專利名稱：半導(dǎo)體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置，特別是涉及半導(dǎo)體存儲器等的升壓電壓的生成所適用的升壓電路，以及具備該升壓電路的半導(dǎo)體裝置。
背景技術(shù)：
在以非易失性存儲器為首的存儲器電路中，為了進(jìn)行存儲單元的數(shù)據(jù)的改寫和讀取，需要產(chǎn)生高電壓。
在用一般升壓電路來產(chǎn)生高電壓的場合，升壓時的電流量超過電源的供給能力的話，就會導(dǎo)致電源電壓的下降，因而就需要使峰值電流分散。
作為其中之一，以前多用為了控制多個充電泵電路0而使控制時鐘信號的相位按每個充電泵來變化的方法。然而，需要對在產(chǎn)生相位差的過程中的延遲，以及在升壓開始時和結(jié)束時多個控制時鐘信號的同時變化下功夫。
在專利文獻(xiàn)1中，作為使由于單元數(shù)據(jù)放大時的噪聲和升壓電路動作所涉及的噪聲的重復(fù)而產(chǎn)生的峰值電流進(jìn)行分散，使單元數(shù)據(jù)放大得以穩(wěn)定的升壓電路，披露了圖5所示的構(gòu)成。參照圖5，此升壓電路具備對升壓電壓進(jìn)行檢測，輸出對升壓動作進(jìn)行控制的判斷輸出信號φ1的電壓檢測電路1；接受來自電壓檢測電路1的判斷輸出信號φ1的控制，輸出振蕩輸出信號φ2的振蕩電路21；接受電壓檢測電路1和振蕩電路21各自的輸出信號，控制充電泵電路的多個控制電路5；以及受控制電路5的控制而動作的多個充電泵電路3?？刂齐娐?具備輸入振蕩電路21的輸出信號φ2，控制其反相信號及該輸出信號φ2的傳遞的傳輸門TG2、TG3；鎖存?zhèn)鬏旈TTG2、TG3的輸出連接點(diǎn)的信號φ3，將其向充電泵電路輸出，由判斷輸出信號φ1來控制激活化的第1鎖存電路6；通過由判斷輸出信號φ1來控制導(dǎo)通的傳輸門TG4而對此信號φ3進(jìn)行鎖存的第2鎖存電路7；控制傳輸門TG2、TG3，使得根據(jù)信號φ3及其反相信號φ3-(第2鎖存電路7中的反相輸出信號)和電壓檢測電路1的判斷輸出信號φ1，選擇、輸出振蕩電路的輸出信號φ2的邏輯的正相和反相中的與由第2鎖存電路7鎖存了的信號的邏輯反相的一方的電路8。
圖8表示電壓檢測電路1的構(gòu)成的一個例子。參照圖8，電壓檢測電路1構(gòu)成為，用電阻來分割升壓節(jié)點(diǎn)VB的電位，用比較器COMP將其與基準(zhǔn)電壓VREF進(jìn)行比較。如果VB的電位比由電阻分割比和基準(zhǔn)電壓VREF決定的設(shè)定電位低，作為比較器輸出的判斷輸出信號φ1就變?yōu)楦唠娖?有升壓動作)，反過來，如果VB的電位一方高，判斷輸出信號φ1就變?yōu)榈碗娖?無升壓動作)。
還有，圖9表示充電泵電路3的構(gòu)成的一個例子。圖9所示的構(gòu)成稱為互補(bǔ)型電路方式，由圖5的φ3(或圖1的φ4)的方波來控制。電容器C1及C2反相動作。
圖6是說明圖5所示的構(gòu)成的動作的定時波形圖。如圖6(a)所示，由電壓檢測電路1判定為升壓電壓達(dá)到了設(shè)定電壓的話，判斷輸出信號φ1(φ1′、φ1″)就從高電平變?yōu)榈碗娖?，充電泵電路的控制信號?(φ3′、φ3″)由第1、第2鎖存電路6、7保持，充電泵電路3停止，另一方面，振蕩電路21的輸出φ2(φ2′、φ2″)回到初期狀態(tài)。
由電壓檢測電路1判定為升壓電壓不到設(shè)定電壓的話，判斷輸出信號φ1(φ1′、φ1″)就從低電平變?yōu)楦唠娖?，信號?(φ3′、φ3″)，由于第2鎖存電路7中保持的電平強(qiáng)制地切換振蕩電路21的輸出信號φ2的正、負(fù)邏輯，結(jié)果就使以第1鎖存電路6中保持的電平的負(fù)邏輯為起點(diǎn)的計(jì)時開始，使充電泵電路3中的動作再開始，進(jìn)行升壓動作。
