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一種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置制造方法

文檔序號:8105430閱讀:197來源:國知局
一種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置制造方法
【專利摘要】一種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置。單晶爐機(jī)架的面上固定有支架安裝平臺,支架安裝平臺通過提升機(jī)構(gòu)支撐桿與導(dǎo)軌平臺固定連接,支架安裝平臺上固定有電機(jī),電機(jī)連接坩堝提升變速器,坩堝提升變速器通過坩堝提升絲桿通過軸承與導(dǎo)軌平臺上面活連接,坩堝提升絲桿通過螺紋與磁流體安裝平臺活連接,磁流體安裝平臺內(nèi)固定有磁流體,磁流體安裝平臺下端固定有慢速電機(jī),慢速電機(jī)通過傳動齒輪與坩堝提升絲桿連接,旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過連接板與磁流體安裝平臺下端固定連接,旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過多鍥帶坩堝軸連接。由于設(shè)有坩堝的頂升裝置,坩堝能夠同時旋轉(zhuǎn)和頂升,有利于結(jié)晶,成品的合格率大大提升,節(jié)約了能源,為光伏產(chǎn)業(yè)提供了有力的保證。
【專利說明】-種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型一種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置,涉及的是硅片制造設(shè)備設(shè)計(jì)制造

【技術(shù)領(lǐng)域】,應(yīng)用于結(jié)晶爐坩堝的頂升。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著國內(nèi)光伏行業(yè)的迅猛發(fā)展,結(jié)晶爐使用頻率相對增高,隨著產(chǎn)量的提高,坩堝 的加料和更換的次數(shù)相應(yīng)增多。但由于現(xiàn)有的結(jié)晶爐的結(jié)構(gòu)不合理,在結(jié)晶爐內(nèi)的坩堝無 法進(jìn)行復(fù)合運(yùn)動。例,專利201120537541. X,單晶硅制造裝置爐室結(jié)構(gòu),由于沒有坩堝的頂 升裝置,造成坩堝無法同時旋轉(zhuǎn)和頂升,不利于結(jié)晶,容易造成晶棒報(bào)廢,消耗了大量的能 源。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型的目的在于克服上述缺陷,對現(xiàn)有技術(shù)加以改進(jìn),設(shè)計(jì)一種具有操作 便捷,成本低廉,方便頂升坩堝的一種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置。
[0004] 其技術(shù)是這樣實(shí)現(xiàn)的:包括單晶爐機(jī)架、支架安裝平臺、坩堝提升變速器、慢速電 機(jī)、提升機(jī)構(gòu)支撐桿、傳動齒輪、磁流體安裝平臺、坩堝提升絲桿、水冷套、坩堝軸、坩堝、導(dǎo) 軌平臺、磁流體、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、連接板、多鍥帶、結(jié)晶爐、電機(jī)在內(nèi),其特征在于:整個裝置設(shè)在 結(jié)晶爐的下端,單晶爐機(jī)架的面上固定有支架安裝平臺,支架安裝平臺通過提升機(jī)構(gòu)支撐 桿與導(dǎo)軌平臺固定連接,支架安裝平臺上固定有電機(jī),電機(jī)連接坩堝提升變速器,坩堝提升 變速器通過坩堝提升絲桿通過軸承與導(dǎo)軌平臺上面活連接,坩堝提升絲桿通過螺紋與磁流 體安裝平臺活連接,磁流體安裝平臺內(nèi)固定有磁流體,磁流體安裝平臺下端固定有慢速電 機(jī),慢速電機(jī)通過傳動齒輪與坩堝提升絲桿連接,旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過連接板與磁流體安裝平臺 下端固定連接,坩堝軸固定在磁流體內(nèi),坩堝軸頂端抵在結(jié)晶爐內(nèi)置有的坩堝底端,旋轉(zhuǎn)電 機(jī)通過多鍥帶坩堝軸連接,所述的坩堝軸外周設(shè)有水冷套。
[0005] 實(shí)施該技術(shù)后的明顯優(yōu)點(diǎn)和效果是:與現(xiàn)有技術(shù)相比,由于設(shè)有坩堝的頂升裝置, 坩堝能夠同時旋轉(zhuǎn)和頂升,有利于結(jié)晶,成品的合格率大大提升,節(jié)約了能源,為光伏產(chǎn)業(yè) 提供了有力的保證。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1為本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖,
[0007] 其中,1-單晶爐機(jī)架、2-支架安裝平臺、3-坩堝提升變速器、4-慢速電機(jī)、5-提升 機(jī)構(gòu)支撐桿、6-傳動齒輪、7-磁流體安裝平臺、8-坩堝提升絲桿、9-水冷套、10-坩堝軸、 11-坩堝、12-導(dǎo)軌平臺、13-磁流體、14-旋轉(zhuǎn)電機(jī)、15-連接板、16-多鍥帶、17-結(jié)晶爐、 18-電機(jī)。

