專利名稱:光阻剝離方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明是有關(guān)一種光阻剝離的方法,特別是有關(guān)于一種聚亞醯胺層的圖案顯影后的光阻剝離的方法。
背景技術(shù):
有機電激發(fā)光顯示器(organic light emitting display,OLED)具有自發(fā)光、高亮度、高對比、寬視角、驅(qū)動電壓低與高速應(yīng)答等優(yōu)點,為目前新世代顯示器中最被寄予厚望的平面顯示器。然而由于其技術(shù)較新、發(fā)展相較于其它顯示器晚,技術(shù)尚未完全成熟,故目前全世界僅有日本Pioneer有小尺寸的產(chǎn)品推出,顯示OLED在商品化過程還有許多的障礙有待克服,特別是對量產(chǎn)化的技術(shù)而言。
光阻剝離(stripping)是在半導(dǎo)體或顯示器的黃光微影工藝的最后一道步驟,將上道蝕刻步驟中保護(hù)圖案的光阻去除,避免光阻殘留污染下一道黃光微影工藝,以獲得干凈的有線路圖案基板。對OLED面板每一道的電極接線層、ITO(銦錫氧化物)陽極層、隔離層等結(jié)構(gòu)層的微影圖案定義后的光阻剝離工藝而言,由于所使用的ITO基板表面較現(xiàn)今半導(dǎo)體電路所使用的磊晶硅基板粗糙,使得光阻不易從ITO表面被剝離,容易有光阻的殘留現(xiàn)象發(fā)生在顯示面板的ITO表面。一旦光阻殘留于顯示面板表面,特別是在ITO陽極發(fā)光區(qū),就會阻擋后續(xù)有機發(fā)光層與陰極材料的蒸鍍,使得顯示面板產(chǎn)生暗點,降低顯示品質(zhì)與工藝量率;再者,因為后續(xù)工藝所蒸鍍的有機電子發(fā)光膜層厚度非常薄,由于光阻殘留造成的厚度不均,易造成電場分布不均,甚至組件短路,進(jìn)而影響顯示器的壽命。
在常用的技術(shù)中并無特別針對OLED工藝中光阻剝離時所遭遇上述困難的解決方法,有鑒于此,本發(fā)明提供一OLED面板光阻剝離方法,可以提供一高潔凈度及量產(chǎn)工藝流暢化的光阻剝離工藝,不僅具有連續(xù)化高產(chǎn)能的優(yōu)點、適用于不同世代基板尺寸的操作彈性,并同時滿足OLED基板在光阻剝離后潔凈的需求。
一般而言,定義非感光型聚亞醯胺(Non-photosensitive polyimide)層的圖案使用的材質(zhì)為光阻層,聚亞醯胺本身具有較佳的熱安定性、機械安定性、電安定性以及光安定性,可以使有機電激發(fā)光顯示面板具有較佳的發(fā)光穩(wěn)定度與較長的使用壽命。制作的方法包含有涂布聚亞醯胺或是聚亞醯胺前軀體(precursor),圖布一光阻層于聚亞醯胺層之上,依序進(jìn)行預(yù)烤、曝光、曝光后烤、顯影、剝離、高溫烘烤等工藝,以定義出聚亞醯胺的圖案。其中,公知剝離光阻技術(shù)在傳統(tǒng)的集成電路、光電工藝中,是將硅基板置于吸盤上旋轉(zhuǎn),而后由噴嘴分別噴灑剝離液與水洗液,最后再高速旋干;但隨著顯示器尺寸往新世代推進(jìn)而加大,與顯示器玻璃基板較硅基板重很多的雙重效應(yīng)影響,使得傳統(tǒng)轉(zhuǎn)盤設(shè)計無法負(fù)荷如此大的重量與高速旋轉(zhuǎn)下的離心力,使得光阻剝離效果不均、剝離不干凈造成光阻殘留,而大大降低顯示組件的合格率。而因此或改采將顯示基板浸泡在不同的堿性剝離槽與水洗槽的方式進(jìn)行,但卻無法連續(xù)操作每一個步驟,必須通過人為傳送的方式將顯示面板取出并裝載至另一個機臺中,因此整個顯影工藝的時程會延長許多,不利于量產(chǎn)作業(yè),也不利于大面積的顯示面板制造。此外,由于人為因素不易控制,常會在傳送過程中產(chǎn)生延誤或是損壞,因此一般的顯影設(shè)備根本無法精確地控制剝離時間,也不能確保剝離工藝的品質(zhì)。