專利文獻(xiàn)1特開平11-25673號公報(bào)發(fā)明內(nèi)容在參照圖5及圖6說明了的現(xiàn)有升壓電路中，多個充電泵3由判斷輸出信號φ1和通過延遲元件而延遲，帶有相位差的φ1′、…φ1″來控制，因而判斷輸出信號φ1從高電平變?yōu)榈碗娖街?，到充電泵電?的動作停止為止，會產(chǎn)生延遲。圖6(a)的Td1(從φ1的變遷到φ1″的變遷為止的延遲時間)表示此延遲。
在此場合，在圖7中，如虛線所示，升壓電壓的變異變大，這是存在的課題。另外，圖7是為了更易懂地說明參照圖5及圖6說明了的現(xiàn)有升壓電路的課題而新作成的圖，是表示了升壓電壓的時間推移的圖，圖7的虛線表示了圖6(a)的Td1的延遲所涉及的影響。
還有，判斷輸出信號φ1、φ1′、…φ1″的相位差根據(jù)延遲元件的延遲時間而產(chǎn)生，因而受制造偏差的影響，這是存在課題。
再有，如圖6(b)所示，相對于振蕩電路21的周期，在從φ1到φ1″的延遲時間大的場合，在定時t1、t2、t3、…，φ3、φ3″的定時重疊，多個充電泵電路3會同時動作。因此，電流峰值會增加，這是存在課題。
本申請所披露的發(fā)明，為了解決上述課題，大致構(gòu)成如下。
本發(fā)明的一個方面(側(cè)面)所涉及的升壓電路，具備輸入對振蕩的有無進(jìn)行控制的控制信號，在上述控制信號表示有振蕩時，奇數(shù)級反相器構(gòu)成閉合電路，來自多個上述反相器的輸出端的振蕩輸出分別被取出，在上述控制信號表示無振蕩時，控制上述反相器的反相動作，使振蕩停止的振蕩電路；以及把來自上述振蕩電路的多個振蕩輸出分別作為時鐘來接受而動作的多個充電泵電路。
在本發(fā)明的升壓電路中，上述振蕩電路在上述控制信號表示無振蕩時，不反相地保持上述反相器的輸出值，停止振蕩。
在本發(fā)明的升壓電路中，也可以構(gòu)成為，上述振蕩電路在上述控制信號表示無振蕩的期間，把上述反相器的輸出保持為在上述控制信號從有振蕩向無振蕩變遷了的時點(diǎn)的上述反相器的輸出的值，停止振蕩。
在本發(fā)明的升壓電路中，也可以構(gòu)成為，上述振蕩電路在上述控制信號表示無振蕩的期間，把上述反相器的輸入和輸出的關(guān)系原樣維持為在上述控制信號從有振蕩向無振蕩變遷了的時點(diǎn)的上述反相器的輸入和輸出的關(guān)系，停止振蕩。
根據(jù)本發(fā)明，使得振蕩電路的暫時停止和再開始的控制成為可能，能進(jìn)行多個充電泵電路的同時停止和順暢的動作開始。結(jié)果就能提高升壓精度。
還有，根據(jù)本發(fā)明，消除了多個充電泵控制信號的相位相重疊的可能性，抑制了制造偏差等所涉及的電流峰值的增加的產(chǎn)生。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的構(gòu)成的圖。
圖2(a)是表示控制型反相器的電路構(gòu)成的圖，(b)是表示動作的圖。
圖3是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的升壓電路的動作的定時圖。
圖4是表示控制型反相器的別的構(gòu)成例的圖。
圖5是表示專利文獻(xiàn)1的升壓電路的構(gòu)成的圖。
圖6(a)、(b)是說明現(xiàn)有升壓電路的動作的圖。
圖7是表示升壓電壓的時間推移的圖。
圖8是表示電壓檢測電路的構(gòu)成的一個例子的圖。
圖9是表示充電泵電路的構(gòu)成的一個例子的圖。
標(biāo)號說明1 電壓檢測電路2 振蕩電路3 充電泵電路5 控制電路6 鎖存電路7 鎖存電路8 F/F電路20 控制型反相器21 振蕩電路201 OR電路202、203 EXOR電路211、212、215、216 反相器213 NMOS晶體管214 PMOS晶體管具體實(shí)施方式
