接觸窗配置裝置及其接觸窗配置方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種電子裝置，且特別是有關(guān)于一種接觸窗配置裝置及其接觸窗配置方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)今半導(dǎo)體制程中，由于集成電路的密集度增加，造成元件之間的線距縮小，使得芯片表面無法提供足夠的面積來制作所需的內(nèi)連線(Interconnects)，為了配合金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)晶體管縮小后所增加的內(nèi)連線需求，接觸窗的制作便逐漸地成為許多集成電路所必須采用的方式，其可用以電性導(dǎo)通不同層之間的導(dǎo)電層。
[0003]由于接觸窗的位置誤差容許度很小，若接觸窗的選定位置太接近導(dǎo)電層的邊緣亦或是接觸窗的數(shù)量不夠而造成不同層的導(dǎo)電層間的電阻過高，皆可能造成集成電路無法運作、而導(dǎo)致產(chǎn)品良率嚴(yán)重下降的情形發(fā)生。通過接觸窗數(shù)目最大化可降低金屬導(dǎo)線的接觸電阻，而使其配置位置置中則可降低兩層金屬層與接觸窗層在光刻(lithography)制程中光罩迭對的誤差。
[0004]若由布局(layout)工程師以人工的方式填入接觸窗數(shù)目，并將配置位置置中，不容易使所有接觸窗配置到最佳的位置，且人工填入的方式曠日廢時，因此由電腦程序取而代之有其必要性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種接觸窗配置裝置及其接觸窗配置方法，可降低不同層的導(dǎo)電層間的電阻或避免接觸窗位置太接近導(dǎo)電層邊緣的情形發(fā)生，進(jìn)而將接觸窗配置到理想的位置。
[0006]本發(fā)明的接觸窗配置方法，適于配置第一導(dǎo)線層與第二導(dǎo)線層所交迭形成的矩形區(qū)域上多個接觸窗的位置，其中各接觸窗具有相鄰的第一邊與第二邊，矩形區(qū)域具有相鄰的第一邊界與第二邊界，接觸窗配置方法包括下列步驟。接收相鄰的接觸窗的第一邊之間的第一預(yù)設(shè)距離以及第二邊之間的第二預(yù)設(shè)距離。依據(jù)第一預(yù)設(shè)距離分別決定對應(yīng)第一邊界與第二邊界的第一接觸窗排列個數(shù)與第二接觸窗排列個數(shù)，并依據(jù)第二預(yù)設(shè)距離分別決定對應(yīng)第一邊界與第二邊界的第三接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)，其中第一接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)的乘積定義第一接觸窗配置總數(shù)，第二接觸窗排列個數(shù)與第三接觸窗排列個數(shù)的乘積定義第二接觸窗配置總數(shù)。比較第一接觸窗配置總數(shù)與第二接觸窗配置總數(shù)的數(shù)量。依據(jù)第一接觸窗配置總數(shù)與第二接觸窗配置總數(shù)的比較結(jié)果決定接觸窗的配置總數(shù)。以矩形區(qū)域的水平中心線與垂直中心線為基準(zhǔn)，對應(yīng)所決定的接觸窗配置總數(shù)的排列方式來配置接觸窗。
[0007]本發(fā)明的接觸窗配置裝置，適于配置第一導(dǎo)線層與第二導(dǎo)線層所交迭形成的矩形區(qū)域上多個接觸窗的位置，其中各接觸窗具有相鄰的第一邊與第二邊，矩形區(qū)域具有相鄰的第一邊界與第二邊界，接觸窗配置裝置包括儲存單元以及處理單元。儲存單元儲存相鄰的接觸窗的第一邊之間的第一預(yù)設(shè)距離以及第二邊之間的第二預(yù)設(shè)距離以及第一邊界與第二邊界的長度。處理單元耦接儲存單元，執(zhí)行配置模塊，以依據(jù)第一預(yù)設(shè)距離分別決定對應(yīng)第一邊界與第二邊界的第一接觸窗排列個數(shù)與第二接觸窗排列個數(shù)，并依據(jù)第二預(yù)設(shè)距離分別決定對應(yīng)第一邊界與第二邊界的第三接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)，其中第一接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)的乘積定義第一接觸窗配置總數(shù)，第二接觸窗排列個數(shù)與第三接觸窗排列個數(shù)的乘積定義第二接觸窗配置總數(shù)，處理單元更比較第一接觸窗配置總數(shù)與第二接觸窗配置總數(shù)的數(shù)量，并依據(jù)第一接觸窗配置總數(shù)與第二接觸窗配置總數(shù)的比較結(jié)果決定接觸窗的配置總數(shù)，并以矩形區(qū)域的水平中心線與垂直中心線為基準(zhǔn)，對應(yīng)所選擇的接觸窗配置總數(shù)的排列方式來配置接觸窗。
[0008]基于上述，本發(fā)明的實施例藉由依據(jù)第一預(yù)設(shè)距離分別決定對應(yīng)第一邊界與第二邊界的第一接觸窗排列個數(shù)與第二接觸窗排列個數(shù)，并依據(jù)第二預(yù)設(shè)距離分別決定對應(yīng)第一邊界與第二邊界的第三接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)，其中第一接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)的乘積定義第一接觸窗配置總數(shù)，第二接觸窗排列個數(shù)與第三接觸窗排列個數(shù)的乘積定義第二接觸窗配置總數(shù)，選擇對應(yīng)接觸窗配置個數(shù)較多的配置接觸窗配置總數(shù)作為接觸窗的配置總數(shù)，進(jìn)而降低不同層的導(dǎo)電層間的電阻。此外并以矩形區(qū)域的水平中心線與垂直中心線為基準(zhǔn)，對應(yīng)所決定的接觸窗配置總數(shù)的排列方式來配置接觸窗，以避免接觸窗的位置太接近導(dǎo)電層邊緣的情形發(fā)生，進(jìn)而將接觸窗配置到理想的位置。