再者針對工藝化學(xué)穩(wěn)定性而言,特別是有機電激發(fā)光顯示器結(jié)構(gòu)中所使用的聚亞醯胺材質(zhì),由于必須經(jīng)過最后一道220~350℃高溫烘烤后才會具備高電氣、機械、熱與化學(xué)安定性。而在此之前其化學(xué)性質(zhì)尚未穩(wěn)定,容易受到堿性物質(zhì)等化學(xué)藥劑的破壞。所以對于聚亞醯胺層的剝離而言,傳統(tǒng)技術(shù)中用來剝離光阻的堿性物質(zhì)如氫氧化鈉、氫氧化鉀,亦會導(dǎo)致聚亞醯胺的分解、剝落。因此,在進(jìn)行光阻層的剝離時,需要做精確的剝離時間控制與選擇適當(dāng)?shù)膭冸x藥劑,避免剝離時聚亞醯胺層招受剝離液破壞,使圖案定義面積的規(guī)格改變甚至造成整片聚亞醯胺層剝離脫落,以提升顯示器的工藝合格率與規(guī)格穩(wěn)定性。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一OLED面板光阻剝離方法,可以提供一高潔凈度的光阻剝離工藝。
本發(fā)明的另一目的是提供一OLED面板光阻剝離方法,可以供一量產(chǎn)工藝流暢化的運作。
本發(fā)明的又一目的是提供一OLED面板光阻剝離方法,適用于不同世代基板尺寸的操作彈性,并同時滿足OLED基板在光阻剝離后潔凈的需求。
為達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供一種剝離方法,該方法包括該有機電激發(fā)光顯示面板置于一傳輸滾輪單元上;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第一正丁基乙酯剝離槽中;在該第一正丁基乙酯剝離槽中,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第二正丁基乙酯剝離槽中;在該第二正丁基乙酯剝離槽中,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一異丙醇剝離清洗槽中;在該異丙醇剝離清洗槽中,提供異丙醇以去除殘留于該有機電激發(fā)光顯示面板表面的光阻及正丁基乙酯;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第一清洗槽中;以去離子水噴灑該有機電激發(fā)光顯示面板表面,以洗掉殘留的異丙醇;
該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第二清洗槽中;以去離子水噴灑該有機電激發(fā)光顯示面板表面,以洗掉殘留的異丙醇;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一吹干單元中;以一風(fēng)刀清除附著于該有機電激發(fā)光顯示面板表面的去離子水。
詳述之,本發(fā)明提供的一種剝離方法,是用來針對圖案化聚亞醯胺層之后,進(jìn)行光阻剝離工藝。光阻剝離方法包含了以傳送單元來連結(jié)三個工作單元,包括剝離單元、清洗單元及吹干單元,以及一控制單元來控制傳送單元的傳送順序與傳送時間。
傳送單元的功能是用來提供連續(xù)傳送的方式,將有機電激發(fā)光顯示面板依序傳送至剝離單元、清洗單元以及吹干單元中。傳送單元更包括了傳輸滾輪單元。傳輸滾輪單元是由輪軸及安裝于輪軸兩端的兩滾輪所組成的,其中滾輪包括具有承接功能的內(nèi)緣及具有限制功能的外緣兩個部分。具有承接功能的內(nèi)緣是用以承接有機電激發(fā)光顯示面板,具有限制功能的外緣是用以固定有機電激發(fā)光顯示面板位于傳輸滾輪單元上的橫向位置。借著滾輪的轉(zhuǎn)動來傳輸置于其上的有機電激發(fā)光顯示面板。
