貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法。即使第一基板在真空環(huán)境中膨脹，也可壓扁膨脹部而與第二基板的相對(duì)位置不偏移地貼合。第一基板(1)保持于腔室(14)內(nèi)的第一保持部件(11)且第二基板(2)保持于第二保持部件(12)后，將腔室的內(nèi)部空間減壓至規(guī)定的真空度。即使第一基板隨著該減壓而沿厚度方向即Z方向突出變形，也由于其膨脹部進(jìn)入到空間部，因此第一基板不會(huì)相對(duì)于第一保持部件局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的按壓部通過(guò)空間部且沿厚度方向與第一基板的膨脹部抵接，且以膨脹部壓縮變形的方式隔著粘結(jié)劑及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按壓，由此壓扁膨脹部使第一基板與第二基板隔著粘結(jié)劑被均勻地加壓并貼合。
【專利說(shuō)明】貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種相對(duì)于例如液晶顯示器(IXD)、有機(jī)EL顯示器(OLED)、等離子顯示器(PDP)、可撓性顯示器等平板顯示器(FPD)或例如如觸控面板式FH)或3D (3維)顯示器或電子書籍等液晶模塊(LCM)或可撓性印刷電路板(FPC)等基板，貼合觸控面板、蓋玻片、覆蓋膜或FH)等另一個(gè)基板的貼合設(shè)備的制造裝置、及貼合設(shè)備的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種貼合設(shè)備的制造方法，有如下電氣光學(xué)裝置的制造方法:在真空氣氛中，將液晶面板和局部涂(涂布)有粘結(jié)劑(紫外線固化性環(huán)氧樹脂)的蓋玻片以對(duì)位的狀態(tài)擠壓，由此，帶狀的粘結(jié)劑部擴(kuò)散到液晶面板與蓋玻片之間而成為粘結(jié)劑層，并且，通過(guò)其粘著性來(lái)使液晶面板側(cè)與蓋玻片側(cè)粘附。之后，進(jìn)行液晶面板及蓋玻片的第I對(duì)準(zhǔn)處理并進(jìn)行臨時(shí)粘結(jié)工序后，進(jìn)行第2對(duì)準(zhǔn)處理(對(duì)位處理)，最后進(jìn)行正式固化處理(正式粘結(jié)工序)來(lái)將液晶面板與蓋玻片正式粘結(jié)(例如參考專利文獻(xiàn)I)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利公開2009-230039號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的技術(shù)課題
[0007]然而，如圖5(a)所示，包含多個(gè)構(gòu)成部件的液晶面板等第一基板I為多個(gè)構(gòu)成部件一體組裝的結(jié)構(gòu)體，在其制造階段，大量空氣進(jìn)入到結(jié)構(gòu)體的內(nèi)部而成為被封入的狀態(tài)。
[0008]因此，如圖5(b)所示，若將液晶面板等第一基板I與蓋玻片等第二基板2為了真空貼合而搬入到真空腔室14'內(nèi)，并將第一基板I保持于下保持部件IP且將第二基板2保持于上保持部件12'后，將真空腔室14'的內(nèi)部減壓至規(guī)定的真空度，則封入于結(jié)構(gòu)體內(nèi)部的空氣因內(nèi)外的壓力差而膨脹變形，結(jié)構(gòu)體中強(qiáng)度相對(duì)較弱的部位成為膨脹部Ia并突出。
[0009]若在第一基板I通過(guò)該膨脹部Ia而相對(duì)于下保持部件11'整體傾斜的狀態(tài)下，如圖5(c)所示，下保持部件11'與上保持部件12'相對(duì)地沿厚度方向(Z方向)接近移動(dòng)，并沿Z方向?qū)Φ谝换錓及第二基板2進(jìn)行加壓而使二者重疊，則通過(guò)傾斜，第一基板I沿與厚度方向交叉的橫縱斜方向(XY Θ方向)移動(dòng)而在與第二基板2之間產(chǎn)生位置偏移,并導(dǎo)致以位置偏移的狀態(tài)貼合。
[0010]若第一基板I與第二基板2的位置精確度因位置偏移而下降，則會(huì)影響之后的產(chǎn)品組裝性，存在成品率下降的問(wèn)題。尤其，第二基板2為觸控面板玻璃時(shí)，顯示區(qū)域內(nèi)的圖像的顯示位置和傳感器的檢測(cè)位置從設(shè)計(jì)位置偏移，因此無(wú)法發(fā)揮所期望的性能，存在成為次品的問(wèn)題。
[0011]而且，通過(guò)下保持部件11'及上保持部件12'，將已傾斜的第一基板I強(qiáng)制壓向第二基板2時(shí)，相對(duì)于夾在下保持部件11'與上保持部件12'之間的粘結(jié)劑3的加壓力變得不均，因此之后向大氣開放后，存在粘結(jié)劑3中易混入氣泡而成為成品率下降的原因的問(wèn)題。
[0012]因此，為了解決這種問(wèn)題，考慮使真空腔室14'的減壓速度非常緩慢，以免第一基板I因內(nèi)外的壓力差而膨脹變形。
[0013]然而，這種情況下，真空腔室14'的內(nèi)部達(dá)到規(guī)定的真空度為止需要大量時(shí)間，其結(jié)果，存在使產(chǎn)品的生產(chǎn)率下降而成本升高的問(wèn)題。
[0014]解決課題的技術(shù)方案
[0015]本發(fā)明將解決這種問(wèn)題作為課題，其目的在于提供一種即使第一基板在真空環(huán)境中膨脹也能夠與第二基板不產(chǎn)生相對(duì)位置偏移地進(jìn)行貼合的貼合設(shè)備的制造裝置、及貼合設(shè)備的制造方法等。
[0016]為了實(shí)現(xiàn)這種目的，基于本發(fā)明的貼合設(shè)備的制造裝置，該貼合設(shè)備使包含多個(gè)構(gòu)成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結(jié)劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向相互對(duì)位并貼合，所述貼合設(shè)備的制造裝置的特征在于，具備:第一保持部件，其設(shè)置成將所述第一基板裝卸自如地保持；第二保持部件，其設(shè)置成將與所述第一保持部件之間隔著所述粘結(jié)劑而相向的所述第二基板裝卸自如地保持；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其設(shè)置成使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一個(gè)朝向另一個(gè)接近移動(dòng)、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對(duì)接近移動(dòng)；及開閉自如的腔室，其設(shè)置成將容納有所述第一保持部件及所述第二保持部件的內(nèi)部腔室從大氣氣氛減壓至規(guī)定的真空度，所述第一保持部件具有空間部，在所述第一基板上隨著所述腔室內(nèi)的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進(jìn)入到所述空間部，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有按壓部，所述按壓部以通過(guò)所述空間部且沿所述厚度方向與所述第一基板的所述膨脹部抵接，并且使該膨脹部壓縮變形的方式隔著所述粘結(jié)劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
