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一種多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置的制作方法

文檔序號:8122934閱讀:224來源:國知局
專利名稱:一種多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于多晶硅提純或鑄錠領(lǐng)域,特別涉及一種多晶硅提純或鑄錠爐 的硅液泄漏防護裝置。
背景技術(shù)
在真空熔煉提純太陽能多晶硅或進行多晶硅鑄錠時,由于各種原因,承 載硅料的蚶堝難免會發(fā)生破裂,而導(dǎo)致硅液泄漏,硅液一旦泄漏,會損壞支 撐坩堝的機構(gòu)(通常是石墨)和爐體,嚴重的,會導(dǎo)致爐底被熔穿,而使爐 壁的冷卻水與高溫硅液發(fā)生接觸,而導(dǎo)致爆炸,甚至人身傷亡。
硅液泄漏由多種原因引起,如坩堝本身有隱形缺陷,硅液與坩堝或其表 面涂層發(fā)生化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)致坩堝侵蝕,硅液凝固時膨脹導(dǎo)致坩堝漲裂,等等。 盡管采取種種措施,在多晶硅鑄錠和提純的時候,硅液泄漏依然難以避免。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要目的是為了解決上述問題,提供一種多晶硅提純或鑄錠 爐的硅液泄漏防護裝置,在硅液萬一發(fā)生泄漏的時候,該裝置能保護爐 體和爐內(nèi)的設(shè)備,防止設(shè)備損壞和爆炸的發(fā)生,保護爐前操作工人的人 身安全。
為了達到上述目的,本發(fā)明提供的技術(shù)方案是 一種多晶硅提純或 鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置,包括坩堝、平臺、石墨支架和不銹鋼平臺; 石墨支架設(shè)于不銹鋼平臺上面;平臺設(shè)于石墨支架上面;坩堝設(shè)于平臺 上面;還包括倒角和凝固槽;平臺上表面開有多個徑向?qū)Я鞑酆投鄠€絆 向?qū)Я鞑?;倒角設(shè)在平臺底部的周邊;凝固槽設(shè)于平臺的下面并環(huán)繞平臺一周;凝固槽的內(nèi)周設(shè)于倒角的里面,外周延伸到平臺的外面。 平臺的厚度至少為50mm.
徑向?qū)Я鞑蹚钠脚_的中心延徑向向外發(fā)散;煒向?qū)Я鞑蹏@平臺的 中心,與平臺的周邊形狀相似;徑向?qū)Я鞑酆退龅臒樝驅(qū)Я鞑巯嘟怀?網(wǎng)狀。
徑向?qū)Я鞑鄣臄?shù)量為至少1個;綿向?qū)Я鞑鄣臄?shù)量為至少1個。 徑向?qū)Я鞑酆徒O向?qū)Я鞑鄣纳疃群蛯挾葹?mtn~ 40mm;徑向?qū)Я鞑蹚?br> 中心向外越來越深;綿向?qū)Я鞑鄣纳疃雀c其相交的徑向?qū)Я鞑鄣纳疃认嗤?br> 在最外圈的綿向?qū)Я鞑坶_至少 一 個導(dǎo)流口 。
導(dǎo)流口的下部裝有硅液傳感器,該硅液傳感器為線形傳感器。
凝固槽的厚度以能承載坩堝內(nèi)全部硅液的重量為限;凝固槽的容量 以能裝下坩堝內(nèi)全部的硅液為限。
凝固槽由高溫耐火材料組成,該高溫耐火材料為高鋁、碳纖或上述 材料的組合。
平臺由高溫耐火材料組成,該耐火材料為石墨、石英、鴒鉬合金或 上述材料的組合。
本發(fā)明的積極效果如下由于平臺上設(shè)有導(dǎo)流槽,平臺下面設(shè)有倒角和 凝固槽,無論坩堝/人4壬何方位泄漏,泄漏的硅液全部可以通過平臺上的導(dǎo)流 槽而流入凝固槽內(nèi),所以徹底避免了各種危險情況的發(fā)生。


圖1:本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2:本發(fā)明的平臺俯視圖。
具體實施例方式
如圖1所示, 一種多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置,包括 坩堝l、平臺2、石墨支架8和不銹鋼平臺9,石墨支架8設(shè)于不銹鋼平 臺9上面;平臺2設(shè)于石墨支架8上面;坩堝1設(shè)于平臺2上面,平臺 的厚度至少為50mm,還包括倒角6和凝周槽7,在平臺2上表面開有至 少1個徑向?qū)Я鞑?和至少1個煒向?qū)Я鞑?,徑向?qū)Я鞑?從平臺2的 中心延徑向向外發(fā)散;綽向?qū)Я鞑?圍繞平臺2的中心,與平臺2的周 邊形狀相似;徑向?qū)Я鞑?和煒向?qū)Я鞑?相交成網(wǎng)狀;徑向?qū)Я鞑? 和煒向?qū)Я鞑?的深度和寬度為5mm 40mm,徑向?qū)Я鞑?從中心向外越 來越深,絆向?qū)Я鞑?的深度跟與其相交的徑向?qū)Я鞑?的深度相同; 在最外圈的綿向?qū)Я鞑?開至少一個導(dǎo)流口 5,從坩堝1流到平臺2上的 硅液由導(dǎo)流口 5流走,在導(dǎo)流口 5的下部安裝,圭液傳感器10,該硅液傳 感器10為線形傳感器,在硅液流下遇到該硅液傳感器10時,即給出一 個開關(guān)信號,在硅液不泄漏時,該硅液傳感器IO給出一個反向的開關(guān)信 號。
