專利名稱:有機el元件的制造方法和有機el顯示裝置的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及在基板上按照預定的布圖形狀涂布有機EL(電致發(fā)光)材料而制造有機EL元件的有機EL元件的制造方法和有機EL顯示裝置。
這樣,在形成第一電極上的空穴輸送層之后,由噴墨方式的噴嘴向分隔壁之間噴出有機EL材料,在分隔壁之間的條狀第一電極上涂布上有機EL材料。更具體說,由旋涂法用空穴輸送材料在基板的整個面上成膜,然后進行干燥處理,在第一電極上形成空穴輸送層之后,分別按照以下的方式,通過空穴輸送層在第一電極上形成紅色、綠色和藍色的有機EL。即在某分隔壁之間的條狀第一電極上,由紅色有機EL材料用的噴嘴涂布紅色的有機EL材料。在與涂布了紅色有機EL材料的第一電極相鄰的一個第一電極上,由綠色有機EL材料用的噴嘴涂布綠色的有機EL材料。再在與涂布了綠色有機EL材料的第一電極相鄰的下一個第一電極上,由藍色有機EL材料用的噴嘴涂布藍色有機EL材料。再在與涂布了藍色有機EL材料的第一電極相鄰的下一個第一電極上,涂布紅色有機EL材料。如此就在一個個第一電極上依次涂布紅色、綠色和藍色的有機EL材料。
然后按照與第一電極垂直的方式,通過真空蒸發(fā)法在基板上并排形成多個相對的條狀第二電極,在第一電極和第二電極之間夾持著有機EL材料。此第二電極相當于陰極。如此一來,就制造出第一電極和第二電極能夠按照單純的XY矩陣狀排列的可全色顯示的有機EL元件。
本發(fā)明要解決的課題但是,在基板的分隔壁之間涂布有機EL材料時,如果在分隔壁之間涂布的有機EL材料超過該分隔壁而移動到四周的分隔壁之間,就會混入周圍的其它顏色的有機EL材料中,出現(xiàn)多個顏色的有機EL材料混色的問題。
解決課題的方法為了達到如上的目的,本發(fā)明包括根據(jù)預定的布圖而在基板上形成分隔壁的分隔壁形成工序、向分隔壁之間有選擇地供給空穴輸送材料而形成空穴輸送層的第一涂布工序、對分隔壁的頂部實施憎液化處理的憎液化工序,以及在第一涂布工序和憎液化工序之后向分隔壁之間供給有機EL材料而形成有機EL層的第二涂布工序。
在如此構成的本發(fā)明中,在向分隔壁之間供給有機EL材料之前,對分隔壁的頂部實施憎液化處理。因此,在向分隔壁之間供給有機EL材料時,即便該有機EL材料超過分隔壁的頂部而移動,也能夠阻止有機EL材料由進行了憎液化處理的分隔壁的頂部向其它分隔壁之間的移動,從而防止多種顏色有機EL材料的混色。在此,由于為了良好地發(fā)揮如上所述的防止混色的效果,對分隔壁的頂部實施憎液化處理是很重要的,因此特別在本發(fā)明中,向分隔壁之間有選擇地供給空穴輸送材料形成空穴輸送層。這就是說,作為形成空穴輸送層的方法,過去多使用在“先有技術”一節(jié)中說明的旋涂法,由于在使用此旋涂法時,在基板的整個板面上附著了空穴輸送材料,就不能對分隔壁的頂部實施憎液化處理。與此相對應,在本發(fā)明中,當把空穴輸送材料的涂布范圍限定在分隔壁之間時,就可以防止在分隔壁頂部附著空穴輸送材料。從而能夠?qū)Ψ指舯陧敳靠煽康剡M行憎液化處理,就能可靠地防止混色。
在此,在第一涂布工序中,可以一邊由第一噴嘴吐出空穴輸送材料,一邊讓該第一噴嘴沿著分隔壁之間相對于基板而相對移動。這樣空穴輸送材料就由第一噴嘴流入分隔壁之間進行了涂布,所以在基板上涂布空穴輸送材料時,可以防止此空穴輸送材料彈回,就容易控制空穴輸送材料的涂布。而由于防止了空穴輸送材料的彈回,就可靠地防止空穴輸送材料附著在分隔壁的頂部,就能夠可靠地對分隔壁頂部進行憎液化處理。