以下參照為進(jìn)一步詳細(xì)述說上述本發(fā)明的附圖進(jìn)行說明。本發(fā)明具備對升壓電壓進(jìn)行檢測的電壓檢測電路(1)、振蕩電路(2)和多個充電泵電路(3)，振蕩電路(2)具備奇數(shù)級控制型反相器(20)，在來自電壓檢測電路(1)的控制信號(φ1)表示有振蕩(執(zhí)行升壓動作)時，奇數(shù)級反相器構(gòu)成閉合電路，從多個控制型反相器(20)的輸出中，振蕩輸出(φ4、φ4′、…φ4″)分別被取出，作為時鐘信號被供給到多個充電泵電路(3)。另一方面，在控制信號(φ1)表示振蕩停止(停止升壓動作)時，控制型反相器(20)的輸出值不反相地被保持，因此，振蕩被停止。此時，多個充電泵電路(3)中，來自振蕩電路(2)的多個輸出信號(φ4、φ4′、…φ4″)被保持為多個控制型反相器(20)的輸出保持值而不振蕩，多個充電泵電路(3)停止動作。在本發(fā)明中，在振蕩電路的控制型反相器(20)的構(gòu)成上有幾種變形。以下就實(shí)施例進(jìn)行說明。
圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的升壓電路的構(gòu)成的圖。參照圖1，本實(shí)施例的升壓電路具備輸出對升壓電壓VPP進(jìn)行檢測，對升壓動作進(jìn)行控制的判斷輸出信號φ1的電壓檢測電路1；接受來自電壓檢測電路1的判斷輸出信號φ1，進(jìn)行以判斷輸出信號φ1的值為基礎(chǔ)的振蕩動作·振蕩停止的控制的振蕩電路2；以及分別接受從振蕩電路2輸出的彼此相位不相同的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″而動作的多個充電泵電路3。另外，圖1的電壓檢測電路1及充電泵電路3與圖8及圖9所示的電路構(gòu)成相同，因而省略其說明。
振蕩電路2構(gòu)成為由在判斷輸出信號φ1表示振蕩動作時，按奇數(shù)級級聯(lián)方式連接控制型反相器20，把最末級的輸出反饋輸入到初級的閉合電路組成的環(huán)形振蕩器。更詳細(xì)的情況參照圖1及圖2，控制型反相器20具備從輸入端輸入判斷輸出信號φ1的或(OR)電路201、把向控制型反相器20的輸入信號IN和OR電路201的輸出信號作為輸入的異或(EXOR)電路202以及把輸入信號IN和異或(EXOR)電路202的輸出信號OUT作為輸入的異或(EXOR)電路203，在OR電路201的另一輸入端，輸入EXOR電路203的輸出信號。對于控制型反相器20的動作進(jìn)行說明。
在判斷輸出信號φ1為1(例如正邏輯下高電平)的場合，不論EXOR電路203的輸出的值如何，OR電路201輸出都為1，EXOR電路202作為反相器起作用而把輸入信號IN的反相結(jié)果輸出到輸出OUT，作為反相電路起作用。
在判斷輸出信號φ1為0(例如正邏輯下低電平)的場合，OR電路201的輸出成為EXOR電路203的輸出。在此場合，IN＝1，OUT＝0時(OUT＝/IN；此處，/表示反相)，EXOR電路203的輸出變?yōu)?，OR電路201輸出1，EXOR電路202的輸出變?yōu)?，OUT變?yōu)镮N的反相信號，OUT＝/IN被維持。
IN＝0，OUT＝1時(OUT＝/IN)，EXOR電路203的輸出OUT變?yōu)?，OR電路201輸出1，EXOR電路202的輸出OUT變?yōu)?，OUT變?yōu)镮N的反相信號，OUT＝/IN被維持。
IN＝1，OUT＝1時(OUT＝IN)，EXOR電路203的輸出變?yōu)?，OR電路201輸出0，EXOR電路202的輸出變?yōu)?，OUT＝IN被維持。
IN＝0，OUT＝0時(OUT＝IN)，EXOR電路203的輸出變?yōu)?，OR電路201輸出0，EXOR電路202的輸出變?yōu)?，OUT＝IN被維持。
這樣，在判斷輸出信號φ1為高電平的場合，OUT變?yōu)镮N的反相信號(OUT＝/IN)，作為反相器而動作(參照圖2(b))。
