專利名稱：玻璃基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于顯示用面板等的制造的玻璃基板檢查裝置，尤其涉及適合檢查玻 璃基板的表面的傷痕和異物的玻璃基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
作為顯示用面板而使用的液晶顯示裝置的TFT(Thin Film Transistor)基板或者 濾色器基板、等離子顯示器面板用基板、有機(jī)EUElectroluminescence)顯示面板用基板 等的制造，利用光刻法技術(shù)在玻璃基板上形成圖案而進(jìn)行。此時(shí)，若在玻璃基板的表面或內(nèi) 部存在傷痕或異物等的缺陷，則圖案不能良好地形成、成為不良的原因。由此，利用缺陷檢 查裝置，進(jìn)行玻璃基板的表面的傷痕或異物等的缺陷的檢查。
現(xiàn)在，玻璃基板的大型化被推進(jìn)，并且計(jì)劃第十世代的玻璃基板 (2850mmX3050mm)的生產(chǎn)。伴隨這些的檢查裝置的大型化也成為必須。若檢查裝置大型 化，則由于制作性或運(yùn)輸上的關(guān)系而需要將裝置做成分割結(jié)構(gòu)。
作為這種裝置的分割結(jié)構(gòu)，提出了用顯示基板用曝光裝置對(duì)基座支架進(jìn)行三分割 的方法(專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2007-65588號(hào)
若分割檢查裝置，則產(chǎn)生裝置的剛性降低、分割單位的振動(dòng)被合成、使變形或振動(dòng) 變大的問(wèn)題。若變形或振動(dòng)變大，則存在玻璃基板的檢查精度降低的危險(xiǎn)。
但是，在上述專利文獻(xiàn)1公開(kāi)的裝置中，沒(méi)有對(duì)這種問(wèn)題進(jìn)行考慮。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這種問(wèn)題而做出，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠減少分割裝置時(shí)的 變形、振動(dòng)，并且能夠高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板的檢查裝置。
本發(fā)明為了達(dá)到上述目的，第一特征在于，玻璃基板檢查裝置具有放置玻璃基板 的檢查平臺(tái)；對(duì)上述玻璃基板照射檢查光，并接收檢查光由于玻璃基板的表面或者內(nèi)部的 異物而散射的散射光的光學(xué)部；具有使上述檢查平臺(tái)及上述光學(xué)部之中至少一方移動(dòng)的驅(qū) 動(dòng)部的基臺(tái)；以及設(shè)置上述基臺(tái)的腳部，其特征在于，上述基臺(tái)及上述檢查平臺(tái)之中至少上 述基臺(tái)沿上述移動(dòng)的方向分割成多個(gè)，上述腳部用剛體構(gòu)成。
另外，為了達(dá)到上述目的，在第一特征的基礎(chǔ)上，第二特征在于，上述腳部設(shè)在被 分割的各個(gè)基臺(tái)的角部。
而且，為了達(dá)到上述目的，在第一或第二特征的基礎(chǔ)上，第三特征在于，將上述基 臺(tái)分割成N(整數(shù))個(gè)，將上述檢查平臺(tái)分割成N-I個(gè)。
另外，為了達(dá)到上述目的，在第三特征的基礎(chǔ)上，第四特征在于，上述N分割之 中作為一端側(cè)的第N個(gè)基臺(tái)是上述光學(xué)部的待機(jī)位置，被分割的上述檢查平臺(tái)之中第 M(<N-1，整數(shù))個(gè)檢查平臺(tái)的移動(dòng)方向的長(zhǎng)度，比第M個(gè)基臺(tái)的移動(dòng)方向的長(zhǎng)度短。
最后，為了達(dá)到上述目的，在第四特征的基礎(chǔ)上，第五特征在于上述N為3。
本發(fā)明具有以下效果。
根據(jù)本發(fā)明，可以提供能夠減少分割裝置時(shí)的變形、振動(dòng)，并且能夠高精度地進(jìn)行 檢查的玻璃基板的檢查裝置。


圖1是作為本發(fā)明的實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝置的立體圖。