[0017]并且，基于本發(fā)明的貼合設(shè)備的制造方法，該貼合設(shè)備使包含多個(gè)構(gòu)成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結(jié)劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向使所述第一基板與所述第二基板相對(duì)移動(dòng)并相互對(duì)位后貼合，所述貼合設(shè)備的制造方法的特征在于，包括如下工序:保持工序，在具有空間部的第一保持部件上保持所述第一基板，且在第二保持部件上保持與所述第一保持部件之間隔著所述粘結(jié)劑相向的所述第二基板；減壓工序，將容納所述第一保持部件及所述第二保持部件的腔室的內(nèi)部空間從大氣氣氛減壓至規(guī)定的真空度；及驅(qū)動(dòng)工序，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任一個(gè)朝向另一個(gè)接近移動(dòng)、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對(duì)接近移動(dòng)，在所述保持工序中，使在所述第一基板上隨著所述腔室內(nèi)的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進(jìn)入到所述第一保持部件的所述空間部，在所述驅(qū)動(dòng)工序中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的按壓部通過(guò)所述空間部而朝向所述第一基板的所述膨脹部沿所述厚度方向接近移動(dòng)而抵接，且隔著所述粘結(jié)劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
[0018]發(fā)明效果
[0019]具有前述特征的基于本發(fā)明的貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法在將第一基板保持于腔室內(nèi)的第一保持部件并將第二基板保持于第二保持部件后，將腔室的內(nèi)部空間減壓至規(guī)定的真空度。即使第一基板隨著該減壓而沿厚度方向突出變形，也由于其膨脹部進(jìn)入到空間部，因此第一基板不會(huì)相對(duì)于第一保持部件局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的按壓部通過(guò)空間部而與第一基板的膨脹部沿厚度方向抵接，且以膨脹部壓縮變形的方式隔著粘結(jié)劑及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按壓，由此，壓扁膨脹部而使第一基板與第二基板隔著粘結(jié)劑被均勻地加壓并貼合。
[0020]因此，即使第一基板在真空環(huán)境中膨脹，也能夠壓扁膨脹部而與第二基板相對(duì)位置不偏移地貼合。
[0021]其結(jié)果，相比真空膨脹的液晶面板以傾斜的狀態(tài)與蓋玻片貼合的以往的貼合設(shè)備的制造裝置及制造方法，第一基板與第二基板的對(duì)位能夠維持在高精確度，且防止成品率下降。尤其，即使第二基板為觸控面板玻璃，也由于顯示區(qū)域內(nèi)的圖像的顯示位置和傳感器的檢測(cè)位置不會(huì)從設(shè)計(jì)位置偏移，因此能夠發(fā)揮所希望的性能，且能夠減少次品的產(chǎn)生。
[0022]而且，通過(guò)第一保持部件及第二保持部件，相對(duì)于夾在第一基板與第二基板之間的粘結(jié)劑的加壓力均勻，因此之后向大氣開放后粘結(jié)劑中也沒(méi)有氣泡混入，并且通過(guò)按壓部，第一基板與第二基板隔著粘結(jié)劑均勻地被加壓，因此即使在粘結(jié)劑的內(nèi)部混入空氣等氣體或產(chǎn)生氣體，也會(huì)將這些氣體擠出而不會(huì)在面內(nèi)殘留氣泡。由此，能夠防止成品率的下降。
[0023]并且，無(wú)需為了防止真空環(huán)境中的第一基板的膨脹而減慢腔室的減壓速度，因此能夠縮短腔室內(nèi)部達(dá)到規(guī)定的真空度為止的時(shí)間，且不會(huì)降低產(chǎn)品的生產(chǎn)率而可實(shí)現(xiàn)成本的降低。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法的整體結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖1 (a)是表示搬入后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖1 (b)是表示減壓后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖1(c)是表示第二基板的接近移動(dòng)后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖1(d)是表示按壓部的接近移動(dòng)后的狀態(tài)的縱截面主視圖。
[0025]圖2是貼合另一結(jié)構(gòu)的貼合設(shè)備時(shí)的說(shuō)明圖，圖2(a)是表示搬入后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖2(b)是表示減壓后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖2(c)是表示第二基板的接近移動(dòng)后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖2(d)是表示按壓部的接近移動(dòng)后的狀態(tài)的縱截面主視圖。
[0026]圖3是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例所涉及的貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法的整體結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖3(a)是表示搬入后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖3(b)是沿圖3(a)的(3B)-(3B)的橫截面俯視圖。