另一方面，在判斷輸出信號φ1為低電平的場合，如果在判斷輸出信號φ1從高電平向低電平變遷時點(diǎn)OUT的反相完成了的話，OUT＝/IN就被維持。還有，在判斷輸出信號φ1為低電平的場合，在判斷輸出信號φ1從高電平向低電平變遷時點(diǎn)，如果OUT的反相沒完成(依賴于EXOR電路202的傳播延遲時間等)，OUT＝IN就被維持。因此，不論反相器的動作狀況如何，輸出OUT都被保持。即，在判斷輸出信號φ1為低電平的期間，控制型反相器20的輸出OUT的值被固定保持為判斷輸出信號φ1從高電平向低電平的變遷時點(diǎn)的值。
其次，對于圖1的電路的控制動作進(jìn)行說明。在由電壓檢測電路1判定為升壓電壓沒達(dá)到設(shè)定電壓的場合，判斷輸出信號φ1變?yōu)楦唠娖?，振蕩電?變?yōu)榭刂菩头聪嗥?0的閉合電路，因而來自振蕩電路2的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″(來自環(huán)形振蕩器的各級信號)，根據(jù)各自的控制型反相器20的反相時間(從輸入信號IN被輸入到其反相信號OUT被輸出的傳播延遲時間)，變?yōu)閹в邢辔徊畹恼袷幮盘?。?和φ4′的相位差由構(gòu)成環(huán)形振蕩器的控制型反相器20的EXOR電路202的傳播延遲時間來規(guī)定。
作為各自的時鐘而接受來自振蕩電路2的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″，多個充電泵電路3進(jìn)行升壓動作。
另一方面，在由電壓檢測電路1判定為升壓電壓達(dá)到了設(shè)定電壓的場合，判斷輸出信號φ1從高電平變?yōu)榈碗娖?，因此，振蕩電?內(nèi)的全部的控制型反相器20的輸出被保持。更詳細(xì)的情況如上所述，在判斷輸出信號φ1為低電平的期間，控制型反相器20的輸出被保持為判斷輸出信號φ1從高電平向低電平變遷了的時點(diǎn)的EXOR電路202的輸出值。因此，在判斷輸出信號φ1為低電平時，來自振蕩電路2的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″被分別持續(xù)維持為控制型反相器20的輸出的保持值(高電平或低電平)，振蕩停止，多個充電泵電路3都不由時鐘驅(qū)動，停止升壓動作。
圖3是用于說明本實(shí)施例的動作的定時圖。如圖3所示，判斷輸出信號φ1從高電平變?yōu)榈碗娖降脑?，就振蕩電?的多個控制型反相器20的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″而言，其值全部被保持，由輸出信號φ4、φ4′、…φ4″來控制動作的多個充電泵電路3停止升壓動作。
判斷輸出信號φ1再次從低電平變?yōu)楦唠娖降脑挘袷庪娐?的控制型反相器20就作為反相器而動作。此時，例如輸入輸出電平以相等的狀態(tài)(OUT＝IN)被保持，來自多個控制型反相器20的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″的振蕩再開始，作為時鐘而接受輸出信號φ4、φ4′、…φ4″的多個充電泵電路3分別進(jìn)行升壓動作。
根據(jù)上述控制動作，在本實(shí)施例中不必進(jìn)行多余升壓。
并且，在本實(shí)施例中，振蕩電路2的輸出φ4、φ4′、…φ4″間的相位差是分割了振蕩電路2的振蕩周期而成的(相當(dāng)于EXOR電路202的傳播延遲時間)，因而多個振蕩電路2φ4、φ4′、…φ4″的定時不會重疊。因此，在本實(shí)施例中，確實(shí)避免了多個充電泵電路3同時動作。結(jié)果，根據(jù)本實(shí)施例，抑制了峰值電流的增加的可能性。
