繼電器接收到該信號后,給控制卡子開與閉的氣閥供電,氣閥供電 后,卡子松開,調(diào)節(jié)器2降落到調(diào)節(jié)器更換裝置5上,由支撐柱54承接;由于支撐柱54上端 的尺寸小于邊緣孔的尺寸,可以使調(diào)節(jié)器2順利的落到支撐柱54上,而支撐柱54下端的尺 寸大于邊緣孔的尺寸,可以阻止調(diào)節(jié)器直接降落到承接支架的上表面,使調(diào)節(jié)器的鏡面結 構與承接面不直接接觸,避免對調(diào)節(jié)器造成不必要的損壞,從而減小了調(diào)節(jié)器的損失。如圖8和圖9所示,當調(diào)節(jié)器2降落到支撐柱54上后,啟動升降軸51帶動承接調(diào)節(jié)器的承接支架53下降,直至降至升降軸51的初始位置停止,則整個調(diào)節(jié)器拆卸過程結 束。當升降軸停止降落后,便可以對拆卸下的調(diào)節(jié)器進行處理,若拆卸下的調(diào)節(jié)器已經(jīng)損 壞,則將其從調(diào)節(jié)器更換裝置上取下并更換上一個好的調(diào)節(jié)器;若拆卸下的調(diào)節(jié)器沒有損 壞,僅需要對其進行檢測并擦拭,則可以對其進行相應的操作。
進一步,當需要重新安裝調(diào)節(jié)器時,將支撐柱伸入調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔中,重新啟 動升降軸,由升降軸帶動承載有調(diào)節(jié)器的承接支架上升,當支撐柱的頂端與調(diào)節(jié)器框架達 到同一水平線位置時,升降軸停止上升,位置傳感器感應到支撐柱,便再次向延時繼電器發(fā) 送信號,延時繼電器接收到該信號后,由于在再次接到信號之前,延時繼電器持續(xù)給氣閥供 電,等再次接收到位置感應器發(fā)送的信號后,停止給控制卡子開與閉的氣閥供電,氣閥斷電 后,卡子鎖住,調(diào)節(jié)器重新安裝好;在調(diào)節(jié)器重新安裝好后,升降軸帶動承接支架下降,直到 下降到升降軸的初始位置,則整個調(diào)節(jié)器安裝過程結束。其中,本實用新型中帶動升降軸升降所涉及到的馬達,本實用新型實施例不進行 限制,各種馬達均屬本實用新型保護的范疇。進一步地,為了方便調(diào)節(jié)器的檢測,如圖3所示,將支撐柱51設計為空心的支撐 柱,其內(nèi)放置有固定件55,固定件可以為但不局限于螺釘。當拆卸或安裝調(diào)節(jié)器時,將固定 件55從空心的支撐柱54內(nèi)取出,以便將支撐柱54插入到調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔內(nèi);當將調(diào) 節(jié)器拆卸下需要檢測時,將固定件55放置到空心的支撐柱54內(nèi),以固定調(diào)節(jié)器,防止調(diào)節(jié) 器的掉落。并且為了檢測調(diào)節(jié)器的便利,可以將用固定件固定的調(diào)節(jié)器通過旋轉軸旋轉,以 便相應的工作人員對調(diào)節(jié)器進行檢查或擦拭。如圖3所示,承接支架53包括支撐框架531 和橫跨支撐框架531的頂端并與支撐框架相軸接的旋轉軸532,旋轉軸可從0度到360度旋 轉;支撐框架531的底端與升降軸51的頂端相連;在旋轉軸532與支撐框架531軸接部位 設置有位置固定塞56 ;旋轉軸532與支持框架531底端的距離大于調(diào)節(jié)器的最大尺寸,以 便調(diào)節(jié)器可以在支撐框架中順利的旋轉,而不受損壞,從而減小了調(diào)節(jié)器的損失;在承接支 架53具有上述結構時,支撐柱54設置于旋轉軸532上,用于承接調(diào)節(jié)器。其中,位置固定 塞所使用的材料,本實用新型對此不進行限制,任何材料均屬本實用新型保護的范圍。在將承載有調(diào)節(jié)器的旋轉軸旋轉到一定角度時,可以通過位置固定塞將旋轉軸固 定,以便相應的工作人員對調(diào)節(jié)器進行檢查或擦拭。更進一步地,該基板檢測設備還包括位于檢測設備的基臺上且用于從固定位置取 放調(diào)節(jié)器的機械手,以便于在將調(diào)節(jié)器拆下時,機械手將調(diào)節(jié)器從調(diào)節(jié)器更換裝置上取下, 并放入固定位置的盒子里面。