[0027]圖4是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例所涉及的貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法的整體結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖4(a)是表示搬入后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖4(b)是表示減壓后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖4(c)是表示第二基板的接近移動(dòng)后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖4(d)是表示按壓部的接近移動(dòng)后的狀態(tài)的縱截面主視圖。
[0028]圖5是表示以往的貼合設(shè)備的制造裝置及貼合設(shè)備的制造方法的一例的說(shuō)明圖，圖5(a)是表示搬入后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖5(b)是表示減壓后的狀態(tài)的縱截面主視圖，圖5(c)是表示第二基板的接近移動(dòng)后的狀態(tài)的縱截面主視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0029]以下，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0030]本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的貼合設(shè)備A的制造裝置如圖1?圖4所示，包含多個(gè)構(gòu)成部件的第一基板I和將其覆蓋的第二基板2隔著粘結(jié)劑3沿厚度方向(以下稱作Z方向)重疊，且使第一基板I與第二基板2沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向(以下稱作XY Θ方向)相對(duì)移動(dòng)并相互對(duì)位后貼合。
[0031]詳細(xì)說(shuō)明如下，本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的貼合設(shè)備A的制造裝置中作為主要的構(gòu)成要件而具備:第一保持部件11，設(shè)置成將第一基板I保持為裝卸自如；第二保持部件12，設(shè)置成將在與第一保持部件11之間隔著粘結(jié)劑3相向的第二基板2保持為裝卸自如；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13，設(shè)置成使第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個(gè)朝向另一個(gè)沿Z方向相對(duì)接近移動(dòng)，或使第一保持部件11及第二保持部件12兩者沿Z方向相對(duì)接近移動(dòng)；及開閉自如的腔室14，設(shè)置成將容納第一保持部件11及第二保持部件12的內(nèi)部空間14a從大氣氣氛減壓至規(guī)定的真空度。
[0032]而且，雖未圖示，但這種貼合設(shè)備A的制造裝置中還具備對(duì)位用驅(qū)動(dòng)部和位置檢測(cè)部等，所述對(duì)位用驅(qū)動(dòng)部使第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個(gè)朝向另一個(gè)沿XY Θ方向相對(duì)移動(dòng)或使第一保持部件11及第二保持部件12兩者沿XY Θ方向相對(duì)移動(dòng)而使第一基板I與第二基板2對(duì)位；所述位置檢測(cè)部用于檢測(cè)在第一基板I及第二基板2上設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志等。
[0033]第一基板I為例如如液晶模塊(LCM)等多個(gè)構(gòu)成部件一體組成的薄板狀的結(jié)構(gòu)體，尤其以封入于結(jié)構(gòu)體內(nèi)部的空氣在真空環(huán)境中因內(nèi)外壓力差而膨脹變形的結(jié)構(gòu)體作為對(duì)象。
[0034]若詳細(xì)地說(shuō)明，第一基板I是指在其結(jié)構(gòu)體的制造階段，空氣在一體組裝多個(gè)構(gòu)成部件時(shí)進(jìn)入到結(jié)構(gòu)體的內(nèi)部，且在組裝成半成品和成品之后空氣也不會(huì)從結(jié)構(gòu)體的內(nèi)部漏出到外部而是被封入的基板。因此，若第一基板I的周圍成為真空或接近于真空的環(huán)境，則封入于內(nèi)部的空氣因內(nèi)外的壓力差而膨脹變形，結(jié)構(gòu)體中強(qiáng)度相對(duì)較弱的部位成為膨脹部Ia而關(guān)出。
[0035]如圖1 (a)?(d)所示，作為第一基板I的具體例，示出在結(jié)構(gòu)體的外邊部Ib具有邊框狀的框體lc，且在框體Ic的內(nèi)部使用從表面?zhèn)瘸虮趁鎮(zhèn)葘⒁壕姘宓扔跋耧@示部件Id、驅(qū)動(dòng)電路和驅(qū)動(dòng)用印刷基板le、背光源單元If等堆積并一體組裝的LCM等的例子。當(dāng)為這種結(jié)構(gòu)體時(shí)，在真空環(huán)境中強(qiáng)度相對(duì)較弱，背光源單元If的中央部分成為膨脹部Ia而突出。
[0036]并且，作為第一基板I的其他例雖未圖示，但能夠代替LCM，使用不具有邊框狀的框體Ic但在真空環(huán)境中膨脹變形的其他結(jié)構(gòu)體。
[0037]而且，優(yōu)選在第一基板I的外周邊設(shè)置用于與第二基板2對(duì)位的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志(未圖示)O
[0038]第二基板2例如為觸控面板、蓋玻片和覆蓋膜等通過(guò)粘結(jié)成覆蓋第一基板I來(lái)構(gòu)成觸控面板式的平板顯示器(FPD)、3D(3維)顯示器和電子書等的基板。
[0039]如圖1 (a)?(d)所示，作為第二基板2的具體例，示出使用觸控面板的情況。
[0040]并且，作為第二基板2的其他例雖未圖示，但能夠代替觸控面板，使用蓋玻片和覆
nn/J另寸ο
[0041]而且，優(yōu)選在第二基板2的外周邊設(shè)置用于與第一基板I對(duì)位的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志(未圖示)O
[0042]并且，第一基板I或第二基板2中的任一個(gè)或兩個(gè)，不限于使用在其制作階段最終分離的基板，而能夠使用多個(gè)第一基板I和第二基板2在其制作階段排列設(shè)置的分離前的I個(gè)基板。
[0043]而且，第一基板I及第二基板2的外部形狀形成為例如矩形、大致矩形或與其類似的形狀。第一基板I及第二基板2的尺寸形成為在兩者的貼合狀態(tài)下，第一基板I或第二基板2中的任一個(gè)大于另一個(gè)，或第一基板I及第二基板2的外邊緣彼此分別重疊的相同尺寸。
[0044]粘結(jié)劑3使用例如吸收光能來(lái)進(jìn)行聚合并固化而產(chǎn)生粘結(jié)性的具有光固化性的光固化型粘結(jié)劑。并且，能夠代替光固化型粘結(jié)劑，使用通過(guò)熱能的吸收來(lái)進(jìn)行聚合并固化的熱固化型粘結(jié)劑或二液混合固化型粘結(jié)劑等。