對于本發(fā)明的別的實(shí)施例進(jìn)行說明。在圖1的振蕩電路2中，控制型反相器20也可以是圖4所示的構(gòu)成。參照圖4，此控制型反相器20是在反相器211的輸出上配設(shè)了把來自電壓檢測電路1的判斷輸出信號φ1作為鎖存控制信號來輸入的鎖存電路(由傳輸門和觸發(fā)器組成)而成的。判斷輸出信號φ1為高電平時，鎖存電路原樣輸出反相器211的輸出(此處，輸出被觸發(fā)器保持)，判斷輸出信號φ1為低電平時，鎖存電路，因?yàn)閭鬏旈T變?yōu)榻刂梗圆徽撦斎胄盘朓N的值如何，都輸出被觸發(fā)器保持的值。更詳細(xì)的情況是具備對輸入信號IN進(jìn)行反相的反相器211、連接在輸入信號IN和輸出信號OUT之間的由PMOS晶體管214和NMOS晶體管213組成的傳輸門以及輸入和輸出互相連接的對輸出信號OUT進(jìn)行鎖存的反相器215、216，NMOS晶體管213在柵極上接受電壓檢測電路1的判斷輸出信號φ1，PMOS晶體管214在柵極上接受由反相器212對判斷輸出信號φ1進(jìn)行反相而成的信號。傳輸門(213、214)在判斷輸出信號φ1為高電平、低電平時，分別導(dǎo)通、截止。
在判斷輸出信號φ1為高電平的場合，傳輸門(213、214)導(dǎo)通，此時的輸出被觸發(fā)器電路(反相器215、216)保持。另一方面，在判斷輸出信號φ1為低電平的場合，傳輸門(213、214)變?yōu)榉菍?dǎo)通，觸發(fā)器電路(215、216)所保持的電平被輸出。此時反相器216把判斷輸出信號φ1將要變?yōu)榈碗娖降闹暗妮斎胄盘朓N經(jīng)反相器211反相，通過了傳輸門(213、214)所得的信號電平向OUT輸出(OUT＝/IN)。
在把圖4的控制型反相器20用于圖1的振蕩電路2的場合也是，與參照圖3說明了的上述實(shí)施例同樣地動作。即，在由電壓檢測電路1判斷為升壓電壓沒達(dá)到設(shè)定電壓的場合，判斷輸出信號φ1變?yōu)楦唠娖剑袷庪娐?變?yōu)槠鏀?shù)級控制型反相器20的閉合電路，振蕩電路2的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″，根據(jù)控制型反相器20的反相時間，變?yōu)閹в邢辔徊畹恼袷幮盘枴＝邮苷袷庪娐?的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″，多個充電泵電路3分別動作，進(jìn)行升壓。在由電壓檢測電路1判斷為升壓電壓達(dá)到了設(shè)定電壓的場合，判斷輸出信號φ1變?yōu)榈碗娖?，從振蕩電?的控制型反相器20(參照圖4)輸出控制型反相器20內(nèi)的鎖存電路所保持的電平。因此，振蕩電路2的輸出信號φ4、φ4′、…φ4″的振蕩停止，多個充電泵電路3所涉及的升壓也停止。判斷輸出信號φ1從低電平變?yōu)楦唠娖降脑挘袷庪娐?的控制型反相器就作為反相器而動作，因而根據(jù)以輸入輸出電平相等的狀態(tài)被保持的控制型反相器20，輸出信號φ4、φ4′、…φ4″的振蕩再開始，使充電泵電路3的升壓動作再開始。
在把上述本實(shí)施例的升壓電路用于非易失性存儲器等LSI的場合，通過振蕩電路的控制型反相器的動作控制，使得振蕩電路的暫時停止成為可能。還有，能獲得可避免由于以峰值電流的分散為目的相位分割而產(chǎn)生的延遲的影響的升壓控制。即，根據(jù)本實(shí)施例，相位分割時的相位差是分割振蕩電路的振蕩周期而成的，因而多個振蕩電路輸出的時鐘定時不會重疊，對峰值電流的分散有貢獻(xiàn)。
以上就上述實(shí)施例說明了本發(fā)明，不過，本發(fā)明不僅限于上述實(shí)施例的構(gòu)成，當(dāng)然還包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)本領(lǐng)域技術(shù)人員能做的各種變形、修正。
權(quán)利要求
