1.一種不等臂長真空機械手，其特征在于，包括安裝主體、至少一個機械臂組件(100)和傳動組件(500)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，所述傳動組件(500)包括驅(qū)動帶輪(510)、執(zhí)行帶輪(520)和傳動部件，所述驅(qū)動帶輪(510)轉(zhuǎn)動設置于所述驅(qū)動端(210)，所述執(zhí)行帶輪(520)轉(zhuǎn)動設置于所述執(zhí)行端(320)，所述驅(qū)動帶輪(510)與所述執(zhí)行帶輪(520)均傳動連接于所述傳動部件；所述驅(qū)動帶輪(510)與所述執(zhí)行帶輪(520)中的至少一個為變徑輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，所述傳動部件包括同軸設置的第一傳動輪(530)和第二傳動輪(540)，所述第一傳動輪(530)轉(zhuǎn)動設置于所述第一傳動端(220)，所述第二傳動輪(540)固定設置于所述第一傳動端(220)并延伸至所述第二傳動端(310)，所述驅(qū)動帶輪(510)與所述第一傳動輪(530)傳動連接，所述執(zhí)行帶輪(520)與所述第二傳動輪(540)傳動連接，所述末端執(zhí)行器(400)固定連接于所述執(zhí)行帶輪(520)；
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，所述第一臂(200)上設置第一傳動帶(550)，所述第一傳動帶(550)的至少一端卷繞在所述驅(qū)動帶輪(510)側(cè)壁或所述第一傳動輪(530)側(cè)壁；所述第二臂(300)上設置第二傳動帶(560)，所述第二傳動帶(560)的至少一端卷繞在所述第二傳動輪(540)側(cè)壁或所述執(zhí)行帶輪(520)側(cè)壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，所述變徑輪的至少部分側(cè)壁為變徑部，所述變徑部為所述變徑輪在靜止或運動狀態(tài)下與所述第一傳動帶(550)或所述第二傳動帶(560)接觸的側(cè)壁；
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，定義所述安裝主體與晶圓的連線方向為第一方向，與第一方向垂直的方向為第二方向，所述第一臂(200)與所述第二方向之間的第一夾角為θ，所述第二臂(300)與所述第二方向之間的第二夾角為β；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，所述第二夾角β與所述第一夾角θ之間的對應關系為：
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)子組件(600)，所述轉(zhuǎn)子組件(600)至少包括同軸設置的第一轉(zhuǎn)軸(611)和第二轉(zhuǎn)軸(612)，所述第二轉(zhuǎn)軸(612)穿設于所述第一轉(zhuǎn)軸(611)；所述驅(qū)動端(210)固定設置于所述第一轉(zhuǎn)軸(611)，所述驅(qū)動帶輪(510)固定設置于所述第二轉(zhuǎn)軸(612)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，所述執(zhí)行帶輪(520)或所述驅(qū)動帶輪(510)為所述變徑輪，所述機械臂組件(100)至少設置兩組，兩所述機械臂組件(100)的所述驅(qū)動端(210)的關節(jié)中心呈同軸設置；
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)子組件(600)，所述轉(zhuǎn)子組件(600)包括同軸設置的第一轉(zhuǎn)軸(611)、第二轉(zhuǎn)軸(612)、第四轉(zhuǎn)軸(621)和第五轉(zhuǎn)軸(622)，所述第五轉(zhuǎn)軸(622)穿設于所述第四轉(zhuǎn)軸(621)，所述第四轉(zhuǎn)軸(621)穿設于所述第二轉(zhuǎn)軸(612)，所述第二轉(zhuǎn)軸(612)穿設于所述第一轉(zhuǎn)軸(611)，兩所述第一臂(200)分別固定設置于所述第一轉(zhuǎn)軸(611)與所述第四轉(zhuǎn)軸(621)，兩所述驅(qū)動帶輪(510)分別固定設置于所述第二轉(zhuǎn)軸(612)和所述第五轉(zhuǎn)軸(622)；
11.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，所述執(zhí)行帶輪(520)和所述執(zhí)行帶輪(520)均為所述變徑輪，所述不等臂長真空機械手包括一組轉(zhuǎn)移組件或至少兩組轉(zhuǎn)移組件，每個所述轉(zhuǎn)移組件均包括兩個所述機械臂組件(100)，兩所述驅(qū)動端(210)的關節(jié)中心呈同軸設置，兩所述驅(qū)動帶輪(510)相互連接并呈同軸設置；
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的不等臂長真空機械手，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)子組件(600)，所述轉(zhuǎn)子組件(600)包括同軸設置的第一轉(zhuǎn)軸(611)、第二轉(zhuǎn)軸(612)和第三轉(zhuǎn)軸(613)，所述第二轉(zhuǎn)軸(612)穿設于所述第一轉(zhuǎn)軸(611)，所述第三轉(zhuǎn)軸(613)穿設于所述第二轉(zhuǎn)軸(612)，每組所述轉(zhuǎn)移組件中，兩所述第一臂(200)分別固定設置于所述第一轉(zhuǎn)軸(611)和所述第三轉(zhuǎn)軸(613)，兩所述驅(qū)動帶輪(510)均與所述第二轉(zhuǎn)軸(612)同軸設置，并固定設置于所述第二轉(zhuǎn)軸(612)側(cè)壁；