剝離單元至少包括了正丁基乙酯(n-Butyl acetate,NBA)剝離槽和異丙醇(Isopropyl Alcohol,IPA)剝離清洗槽。正丁基乙酯剝離槽至少包括了儲槽、供液系統(tǒng)及反應(yīng)室。儲槽的功能是在儲存正丁基乙酯,而經(jīng)由供液系統(tǒng)將正丁基乙酯供應(yīng)至反應(yīng)室,而與位于反應(yīng)室內(nèi)來回傳送的有機電激發(fā)光顯示面板上的光阻作用而將光阻剝離,使有機電激發(fā)光顯示面板于反應(yīng)室內(nèi)來回傳送,可促使剝離效果均勻性更好。供液系統(tǒng)將位于儲槽內(nèi)的正丁基乙酯唧入反應(yīng)室內(nèi),以浸泡、噴灑或一邊浸泡一邊噴灑的方式用正丁基乙酯來溶解并去除位于有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻,而使光阻脫離有機電激發(fā)光顯示面板表面。剝離單元至少包括一個正丁基乙酯剝離槽,若包括一個以上的正丁基乙酯剝離槽,這些正丁基乙酯剝離槽的排列方式可以為并聯(lián)、串聯(lián)或并串聯(lián)的方式排列。并聯(lián)排列的優(yōu)點在于可以同時處理更大量的有機電激發(fā)光顯示面板,串聯(lián)的優(yōu)點在于可以以連續(xù)二次以上的正丁基乙酯處理而使得光阻的剝除更干凈,而并串聯(lián)更兼具兩者的優(yōu)點。兩個以上的正丁基乙酯剝離槽更可在更換正丁基乙酯時避免光阻剝離裝置的停擺,而使生產(chǎn)的速度不受影響。
異丙醇剝離清洗槽排列在正丁基乙酯剝離槽之后,剝離單元至少包括一個異丙醇剝離清洗槽,若包括一個以上的異丙醇剝離清洗槽,這些異丙醇剝離清洗槽亦可如正丁基乙酯剝離槽的排列方式排列,端視生產(chǎn)上的需求而定。異丙醇剝離清洗槽的目的一方面是在將有機電激發(fā)光顯示面板表面上的殘留的光阻去除干凈,另一方面是在將殘留于有機電激發(fā)光顯示面板表面上正丁基乙酯置換。異丙醇剝離清洗槽也包括了儲槽、供液系統(tǒng)及反應(yīng)室。儲槽的功能是在儲存異丙醇,而經(jīng)由供液系統(tǒng)將異丙醇供應(yīng)至反應(yīng)室來清洗位于反應(yīng)室內(nèi)的有機電激發(fā)光顯示面板。因為異丙醇的沸點較低,故在此均采浸泡而不用噴灑的方式來清洗有機電激發(fā)光顯示面板,以減少異丙醇蒸氣的產(chǎn)生。剝離單元中的設(shè)備均采用防爆不銹鋼設(shè)計,以提高設(shè)備的安全系數(shù)。在正丁基乙酯槽及異丙醇槽中并設(shè)計有廢棄回收系統(tǒng)。位因應(yīng)異丙醇的低沸點,在異丙醇槽中并有冷凝系統(tǒng)的設(shè)計,以符合環(huán)保的要求。
清洗單元安置于剝離單元之后,清洗單元的功能是用來噴灑清洗溶液,清洗溶液主要是去離子水(De-ion Water,DIW),以清洗溶液移除殘留于有機電激發(fā)光顯示面板表面的異丙醇。清洗單元至少包括一個清洗槽。清洗槽也包括了儲槽、供液系統(tǒng)及反應(yīng)室。儲槽的功能是在儲存去離子水,而經(jīng)由供液系統(tǒng)將去離子水供應(yīng)至反應(yīng)室以噴灑的方式來清洗位于反應(yīng)室內(nèi)的有機電激發(fā)光顯示面板上殘留的異丙醇。一般而言是采用串聯(lián)兩個清洗槽的設(shè)計,其目的是在通過連續(xù)兩次的清洗而能有效的洗去有機電激發(fā)光顯示面板上殘留的異丙醇。由第二清洗槽所收集使用過的去離子水可以供第一清洗槽之用,更能有效的節(jié)省水資源。
吹干單元安置于清洗單元之后,吹干單元的功能是用來移除有機電激發(fā)光顯示面板殘留的去離子水。吹干單元包括采用風(fēng)刀(AirKnife)來進(jìn)行吹干的動作。
控制單元的功能是用來控制傳送單元的傳送順序與傳送時間,以精確地控制有機電激發(fā)光顯示面板于剝離單元、清洗單元及吹干單元中的處理時間。剝離單元可以適用于和顯影單元及高溫烘烤單元連結(jié),依據(jù)維修需要以及顯影工藝的要求來彈性選擇使用顯影單元。此剝離裝置亦可適用于不同尺寸有機電激發(fā)光顯示面板的連續(xù)自動化量產(chǎn)。
圖1為根據(jù)本發(fā)明所提供的光阻剝離裝置;圖2為本發(fā)明中所運用的傳輸滾輪單元;圖3A為本發(fā)明所運用的正丁基乙酯剝離槽;圖3B為本發(fā)明所運用的異丙醇剝離清除槽;圖4為本發(fā)明所運用的清除槽;圖5為根據(jù)本發(fā)明所提供的光阻剝離裝置進(jìn)行光阻剝離的第一方法;圖6為根據(jù)本發(fā)明所提供的光阻剝離裝置進(jìn)行光阻剝離的第二方法;以及圖7為根據(jù)本發(fā)明所提供的光阻剝離裝置進(jìn)行光阻剝離的第三方法。