1.一種升壓電路，其特征在于包括具備奇數(shù)級反相器，輸入對振蕩的有無進(jìn)行控制的控制信號，在所述控制信號表示有振蕩時，所述奇數(shù)級反相器構(gòu)成閉合電路，來自多個所述反相器的輸出端的振蕩輸出信號分別被輸出，在所述控制信號表示無振蕩時，控制所述反相器的反相動作，使振蕩停止的振蕩電路；以及把來自所述振蕩電路的多個振蕩輸出信號分別作為時鐘來接受而動作的多個充電泵電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升壓電路，其特征在于，在所述振蕩電路中，在所述控制信號表示無振蕩時，不反相地保持所述反相器的輸出值，停止振蕩。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升壓電路，其特征在于，在所述振蕩電路中，在所述控制信號表示無振蕩時，把所述反相器的輸出保持為在所述控制信號從有振蕩向無振蕩變遷了的時點(diǎn)的所述反相器的輸出的值，停止振蕩。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升壓電路，其特征在于，在所述振蕩電路中，在所述控制信號表示無振蕩時，把所述反相器的輸入和輸出的關(guān)系維持為在所述控制信號從有振蕩向無振蕩變遷了的時點(diǎn)的所述反相器的輸入和輸出的關(guān)系，停止振蕩。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升壓電路，其特征在于，所述振蕩電路中，作為所述各反相器，具備在從2個輸入端輸入的信號不一致、一致時，分別輸出第1、第2邏輯值的第1、第2邏輯電路；以及輸入所述控制信號和所述第2邏輯電路的輸出信號，在所述控制信號和所述第2邏輯電路的輸出信號都為第2邏輯值時，輸出第2邏輯值，在此外的場合，輸出第1邏輯值的第3邏輯電路，所述第1邏輯電路輸入所述第3邏輯電路的輸出信號和到所述反相器的輸入信號，所述第1邏輯電路的輸出信號作為所述反相器的輸出信號被輸出，所述第2邏輯電路把到所述反相器的所述輸入信號和所述第1邏輯電路的輸出信號作為輸入，在所述控制信號取第1邏輯值而表示有振蕩時，所述第1邏輯電路作為把所述輸入信號反相而輸出的電路起作用，在所述控制信號取第2邏輯值而表示無振蕩時，所述第1邏輯電路的輸入和輸出由所述第2及所述第3邏輯電路保持為在所述控制信號從第1邏輯值向第2邏輯值變遷了的時點(diǎn)的所述第1邏輯電路的輸入和輸出的值。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升壓電路，其特征在于，所述振蕩電路具備與各級反相器對應(yīng)而把所述反相器的輸出作為輸入的鎖存電路，所述鎖存電路，在所述控制信號表示振蕩時，把對應(yīng)的反相器的輸出原樣輸出，并且存儲保持所述反相器的輸出，在所述控制信號表示振蕩停止時，不論所述反相器的輸出如何，都輸出所述鎖存電路中存儲保持的值。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升壓電路，其特征在于，具備對所述升壓電壓和預(yù)定的設(shè)定電壓進(jìn)行比較，輸出按照其大小關(guān)系來控制升壓動作的判斷輸出信號的電壓檢測電路，所述振蕩電路把從所述電壓檢測電路輸出的所述判斷輸出信號作為對振蕩的有無進(jìn)行控制的所述控制信號來輸入。
8.一種具備權(quán)利要求1所述的升壓電路的半導(dǎo)體裝置。
全文摘要
一種能抑制升壓電壓的變異、抑制制造偏差的影響、避免電流峰值的增大的升壓電路。它具備把檢測升壓電壓而控制升壓動作的判斷輸出信號(φ1)輸出的電壓檢測電路(1)、振蕩電路(2)和多個充電泵電路(3)，振蕩電路(2)具備奇數(shù)級控制型反相器(20)，在來自電壓檢測電路(1)的判斷輸出信號(φ1)表示升壓動作(有振蕩)時，奇數(shù)級反相器構(gòu)成開路，來自多個控制型反相器(20)的輸出的振蕩輸出分別被取出，在判斷輸出信號(φ1)表示升壓動作停止(振蕩停止)時，不反相地保持控制型反相器(20)的輸出值，停止振蕩。多個充電泵電路(3)把來自控制型反相器(20)的輸出信號(φ4～φ4″)作為時鐘信號來接受而動作。
文檔編號H02M3/07GK1909112SQ200610108689
公開日2007年2月7日 申請日期2006年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月3日
發(fā)明者山根一倫, 佐藤彰, 岡本利治 申請人:恩益禧電子股份有限公司