本發(fā)明涉及對(duì)襯底進(jìn)行處理的襯底處理裝置，例如，涉及可掌握對(duì)襯底進(jìn)行成膜處理的半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的技術(shù)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，為了謀求襯底處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率和生產(chǎn)效率的提高，以器件制造商(半導(dǎo)體器件的制造商)為主體進(jìn)行著裝置的信息管理。作為基本的監(jiān)視方法，通常使用如下方法：通過服務(wù)器收集半導(dǎo)體制造裝置的信息，利用統(tǒng)計(jì)解析技術(shù)等來檢查裝置的異常。

例如，在專利文獻(xiàn)1中記載了對(duì)數(shù)據(jù)的健全性進(jìn)行管理的方法，在專利文獻(xiàn)2中記載了與發(fā)生了數(shù)據(jù)異常時(shí)的異常解析有關(guān)的技術(shù)，在專利文獻(xiàn)3中記載了對(duì)構(gòu)成襯底處理裝置的部件進(jìn)行保養(yǎng)管理的技術(shù)。這些技術(shù)是與襯底處理裝置連接的管理裝置對(duì)襯底處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)進(jìn)行管理的技術(shù)。

但是，今后，器件的精細(xì)化進(jìn)一步推進(jìn)，并且裝置的數(shù)據(jù)量有增加的傾向，為此謀求著不增加器件制造商的負(fù)擔(dān)地、在裝置側(cè)進(jìn)行自我監(jiān)視的生產(chǎn)管理。而且，已成為iot(internetofthings：物聯(lián)網(wǎng))強(qiáng)化時(shí)代，謀求著在裝置側(cè)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的技術(shù)。因此，有必要采取用于使裝置更加穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的對(duì)策。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利第5855841號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利第5546197號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本專利第3300816號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，能夠提供表示襯底處理裝置能否穩(wěn)定地運(yùn)轉(zhuǎn)的信息的構(gòu)成。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，提供如下的結(jié)構(gòu)：至少具有對(duì)構(gòu)成裝置的結(jié)構(gòu)部件的狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)視的部件管理控制部、對(duì)從構(gòu)成裝置的結(jié)構(gòu)部件的動(dòng)作狀態(tài)得到的裝置數(shù)據(jù)的健全性進(jìn)行監(jiān)視的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部、和對(duì)從工廠設(shè)備提供給裝置的設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行監(jiān)視的數(shù)據(jù)匹配控制部，基于從由部件管理控制部所獲取的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部所獲取的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)和數(shù)據(jù)匹配控制部所獲取的用力(必需能力)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)構(gòu)成的組中選擇的多個(gè)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，來導(dǎo)出對(duì)裝置的運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息。

發(fā)明效果

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提供表示襯底處理裝置能否穩(wěn)定地運(yùn)轉(zhuǎn)的信息。

附圖說明

圖1是表示適合用于本發(fā)明的一實(shí)施方式的襯底處理裝置的立體圖。

圖2是表示適合用于本發(fā)明的一實(shí)施方式的襯底處理裝置的側(cè)剖視圖。

圖3是表示適合用于本發(fā)明的一實(shí)施方式的控制系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的圖。

圖4是表示適合用于本發(fā)明的一實(shí)施方式的主控制器的功能結(jié)構(gòu)的圖。

圖5是表示適合用于本發(fā)明的一實(shí)施方式的襯底處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。

圖6是說明適合用于本發(fā)明的一實(shí)施方式的裝置管理控制器的功能結(jié)構(gòu)的圖。

圖7是說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的匯總畫面顯示程序的處理流程的圖。

圖8是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的裝置的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面的顯示例的圖。

圖9是本發(fā)明的一實(shí)施方式的裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的診斷方法項(xiàng)目列表的一圖示例。

圖10是說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的數(shù)據(jù)匹配動(dòng)作的圖。

圖11是說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的文件匹配的顯示畫面的圖。

圖12是本發(fā)明的一實(shí)施方式的文件匹配的處理流程圖。

圖13是本發(fā)明的一實(shí)施方式的保養(yǎng)部件管理的處理流程圖。

圖14是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部的功能結(jié)構(gòu)的圖。

圖15是本發(fā)明的一實(shí)施方式的裝置狀態(tài)監(jiān)視的處理流程圖。

圖16是說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的裝置狀態(tài)監(jiān)視的圖。

圖17是本發(fā)明的一實(shí)施方式的數(shù)據(jù)解析支援控制的處理流程圖。

圖18是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的裝置的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面的顯示例的圖。