10、20、30、40、50、60、70、80、90有機電激發(fā)光顯示面板100光阻剝離裝置200傳送單元210傳輸滾輪單元220輪軸230滾輪240內(nèi)緣250外緣300剝離單元
310、510、520、810、820、910、920、930正丁基乙酯剝離槽312、322、412儲槽314、324、414供液系統(tǒng)316、326、416反應(yīng)室320、530、830、940異丙醇剝離清洗槽400清洗單元410、540、550、840、850、950、960清洗槽500、560、860、970吹干單元600控制單元700顯影單元具體實施方式
實施例1請參照圖1,圖1為聚亞醯胺層的圖案顯影后的光阻剝離裝置。光阻剝離裝置100包含了以傳送單元200來連結(jié)三個工作單元,包括剝離單元300、清洗單元400及吹干單元500以及一控制單元600來控制傳送單元200的傳送順序與傳送時間。
傳送單元200的功能是用來提供連續(xù)傳送的方式,將有機電激發(fā)光顯示面板依序傳送至剝離單元300、清洗單元400以及吹干單元500中。請參照圖2,傳送單元200更包括了傳輸滾輪單元210。傳輸滾輪單元210是由輪軸220及安裝于輪軸兩端的兩滾輪230所組成的,其中滾輪230包括具有承接功能的內(nèi)緣240及具有限制功能的外緣250兩個部分。具有承接功能的內(nèi)緣240是用以承接有機電激發(fā)光顯示面板10,具有限制功能的外緣系用以固定有機電激發(fā)光顯示面板10位于傳輸滾輪單元上的橫向位置。借著滾輪230的轉(zhuǎn)動來傳輸置于其上的有機電激發(fā)光顯示面板10。
請繼續(xù)參照圖1,有機電激發(fā)光顯示面板10由傳輸滾輪單元210自顯影單元700傳送至剝離單元300。剝離單元300至少包括了正丁基乙酯剝離槽310和異丙醇剝離清洗槽320。有機電激發(fā)光顯示面板10被送入正丁基乙酯剝離槽310,請參照圖3A,正丁基乙酯剝離槽310至少包括了儲槽312、供液系統(tǒng)314及反應(yīng)室316。儲槽312的功能是在儲存正丁基乙酯,而經(jīng)由供液系統(tǒng)314將正丁基乙酯供應(yīng)至反應(yīng)室316,而與位于反應(yīng)室316內(nèi)來回傳送的有機電激發(fā)光顯示面板10上的光阻作用而將光阻剝離,使有機電激發(fā)光顯示面板10于反應(yīng)室316內(nèi)來回傳送,可促使剝離效果均勻性更好。供液系統(tǒng)314將位于儲槽312內(nèi)的正丁基乙酯唧入反應(yīng)室316內(nèi),以浸泡、噴灑或一邊浸泡一邊噴灑的方式用正丁基乙酯來溶解并去除位于有機電激發(fā)光顯示面板10表面上的光阻,而使光阻脫離有機電激發(fā)光顯示面板10表面。請參照圖3B,異丙醇剝離清洗槽330也包括了儲槽332、供液系統(tǒng)334及反應(yīng)室336。儲槽332的功能是在儲存異丙醇,而經(jīng)由供液系統(tǒng)334將異丙醇供應(yīng)至反應(yīng)室336來清洗位于反應(yīng)室內(nèi)的有機電激發(fā)光顯示面板10。因為異丙醇的沸點較低,故在此均采浸泡而不用噴灑的方式來清洗有機電激發(fā)光顯示面板10,以減少異丙醇蒸氣的產(chǎn)生。剝離單元中的設(shè)備均采用防爆不銹鋼設(shè)計,以提高設(shè)備的安全系數(shù)。在正丁基乙酯槽310、320及異丙醇槽330中并設(shè)計有廢棄回收系統(tǒng)。位因應(yīng)異丙醇的低沸點,在異丙醇槽330中并有冷凝系統(tǒng)的設(shè)計,以符合環(huán)保的要求。