圖2是在圖1中從箭頭A-A的方向觀察的作為本發(fā)明的實(shí)施方式的玻璃基板檢查 裝置的側(cè)視圖。
圖3是在圖1中從箭頭B的方向觀察的作為本發(fā)明的實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝 置的另一個(gè)側(cè)視圖。
圖4是表示基臺(tái)支架的下支架的圖。
圖5是作為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的玻璃基板檢查裝置的腳部的一個(gè)側(cè)視圖。
圖6是在圖5中從箭頭C的方向觀察的作為本發(fā)明的實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝 置的腳部的另一個(gè)側(cè)視圖。
圖7是現(xiàn)有的玻璃基板裝置的腳部的與圖5對(duì)應(yīng)的側(cè)視圖。
圖中
1-基臺(tái)支架，2-檢查平臺(tái)，3-光學(xué)部，4-光學(xué)頭，5、6、7_直線導(dǎo)軌，8-光學(xué)部X 驅(qū)動(dòng)部，9-平臺(tái)基座，10-支柱，11-平臺(tái)，12-檢查平臺(tái)驅(qū)動(dòng)部，13-板，15、16、17-滑動(dòng)件， 18-光學(xué)部Y驅(qū)動(dòng)部，20-腳部，21-水平墊片，22-基座，23-塊體，24-連結(jié)基座，25-墊片， 40-控制部，100-玻璃基板檢查裝置。
具體實(shí)施方式
將作為本發(fā)明的實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝置100的全體結(jié)構(gòu)表示在圖1至圖3 中。圖1表示作為本實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝置的立體圖，圖2表示在圖1中從箭頭A-A 的方向觀察的作為本實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝置的側(cè)視圖，圖3是表示在圖1中從箭頭 B的方向觀察的作為本實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝置的另一個(gè)側(cè)視圖。
作為本實(shí)施方式的玻璃基板檢查裝置100大致區(qū)分，則包括基臺(tái)支架1、檢查平臺(tái) 2、光學(xué)部3、腳部20 (參照?qǐng)D2、以及控制這些部件的控制部40。
在本實(shí)施方式中，如圖2、圖3所示，將基臺(tái)支架1做成支架la、lb、Ic的三分割結(jié) 構(gòu)，并且將檢查平臺(tái)做成h、2b的二分割結(jié)構(gòu)。光學(xué)部3如圖3所示，形成門(mén)型的結(jié)構(gòu)，并 具有3臺(tái)光學(xué)頭^、4b、k和進(jìn)行詳細(xì)的檢查的光學(xué)顯微鏡部30 (參照?qǐng)D1)。另外，腳部 20在后述的下支架的角部設(shè)置多個(gè)(在本實(shí)施方式中為一側(cè)6個(gè)、合計(jì)12個(gè))。
分割位置考慮到操作性而如下決定。即，二分割的檢查平臺(tái)2a、2b分割成，圖2所 示的其X方向的長(zhǎng)度比被分割的基臺(tái)支架la、Ib的X方向的長(zhǎng)度短，而且，在檢查平臺(tái)加 搭載在基臺(tái)支架Ia上，且檢查平臺(tái)2b搭載在基臺(tái)支架Ib上，且光學(xué)部3搭載在基臺(tái)支架 Ic上的狀態(tài)下，能夠輸送。另外，在進(jìn)行檢查時(shí)，基臺(tái)支架Ic還是光學(xué)部3的待機(jī)位置。
基臺(tái)支架la、lb、Ic分別包括上支架lau、lbu、Icu和下支架lad、lbd、led。下支架 如圖4的lad、Ibd所示，在四方外框組中形成格子形狀的骨架，安裝腳部20的兩端側(cè)形成 為細(xì)格子。另外，各下支架互相利用螺栓等牢牢地固定。利用這種結(jié)構(gòu)，本玻璃基板檢查裝置提高了剛性。
另一方面，在上支架之中上支架lauUcu做成二字形，支架Ibu只在兩側(cè)配置支 架。利用該結(jié)構(gòu)，檢查平臺(tái)2a、2b能夠在支架la、lb、Ic內(nèi)部移動(dòng)。