當需要更換調(diào)節(jié)器時,將新的調(diào)節(jié)器放置在固定位置的盒子 里,機械手從固定位置的盒子里取出新的調(diào)節(jié)器,并放在調(diào)節(jié)器更換裝置上,使調(diào)節(jié)器更換 裝置的支撐柱伸入調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔中,以便將新的調(diào)節(jié)器進行安裝。從而使整個調(diào)節(jié) 器更換過程全部自動化,避免了手動拿取調(diào)節(jié)器的過程中,由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損 壞,從而減小了調(diào)節(jié)器的損失,并且節(jié)省了更換調(diào)節(jié)器的時間。以上所述,僅為本實用新型的具體實施方式
,但本實用新型的保護范圍并不局限 于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內(nèi),可輕易想到變化 或替換,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此,本實用新型的保護范圍應以所述權 利要求的保護范圍為準。
權利要求一種檢測設備,包括基臺、檢測系統(tǒng)、以及設置在所述檢測系統(tǒng)底端底板上的調(diào)節(jié)器,其特征在于,還包括調(diào)節(jié)器更換裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的檢測設備,其特征在于,所述調(diào)節(jié)器更換裝置包括升降軸,所 述升降軸的底端與用于固定所述調(diào)節(jié)器更換裝置的底座相連,頂端與所述調(diào)節(jié)器更換裝置 的承接支架相連。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的檢測設備,其特征在于,所述承接支架的頂端設置有支撐 柱,所述支撐柱的位置與所述調(diào)節(jié)器邊緣的邊緣孔相對應,并且所述支撐柱上端的尺寸小 于所述邊緣孔的尺寸、下端的尺寸大于所述邊緣孔的尺寸。
4.根據(jù)權利要求1所述的檢測設備,其特征在于,所述檢測設備還包括延時繼電器,所 述延時繼電器與用于卡住所述調(diào)節(jié)器的卡子的氣閥相連接。
5.根據(jù)權利要求1所述的檢測設置,其特征在于,所述檢測設備還包括與所述延時繼 電器電連接的位置傳感器。
6.根據(jù)權利要求3所述的檢測設備,其特征在于,所述承接支架包括支撐框架和橫跨 所述支撐框架的頂端并與所述支撐框架相軸接的旋轉軸,所述支撐框架的底端與所述升降 軸的頂端相連;所述旋轉軸與所述支持框架底端的距離大于所述調(diào)節(jié)器的最大尺寸;所述 支撐柱設置于所述旋轉軸上。
7.根據(jù)權利要求3所述的檢測設備,其特征在于,所述支撐柱為空心的支撐柱,其內(nèi)放 置有固定件。
8.根據(jù)權利要求7所述的檢測設備,其特征在于,所述固定件為螺釘。
9.根據(jù)權利要求6所述的檢測設備,其特征在于,所述旋轉軸與所述支撐框架軸接部 位設置有位置固定塞。
10.根據(jù)權利要求1所述的檢測設備,其特征在于,所述檢測設備還包括位于所述基臺 上且用于從固定位置取放所述調(diào)節(jié)器的機械手。專利摘要本實用新型公開了一種檢測設備,涉及基板測試設備領域,避免手動更換或檢查調(diào)節(jié)器時,由于人為失誤造成調(diào)節(jié)器的損壞,從而減少了調(diào)節(jié)器的損失,并且防止了由于所述調(diào)節(jié)器的損壞導致不必要的停機。本實用新型包括基臺、檢測系統(tǒng)、以及在所述檢測系統(tǒng)底端底板上的調(diào)節(jié)器;還包括調(diào)節(jié)器更換裝置。
文檔編號G02F1/13GK201637564SQ20102017145
公開日2010年11月17日 申請日期2010年4月21日 優(yōu)先權日2010年4月21日
發(fā)明者張鐵林, 楊海洪, 葛興 申請人:北京京東方光電科技有限公司