[0045]如圖1 (a)?(d)所示，作為粘結(jié)劑3的具體例，使用光學(xué)彈性樹脂或光學(xué)透明薄片來(lái)涂布于作為第一基板I的LCM的影像顯示部件Id。
[0046]并且，作為粘結(jié)劑3的其他例雖未圖示，但能夠代替光學(xué)彈性樹脂或光學(xué)透明薄片，使用其他光固化型粘結(jié)劑、熱固化型粘結(jié)劑和二液混合固化型粘結(jié)劑等。
[0047]第一保持部件11與第二保持部件12例如由平臺(tái)構(gòu)成，且配設(shè)成在后述的腔室14內(nèi)沿Z方向相互相向，所述平臺(tái)由金屬和陶瓷等剛體形成為不會(huì)應(yīng)變(撓曲)變形的厚度的平板狀。若詳細(xì)說(shuō)明，將在真空環(huán)境中膨脹變形的LCM等第一基板I保持為裝卸自如的第一保持部件11配置于下方，將觸控面板等第二基板2保持為裝卸自如的第二保持部件12配置于上方。
[0048]第一保持部件11與第二保持部件12的相向面上分別設(shè)置有將第一基板I和第二基板2保持為裝卸自如的保持機(jī)構(gòu)(未圖示)。
[0049]作為第一保持部件11的保持機(jī)構(gòu)，使用與第一基板I沿Z方向進(jìn)出自如地嵌合并在ΧΥΘ方向上定位的卡盤等。
[0050]作為第二保持部件12的保持機(jī)構(gòu)，使用將第二基板2懸吊成裝卸自如的例如粘著卡盤、靜電卡盤和吸引卡盤的組合等。
[0051]而且，第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個(gè)或第一保持部件11及第二保持部件12兩者被支承為相對(duì)于后述的腔室14的周壁在Z方向上移動(dòng)自如，并且與后述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13連續(xù)設(shè)置。
[0052]并且，雖未圖示，但第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個(gè)或兩個(gè)具備根據(jù)前述的位置檢測(cè)部而動(dòng)作的對(duì)位用驅(qū)動(dòng)部，且通過(guò)使第一保持部件11與第二保持部件12沿XY Θ方向相對(duì)移動(dòng)來(lái)使第一基板I與第二基板2對(duì)位。
[0053]并且，第一保持部件11具有空間部11a，在第一基板I上隨著后述的腔室14內(nèi)的減壓而沿Z方向突出變形的膨脹部Ia沿Z方向進(jìn)入到所述空間部11a。
[0054]而且，優(yōu)選第一保持部件11具有設(shè)置成與第一基板I的外邊部Ib相向而將外邊部Ib保持為裝卸自如的框狀部11b，且在框狀部Ilb的中央位置劃分形成有空間部11a，膨脹部Ia沿Z方向進(jìn)入到空間部11a。
[0055]框狀部Ilb形成為與第一基板I的外形尺寸對(duì)應(yīng)的邊框狀，且通過(guò)載置第一基板I的外邊部lb，構(gòu)成為將第一基板I整體支承為至少不會(huì)在Z方向上位置偏移。在框狀部Ilb的中央開設(shè)有空間部11a，從而使后述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的按壓部13a能夠沿Z方向移動(dòng)。
[0056]驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13具有通過(guò)空間部Ila而與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接的按壓部13a。而且，通過(guò)后述的控制部(未圖示)對(duì)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13進(jìn)行動(dòng)作控制，且使按壓部13a或第二保持部件12中的任一個(gè)或按壓部13a及第二保持部件12兩者在各自設(shè)定的定時(shí)沿Z方向升降移動(dòng)。
[0057]S卩，按壓部13a構(gòu)成為隨著驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的動(dòng)作與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接，且以膨脹部Ia沿Z方向壓縮變形的方式隔著粘結(jié)劑3及第二基板2朝向第二保持部件12沿Z方向平行地按壓。
[0058]腔室14具有:內(nèi)部空間14a，配設(shè)有第一保持部件11及第二保持部件12 ;及減壓機(jī)構(gòu)14b，將內(nèi)部空間14a的氣體排出而進(jìn)行減壓。使用例如搬運(yùn)機(jī)器人等搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(未圖示)以能夠使第一基板I和第二基板2遍及內(nèi)部空間14a和腔室14的外部空間而進(jìn)出的方式，將腔室14的整體或一部分構(gòu)成為開閉自如。
[0059]作為腔室14的具體例，在圖1?圖4的情況下構(gòu)成為如下:沿Z方向分割腔室14，且使支承第一保持部件11的下方的第一分割腔室14C和支承第二保持部件12的上方的第二分割腔室14d以沿Z方向相對(duì)接近或遠(yuǎn)離的方式往復(fù)移動(dòng)，由此，內(nèi)部空間14a開閉自如且成為密封結(jié)構(gòu)。
[0060]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠代替分割式，變更為通過(guò)在腔室14的一部分設(shè)置開閉自如的門扇，由此，內(nèi)部空間14a開閉自如且成為密封結(jié)構(gòu)。
[0061]而且，通過(guò)后述的控制部(未圖示)對(duì)使腔室14的內(nèi)部空間14a開閉的驅(qū)動(dòng)部He進(jìn)行動(dòng)作控制，且與前述的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)而在預(yù)先設(shè)定的定時(shí)開閉移動(dòng)。
[0062]該控制部為不僅與前述的第一保持部件11及第二保持部件12的保持機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13、腔室14的減壓機(jī)構(gòu)14b及驅(qū)動(dòng)部14e，還分別與前述的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、位置檢測(cè)部、對(duì)位用驅(qū)動(dòng)部和使粘結(jié)劑3固化的固化機(jī)構(gòu)等電連接的控制器，且根據(jù)在控制電路中預(yù)先設(shè)定的程序來(lái)依次分別進(jìn)行動(dòng)作控制。
[0063]將設(shè)定于控制部的控制電路的程序作為用于生產(chǎn)貼合設(shè)備A的制造方法來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
