專利名稱：磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體分立器件和太陽能電池片的制造領域。
背景技術：
磷擴散是半導體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結(jié)所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術是熱擴散技術。半導體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產(chǎn)品在國內(nèi)有上百億的銷售額，產(chǎn)能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經(jīng)實現(xiàn)25GW的產(chǎn)能，多晶用量達到18萬噸是半導體用量的6倍，因此太陽能的產(chǎn)量比半導體產(chǎn)量更大。國內(nèi)能夠生產(chǎn)太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產(chǎn)半導體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用于磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術成熟的磷擴散技術主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈式擴散；3、采用磷源紙夾層后鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態(tài)磷源擴散的方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴散層表面良好等優(yōu)點，因此運用范圍最廣，生產(chǎn)廠家普遍采用該方法進行大批量生產(chǎn)。磷擴散方法的結(jié)構(gòu)圖如

圖1所示，磷擴散的化學反應方程式如下:
權利要求
1.磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:該抽風管為U形管，抽風管的管道內(nèi)壁設有特氟龍涂層，所述抽風管底部開口并設有縮口結(jié)構(gòu)，所述縮口結(jié)構(gòu)外壁上設有倒鉤，該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側(cè)張開的張口結(jié)構(gòu)，所述張口結(jié)構(gòu)內(nèi)壁安裝一圈密封圈，所述密封箱體上方敞口上邊沿外側(cè)安裝有固定扣，所述縮口結(jié)構(gòu)插入所述張口結(jié)構(gòu)，所述固定扣與所述倒鉤扣合，所述密封圈與所述縮口結(jié)構(gòu)外壁形成密封。
2.根據(jù)權利要求1所述的磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述抽風管包括橫截面為方形的管道本體，所述管道本體內(nèi)設有一豎直的中間隔板將抽風管分隔成U形結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權利要求2所述的磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述中間隔板底端到達縮口結(jié)構(gòu)處止。
4.根據(jù)權利要求3所述的磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述抽風管的縮口結(jié)構(gòu)底端設有延伸 板伸入密封水箱的液面以下。
5.根據(jù)權利要求4所述的磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述延伸板的長度為5cm。
6.根據(jù)權利要求5所述的磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述縮口結(jié)構(gòu)外壁上噴涂有特氟龍涂層。
7.根據(jù)權利要求6所述的磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述密封水箱為不銹鋼結(jié)構(gòu)，密封水箱內(nèi)壁設有特氟龍涂層。
8.根據(jù)權利要求7所述的磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述特氟龍涂層的噴涂厚度為0.2-10mm。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種磷擴散爐抽風管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，該抽風管為U形管，抽風管的管道內(nèi)壁設有特氟龍涂層，抽風管底部開口并設有縮口結(jié)構(gòu)，縮口結(jié)構(gòu)外壁上設有倒鉤，該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側(cè)張開的張口結(jié)構(gòu)，張口結(jié)構(gòu)內(nèi)壁安裝一圈密封圈，密封箱體上方敞口上邊沿外側(cè)安裝有固定扣，縮口結(jié)構(gòu)插入張口結(jié)構(gòu)，固定扣與倒鉤扣合，密封圈與縮口結(jié)構(gòu)外壁形成密封。在抽風管內(nèi)迅速液化的三氯氧磷液體落進了密封水箱，并在密封水箱內(nèi)進行中和無害化處理，從而降低了抽風系統(tǒng)的腐蝕速度，避免了氣化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的發(fā)生。
文檔編號C30B31/16GK103103620SQ20131001833
公開日2013年5月15日 申請日期2013年1月17日 優(yōu)先權日2013年1月17日
發(fā)明者陳功 申請人:陳功