至于第一噴嘴的個數(shù),可以是一個,也可以是多個,但特別在使用多個的情況下,能夠如下所述進行空穴輸送材料的涂布。即可以一邊由多個第一噴嘴的各個同時吐出空穴輸送材料,一邊使多個第一噴嘴沿著分隔壁之間相對于基板而相對移動。這樣就能夠有效地進行涂布處理。在多個第一噴嘴相對于基板相對移動之前,希望根據(jù)分隔壁分布的狀態(tài)變更多個第一噴嘴之間的間隔。由此就能夠使從多個第一噴嘴的各個流出的空穴輸送材料準確地涂布到相應的分隔壁之間。因此,在設置多個噴嘴和根據(jù)分隔壁的分布狀態(tài)變更噴嘴之間的間隔這一點上,在第二涂布工序中也是一樣的。
關于第二涂布工序,和第一涂布工序一樣,一邊由第二噴嘴吐出有機EL材料,一邊使第二噴嘴沿著分隔壁之間相對于基板相對移動,由于來自第二噴嘴的有機EL材料流入到分隔壁之間而涂布,就防止了在基板上涂布有機EL材料時該有機EL材料的彈回,使得容易控制有機EL材料的涂布。而由于防止了有機EL材料的彈回,就能夠防止有機EL材料混入到其周圍的分隔壁之間。
而由于對分隔壁頂部實施了憎液化處理,即使向分隔壁之間供給有機EL材料直到處于剩余的狀態(tài),也不會流入相鄰的分隔壁之間,就能夠防止發(fā)生混色。因此,由于對分隔壁頂部進行了憎液化處理,就可增加因剩余供給而帶來的有機EL材料涂布時的容許涂布量。
因此,為了達到上述目的,本發(fā)明的特征在于具有用如權利要求1~5中任意一項中所述的方法制造的有機EL元件。
在本說明書中,“空穴輸送層”不僅意味著狹義的“空穴輸送層”的概念,也包含“空穴注入層”的概念,所謂“空穴輸送材料”意味著構成“空穴輸送層”所用的材料。
圖2是表示本發(fā)明的有機EL元件制造方法的一個實施方式的圖。
圖3是表示適用于本發(fā)明的有機EL元件制造方法的涂布裝置一個符號說明2基板;6分隔壁;8空穴輸送材料;10空穴輸送層;12含氟層;14R有機EL材料;16R、16G、16B有機EL層;46a~46c(第一)噴嘴;SP元件空間(分隔壁之間)。
然后,使用光刻法等,形成電絕緣的分隔壁(擋坡)6,置于上述各第一電極(陽極)4R、4G和4B之間(分隔壁形成工序)。由此就能夠防止在后面所述形成的有機EL材料發(fā)生混色,防止在像素和像素之間發(fā)生光泄漏。在此,作為構成分隔壁6的材料,只要相對后面所說的空穴輸送材料和有機EL材料具有耐久性,并沒有特別的限制,可以使用比如丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺等有機材料、液體玻璃等無機材料。
有選擇地向各個分隔壁之間,也就是向各個元件空間SP中供給空穴輸送材料8,在各個元件空間SP內(nèi)的第一電極(4R、4G和4B)上形成空穴輸送層10(第一涂布工序)。具體說來,預先準備出在溶劑中溶解有形成空穴輸送層10用的有機化合物—比如PEDT(乙烯二氧噻吩polyethylene dioxythiophene)-PPS(聚苯乙烯磺酸鹽poly-styrenesulphonate)—的空穴輸送材料8,以噴嘴掃描的方式有選擇地供給到各個元件空間SP中(同圖(b)),然后對基板2實行加熱處理,使空穴輸送材料8干燥,形成空穴輸送層10(同圖(c))。作為如此向各個元件空間SP有選擇供給空穴輸送材料8所用的裝置,能夠使用如圖3所示的涂布裝置。此涂布裝置的結構將在后面參照圖3予以說明。作為干燥空穴輸送材料8使用的干燥裝置,可以使用在制造半導體裝置或液晶顯示裝置等時所使用的烘烤裝置等。
然后,通過對分隔壁6的頂部進行使用了CF4氣體(氟化碳氣體)的等離子體處理,使分隔壁6的頂部氟化(憎液化)。如在