[0064]本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的貼合設(shè)備A的制造方法中作為主要工序而包括如下工序:保持工序，在第一保持部件11上保持第一基板I，并且在第二保持部件12上保持第二基板2 ;減壓工序，將腔室14的內(nèi)部空氣14a從大氣氣氛減壓至規(guī)定的真空度；及驅(qū)動(dòng)工序，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13使第一保持部件11或第二保持部件12中的任一個(gè)朝向另一個(gè)或使兩個(gè)沿Z方向相對(duì)接近移動(dòng)。
[0065]如圖1 (a)所示，保持工序在大氣氣氛中通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將第一基板I與第二基板2分別搬入腔室14的內(nèi)部空間14a之后進(jìn)行，緊接著腔室14進(jìn)行閉合動(dòng)作而使內(nèi)部空間14a成為密封狀態(tài)。
[0066]如圖1(b)所示，在減壓工序中，隨著腔室14內(nèi)的減壓，第一基板I的一部分沿Z方向突出變形，且使其膨脹部Ia沿Z方向進(jìn)入到第一保持部件11的空間部11a。
[0067]如圖1(c)及圖1(d)所示，在驅(qū)動(dòng)工序中，第二保持部件12接近移動(dòng)而使第二基板與第一保持部件11上的粘結(jié)劑3抵接從而兩者粘附，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的按壓部13a通過(guò)空間部Ila而與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接，且隔著粘結(jié)劑3及第二基板2朝向第二保持部件12以成為與Z方向平行的方式進(jìn)行按壓。
[0068]驅(qū)動(dòng)工序之后，使內(nèi)部空間14a回到大氣氣氛，之后如圖1(d)的雙點(diǎn)劃線所示，腔室14進(jìn)行開啟動(dòng)作而將已完成貼合的貼合設(shè)備A通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬出。
[0069]之后，反復(fù)進(jìn)行前述的動(dòng)作。
[0070]根據(jù)這種本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的貼合設(shè)備A的制造裝置及貼合設(shè)備A的制造方法，第一基板I保持于腔室14內(nèi)的第一保持部件11而第二基板2保持于第二保持部件12后，使腔室14的內(nèi)部空間14a減壓至規(guī)定的真空度。如圖1(b)所示，隨著該減壓，即使第一基板I沿Z方向突出變形，也由于其膨脹部Ia進(jìn)入到空間部11a，因此第一基板I不會(huì)相對(duì)于第一保持部件11局部浮起而整體傾斜。在該減壓狀態(tài)下通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的動(dòng)作，如圖1(d)所示，按壓部13a通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的動(dòng)作通過(guò)空間部Ila而與第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向抵接，且以膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結(jié)劑3及第二基板2朝向第二保持部件12沿Z方向平行地按壓，因此壓扁膨脹部Ia而使第一基板I和第二基板2隔著粘結(jié)劑3均勻地被加壓并貼合。
[0071]因此，即使第一基板I在真空環(huán)境中膨脹，也能夠壓扁膨脹部Ia而與第二基板2相對(duì)位置不偏移地貼合。
[0072]其結(jié)果，能夠?qū)⒌谝换錓與第二基板2的對(duì)位維持在高精確度，且防止成品率的下降。尤其，即使第二基板2為觸控面板，由于顯示區(qū)域內(nèi)的圖像的顯示位置和傳感器的檢測(cè)位置不會(huì)從設(shè)計(jì)位置偏移，因此能夠發(fā)揮所希望的性能，且能夠減少次品的產(chǎn)生。
[0073]而且，通過(guò)第一保持部件11、按壓部13a及第二保持部件12，相對(duì)于夾在第一基板I與第二基板2之間的粘結(jié)劑3的加壓力均勻，因此在之后向大氣開放，粘結(jié)劑3中也不會(huì)混入氣泡，且通過(guò)按壓部13a，第一基板I與第二基板2隔著粘結(jié)劑3均勻地被加壓，因此即使在粘結(jié)劑3的內(nèi)部混入空氣等氣體或產(chǎn)生氣體，也會(huì)將這些氣體擠出而不會(huì)在面內(nèi)殘留氣泡。由此，能夠防止成品率的下降。
[0074]并且，無(wú)需為了防止真空環(huán)境中的第一基板I的膨脹而減慢腔室壓速度，因此能夠縮短腔室14的內(nèi)部達(dá)到規(guī)定的真空度為止的時(shí)間，且不會(huì)降低貼合設(shè)備A的生產(chǎn)率而可實(shí)現(xiàn)成本的降低。
[0075]尤其，第一保持部件11具有將第一基板I的外邊部Ib保持為裝卸自如的框狀部11b，在框狀部Ilb的中央位置形成有第一基板I的膨脹部Ia沿厚度方向(Z方向)進(jìn)入的空間部Ila時(shí)，即使在第一基板I保持于第一保持部件11的框狀部Ilb且第二基板2保持于第二保持部件12后，第一基板I隨著腔室14內(nèi)的減壓而突出變形，也由于其膨脹部Ia沿Z方向進(jìn)入到框狀部Ilb的中央位置的空間部11a，因此第一基板I不會(huì)相對(duì)于第一保持部件11的框狀部Ilb傾斜。在該減壓狀態(tài)下通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的動(dòng)作，按壓部13a通過(guò)框狀部Ilb的空間部IIa且沿厚度方向(Z方向)接近移動(dòng)而抵接第一基板I的膨脹部la，且以膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結(jié)劑3及第二基板2朝向第二保持部件12沿Z方向平行地按壓，因此壓扁膨脹部Ia而使第一基板I和第二基板2隔著粘結(jié)劑3均勻地被加壓并貼合。
[0076]因此，雖為簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)但能夠使真空膨脹的第一基板I與第二基板2平行地貼合而能夠防止相對(duì)的位置偏移。
[0077]其結(jié)果，維護(hù)輕松且能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)成本降低。
[0078][實(shí)施例1]
[0079]接著，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的各實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
