技術編號：40431717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體設備，尤其涉及一種不等臂長真空機械手。背景技術、真空機械手在半導體制造、晶圓加工等領域中有著廣泛的應用。它們主要用于搬運、定位和夾持晶圓等薄片狀材料。、現(xiàn)有技術中，行業(yè)內(nèi)用于晶圓傳輸?shù)膕cara(selective?compliance?assemblyrobotarm)機械手具有等臂長的結構特點，這種等臂長的scara機械手廣泛應用于半導體自動化傳輸設備中，如配套集成在efem(equipment?front?module)設備內(nèi)的大氣機械手和集成在tm(transfer?...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。