專利名稱：單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及單晶硅煉制領(lǐng)域，特別是一種單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
單晶硅是具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)材料，用 于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池等。單晶硅是用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi) 拉制而成。硅片直徑越大，技術(shù)要求越高，越有市場前景，價值也就越高。 因此，對單晶硅拉制裝置及拉制工藝的改進(jìn)將對半導(dǎo)體工業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影 響?，F(xiàn)有的單晶硅拉制裝置為單晶爐，它是由爐底、下爐室、上爐室、爐蓋、 翻板箱、副室六大部分組成?，F(xiàn)有的單晶爐翻板箱為采用單層的不銹鋼材料 制成的，這樣的翻板箱在拉制單晶的過程中溫度過高，會將翻板箱燒壞，縮 短其使用壽命。 發(fā)明目的
本實用新型的目的是提供一種帶有水夾層的雙層結(jié)構(gòu)的單晶爐翻板箱， 該單晶爐翻板箱具有很好的冷卻系統(tǒng)，對單晶爐翻板箱起到很好的降溫冷卻 的保護(hù)作用。
實現(xiàn)本實用新型的技術(shù)方案如下
單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)，其包括箱體內(nèi)層、箱體外層、用來與副工作室 連接的上接口、用來與主工作室的爐蓋連接的下接口和翻板閥門，在箱體外層 的側(cè)面設(shè)置有真空口，在箱體內(nèi)層和箱體外層之間設(shè)置有水夾層，在箱體的外 層設(shè)置有與水夾層相通的進(jìn)水孔座和出水孔座。
本實用新型的有益效果是設(shè)置水夾層以后，在拉制單晶的過程中從進(jìn)水孔座充入水，水通過進(jìn)水孔座進(jìn)入水夾層，水從出水孔座流出，對翻板箱進(jìn)行冷
卻，降低其溫度，對翻板箱起到保護(hù)的作用。
圖1為本實用新型的剖面圖中1為上接口， 2為翻板閥門，3為搖臂裝置，4為出水孔座，5為 箱體內(nèi)層，6為箱體外層，7為水夾層，8為翻板，9為翻板軸，10為真空 口， 11為進(jìn)水孔座，12為下接口。
具體實施方式
單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)，其包括箱體內(nèi)層5、箱體外層6、用來與副工作 室連接的上接口 1、用來與主工作室的爐蓋連接的下接口 12和翻板閥門2，在 箱體外層6的側(cè)面設(shè)置有真空口 10，在箱體內(nèi)層5和箱體外層6之間設(shè)置有水 夾層7，在箱體外層的側(cè)面設(shè)置有進(jìn)水孔座11，在箱體外層的上端面設(shè)置有出 水孔座4，進(jìn)水孔座11和出水孔座4都是與水夾層7相通的。
所述的翻板閥門2包括設(shè)置于箱體內(nèi)部的翻板8、設(shè)置在箱體外的搖臂裝 置3、連接翻板8和搖臂裝置3的可以轉(zhuǎn)動的翻板軸9。翻板閥門2用來控制 主工作室與副工作室之間的打開與關(guān)閉。
單晶拉制主要是在主工作室進(jìn)行，當(dāng)拉制過程出現(xiàn)問題時，將晶體提升至
副工作室，關(guān)閉翻板閥門2，打開副工作室取出晶體，重新安裝籽晶。將副工作
室復(fù)位后，開始對副工作室抽真空，待副工作室與主工作室真空平衡后，打開
翻板閥門2，籽晶放入主工作室，繼續(xù)拉晶，直至完成。 在拉制單晶的過程中從進(jìn)水孔座11充入水，水通過進(jìn)水孔座11進(jìn)入水夾 層7，水從出水孔座4流出，對翻板箱進(jìn)行冷卻，降低其溫度，對單晶爐翻板箱 起到保護(hù)的作用。
權(quán)利要求1、一種單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)，其包括箱體內(nèi)層、箱體外層、用來與副工作室連接的上接口、用來與主工作室的爐蓋連接的下接口和翻板閥門，在箱體外層設(shè)置有真空口，其特征在于在箱體內(nèi)層和箱體外層之間設(shè)置有水夾層，在箱體的外層設(shè)置有與水夾層相通的進(jìn)水孔座和出水孔座。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述的翻板閥門包括設(shè)置于箱體內(nèi)部的翻板、設(shè)置在箱體外的搖臂裝置、連 接翻板和搖臂裝置的可以轉(zhuǎn)動的翻板軸。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述的進(jìn)水孔座設(shè)置于箱體外層靠近下接口的位置。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于-所述的出水孔座設(shè)置于箱體外層靠近上接口的位置。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶爐翻板箱的冷卻結(jié)構(gòu)，其包括箱體內(nèi)層、箱體外層、用來與副工作室連接的上接口、用來與主工作室的爐蓋連接的下接口和翻板閥門，在箱體外層設(shè)置有真空口，在箱體內(nèi)層和箱體外層之間設(shè)置有水夾層，在箱體的外層設(shè)置有與水夾層相通的進(jìn)水孔座和出水孔座。本實用新型的單晶爐翻板箱結(jié)構(gòu)具有使用壽命長的優(yōu)點。
文檔編號C30B15/00GK201395637SQ20092003968
公開日2010年2月3日 申請日期2009年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月20日
發(fā)明者潘國強, 潘燕萍 申請人:潘燕萍;潘國強