[0009]為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附附圖作詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0010]圖1繪示為本發(fā)明一實施例的接觸窗配置裝置的示意圖。
[0011]圖2A?圖2H繪示為本發(fā)明實施例的接觸窗的配置示意圖。
[0012]圖3繪示為本發(fā)明一實施例的接觸窗配置方法的流程示意圖。
[0013]圖4繪示為本發(fā)明一實施例的決定第一接觸窗排列個數(shù)的方法的流程示意圖。
[0014]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0015]102:儲存單元
[0016]104:處理單元
[0017]202、204:導(dǎo)線層
[0018]206:矩形區(qū)域
[0019]Cl:接觸窗
[0020]208-1:第一邊
[0021]208-2:第二邊
[0022]S1、S2:預(yù)設(shè)寬度
[0023]210-1:第一邊界
[0024]210-2:第二邊界
[0025]L1:第一邊界的長度
[0026]L2:第二邊界的長度
[0027]dl:第一預(yù)設(shè)距離
[0028]d2:第二預(yù)設(shè)距離
[0029]H1、H2:距離
[0030]Xl:水平中心線
[0031]Yl:垂直中心線
[0032]S302?S310:接觸窗配置方法的步驟
[0033]S402?S410:決定第一接觸窗排列個數(shù)的方法步驟
【具體實施方式】
[0034]圖1繪示為本發(fā)明一實施例的接觸窗配置裝置的示意圖，請參照圖1。接觸窗配置裝置包括儲存單元102以及處理單元104，儲存單元102耦接處理單元104。接觸窗配置裝置可用以配置不同導(dǎo)線層間所交迭形成的矩形區(qū)域上多個接觸窗的位置，如圖2A與圖2B所繪示的本發(fā)明實施例的接觸窗的配置示意圖所示，導(dǎo)線層202與導(dǎo)線層204交迭的部分形成矩形區(qū)域206。其中導(dǎo)線層202與導(dǎo)線層204可例如為半導(dǎo)體層或金屬層，而接觸窗與矩形區(qū)域的形狀并不以圖2A與圖2B所繪示的形狀為限，其可為長方形或正方形。各個接觸窗Cl分別具有相鄰的第一邊208-1與第二邊208-2，第一邊208-1與第二邊208-2分別具有預(yù)設(shè)寬度S1、S2，而矩形區(qū)域206具有相鄰的第一邊界210-1與第二邊界210-2，其長度分別為L1、L2。
[0035]儲存單元102儲存第一邊208-1與第二邊208-2的預(yù)設(shè)寬度S1、S2、相鄰兩接觸窗Cl的第一邊208-1之間的第一預(yù)設(shè)距離dl、相鄰兩接觸窗Cl的第二邊208-2之間的第二預(yù)設(shè)距離d2、第一邊界210-1長度LI以及與第二邊界210-2的長度L2。處理單元104可依據(jù)第一預(yù)設(shè)距離dl分別決定對應(yīng)第一邊界210-1與第二邊界210-2的第一接觸窗排列個數(shù)與第二接觸窗排列個數(shù)，并依據(jù)第二預(yù)設(shè)距離d2分別決定對應(yīng)第一邊界210-1與第二邊界210-2的第三接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)。其中第一接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)的乘積定義一第一接觸窗配置總數(shù)，第二接觸窗排列個數(shù)與第三接觸窗排列個數(shù)的乘積定義一第二接觸窗配置總數(shù)。
[0036]舉例來說，在圖2A中，處理單元104依據(jù)第一預(yù)設(shè)距離dl對應(yīng)第一邊界210_1所決定出的第一接觸窗排列個數(shù)為2，而依據(jù)第二預(yù)設(shè)距離d2對應(yīng)第二邊界210-2所決定出的第四接觸窗排列個數(shù)為3，因此第一接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)所定義出的第一接觸窗配置總數(shù)為6個，而在圖2B中，處理單元104依據(jù)第二預(yù)設(shè)距離d2對應(yīng)第二邊界210-2所決定出的第二接觸窗排列個數(shù)為7，而依據(jù)第一預(yù)設(shè)距離dl對應(yīng)第一邊界210-1所決定出的第三接觸窗排列個數(shù)為1，因此第一接觸窗排列個數(shù)與第四接觸窗排列個數(shù)所定義出的第一接觸窗配置總數(shù)為7個。
[0037]在得到第一接觸窗配置總數(shù)與第一接觸窗配置總數(shù)后，處理單元104更比較第一接觸窗配置總數(shù)與第二接觸窗配置總數(shù)的數(shù)量，并依據(jù)第一接觸窗配置總數(shù)與第二接觸窗配置總數(shù)的比較結(jié)果決定接觸窗Cl的配置總數(shù)。舉例來說，對應(yīng)圖2A的第一接觸窗配置總數(shù)為6個，而對應(yīng)圖2B的第二接觸窗配置總數(shù)為7個