圖1(d)中所示,由此在分隔壁6的頂部上面形成含氟層(由含氟材料構成的層)12(憎液化工序)。關于憎液化處理,并不限定在上述的氟化處理中,只要是對下面所述的有機EL材料具有憎液性的處理都是可以的,比如可使用通過聚合物或溶劑的涂布而構成分隔壁6的材料膨潤的浸漬處理。更具體說,可以在分隔壁6的頂部,在涂布從聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE)以及聚偏氟乙烯(PVDF)選擇的氟樹脂后進行浸漬、憎液化處理。也可以在涂布對作為空穴輸送材料8的溶劑的主要材料的水而顯示不溶性的甲苯、二甲苯、苯等醇類后進行浸漬、憎液化處理。
然后,在與第一電極4R相對應的分隔壁之間,由噴嘴掃描的方式供給紅色有機EL材料14R,在第一電極4R上,經(jīng)空穴輸送層10形成有機EL層16R(第二涂布工序)。更具體說,如在圖1(e)中所示,向分隔壁之間供給有機EL材料14R,直到從與第一電極4R相對應的分隔壁之間滿溢而在分隔壁6的頂部形成剩余。此時,由于在分隔壁6的頂部形成含氟層12,對分隔壁6的頂部進行了憎液化處理,有機EL材料14R就不會越過分隔壁6流入旁邊的分隔壁之間,在分隔壁6的頂部內(nèi)成為停止的剩余狀態(tài)。作為供給有機EL材料14R的裝置,可以使用在比如特開2002-75640號公報中敘述的涂布裝置,此涂布裝置的噴嘴相當于本發(fā)明的“第二噴嘴”。
一旦有機EL材料14R的供給完了,由烘烤裝置等對基板2進行加熱處理,使有機EL材料14R干燥,形成有機EL層16R(圖2(a))。
然后,在第一電極4G上,經(jīng)空穴輸送層10形成綠色有機EL層16G,且在第一電極4B上,經(jīng)空穴輸送層10形成藍色有機EL層16B(圖2(b))。它們各自的形成工序都和紅色的情況相同,在此就省略了說明。有機EL層的形成可以按照各種顏色進行,也可以同時供給3種顏色的有機EL材料14R、14G和14B,然后進行干燥。
一旦如上所述形成了3種顏色的有機EL層16R、16G和16B,就如同圖(c)所示,在與第一電極4R、4G和4B相垂直但是在相對的方向上,通過真空蒸發(fā)法按照在基板2上并排設置多個的方式形成條狀的第二電極18。通過這樣的結構就形成了本發(fā)明的有機EL元件,即在作為陽極的第一電極4R、4G和4B和作為陰極的第二電極18之間夾持著有機EL層16R、16G和16B。制造出第一電極4R、4G和4B以及第二電極18按照單純XY矩陣狀排列的可全色顯示的有機EL顯示裝置。而且,在此實施方式中,按照如下形成結構,在基板2上積層形成由環(huán)氧樹脂、丙烯酸酯樹脂、液態(tài)玻璃等密封材料構成的密封層20,以防止各個有機EL元件的老化和損傷。
如上所述,在此實施方式中,在向各個元件空間SP有選擇地供給空穴輸送材料8之后,對基板2實施加熱處理,使空穴輸送材料8干燥,形成空穴輸送層10,所以不會使空穴輸送材料8附著在分隔壁6的頂部,從而形成空穴輸送層10。而且對各個分隔壁6的頂部進行憎液化處理以后,即使由于向分隔壁之間供給有機EL材料14R、14G和14B而使該有機EL材料14R、14G和14B超過分隔壁6的頂部而移動時,由于在分隔壁6的頂部形成的含氟層12的存在,也能夠阻止有機EL材料向其他分隔壁之間的移動,從而有效地防止多種顏色的有機EL材料發(fā)生混色。
如此對分隔壁6的頂部進行憎液化處理也得到如下的作用效果。即為了避免有機EL材料的混色,也可以使分隔壁6提高,使得分隔壁之間的空間,即元件空間SP的容積大于向該分隔壁之間供給的有機EL材料14R、14G和14B的量,此結構就可以防止有機EL材料14R、14G和14B由元件空間SP中滿溢出來。但是由于單單提高分隔壁6會招致有機EL元件大型化的問題,如果分隔壁6的頂部和有機EL層16R、16G和16B之間高度差加大,在該高度差部分的第二電極18就容易斷線,招致發(fā)生制品質(zhì)量降低的問題。與此相反,在本實施方式中,由于對分隔壁6的頂部進行了憎液化處理,使得有機EL材料14R、14G和14B在分隔壁6的頂部能夠處于剩余狀態(tài),提高有機EL材料的允許涂布量。即,即使分隔壁6的高度比較低也能夠涂布為形成有機EL層所必需量的有機EL材料,能夠制造小型但質(zhì)量良好的有機EL元件。
