一種單晶爐坩堝托盤的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及單晶爐技術領域，具體涉及一種單晶爐坩堝托盤，包括，托盤(3)，其特征在于：所述托盤(3)為圓臺形，托盤(3)下端設有墊片(6)，所述墊片(6)直徑等于托盤(3)底部直徑，所述墊片(6)向下設有托桿(5)，所述墊片(6)向下設有液管固定凸起(8)，所述液管固定凸起(8)上設有外螺紋(9)，所述托桿(5)內設有液管(4)，液管(4)內壁上設有內螺紋(10)，所述液管(4)套在液管固定凸起(8)上，所述托盤(3)上端設有轉動軸(7)，轉動軸(7)連接轉盤(2)，所述轉動軸(7)設在轉盤(2)中心處，所述轉盤(2)上設有坩堝固定裝置(1)，方便了拆卸液管，更換冷卻液，避免了托桿的損壞。
【專利說明】
一種單晶爐坩堝托盤
技術領域
[0001]本實用新型涉及單晶爐技術術領域，具體涉及一種單晶爐坩禍托盤。
【背景技術】
[0002]單晶爐是采用直拉法生產單晶硅的主要設備。其中，生產單晶硅的多晶硅原料放置于石英坩禍中，石英坩禍放置于位于單晶爐熱場中的石墨禍中，而石墨禍被一根圓柱狀的坩禍托桿支撐。
[0003]對硅單晶生產企業(yè)來說，提高硅材料利用率，降低單位能耗，提高生產效率，降低生產成本一直是企業(yè)追求的重要目標。因此，熱場系統(tǒng)設計和熱場內關鍵元件的選材和使用備受關注。眾所周知，單晶爐托桿不僅是支撐坩禍托、坩禍以及全部硅料重量的重要部件;還是傳遞坩禍升降，坩禍旋轉等運動的傳動部件。在單晶生產過程中，托桿處于高溫熱場中，容易損壞托桿，所以需要對托桿進行冷卻。

【發(fā)明內容】

[0004]本實用新型針對現有技術的不足之處，提供一種單晶爐坩禍托盤。
[0005]本實用新型解決現有技術問題的方案是:一種單晶爐坩禍托盤，包括，托盤，所述托盤為圓臺形，托盤下端設有墊片，所述墊片直徑等于托盤底部直徑，所述墊片向下設有托桿，所述墊片向下設有液管固定凸起，所述液管固定凸起上設有外螺紋，所述托桿內設有液管，液管內壁上設有內螺紋，所述液管套在液管固定凸起上，所述托盤上端設有轉動軸，轉動軸連接轉盤，所述轉動軸設在轉盤中心處，所述轉盤上設有坩禍固定裝置。
[0006]采用上述技術方案，液管內壁上設有內螺紋，液管固定凸起上設有外螺紋，便于液管的拆卸，替換冷卻液，有效的控制托桿的溫度，避免托桿的溫度過高導致托桿的損壞。
[0007]優(yōu)選的，所述托桿為石墨托桿。
[0008]優(yōu)選的，所述液管直徑大于液管凸起直徑。
[0009]優(yōu)選的，所述液管的高度為35cm-50cm。
[0010]本實用新型相比現有技術，結構簡單，使用方便。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型一種單晶爐坩禍托盤的結構示意圖；
[0012]圖2為本實用新型液管固定凸起的結構示意圖；
[0013]圖3為本實用新型液管的結構不意圖；
[0014]其中圖中:1、坩禍固定裝置;2、轉盤;3、托盤;4、液管;5、托桿;6、墊片;7、轉動軸；
8、液管固定凸起;9、外螺紋;1、內螺紋。
【具體實施方式】
[0015]為了使本領域的技術人員可以更好地理解本實用新型，下面結合附圖和實施例對本實用新型技術方案進一步說明。
[0016]如圖1、2、3所示，一種單晶爐坩禍托盤，包括，托盤(3)，所述托盤(3)為圓臺形，托盤(3)下端設有墊片(6)，所述墊片(6)直徑等于托盤(3)底部直徑，所述墊片(6)向下設有托桿(5)，所述墊片(6)向下設有液管固定凸起(8)，所述液管固定凸起(8)上設有外螺紋(9)，所述托桿(5)內設有液管(4)，液管(4)內壁上設有內螺紋(10)，所述液管(4)套在液管固定凸起(8)上，所述托盤(3)上端設有轉動軸(7)，轉動軸(7)連接轉盤(2)，所述轉動軸(7)設在轉盤(2)中心處，所述轉盤(2)上設有坩禍固定裝置(I)。
[0017]作為本方案的進一步優(yōu)選，所述托桿(5)為石墨托桿。
[0018]作為本方案的進一步優(yōu)選，所述液管(4)直徑大于液管凸起(8)直徑。
[0019]作為本方案的進一步優(yōu)選，所述液管(4)的高度為35Cm-50Cmo
[0020]本實用新型所提供一種單晶爐坩禍托盤，主要應用在單晶爐上，起到對坩禍的支撐，旋轉的作用，所述托桿內設有液管，液管內設有冷卻液，對坩禍進行降溫，起到了保護托桿，坩禍的作用，避免托桿、坩禍溫度過高導致裝置的損壞，本實用新型結構簡單，安裝方便。
[0021]對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種單晶爐坩禍托盤，包括，托盤(3)，其特征在于:所述托盤(3)為圓臺形，托盤(3)下端設有墊片(6)，所述墊片(6)直徑等于托盤(3)底部直徑，所述墊片(6)向下設有托桿(5)，所述墊片(6)向下設有液管固定凸起(8)，所述液管固定凸起(8)上設有外螺紋(9)，所述托桿(5)內設有液管(4)，液管(4)內壁上設有內螺紋(10)，所述液管(4)套在液管固定凸起(8)上，所述托盤(3)上端設有轉動軸(7)，轉動軸(7)連接轉盤(2)，所述轉動軸(7)設在轉盤(2)中心處，所述轉盤(2)上設有坩禍固定裝置(I)。2.如權利要求1所述的單晶爐坩禍托盤，其特征在于:所述托桿(5)為石墨托桿。3.如權利要求1所述的單晶爐坩禍托盤，其特征在于:所述液管(4)直徑大于液管凸起(8)直徑。4.如權利要求1所述的單晶爐坩禍托盤，其特征在于:所述液管(4)的高度為35cm-50cmo
【文檔編號】C30B15/10GK205635846SQ201620503758
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月30日
【發(fā)明人】高俊偉, 牛安加措, 山海明, 史雪瑩, 羅乾
【申請人】陽光能源（青海）有限公司