[0080]該實(shí)施例1如圖1 (a)?(d)所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13具有與按壓部13a連續(xù)設(shè)置而使按壓部13a朝向第二保持部件12沿厚度方向(Z方向)接近移動(dòng)的第一升降部13b。
[0081]按壓部13a形成為與第一基板I及膨脹部Ia相向的平滑的板狀，且設(shè)置成在Z方向上移動(dòng)自如。
[0082]而且，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13具有與第二保持部件12連續(xù)設(shè)置而使第二保持部件12朝向按壓部13a沿Z方向往復(fù)移動(dòng)的第二升降部13c。
[0083]第一升降部13b及第二升降部13c以如下方式分別進(jìn)行動(dòng)作控制；在通過(guò)第二升降部13c的動(dòng)作而使第二保持部件12朝向第一保持部件11上的粘結(jié)劑3沿Z方向接近移動(dòng)后，通過(guò)第一升降部13b的動(dòng)作使按壓部13a朝向第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向接近移動(dòng)。
[0084]S卩，如圖1(c)所示，首先第二保持部件12接近移動(dòng)(下降)而使第二基板2與第一保持部件11上的粘結(jié)劑3抵接。之后，如圖1(d)所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的按壓部13a通過(guò)空間部Ila而朝向第一基板I的膨脹部Ia沿Z方向接近移動(dòng)(上升)，從而使按壓部13a與膨脹部Ia抵接。
[0085]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠與第二保持部件12的接近移動(dòng)大致同時(shí)使驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的按壓部13a接近移動(dòng)，從而縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。
[0086]圖1 (a)?⑷所示的例子中，連接按壓部13a與第一升降部13b的從動(dòng)桿13b'在Z方向上往復(fù)移動(dòng)自如地貫穿第一保持部件11的支承板11c。
[0087]第一保持部件兒的支承板Ilc的表面上裝卸自如地安裝有框狀部lib。
[0088]根據(jù)這種本發(fā)明的實(shí)施例1所涉及的貼合設(shè)備A的制造裝置及貼合設(shè)備A的制造方法，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的第一升降部13b的動(dòng)作，使按壓部13a朝向在第一基板I上隨著腔室14內(nèi)的減壓而突出變形的膨脹部Ia沿第二保持部件12的厚度方向(Z方向)接近移動(dòng)，由此按壓部13a沿Z方向與膨脹部Ia抵接而使膨脹部Ia收縮并被壓扁，而且在按壓部13a與第二保持部件12之間夾入第一基板1、粘結(jié)劑3及第二基板2而平行地按壓。
[0089]因此，能夠使第一基板I在已真空膨脹的膨脹部Ia可靠地收縮變形后與第二基板2平行地貼合。
[0090]其結(jié)果，具有能夠提高第一基板I與第二基板2的對(duì)位精確度，且可實(shí)現(xiàn)成品率的提聞的優(yōu)點(diǎn)。
[0091]尤其，如圖1(c)所示，首先由第二保持部件12接近移動(dòng)而使第二基板2與第一保持部件11上的粘結(jié)劑3抵接后，如圖1 (d)所示，使按壓部13a與第一基板I的膨脹部Ia抵接，此時(shí)，在按壓部13a與膨脹部Ia抵接之前的時(shí)刻，在第二保持部件12與框狀部Ilb之間，第二基板2隔著粘結(jié)劑3而與第一基板I的外邊部Ib在Z方向上壓接，因此第二基板2與第一基板I不會(huì)在Z方向及XY Θ方向上發(fā)生位置偏移。該狀態(tài)下，即使按壓部13a與膨脹部Ia抵接，也能夠順利地吸收其沖擊，且具有進(jìn)一步提高第一基板I與第二基板2的對(duì)位精確度的優(yōu)點(diǎn)。
[0092]而且，實(shí)施例1中，在第一保持部件11或第二保持部件12的相向面中的任一面或第一保持部件11及第二保持部件12的相向的兩面上，設(shè)置有緩沖材料4。
[0093]圖1 (a)?(d)所示的例子中，在按壓部13a的表面上將緩沖材料4配置成與第一基板I的背光源單元If相向。緩沖材料4的表面上遍及其幾乎整體且隔著預(yù)定之間隔設(shè)置有多個(gè)突起4a，從而整體上形成為凹凸形狀。
[0094]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠變更緩沖材料4的形狀，或?qū)⒕彌_材料4設(shè)置于第二保持部件12的相向面。
[0095]由此，與第一保持部件11及第二保持部件12的相向面的平行度無(wú)關(guān)而能夠確保第一基板I與第二基板2的平行度，因此具有能夠完全防止氣泡的產(chǎn)生的優(yōu)點(diǎn)。
[0096]并且，利用本發(fā)明的實(shí)施例1所涉及的貼合設(shè)備A的制造裝置，還能夠制造其他結(jié)構(gòu)的貼合設(shè)備A'。將這種情況示于圖2(a)?(d)。
[0097]用于圖2(a)?(d)所示的貼合設(shè)備A'的第一基板Γ為不具有背光源的玻璃(open cell)結(jié)構(gòu)的液晶顯示器(LCD)等，這種結(jié)構(gòu)體的內(nèi)部不具有殘留空氣的空間，因此即使在真空環(huán)境中也不會(huì)膨脹。
[0098]圖2(a)?(d)所示的例子中，示出包含液晶面板等影像顯示部件Id、驅(qū)動(dòng)電路和驅(qū)動(dòng)用印刷基板Ie的第一基板P的情況。
[0099]而且，貼合設(shè)備A'中除第一基板I'以外的構(gòu)成部件使用與圖1(a)?(d)所示的實(shí)施例1相同的部件。
[0100]將第一基板Γ保持為裝卸自如的第一保持部件11從支承板Ilc卸下框狀部11b，且相對(duì)按壓部13a的表面載置第一基板I'且將其保持為裝卸自如。
[0101]因此，在I個(gè)貼合設(shè)備A的制造裝置中，只要對(duì)于結(jié)構(gòu)和特征不同的多種第一基板I及第一基板P更換部件即可進(jìn)行對(duì)應(yīng)，因此還具有方便性優(yōu)異的優(yōu)點(diǎn)。
[0102][實(shí)施例2]
[0103]該實(shí)施例2如圖3(a)、(b)所示，第一保持部件11的框狀部Ilb具有以將第一基板I的外邊部Ib沿與厚度方向(Z方向)交叉的橫縱方向(XY方向)夾入的方式在橫縱方向(XY方向)上移動(dòng)自如的把持部位lld，除這種結(jié)構(gòu)與圖1(a)?(d)等中所示的實(shí)施例1不同以外，其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。
[0104]把持部位Ild為在第一基板I的外邊部Ib的四個(gè)角處分割與至少I個(gè)角部位相向的框狀部Ilb的I個(gè)部位，并設(shè)置成相對(duì)于其他部位在橫縱方向(以下稱作XY方向)上移動(dòng)自如的部位。