請繼續(xù)參照圖1,清洗單元400安置于剝離單元300之后,清洗單元400的功能是用來噴灑清洗溶液,清洗溶液主要是去離子水,以清洗溶液移除殘留于有機電激發(fā)光顯示面板10表面的異丙醇。清洗單元400至少包括一個清洗槽410。請參照圖4,清洗槽410也包括了儲槽412、供液系統(tǒng)414及反應(yīng)室416。儲槽412的功能是在儲存去離子水,而經(jīng)由供液系統(tǒng)414將去離子水供應(yīng)至反應(yīng)室416以噴灑的方式來清洗位于反應(yīng)室416內(nèi)的有機電激發(fā)光顯示面板上殘留的異丙醇。一般而言是采用串聯(lián)兩個清洗槽340、350的設(shè)計,其目的是在通過連續(xù)兩次的清洗而能有效的洗去有機電激發(fā)光顯示面板10上殘留的異丙醇。由第二清洗槽所收集使用過的去離子水可以供第一清洗槽之用,更能有效的節(jié)省水資源。
請繼續(xù)參照圖1,吹干單元500安置于清洗單元400之后,吹干單元500的功能是用來移除有機電激發(fā)光顯示面板10殘留的去離子水。吹干單元500包括采用風(fēng)刀來進(jìn)行吹干的動作。
控制單元600的功能是用來控制傳送單元200的傳送順序與傳送時間,以精確地控制有機電激發(fā)光顯示面板10于剝離單元300、清洗單元400及吹干單元500中的處理時間。剝離單元300可以適用于和顯影單元700連結(jié),依據(jù)維修需要以及顯影工藝的要求來彈性選擇使用顯影單元。此剝離裝置亦可適用于不同尺寸有機電激發(fā)光顯示面板10的連續(xù)自動化量產(chǎn)。
實施例2請參照圖1,圖1為聚亞醯胺層的圖案顯影后的光阻剝離裝置。光阻剝離裝置100包含了以傳送單元200來連結(jié)三個工作單元,包括剝離單元300、清洗單元400及吹干單元500以及一控制單元600來控制傳送單元200的傳送順序與傳送時間。
傳送單元200裝置及功能同實施例1中所述。請參照圖5,有機電激發(fā)光顯示面板10(未顯示于圖上)傳送至正丁基乙酯剝離槽510進(jìn)行第一次正丁基乙酯處理,接著送入正丁基乙酯剝離槽520。正丁基乙酯剝離槽520的目的在進(jìn)一步有效地去除經(jīng)過第一次正丁基乙酯處理后仍可能殘留在機電激發(fā)光顯示面板10表面的光阻。
請參照圖5,接著,有機電激發(fā)光顯示面板10被送入異丙醇剝離清洗槽530。異丙醇剝離清洗槽530排列在正丁基乙酯剝離槽520之后,其目的一方面是在將有機電激發(fā)光顯示面板10表面上的殘留的光阻去除干凈,另一方面是洗掉殘留于有機電激發(fā)光顯示面板10表面上正丁基乙酯。
請繼續(xù)參照圖5,有機電激發(fā)光顯示面板10在離開異丙醇槽530將被傳送單元200送入清洗槽540以去離子水進(jìn)行清洗。請繼續(xù)參照圖5,有機電激發(fā)光顯示面板10進(jìn)行第一次清洗后將被送入清洗槽550進(jìn)行第二次去離子水清洗,以確保能將殘留的異丙醇清洗干凈。
有機電激發(fā)光顯示面板20經(jīng)過清洗槽540及清洗槽550兩次去離子水的噴灑清洗后,接著,送入吹干單元560以風(fēng)刀來進(jìn)行吹干的動作。經(jīng)過這一連串的步驟,完成有機電激發(fā)光顯示面板20表面上光阻的剝離。
實施例3請參照圖1,圖1為聚亞醯胺層的圖案顯影后的光阻剝離裝置。光阻剝離裝置100包含了以傳送單元200來連結(jié)三個工作單元,包括剝離單元300、清洗單元400及吹干單元500以及一控制單元600來控制傳送單元200的傳送順序與傳送時間。
傳送單元200裝置及功能同實施例1中所述。請參照圖6,有機電激發(fā)光顯示面板20(未繪示于圖上)被送入正丁基乙酯剝離槽810,以正丁基乙酯剝離有機電激發(fā)光顯示面板20上的光阻。接著,有機電激發(fā)光顯示面板30(未繪示于圖上)被送入正丁基乙酯剝離槽820,以正丁基乙酯剝離有機電激發(fā)光顯示面板30上的光阻。其中,正丁基乙酯剝離槽810與正丁基乙酯剝離槽820為并聯(lián)排列。而正丁基乙酯的提供方式亦如實施例1中所述。如此并聯(lián)排列的優(yōu)點在于可以同時處理更大量的有機電激發(fā)光顯示面板。當(dāng)然,如此并聯(lián)排列不只適用于兩個正丁基乙酯剝離槽的排列。