【具體實(shí)施方式】
[0008] 以下結(jié)合附圖,對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0009] 見附圖1,整個裝置設(shè)在結(jié)晶爐17的下端,單晶爐機(jī)架1的面上固定有支架安裝平 臺2,支架安裝平臺2通過提升機(jī)構(gòu)支撐桿5與導(dǎo)軌平臺12固定連接,支架安裝平臺2上 固定有電機(jī)18,電機(jī)18連接坩堝提升變速器3,坩堝提升變速器3通過坩堝提升絲桿8通 過軸承與導(dǎo)軌平臺12上面活連接,坩堝提升絲桿8通過螺紋與磁流體安裝平臺7活連接, 磁流體安裝平臺7內(nèi)固定有磁流體13,磁流體安裝平臺7下端固定有慢速電機(jī)4,慢速電機(jī) 4通過傳動齒輪6與坩堝提升絲桿8連接,旋轉(zhuǎn)電機(jī)14通過連接板15與磁流體安裝平臺7 下端固定連接,坩堝軸10固定在磁流體13內(nèi),坩堝軸10頂端抵在結(jié)晶爐17內(nèi)置有的坩堝 11底端,旋轉(zhuǎn)電機(jī)14通過多鍥帶16坩堝軸10連接,所述的坩堝軸10外周設(shè)有水冷套9。 [0010] 見附圖1,結(jié)晶爐17結(jié)晶生產(chǎn)時,啟動旋轉(zhuǎn)電機(jī)14,通過多鍥帶16使坩堝軸10旋 轉(zhuǎn),帶動坩堝11旋轉(zhuǎn),坩堝11旋轉(zhuǎn)的同時,慢速電機(jī)4被啟動,慢速電機(jī)4通過傳動齒輪6 帶動坩堝提升絲桿8旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的坩堝提升絲桿8帶動磁流體安裝平臺7慢速上升,隨著磁 流體安裝平臺7的上升,帶動坩堝軸10上升,坩堝軸10上升帶動坩堝11上升,達(dá)到坩堝11 旋轉(zhuǎn)和上升的目的,與晶棒提升機(jī)構(gòu)配合完成結(jié)晶。
【權(quán)利要求】
1. 一種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置,包括單晶爐機(jī)架、支架安裝平臺、坩堝提升變 速器、慢速電機(jī)、提升機(jī)構(gòu)支撐桿、傳動齒輪、磁流體安裝平臺、坩堝提升絲桿、水冷套、坩堝 軸、坩堝、導(dǎo)軌平臺、磁流體、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、連接板、多鍥帶、結(jié)晶爐、電機(jī)在內(nèi),其特征在于:整 個裝置設(shè)在結(jié)晶爐的下端,單晶爐機(jī)架的面上固定有支架安裝平臺,支架安裝平臺通過提 升機(jī)構(gòu)支撐桿與導(dǎo)軌平臺固定連接,支架安裝平臺上固定有電機(jī),電機(jī)連接坩堝提升變速 器,坩堝提升變速器通過坩堝提升絲桿通過軸承與導(dǎo)軌平臺上面活連接,坩堝提升絲桿通 過螺紋與磁流體安裝平臺活連接,磁流體安裝平臺內(nèi)固定有磁流體,磁流體安裝平臺下端 固定有慢速電機(jī),慢速電機(jī)通過傳動齒輪與坩堝提升絲桿連接,旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過連接板與磁 流體安裝平臺下端固定連接,坩堝軸固定在磁流體內(nèi),坩堝軸頂端抵在結(jié)晶爐內(nèi)置有的坩 底端,旋轉(zhuǎn)電機(jī)通過多鍥帶坩堝軸連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種結(jié)晶爐用的坩堝頂升旋轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述的坩 堝軸外周設(shè)有水冷套。
【文檔編號】C30B15/30GK203999904SQ201420211441
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年4月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月28日
【發(fā)明者】張永超 申請人:上海卡姆丹克太陽能科技有限公司
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