[0105]把持部位Ild上設(shè)置有使把持部位Ild在第一基板I的外邊部Ib的四個(gè)角處朝向I個(gè)或多個(gè)角部位沿XY方向分別移動(dòng)而抵接的移動(dòng)機(jī)構(gòu)He。移動(dòng)機(jī)構(gòu)lie由氣缸等驅(qū)動(dòng)器或彈簧等彈性體構(gòu)成。
[0106]圖3(a)、圖3(b)所示的例子中，框狀部Ilb的平面形狀形成為L(zhǎng)字形，并配置成在第一基板I的外邊部Ib沿著隔著I個(gè)角部位連續(xù)的兩個(gè)邊部位分別向Y方向和X方向延伸。把持部位Ild與沿框狀部Ilb的Y方向延伸的一邊部位Ilbi及沿X方向延伸的另一邊部位lib"分別平行地相向設(shè)置有I對(duì)。與沿框狀部Ilb的Y方向延伸的一邊部位Ilbi平行地相向的一個(gè)把持部位IlcT被支承為在X方向上移動(dòng)自如。與沿框狀部Ilb的X方向延伸的另一邊部位lib"平行地相向的另一個(gè)把持部位lid"被支承為在Y方向上移動(dòng)自如。這些一對(duì)把持部位llcKllcT、lld")上分別連續(xù)設(shè)置有一對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)lie而使一對(duì)把持部位各自移動(dòng)。這些移動(dòng)機(jī)構(gòu)lie為彈簧復(fù)位式的氣缸，通過(guò)前述的控制部對(duì)其進(jìn)行動(dòng)作控制，且配合第一基板I的尺寸，使第一基板I的外邊部Ib和框狀部Ilbdlb'、Ilb")及把持部位lld(lld'、lld")以各自無(wú)間隔地相互接觸的方式調(diào)整移動(dòng)。
[0107]S卩，把持部位Ild的移動(dòng)機(jī)構(gòu)Ile在第一基板I搬入在第一保持部件11的框狀部Ilb與把持部位Ild之間劃分形成的空間部Ila之前的時(shí)刻，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的第一基板I的尺寸數(shù)據(jù)，使把持部位lld(lld'、lld")以從框狀部Ilb離開所設(shè)定的尺寸的量的方式移動(dòng)。
[0108]并且，作為其他例雖未圖示，但也能夠?qū)殉植课籌ld形成為其平面形狀沿X方向和Y方向以L字形延伸，且通過(guò)I個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)lie使其朝向平面L字形的框狀部Ilb斜向移動(dòng)，或作為把持部位Ild的移動(dòng)機(jī)構(gòu)lie代替彈簧復(fù)位式的氣缸而使用除此之外的驅(qū)動(dòng)器或彈黃等彈性體等。
[0109]根據(jù)這種本發(fā)明的實(shí)施例2所涉及的貼合設(shè)備A的制造裝置及貼合設(shè)備A的制造方法，第一保持部件11的框狀部Ilb以把持部位Ild沿橫縱方向(XY方向)夾入第一基板I的外邊部lb，由此，框狀部Ilb及把持部位Ild與第一基板I的外邊部Ib在XY方向上無(wú)間隙地壓接，第一基板I被夾持為不能在XY方向上移動(dòng)。即使在腔室14減壓時(shí)在內(nèi)部空間14a中產(chǎn)生氣流,第一基板I也不會(huì)位置偏移。
[0110]因此，能夠?qū)⒌谝换錓相對(duì)于第二基板2的相對(duì)的位置偏移抑制在最小限度。
[0111]其結(jié)果，與實(shí)施例1相比，具有能夠進(jìn)一步提聞第一基板I與第_■基板2的對(duì)位精確度，且能夠?qū)崿F(xiàn)成品率的進(jìn)一步的提聞的優(yōu)點(diǎn)。
[0112][實(shí)施例3]
[0113]該實(shí)施例3如圖4(a)?(d)所示，按壓部13a在厚度方向(Z方向)上固定成不能移動(dòng)，第一保持部件11的框狀部Ilb具有以與基于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13的第二保持部件12的接近移動(dòng)聯(lián)動(dòng)的方式在厚度方向(Z方向)上移動(dòng)自如地進(jìn)行支承的支承部位Hf，除這種結(jié)構(gòu)與圖1(a)?(d)等中所示的實(shí)施例1和圖3中所示的實(shí)施例2不同以外，其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施例I和實(shí)施例2相同。
[0114]支承部位Ilf為設(shè)置于第一保持部件11的框狀部Ilb的升降引導(dǎo)件，其設(shè)置有用于至少設(shè)定框狀部Iib的上限位置的限位器Hg、及用于朝向第二保持部件12沿z方向?qū)χС胁课籌lf彈性施力的彈性體llh。
[0115]圖4(a)?(d)所示的例子中，支承部位Ilf由豎立設(shè)置于下方的第一分割腔室14c的支承桿11Π、及配置成相對(duì)于支承桿11Π在軸向上往復(fù)移動(dòng)自如的滑動(dòng)件llf2構(gòu)成，且通過(guò)在第一保持部件11的支承板Ilc上設(shè)置多個(gè)滑動(dòng)件llf2，從而相對(duì)于各支承桿11Π，第一保持部件11的支承板Ilc及安裝于其之上的框狀部Ilb被支承為在Z方向上移動(dòng)自如。在第一保持部件11的支承板Ilc和下方的第一分割腔室14c之間作為彈性體Ilh遍及兩者而設(shè)置有彈簧，從而構(gòu)成為與第二保持部件12的接近移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而第一保持部件11的支承板Ilc及框狀部Ilb向相同方向移動(dòng)。
[0116]S卩，如圖4 (b)所示，在腔室14內(nèi)的減壓結(jié)束后，如圖4 (C)所示，通過(guò)第二升降部13c的動(dòng)作，第二保持部件12接近移動(dòng)(下降)而使第二基板2與第一保持部件11上的粘結(jié)劑3抵接后進(jìn)一步向相同方向進(jìn)行按壓。隨此，如圖4(d)所示，使框狀部Ilb與彈性體Ilh的施力對(duì)抗而向相同方向聯(lián)動(dòng)(下降)。由此，按壓部13a相對(duì)地通過(guò)空間部IIa而與第一基板I的膨脹部Ia接近，最后使第一基板I的膨脹部Ia與按壓部13a抵接，且以膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結(jié)劑3及第二基板2朝向按壓部13a沿Z方向平行地按壓。
[0117]并且，作為其他例雖未圖示，但能夠代替包含支承桿11Π及滑動(dòng)件llf2的支承部位Hf，使用其他結(jié)構(gòu)的部件，或作為彈性體Ilh使用除彈簧以外的彈性部件，或者改變支承部位Ilf的安裝位置。