請繼續(xù)參照圖6,在經(jīng)過正丁基乙酯的處理后,有機電激發(fā)光顯示面板20被送入異丙醇剝離清洗槽830,同時,有機電激發(fā)光顯示面板40(未繪示于圖上)被送入正丁基乙酯剝離槽810進(jìn)行正丁基乙酯的處理。異丙醇剝離清洗槽830排列在正丁基乙酯剝離槽810、820之后,其目的一方面是在將有機電激發(fā)光顯示面板20表面上的殘留的光阻去除干凈,另一方面是洗掉殘留于有機電激發(fā)光顯示面板20表面上正丁基乙酯。
請繼續(xù)參照圖6,待有機電激發(fā)光顯示面板20經(jīng)異丙醇處理過之后,送入清洗槽840。接著,有機電激發(fā)光顯示面板30被送入異丙醇剝離清洗槽830,同時,有機電激發(fā)光顯示面板50(未繪示于圖上)被送入正丁基乙酯剝離槽820進(jìn)行正丁基乙酯之處理。
有機電激發(fā)光顯示面板20經(jīng)過清洗槽840及清洗槽850兩次去離子水的噴灑清洗后,接著,送入吹干單元860以風(fēng)刀來進(jìn)行吹干的動作。經(jīng)過這一連串的步驟,完成有機電激發(fā)光顯示面板20表面上光阻的剝離。
實施例4請參照圖1,圖1為聚亞醯胺層的圖案顯影后的光阻剝離裝置。光阻剝離裝置100包含了以傳送單元200來連結(jié)三個工作單元,包括剝離單元300、清洗單元400及吹干單元500以及一控制單元600來控制傳送單元200的傳送順序與傳送時間。
傳送單元200裝置及功能同實施例1中所述。請參照圖7,有機電激發(fā)光顯示面板60(未繪示于圖上)被送入正丁基乙酯剝離槽910,以正丁基乙酯剝離有機電激發(fā)光顯示面板60上的光阻。接著,有機電激發(fā)光顯示面板70被送入正丁基乙酯剝離槽920,以正丁基乙酯剝離有機電激發(fā)光顯示面板70(未繪示于圖上)上的光阻。其中,正丁基乙酯剝離槽910與正丁基乙酯剝離槽920為并聯(lián)排列。在經(jīng)過第一道正丁基乙酯的處理后,請參照第6B圖,有機電激發(fā)光顯示面板60被送入正丁基乙酯剝離槽930,同時,有機電激發(fā)光顯示面板80(未繪示于圖上)被送入正丁基乙酯剝離槽910進(jìn)行正丁基乙酯的處理。其中,正丁基乙酯剝離槽930和正丁基乙酯剝離槽910及正丁基乙酯剝離槽920為串聯(lián)排列。第二道正丁基乙酯的處理可以確保光阻被完全的清除。
請繼續(xù)參照圖7,在完成正丁基乙酯的處理后,有機電激發(fā)光顯示面板60被送入異丙醇剝離清洗槽940,有機電激發(fā)光顯示面板70被送入正丁基乙酯剝離槽930,同時,有機電激發(fā)光顯示面板90(未繪示于圖上)被送入正丁基乙酯剝離槽920進(jìn)行正丁基乙酯的處理。異丙醇剝離清洗槽940排列在正丁基乙酯剝離槽930之后,其目的一方面是在將有機電激發(fā)光顯示面板60表面上的殘留的光阻去除干凈,另一方面是洗掉殘留于有機電激發(fā)光顯示面板60表面上正丁基乙酯。
而正丁基乙酯的提供方式亦如實施例1中所述。如此并串聯(lián)排列的優(yōu)點在于可以同時處理更大量的有機電激發(fā)光顯示面板且可有效的去除光阻。當(dāng)然,如此并串聯(lián)排列不只適用于三個正丁基乙酯剝離槽的運用。
請繼續(xù)參照圖7,待有機電激發(fā)光顯示面板60經(jīng)異丙醇處理過之后,送入清洗槽950。接著,有機電激發(fā)光顯示面板70被送入異丙醇剝離清洗槽940,同時,有機電激發(fā)光顯示面板80被送入正丁基乙酯剝離槽930進(jìn)行正丁基乙酯的處理。
有機電激發(fā)光顯示面板60經(jīng)過清洗槽950及清洗槽960兩次去離子水的噴灑清洗后,接著,送入吹干單元970以風(fēng)刀來進(jìn)行吹干的動作。經(jīng)過這一連串的步驟,完成有機電激發(fā)光顯示面板60表面上光阻的剝離。
權(quán)利要求