另外，在基臺(tái)支架上，用于使檢查平臺(tái)2沿X方向移動(dòng)的直線導(dǎo)軌fe、5b(參照?qǐng)D 3)設(shè)在下支架lad、lbd、led上，檢查平臺(tái)驅(qū)動(dòng)部12設(shè)在下支架Iad上，直線導(dǎo)軌6a、6b設(shè) 在上支架lau、lbu、lcu上。另外，在上支架lau、lbu、lcu上，平行地設(shè)置用于使光學(xué)部3向 直線導(dǎo)軌6a、6b的外側(cè)移動(dòng)的直線導(dǎo)軌7a、7b。直線導(dǎo)軌6a、6b、7a、7b在基臺(tái)支架lb、lc 的整個(gè)區(qū)域范圍內(nèi)與基臺(tái)支架相同地被分割。為了減少在分割部的晃蕩，直線導(dǎo)軌6a、6b、 7a、7b的分割位置從分割基臺(tái)支架的位置錯(cuò)開(kāi)。
檢查平臺(tái)2a、2b如圖2所示，分別做成平臺(tái)基座9a、9b、支柱10a、10b、平臺(tái)11a、 lib的結(jié)構(gòu)。支柱10a、IOb在各個(gè)檢查平臺(tái)具有多個(gè)，在本實(shí)施方式中在檢查平臺(tái)加上設(shè) 置6根，在檢查平臺(tái)2b上設(shè)置4根。平臺(tái)基座9和平臺(tái)11分別具有多個(gè)在直線導(dǎo)軌5a、 5b,6a,6b上移動(dòng)的與各個(gè)直線導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)件15a、15b、16a、16b。在此，在直線導(dǎo)軌5a、 5b上移動(dòng)的檢查平臺(tái)2b的滑動(dòng)件15a、1 設(shè)置成，如圖2所示，在檢查平臺(tái)2b來(lái)到附圖上 右端的檢查位置時(shí)，不進(jìn)入基臺(tái)支架Ia的區(qū)域，從而避免在連接點(diǎn)移動(dòng)，并且減少一點(diǎn)振 動(dòng)發(fā)生因素。
如圖1所示，將玻璃基板P放在平臺(tái)11(檢查平臺(tái)幻上進(jìn)行表面檢查。平臺(tái)11a、 1 Ib的各個(gè)表面精度通過(guò)支柱10a、10b的上下方向的高度調(diào)整來(lái)進(jìn)行，平臺(tái)1 la、1 Ib間的表 面精度，通過(guò)安裝設(shè)在檢查平臺(tái)2a、2b的分割位置上的板13，并使用水平調(diào)整螺釘，以高度 調(diào)整來(lái)進(jìn)行。
對(duì)這種結(jié)構(gòu)的檢查平臺(tái)2的移動(dòng)方法進(jìn)行以下說(shuō)明。如圖4所示，在基臺(tái)支架Ia 的下支架Iad的中央，設(shè)有檢查平臺(tái)驅(qū)動(dòng)部12。檢查平臺(tái)驅(qū)動(dòng)部12包括滾珠螺桿12b、使 滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)1 !以及固定在檢查平臺(tái)加的平臺(tái)基座9a上的螺母12n (參 照?qǐng)D2)。因此，隨著被平臺(tái)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)1 !驅(qū)動(dòng)的滾珠螺桿12b的旋轉(zhuǎn)，螺母12η沿X方向 移動(dòng)，檢查平臺(tái)加在直線導(dǎo)軌6a、6b上移動(dòng)。檢查平臺(tái)2b由于一體地固定在檢查平臺(tái)加 上，因此隨著檢查平臺(tái)加的移動(dòng)，在直線導(dǎo)軌6a、6b以及fejb上移動(dòng)。而且，讀取設(shè)在檢 查平臺(tái)2上的位置編碼器(未圖示)，并且利用控制裝置40將檢查平臺(tái)2控制在所需的位 置。
光學(xué)部3使光學(xué)頭^、4b、k以及光學(xué)顯微鏡部30利用光學(xué)部X驅(qū)動(dòng)部8沿X方 向移動(dòng)、且利用光學(xué)部Y驅(qū)動(dòng)部18(參照?qǐng)D1)沿Y方向移動(dòng)。光學(xué)部X驅(qū)動(dòng)部8設(shè)在紙面 右側(cè)的基臺(tái)支架的上支架lau、lbu、lcu的側(cè)部。光學(xué)部X驅(qū)動(dòng)部8如圖1所示，包括滾珠 螺桿8b、使?jié)L珠螺桿旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)8m以及固定在光學(xué)部8上的螺母Sn。隨著該螺 母8η的移動(dòng)，光學(xué)部3的滑動(dòng)件17a、17b沿X方向在直線導(dǎo)軌7a、7b上移動(dòng)，并且光學(xué)部 3全體沿X方向移動(dòng)。