附圖標(biāo)記說明

1…襯底處理裝置(裝置)、201…主控制器(操作部)、215…裝置管理控制器、215b…畫面顯示控制部、215c…數(shù)據(jù)匹配控制部、215d…部件管理控制部、215e…裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部、215h…存儲(chǔ)部、227…操作顯示部。

具體實(shí)施方式

(襯底處理裝置的概要)

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。首先，在圖1、圖2中，對(duì)實(shí)施本發(fā)明的襯底處理裝置(以下，有時(shí)僅稱為裝置)1進(jìn)行說明。

襯底處理裝置1具備殼體2，在該殼體2的正面壁3的下部開設(shè)有為了維護(hù)而設(shè)置的正面口4，正面口4通過正面門5而被開閉。

在殼體2的正面壁3上以將殼體2的內(nèi)外連通的方式開設(shè)有晶片盒(pod)搬入搬出口6，晶片盒搬入搬出口6通過前閘門7而被開閉，在晶片盒搬入搬出口6的正面前方側(cè)設(shè)置有裝載口(loadport)8，裝載口8構(gòu)成為將所載置的晶片盒9對(duì)位。

晶片盒9是密閉式的襯底搬送容器，通過未圖示的工序內(nèi)搬送裝置而被搬入到裝載口8上，或者從裝載口8上搬出。

在殼體2內(nèi)的前后方向的大致中央部的上部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11，該旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11構(gòu)成為收納多個(gè)晶片盒9。

旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11具備：垂直地立起設(shè)置并間歇旋轉(zhuǎn)的支柱12；和在上中下層的各位置處呈放射狀支承在該支柱12上的多層架板13。架板13構(gòu)成為以載置多個(gè)晶片盒9的狀態(tài)收納晶片盒9。

在旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11的下方設(shè)有晶片盒開啟器14，該晶片盒開啟器14載置晶片盒9，還具有能夠?qū)υ摼?的蓋進(jìn)行開閉的結(jié)構(gòu)。

在裝載口8、旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11、晶片盒開啟器14之間設(shè)置有晶片盒搬送機(jī)構(gòu)15。晶片盒搬送機(jī)構(gòu)15能夠保持晶片盒9地升降、且能夠在水平方向上前進(jìn)后退，構(gòu)成為在裝載口8、旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11、晶片盒開啟器14之間搬送晶片盒9。

在殼體2內(nèi)的前后方向上的大致中央部的下部，在后端的范圍內(nèi)設(shè)有副殼體16。在該副殼體16的正面壁17以上下兩層排列地開設(shè)有一對(duì)晶片搬入搬出口(襯底搬入搬出口)19，該晶片搬入搬出口19用于相對(duì)于副殼體16內(nèi)搬入搬出晶片(以后，也稱為襯底)18。對(duì)各個(gè)襯底搬入搬出口19設(shè)有晶片盒開啟器14。

晶片盒開啟器14具備：載置晶片盒9的載置臺(tái)21、和對(duì)晶片盒9的蓋進(jìn)行開閉的開閉機(jī)構(gòu)22。晶片盒開啟器14構(gòu)成為，通過開閉機(jī)構(gòu)22對(duì)載置于載置臺(tái)21的晶片盒9的蓋進(jìn)行開閉，由此對(duì)晶片盒9的晶片出入口進(jìn)行開閉。

副殼體16構(gòu)成相對(duì)于配設(shè)有晶片盒搬送機(jī)構(gòu)15和旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11的空間(晶片盒搬送空間)為氣密的移載室23。在移載室23的前側(cè)區(qū)域設(shè)置有晶片移載機(jī)構(gòu)(襯底移載機(jī)構(gòu))24，該襯底移載機(jī)構(gòu)24具備載置襯底18的所需張數(shù)(在圖示中為5張)的晶片載置板25。晶片載置板25能夠在水平方向上直線移動(dòng)、在水平方向上旋轉(zhuǎn)，并能夠升降。襯底移載機(jī)構(gòu)24構(gòu)成為相對(duì)于舟皿(以后，也稱為襯底保持體)26進(jìn)行襯底18的裝填及推出。

在移載室23的后側(cè)區(qū)域，構(gòu)成收容舟皿26并使舟皿26待機(jī)的待機(jī)部27，在該待機(jī)部27的上方設(shè)有縱型的處理爐28。處理爐28在內(nèi)部形成處理室29，該處理室29的下端部成為爐口部，該爐口部通過爐口閘門31而被開閉。