[0118]根據(jù)這種本發(fā)明的實(shí)施例3所涉及的貼合設(shè)備A的制造裝置及貼合設(shè)備A的制造方法，隨著通過(guò)驅(qū)動(dòng)部件13來(lái)使第二保持部件12朝向第一保持部件11接近移動(dòng)，第一保持部件11的框狀部Ilb聯(lián)動(dòng)而使保持于框狀部Ilb的第一基板I的膨脹部Ia朝向在厚度方向(Z方向)上固定成不能移動(dòng)的按壓部13a相對(duì)接近移動(dòng)，并使第一基板I的膨脹部Ia與按壓部13a沿Z方向抵接，且以使膨脹部Ia壓縮變形的方式隔著粘結(jié)劑3及第二基板2平行地按壓，因此，壓扁膨脹部Ia而使第一基板I與第二基板2隔著粘結(jié)劑3均勻地被加壓并貼合。
[0119]因此，僅以第二保持部件12的接近移動(dòng)，便能夠?qū)⒁颜婵张蛎浀牡谝换錓與第二基板2平行地貼合而防止相對(duì)的位置偏移。
[0120]其結(jié)果，與實(shí)施例1相比，不再需要使按壓部13a接近的第一升降部13b，因此具有通過(guò)移動(dòng)部件的削減而能夠更輕松地進(jìn)行維護(hù)且實(shí)現(xiàn)成本進(jìn)一步降低的優(yōu)點(diǎn)。
[0121]另外，前示實(shí)施例中，作為第一保持部件11的框狀部Ilb使用了形成為邊框狀的部件，但并不限定于此，只要能夠?qū)⒌谝换錓的外邊部Ib保持為裝卸自如，則即使不是以邊框狀連續(xù)的部件亦可。
[0122]附圖文字說(shuō)明
[0123]A-貼合設(shè)備，1-第一基板，Ia-膨脹部，Ib-外邊部,2_第二基板,3_粘結(jié)劑，11_第一保持部件，Ila-空間部，Ilb-框狀部，Ild-把持部位，Hf-支承部位，12-第二保持部件，13-驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，13a-按壓部，13b-第一升降部，14-腔室，14a-內(nèi)部空間。
【權(quán)利要求】
1.一種貼合設(shè)備的制造裝置，該貼合設(shè)備使包含多個(gè)構(gòu)成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結(jié)劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向相互對(duì)位并貼合，所述貼合設(shè)備的制造裝置的特征在于，具備: 第一保持部件，其設(shè)置成將所述第一基板裝卸自如地保持； 第二保持部件，其設(shè)置成將與所述第一保持部件之間隔著所述粘結(jié)劑而相向的所述第二基板裝卸自如地保持； 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其設(shè)置成使所述第一保持部件和所述第二保持部件中的任一個(gè)朝向另一個(gè)接近移動(dòng)、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對(duì)接近移動(dòng)；及 開閉自如的腔室，其設(shè)置成將容納有所述第一保持部件及所述第二保持部件的內(nèi)部腔室從大氣氣氛減壓至規(guī)定的真空度， 所述第一保持部件具有空間部，在所述第一基板上隨著所述腔室內(nèi)的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進(jìn)入到所述空間部， 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有按壓部，所述按壓部以通過(guò)所述空間部且沿所述厚度方向與所述第一基板的所述膨脹部抵接，并且使該膨脹部壓縮變形的方式隔著所述粘結(jié)劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼合設(shè)備的制造裝置，其特征在于， 所述第一保持部件具有將所述第一基板的外邊部保持裝卸自如地保持的框狀部，在所述框狀部的中央位置形成所述空間部，所述第一基板的所述膨脹部沿所述厚度方向進(jìn)入到所述空間部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的貼合設(shè)備的制造裝置，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有第一升降部，該第一升降部與所述按壓部連續(xù)設(shè)置而使該按壓部朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向接近移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的貼合設(shè)備的制造裝置，其特征在于， 所述第一保持部件的所述框狀部具有沿橫縱方向移動(dòng)自如的把持部位，所述把持部位沿與所述厚度方向交叉的該橫縱方向夾入所述第一基板的所述外邊部。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的貼合設(shè)備的制造裝置，其特征在于， 所述第一保持部件的所述按壓部在所述厚度方向上不能移動(dòng)地被固定，所述第一保持部件的所述框狀部具有支承部位，該支承部位以與由所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行的所述第二保持部件的接近移動(dòng)聯(lián)動(dòng)的方式在所述厚度方向上移動(dòng)自如地進(jìn)行支承。
6.一種貼合設(shè)備的制造方法，該貼合設(shè)備使包含多個(gè)構(gòu)成部件的第一基板與覆蓋該第一基板的第二基板隔著粘結(jié)劑沿厚度方向重疊，且沿與該厚度方向交叉的橫縱斜方向使所述第一基板與所述第二基板相對(duì)移動(dòng)并相互對(duì)位后貼合，所述貼合設(shè)備的制造方法的特征在于，包括如下工序: 保持工序，在具有空間部的第一保持部件上保持所述第一基板，且在第二保持部件上保持與所述第一保持部件之間隔著所述粘結(jié)劑相向的所述第二基板； 減壓工序，將容納所述第一保持部件及所述第二保持部件的腔室的內(nèi)部空間從大氣氣氛減壓至規(guī)定的真空度；及 驅(qū)動(dòng)工序，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任一個(gè)朝向另一個(gè)接近移動(dòng)、或使所述第一保持部件和所述第二保持部件沿所述厚度方向相對(duì)接近移動(dòng)， 在所述保持工序中，使在所述第一基板上隨著所述腔室內(nèi)的減壓而沿所述厚度方向突出變形的膨脹部沿該厚度方向進(jìn)入到所述第一保持部件的所述空間部， 在所述驅(qū)動(dòng)工序中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的按壓部通過(guò)所述空間部而朝向所述第一基板的所述膨脹部沿所述厚度方向接近移動(dòng)而抵接，且隔著所述粘結(jié)劑及所述第二基板朝向所述第二保持部件沿所述厚度方向平行地按壓。
【文檔編號(hào)】B32B37/12GK104369517SQ201410405931
【公開日】2015年2月25日 申請(qǐng)日期:2014年8月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月13日
【發(fā)明者】坂下光邦, 大谷義和 申請(qǐng)人:信越工程株式會(huì)社