另一方面，光學(xué)部Y驅(qū)動(dòng)部18具有如圖1所示使各個(gè)光學(xué)頭如、仙、如獨(dú)立并沿 Y方向移動(dòng)的光學(xué)頭驅(qū)動(dòng)部18a、18b (未圖示)、18c。各個(gè)結(jié)構(gòu)基本上具有與光學(xué)部X驅(qū)動(dòng) 部相同的結(jié)構(gòu)。
光學(xué)顯微鏡部30用于在利用光學(xué)頭發(fā)現(xiàn)傷痕或異物時(shí)若有必要再進(jìn)行詳細(xì)的檢 查，與光學(xué)頭同樣具有使其沿Y方向移動(dòng)的光學(xué)顯微鏡驅(qū)動(dòng)部(未圖示)。
如上所述，使檢查平臺(tái)2以及光學(xué)部3沿X方向移動(dòng)，使光學(xué)頭^、4b、k沿Y方 向移動(dòng)，以矩形掃描玻璃基板P，進(jìn)行玻璃基板表面的傷痕、異物的檢查。檢查如下進(jìn)行，對(duì) 玻璃基板的表面或者內(nèi)部照射檢查光，并接收散射的散射光。此時(shí)，光學(xué)頭如、仙、如分別 檢查沿Y方向?qū)ΣＡЩ灞砻孢M(jìn)行三分割的范圍。因此，光學(xué)頭^、4b、如對(duì)應(yīng)于三分割而 以等距離(參照?qǐng)D幻配置，以便最終能夠全面檢查。另外，能夠檢查玻璃基板的表面或內(nèi) 部的只有圖1所示的基板平臺(tái)2的凹凸。由此，若一次掃描結(jié)束，則錯(cuò)開(kāi)玻璃基板而掃描剩 余部分進(jìn)行檢查。
在這種玻璃基板檢查裝置中，通過(guò)檢查平臺(tái)2a、2b和光學(xué)部3的移動(dòng)，產(chǎn)生支架的 變形、振動(dòng)。圖5、圖6表示具有本實(shí)施方式的除震結(jié)構(gòu)的裝置腳部20，圖5表示作為本實(shí) 施方式的玻璃基板檢查裝置的腳部的一個(gè)側(cè)視圖，圖6是在圖5中從箭頭C的方向觀察的 腳部的另一個(gè)側(cè)視圖。
腳部20具有水平墊片21、基座22、塊體23以及連結(jié)基座對(duì)。腳部的結(jié)構(gòu)要素全 部用不銹鋼等的剛體構(gòu)成。各個(gè)的作用如下，水平墊片21調(diào)整基座22的高度，塊體23主 要進(jìn)行除震。
在不具有分割結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有裝置中，如圖7所示，在水平墊片21的下面具有用于與 地板磨合的墊片25，并且通過(guò)將該墊片25和支撐支架的塊體23用橡膠(彈性體)做成而 進(jìn)行除震。但是，在如本實(shí)施方式那樣具有分割結(jié)構(gòu)的裝置中，由于連結(jié)部的剛性低，因此 腳部的橡膠的下沉將會(huì)促進(jìn)在連結(jié)部的支架的變形。另外，被分割的各個(gè)分割部分別進(jìn)行 固有的振動(dòng)，并且作為整體產(chǎn)生大振動(dòng)。其結(jié)果，可以知道，檢查動(dòng)作時(shí)的變形、振動(dòng)與以往 相比變大，并且與玻璃基板的檢查精度的惡化相牽連。
因此，將以往使用橡膠的腳部的墊片25拆除，并且用不銹鋼(剛體)構(gòu)成塊體23， 使腳部的結(jié)構(gòu)與剛性接近。另外，增加腳部20的個(gè)數(shù)，并且將腳部設(shè)在基臺(tái)支架的角部。其 結(jié)果，基臺(tái)支架la、lb、Ic能夠接近與地板面一體的變形體、振動(dòng)體。