在殼體2的右側(cè)端部與副殼體16的待機(jī)部27的右側(cè)端部之間設(shè)置有用于使舟皿26升降的舟皿升降機(jī)32。在與舟皿升降機(jī)32的升降臺(tái)連結(jié)的臂33上水平地安裝有作為蓋體的密封蓋34。蓋體34垂直地支承舟皿26，能夠在將該舟皿26裝入到上述處理室29的狀態(tài)下氣密地封堵爐口部。

舟皿26構(gòu)成為將多張(例如，50張～125張左右)的晶片18以其中心對(duì)齊的水平姿勢(shì)多層地保持。

在與舟皿升降機(jī)32側(cè)相對(duì)的位置配設(shè)有清潔單元35。清潔單元35由供給風(fēng)扇及防塵過濾器構(gòu)成，以供給凈化后的環(huán)境氣體或者為非活性氣體的清潔氣體36。

構(gòu)成為，從清潔單元35吹出的清潔氣體36流通到晶片移載機(jī)構(gòu)24和舟皿26，然后被未圖示的管道吸入，而被排出到殼體2的外部，或者被清潔單元35吹出到移載室23內(nèi)。

接下來，對(duì)裝置1的動(dòng)作進(jìn)行說明。

當(dāng)晶片盒9被供給到裝載口8時(shí)，晶片盒搬入搬出口6通過前閘門7而被打開。裝載口8上的晶片盒9被晶片盒搬送裝置15從晶片盒搬入搬出口6通過而搬入到殼體2的內(nèi)部，并被載置到旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11的指定的架板13上。晶片盒9被旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11暫時(shí)保管，然后被晶片盒搬送裝置15從架板13搬送到任一方的晶片盒開啟器14并被移載到載置臺(tái)21上，或者從裝載口8直接移載到載置臺(tái)21上。

此時(shí)，晶片搬入搬出口19通過開閉機(jī)構(gòu)22而被關(guān)閉，在移載室23中流通并充滿著清潔氣體36。例如，通過使移載室23中作為清潔氣體36而充滿氮?dú)?，將氧濃度設(shè)定為20ppm以下，遠(yuǎn)低于殼體2內(nèi)部(大氣環(huán)境氣體)的晶片盒搬送空間的氧濃度。

載置于載置臺(tái)21的晶片盒9的開口側(cè)端面被按壓到副殼體16的正面壁17中的晶片搬入搬出口19的開口緣邊部，并且該晶片盒9的蓋被開閉機(jī)構(gòu)22取下，從而晶片出入口打開。

當(dāng)晶片盒9被晶片盒開啟器14打開后，由襯底移載機(jī)構(gòu)24從晶片盒9取出襯底18，并將襯底18移送到缺口對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)(未圖示)，利用該缺口對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)對(duì)合襯底18之后，襯底移載機(jī)構(gòu)24將襯底18搬入到位于移載室23后方的待機(jī)部27，并裝填到舟皿26中。

向舟皿26交付了襯底18的襯底移載機(jī)構(gòu)24返回到晶片盒9，并將接下來的襯底18裝填到上述舟皿26中。

在一方(上層或下層)的晶片盒開啟器14處的利用襯底移載機(jī)構(gòu)24進(jìn)行的襯底18向舟皿26的裝填作業(yè)中，由晶片盒搬送裝置15從旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11向另一方(下層或上層)的晶片盒開啟器14搬送并移載其他晶片盒9，同時(shí)進(jìn)行另一方的晶片盒開啟器14對(duì)晶片盒9的打開作業(yè)。

當(dāng)預(yù)先指定的張數(shù)的襯底18被裝填到舟皿26中時(shí)，被爐口閘門31關(guān)閉的處理爐28的爐口部通過爐口閘門31而被打開。接著，舟皿26通過舟皿升降機(jī)32上升，而被搬入到處理室29中。

裝載后，通過密封蓋34氣密地封堵爐口部。此外，在本實(shí)施方式中，在該定時(shí)(裝載后)執(zhí)行將處理室29置換為非活性氣體的吹掃工序(預(yù)吹掃工序)。

通過氣體排氣機(jī)構(gòu)(未圖示)對(duì)處理室29進(jìn)行真空排氣，以使處理室29成為所期望的壓力(真空度)。另外，通過加熱器驅(qū)動(dòng)部(未圖示)將處理室29加熱到規(guī)定溫度，以使處理室29成為所期望的溫度分布。此外，通過氣體供給機(jī)構(gòu)(未圖示)向處理室29供給被控制為規(guī)定流量的處理氣體。