在平臺2底部的周邊設(shè)有倒角6,以防止硅液流向平臺2底面,在平 臺2的下面安裝有一凝固槽7,凝固槽7環(huán)繞平臺2—周,且內(nèi)周設(shè)于倒 角6的里面,外周延伸到平臺2的外面,無論硅液從任何方位流出,均 能直接流入凝固槽7內(nèi),從倒角6滴下的硅液也能夠落入凝固槽7內(nèi); 凝固槽7的厚度以能承載坩堝1內(nèi)全部硅液的重量為限,凝固槽7的容 量以能裝下坩堝1內(nèi)全部的硅液為限;凝固槽7由高溫耐火材料組成,該 高溫耐火材料為高鋁、碳纖或上述材料的組合,該材料與硅的反應(yīng)速度 較慢,可以進行鈍化,使平臺2表面越來越不易與硅發(fā)生反應(yīng);平臺2 由耐火材料組成,該耐火材料為石墨、石英、鴒鉬合金或上述材料的組 合,該等材料應(yīng)能夠耐高溫,而且不含高溫易揮發(fā)的添加劑。
權(quán)利要求
1、一種多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置,包括坩堝、平臺、石墨支架和不銹鋼平臺;石墨支架設(shè)于不銹鋼平臺上面;平臺設(shè)于石墨支架上面;坩堝設(shè)于平臺上面,其特征在于還包括倒角和凝固槽;所述的平臺上表面開有多個徑向?qū)Я鞑酆投鄠€緯向?qū)Я鞑?;所述的倒角設(shè)在平臺底部的周邊;所述的凝固槽設(shè)于平臺的下面并環(huán)繞平臺一周;所述的凝固槽的內(nèi)周設(shè)于倒角的里面,外周延伸到平臺的外面。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置, 其特征在于所述的平臺的厚度至少為50mm。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置, 其特征在于所述的徑向?qū)Я鞑蹚钠脚_的中心延徑向向外發(fā)散;所述的緯向?qū)Я鞑蹏@平臺的中心,與平臺的周邊形狀相似;所述的徑向?qū)Я?槽和所述的綿向?qū)Я鞑巯嘟怀删W(wǎng)狀。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護 裝置,其特征在于所述的徑向?qū)Я鞑鄣臄?shù)量為至少1個;所述的綿向 導(dǎo)流槽的數(shù)量為至少l個。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護 裝置,其特征在于所述的徑向?qū)Я鞑酆途b向?qū)Я鞑鄣纳疃群蛯挾葹?5mm 40mm;所述徑向?qū)Я鞑蹚闹行南蛲庠絹碓缴睿龅木d向?qū)Я鞑鄣?深度跟與其相交的徑向?qū)Я鞑鄣纳疃认嗤?br> 6、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護 裝置,其特征在于在最外圈的綽向?qū)Я鞑坶_至少一個導(dǎo)流口。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅提純和鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置, 其特征在于所述的導(dǎo)流口的下部裝有硅液傳感器;該硅液傳感器為線形 傳感器。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置,其特征在于所述的凝固槽的厚度以能承載坩堝內(nèi)全部硅液的重量為限, 所述的凝固槽的容量以能裝下坩堝內(nèi)全部的硅液為限。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置, 其特征在于所述的凝固槽由高溫耐火材料組成,該高溫耐火材料為高 鋁、碳纖或上述材料的組合。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝 置,其特征在于所述的平臺由耐火材料組成,該耐火材料為石墨、石 英、鴒鉬合金或上述材料的組合。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置,包括坩堝和平臺,坩堝設(shè)于平臺上面,其特征在于還包括倒角和凝固槽,所述的平臺上表面開有多個徑向?qū)Я鞑酆投鄠€緯向?qū)Я鞑郏龅牡菇窃O(shè)在平臺底部的周邊,所述的凝固槽設(shè)于平臺的下面并環(huán)繞平臺一周,所述的凝固槽的內(nèi)周設(shè)于倒角的里面,外周延伸到平臺的外面,采用本發(fā)明的多晶硅提純或鑄錠爐的硅液泄漏防護裝置,無論坩堝從任何方位泄漏,泄漏的硅液全部可以通過平臺上的導(dǎo)流槽而流入凝固槽內(nèi),從而防止設(shè)備損壞和爆炸的發(fā)生,保護爐前操作工人的人身安全。
文檔編號C30B28/00GK101423219SQ200810202819
公開日2009年5月6日 申請日期2008年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月17日
發(fā)明者珺 史, 宗衛(wèi)峰 申請人:上海普羅新能源有限公司
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