下面參照圖3說明向各個元件空間SP有選擇地供給空穴輸送材料8所使用的涂布裝置的一個實施方式。圖3是表示適用于本發(fā)明有機EL元件制造方法的涂布裝置的一個實施方式的圖。如在該圖中所示,此涂布裝置由載置如上所述形成有機EL元件的基板2的載臺40、使此載臺40向預定方向(同圖的左右方向)移動的載臺移動機構部42、檢出在基板2上形成的定位標記的位置的定位標記檢測部44、向3個噴嘴46a~46c供給空穴輸送材料8的供給裝置48、使3個噴嘴46a~46c向預定方向(同圖中與紙面垂直的方向)移動的噴嘴移動機構部50以及控制裝置各部的控制部52組成。
如在同一圖中所示,這些組成部分當中的供給裝置48具有儲存空穴輸送材料8的供給源54,此供給源54管線連接著3個供給部56a~56c。該3個供給部56a~56c具有同樣的結構,按照這些供給部56a把在供給源54中儲存的空穴輸送材料8分別壓送到噴嘴46a~46c并向基板2吐出的方式構成。更具體說,各個供給部56a~56c包括從供給源54取出空穴輸送材料8的泵58、檢測空穴輸送材料8流量的流量計60和用于除去空穴輸送材料8中異物的過濾器62。因此,在此實施方式中的結構為由各個噴嘴46a~46c向基板2吐出空穴輸送材料8,這些噴嘴46a~46c作為本發(fā)明的“第一噴嘴”而發(fā)揮功能。
噴嘴移動機構部50在由保持部件(圖中未顯示)在并列設置的狀態(tài)下保持3個噴嘴46a~46c的同時,可變更設定依賴于噴嘴46a~46c的涂布的間隔。由此就能夠與在基板2上形成的分隔壁的分布狀態(tài)相對應而改變涂布間距。
作為定位標記檢測部44,可以采用比如CCD照相機。即定位標記檢測部44一旦接受到來自控制部52的指令,就分別對在基板2四角上形成的定位標記(圖中省略)進行照相,這些照相的定位標記的圖像輸出到控制部52??刂撇?2基于定位標記檢測部44拍攝的圖像數(shù)據(jù)計算出定位標記的位置。由于使用CAD(計算機輔助設計)設計的第一電極4R、4G和4B與分隔壁6等的布置數(shù)據(jù)預先給予了控制部52,控制部52根據(jù)定位標記的位置的計算結果、和預先給予的分隔壁6的布置數(shù)據(jù),就計算出涂布的開始點,即開始進行空穴輸送材料8的涂布的開始涂布位置。
此控制部52除了進行上述運算處理以外,還控制使載臺40在預定方向上(圖3的左右方向)只移動預定量的載臺移動機構部42,控制噴嘴移動機構部50,使噴嘴46a~46c在與載臺40垂直的方向(在同一圖上是與紙面垂直的方向)只移動預定量,從而使噴嘴46a~46c相對于基板2作二維的相對移動。在噴嘴46a~46c相對于此基板2進行相對移動的同時,控制部52根據(jù)由各流量計60測量的檢測值a~c,輸出指令d~f給各個泵58,使從噴嘴46a~46c中流出預定量的空穴輸送材料8。
因此,在如此結構的涂布裝置中,把進行空穴輸送材料8涂布處理前的基板2裝置在載臺40上,控制部52給予來自裝置各部的檢測值給裝置各部發(fā)出動作指令,從而按照如下所述在各個分隔壁之間(元件空間SP)中涂布空穴輸送材料8。
首先,根據(jù)來自控制部52的標記拍攝指令,定位標記檢測部44分別拍攝在載臺40上放置的基板2的四角的定位標記,向控制部52輸出該圖像數(shù)據(jù)。接收到這些數(shù)據(jù)的控制部52,根據(jù)該圖像數(shù)據(jù),計算出定位標記的位置,從而計算出涂布的開始點。因此,根據(jù)來自控制部52的移動指令,載臺移動機構部42和噴嘴移動機構部50動作,將噴嘴46a~46c定位于開始點。由此3個噴嘴46a~46c相對于3個分隔壁之間(元件空間SP)一對一地定位。此時,根據(jù)分隔壁6的布置狀態(tài)改變噴嘴46a~46c的間隔,就能夠準確地將噴嘴46a~46c定位于各自相對應的分隔壁之間(元件空間SP)。在此實施方式中噴嘴的個數(shù)是3個,但是噴嘴的個數(shù)可以是任意的。