1.一種光阻剝離方法,適用來剝離一有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻,其特征是,該方法包括該有機電激發(fā)光顯示面板置于一傳輸滾輪單元上;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第一正丁基乙酯剝離槽中;在該第一正丁基乙酯剝離槽中,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第二正丁基乙酯剝離槽中;在該第二正丁基乙酯剝離槽中,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一異丙醇剝離清洗槽中;在該異丙醇剝離清洗槽中,提供異丙醇以去除殘留于該有機電激發(fā)光顯示面板表面的光阻及正丁基乙酯;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第一清洗槽中;以去離子水噴灑該有機電激發(fā)光顯示面板表面,以洗掉殘留的異丙醇;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第二清洗槽中;以去離子水噴灑該有機電激發(fā)光顯示面板表面,以洗掉殘留的異丙醇;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一吹干單元中;以一風(fēng)刀清除附著于該有機電激發(fā)光顯示面板表面的去離子水。
2.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離方法,其特征是,該傳輸滾輪單元傳送該有機電激發(fā)光顯示面板是以一控制單元來加以控制。
3.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離方法,其特征是,提供正丁基乙酯處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法系選自由噴灑及浸泡所組成的族群中的任意組合。
4.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離方法,其特征是,提供異丙醇處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法采浸泡法。
5.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離方法,其特征是,提供去離子水處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法采噴灑法。
6.如權(quán)利要求1所述的光阻剝離方法,其特征是,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻時,該有機電激發(fā)光顯示面板于反應(yīng)室內(nèi)會來回傳送。
7.一種光阻剝離方法,適用來剝離一有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻,其特征是,該方法包括該有機電激發(fā)光顯示面板置于一傳輸滾輪單元上;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一正丁基乙酯剝離槽中;在該正丁基乙酯剝離槽中,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一異丙醇剝離清洗槽中;在該異丙醇剝離清洗槽中,提供異丙醇以去除殘留于該有機電激發(fā)光顯示面板表面的光阻及正丁基乙酯;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第一清洗槽中;以去離子水噴灑該有機電激發(fā)光顯示面板表面,以洗掉殘留的異丙醇;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一第二清洗槽中;以去離子水噴灑該有機電激發(fā)光顯示面板表面,以洗掉殘留的異丙醇;該傳輸滾輪單元將該有機電激發(fā)光顯示面板送入一吹干單元中;以一風(fēng)刀清除附著于該有機電激發(fā)光顯示面板表面的去離子水。