根據(jù)以上說(shuō)明的本實(shí)施方式，能夠抑制分割結(jié)構(gòu)所導(dǎo)致的在連結(jié)部的剛性不足所 引起的裝置的變形以及振動(dòng)，并且能夠減少玻璃基板的檢查精度的下降。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板檢查裝置，具有放置玻璃基板的檢查平臺(tái)；對(duì)上述玻璃基板照射檢 查光，并接收檢查光從玻璃基板的表面或者內(nèi)部散射的散射光的光學(xué)部；具有使上述檢查 平臺(tái)及上述光學(xué)部之中至少一方移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部的基臺(tái)；以及設(shè)置上述基臺(tái)的腳部，其特征 在于，上述基臺(tái)及上述檢查平臺(tái)之中至少上述基臺(tái)沿上述移動(dòng)的方向分割成多個(gè)，上述腳部 用剛體構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于， 上述腳部設(shè)在被分割的各個(gè)基臺(tái)的角部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于，上述腳部具有與地板面接觸并能夠調(diào)整高度的水平部；與基臺(tái)連結(jié)的連結(jié)基座；設(shè) 在水平部上的基座部；以及設(shè)在上述連結(jié)基座和上述基座部之間的塊體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于，將上述基臺(tái)進(jìn)行N分割，將上述檢查平臺(tái)進(jìn)行N-I分割，其中，N為整數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于，上述N分割之中作為一端側(cè) 的第N個(gè)基臺(tái)是上述光學(xué)部的待機(jī)位置，上述被分割的檢查平臺(tái)之中第M個(gè)檢查平臺(tái)的移 動(dòng)方向的長(zhǎng)度，比第M個(gè)基臺(tái)的移動(dòng)方向的長(zhǎng)度短，其中，M為整數(shù)，且M彡N-1。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于， 上述N為3。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于，在上述被分割的各個(gè)部分具有調(diào)節(jié)檢查平臺(tái)的表面精度的檢查平臺(tái)表面精度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于，上述被分割的檢查平臺(tái)分別具有移動(dòng)上述基臺(tái)的平臺(tái)基座、搭載上述玻璃基板的平 臺(tái)、以及連結(jié)上述平臺(tái)基座和上述平臺(tái)的連結(jié)部，上述檢查平臺(tái)表面精度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是調(diào)節(jié) 連結(jié)部的高度的機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板檢查裝置，其特征在于， 設(shè)有調(diào)節(jié)上述被分割的檢查平臺(tái)間的表面精度的機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠減少分割裝置時(shí)的變形、振動(dòng)，并且能夠高精度地檢查的玻璃基板的檢查裝置。本發(fā)明的玻璃基板檢查裝置具有放置玻璃基板的檢查平臺(tái)；對(duì)上述玻璃基板照射檢查光，并接收檢查光由于玻璃基板的表面或者內(nèi)部的異物而散射的散射光的光學(xué)部；具有使上述檢查平臺(tái)及上述光學(xué)部之中至少一方移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部的基臺(tái)；以及設(shè)置上述基臺(tái)的腳部，其特征在于，上述基臺(tái)及上述檢查平臺(tái)之中至少上述基臺(tái)沿上述移動(dòng)的方向分割成多個(gè)，上述腳部用剛體構(gòu)成。
文檔編號(hào)G02F1/13GK102033067SQ20101026345
公開(kāi)日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月24日
發(fā)明者下田勇一, 家田雅常 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)