一旦如此處于能夠開始涂布的狀態(tài),控制部52在向各個泵58發(fā)出使空穴輸送材料8開始從各個噴嘴46a~46c流向基板2上的分隔壁之間(元件空間SP)的指令的同時,在與圖3的紙面相垂直的方向移動噴嘴46a~46c,使得空穴輸送材料8沿著基板2上的分隔壁之間流入到該分隔壁之間。由此,空穴輸送材料8同時流入3個元件空間SP中。當噴嘴46a~46c移動到元件空間SP的端部時,在向各泵58發(fā)出停止指令,使空穴輸送材料8從各噴嘴46a~46c向基板2上的元件空間SP的流入停止,同時向噴嘴移動機構部50發(fā)出停止指令使噴嘴的移動停止??刂撇?2根據(jù)噴嘴46a~46c的移動速度控制其涂布量,使得在條狀元件空間SP的各點上空穴輸送材料8的涂布量均勻。如此就完成了空穴輸送材料8向3列元件空間SP的涂布。在元件空間SP的空穴輸送層14上流入的空穴輸送材料8,由于自身的黏度流成水平狀,擴散到此元件空間SP上,形成了厚度均勻的空穴輸送材料8??梢杂煽昭ㄝ斔筒牧?的流入量來調(diào)節(jié)流入元件空間SP的空穴輸送材料8的厚度。
然后,把載臺40只送進三列元件空間SP的間距,向下一個三列的元件空間SP進行空穴輸送材料8的涂布。在上述最初的三列槽11處,以元件空間SP一邊的端側作為開始涂布的位置,另一邊的端側作為涂布停止的位置,使噴嘴46a~46c沿著分隔壁之間進行移動,使空穴輸送材料8分別流入各個元件空間SP中,在下一個三列元件空間SP中,噴嘴46a~46c以和上述移動方向相反的方向移動,從元件空間SP的另一端向此端移動,使空穴輸送材料8分別流入各個元件空間SP中。
如此反復進行這樣的動作,就可以使空穴輸送材料8流入分隔壁之間(元件空間SP)中。由于使來自噴嘴46a~46c的空穴輸送材料8流入分隔壁之間(元件空間SP)而進行了涂布,就能夠防止在基板2上涂布空穴輸送材料8時發(fā)生空穴輸送材料8的彈回。使空穴輸送材料8的涂布容易控制。從而使得在分隔壁6的頂部不會附著空穴輸送材料8,能夠有選擇地把空穴輸送材料8流入到分隔壁之間(元件空間SP)中。這樣,圖3的涂布裝置就成為在前面說明的有機EL元件制造方法中可以使用的裝置。
然而本發(fā)明不限于如上所述的實施方式,只要不脫離本發(fā)明的宗旨,可以在上述內(nèi)容以外進行各種可能的變更。比如在上述實施方式的有機EL元件的制造方法中,在涂布空穴輸送材料8之后對分隔壁6的頂部進行憎液化處理,但也可以交換涂布空穴輸送材料8的處理和憎液化處理的順序。
在上述實施方式中,雖然使用如圖3所示的涂布裝置,把空穴輸送材料8涂布到分隔壁之間,但涂布裝置不限于這樣的結構,只要是能夠把空穴輸送材料8有選擇地供給到各個分隔壁之間的涂布裝置,也可以使用噴墨涂布裝置等各樣的裝置。
如上所述,按照本發(fā)明,由于結構為,向分隔壁之間有選擇地供給空穴輸送材料而形成空穴輸送層后,可對分隔壁頂部實行憎液化處理,在對分隔壁頂部實施憎液化處理后向分隔壁之間供給有機EL材料,因此能夠阻止其供給的有機EL材料超過分隔壁的頂部而移動到其他的分隔壁之間,有效地防止了多種顏色的有機EL材料的混色。
權利要求
1.一種有機EL元件的制造方法,其特征在于,該方法包括根據(jù)預定的布圖在基板上形成分隔壁的分隔壁形成工序、有選擇地向所述分隔壁之間供給空穴輸送材料而形成空穴輸送層的第一涂布工序、對所述分隔壁的頂部實施憎液處理的憎液化工序,以及在所述第一涂布工序和所述憎液化工序之后,向分隔壁之間供給有機EL材料而形成有機EL層的第二涂布工序。