8.如權(quán)利要求7所述的光阻剝離方法,其特征是,該傳輸滾輪單元傳送該有機電激發(fā)光顯示面板是以一控制單元來加以控制。
9.如權(quán)利要求7所述的光阻剝離方法,其特征是,提供正丁基乙酯處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法選自由噴灑及浸泡所組成的族群中的任意組合。
10.如權(quán)利要求7所述的光阻剝離方法,其特征是,提供異丙醇處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法采浸泡法。
11.如權(quán)利要求7所述的光阻剝離方法,其特征是,提供去離子水處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法采噴灑法。
12.如權(quán)利要求7所述的光阻剝離方法,其特征是,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻時,該有機電激發(fā)光顯示面板于反應(yīng)室內(nèi)會來回傳送。
13.一種光阻剝離方法,適用來剝離一有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻,其特征是,該方法包括以一傳送單元傳送該有機電激發(fā)光顯示面板依序進(jìn)入一剝離單元、一清洗單元及一吹干單元;提供至少一次正丁基乙酯清洗該有機電激發(fā)光顯示面板;提供至少一次異丙醇清洗該有機電激發(fā)光顯示面板;提供復(fù)數(shù)次去離子水清洗該有機電激發(fā)光顯示面板;以及以一風(fēng)刀清除附著于該有機電激發(fā)光顯示面板表面的去離子水。
14.如權(quán)利要求13所述的光阻剝離方法,其特征是,該傳送單元傳送該有機電激發(fā)光顯示面板是以一控制單元來加以控制。
15.如權(quán)利要求13所述的光阻剝離方法,其特征是,提供該正丁基乙酯處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法選自由噴灑及浸泡所組成的族群中的的任意組合。
16.如權(quán)利要求13所述的光阻剝離方法,其特征是,提供該異丙醇處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法采浸泡法。
17.如權(quán)利要求13所述的光阻剝離方法,其特征是,提供該些去離子水處理該有機電激發(fā)光顯示面板的方法采噴灑法。
18.如權(quán)利要求13所述的光阻剝離方法,其特征是,提供正丁基乙酯剝離該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻時,該有機電激發(fā)光顯示面板于反應(yīng)室內(nèi)會來回傳送。
全文摘要
一種光阻剝離方法,用來剝離有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻,該光阻剝離方法包括以一剝離單元提供剝離液以去除該有機電激發(fā)光顯示面板表面上的光阻。以一清洗單元噴灑一清洗溶液以移除該有機電激發(fā)光顯示面板表面上殘留的剝離液。以一吹干單元吹干該有機電激發(fā)光顯示面板。以一傳送單元連續(xù)傳送的方式將該有機電激發(fā)光顯示面板傳送至該剝離單元、該清洗單元以及該吹干單元中。以一控制單元控制該傳送單元的傳送順序與傳送時間,以精確地控制該有機電激發(fā)光顯示面板于每一個單元中的處理時間。
文檔編號H05B33/00GK1567095SQ0313735
公開日2005年1月19日 申請日期2003年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月19日
發(fā)明者張毅, 盧添榮 申請人:錸寶科技股份有限公司