2.如權利要求1所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第一涂布工序是一邊由第一噴嘴吐出所述空穴輸送材料,一邊使該第一噴嘴沿著所述分隔壁之間相對于所述基板而相對移動的工序。
3.如權利要求1所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第一涂布工序是多個第一噴嘴的各個一邊同時吐出所述空穴輸送材料,一邊沿著所述分隔壁之間使所述多個第一噴嘴相對于所述基板而相對移動的工序。
4.如權利要求3所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第一涂布工序,在相對于所述基板而相對移動所述多個第一噴嘴之前,根據(jù)所述分隔壁的布置狀態(tài)改變所述多個第一噴嘴的間隔。
5.如權利要求1~4中任何一項所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第一涂布工序,在向所述分隔壁之間形成的空間里供給所述空穴輸送材料后,對所述空間內(nèi)的空穴輸送材料進行干燥處理而形成所述空穴輸送層。
6.如權利要求1所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第二涂布工序是一邊從第二噴嘴吐出所述有機EL材料,一邊使該第二噴嘴沿著所述分隔壁之間相對于基板而相對移動的工序。
7.如權利要求1所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第二涂布工序是多個第二噴嘴的各個一邊同時吐出所述有機EL材料,一邊沿著所述分隔壁之間使所述多個第二噴嘴相對于所述基板而相對移動的工序。
8.如權利要求7所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第二涂布工序,在相對于所述基板而相對移動所述多個第二噴嘴之前,根據(jù)所述分隔壁的布置狀態(tài)改變所述多個第二噴嘴的間隔。
9.如權利要求1、6、7或8所述的有機EL元件的制造方法,其中,所述第二涂布工序是如下的工序在向所述分隔壁之間供給所述有機EL材料,直到從所述分隔壁之間滿溢而在所述分隔壁的頂部形成剩余之后,對處于該剩余狀態(tài)的有機EL材料進行干燥處理,在所述空穴輸送層上形成所述有機EL層。
10.一種有機EL顯示裝置,其特征在于,該裝置具有用如權利要求1~9中任一項所述的制造方法制造的有機EL元件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機EL元件的制法和有機EL顯示裝置,在向基板上形成的分隔壁之間涂布有機EL材料制造有機EL元件時,能夠防止相鄰的分隔壁之間的有機EL材料發(fā)生混色。其解決方法是在有選擇地向各個元件空間SP供給空穴輸送材料之后,對基板加熱處理使空穴輸送材料干燥,形成空穴輸送層。由此防止在分隔壁頂部附著空穴輸送材料。然后,對其分隔壁頂部實行憎液化處理。更具體說,在分隔壁的頂部形成含氟層。而在此憎液化處理之后,向分隔壁之間供給有機EL材料。此時,由于含氟層的存在,阻止有機EL材料向其他分隔壁之間的移動,有效防止了多種顏色的有機EL材料發(fā)生混色。
文檔編號H05B33/12GK1469690SQ0313719
公開日2004年1月21日 申請日期2003年6月9日 優(yōu)先權日2002年7月16日
發(fā)明者增市干雄, 高村幸宏, 森脇三造, 宏, 造 申請人:大日本網(wǎng)目版制造株式會社