供給到處理室29的處理氣體與襯底18的表面接觸，在襯底18的表面上實(shí)施規(guī)定的處理。而且，反應(yīng)后的處理氣體被氣體排氣機(jī)構(gòu)從處理室29排出。

在經(jīng)過了預(yù)先設(shè)定的處理時(shí)間后，通過氣體供給機(jī)構(gòu)從非活性氣體供給源(未圖示)供給非活性氣體，處理室29被置換為非活性氣體，并且處理室29的壓力恢復(fù)為常壓(后吹掃工序)。然后，通過舟皿升降機(jī)32并經(jīng)由蓋體34使舟皿26下降。

關(guān)于處理后的襯底18的搬出，以與上述說明相反的順序，將襯底18及晶片盒9搬出到殼體2的外部。未處理的襯底18進(jìn)一步被裝填到上述舟皿26中，反復(fù)進(jìn)行襯底18的批處理。

(控制系統(tǒng)200的功能結(jié)構(gòu))

接下來，參照?qǐng)D3對(duì)以作為操作部的主控制器201為中心的控制系統(tǒng)200的功能結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖3所示，控制系統(tǒng)200具備：操作部201、作為搬送控制部的搬送系統(tǒng)控制器211、作為處理控制部的處理系統(tǒng)控制器212、和作為數(shù)據(jù)監(jiān)視部的裝置管理控制器215。在本實(shí)施方式中，控制系統(tǒng)200被收容在裝置1內(nèi)。

操作部201構(gòu)成為通過例如100base-t等lan線路而與搬送控制部211及處理控制部212電連接，因此能夠進(jìn)行各裝置數(shù)據(jù)的發(fā)送接收和各文件的下載及上傳等。

在此，所謂裝置數(shù)據(jù)是裝置1在運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)時(shí)產(chǎn)生的數(shù)據(jù)，例如，是裝置1在對(duì)襯底18進(jìn)行處理時(shí)使各結(jié)構(gòu)部件動(dòng)作而產(chǎn)生的數(shù)據(jù)。例如，可列舉裝置1在對(duì)襯底18進(jìn)行處理時(shí)的處理溫度、處理壓力、處理氣體的流量等與襯底處理有關(guān)的數(shù)據(jù)(監(jiān)視數(shù)據(jù))、例如所成膜的膜厚以及該膜厚的累積值等與制造出的制品襯底的品質(zhì)有關(guān)的數(shù)據(jù)(處理數(shù)據(jù)(processdata))、與石英反應(yīng)管、加熱器、閥、mfc(質(zhì)量流量控制器)等裝置1的結(jié)構(gòu)部件有關(guān)的數(shù)據(jù)(部件數(shù)據(jù))等數(shù)據(jù)。

另外，在本實(shí)施方式中，裝置數(shù)據(jù)還包含電力、水、氣體流量、排氣裝置等從顧客工廠向裝置1提供的數(shù)據(jù)(設(shè)備數(shù)據(jù))。另外裝置數(shù)據(jù)還包含與工藝配方執(zhí)行過程中的報(bào)警監(jiān)視有關(guān)的數(shù)據(jù)(報(bào)警發(fā)生信息數(shù)據(jù))、沒有執(zhí)行工藝配方期間的維護(hù)信息(事件數(shù)據(jù))、與異常解析有關(guān)的數(shù)據(jù)(異常解析數(shù)據(jù))等故障信息數(shù)據(jù)。

在操作部201上設(shè)有供作為外部存儲(chǔ)裝置的記錄介質(zhì)(例如usb存儲(chǔ)器等)插入、拔出的作為安裝部的端口。向操作部201安裝有與該端口對(duì)應(yīng)的操作系統(tǒng)(os)。另外，在操作部201上經(jīng)由例如通信網(wǎng)絡(luò)而連接有外部上級(jí)計(jì)算機(jī)和管理裝置。因此，即使裝置1設(shè)置在清潔室內(nèi)的情況下，上級(jí)計(jì)算機(jī)也能夠配置在清潔室外的辦公室等中。另外，管理裝置通過lan線路與裝置1連接，具有從操作部201收集裝置數(shù)據(jù)的功能。

裝置管理控制器215構(gòu)成為，通過lan線路與操作部201連接，從操作部201收集裝置數(shù)據(jù)，并基于對(duì)裝置數(shù)據(jù)加工而生成的數(shù)據(jù)來導(dǎo)出表示裝置的運(yùn)用狀態(tài)的指標(biāo)。此外，關(guān)于裝置管理控制器215將在后詳細(xì)描述。

搬送控制部211構(gòu)成為，與主要由旋轉(zhuǎn)式晶片盒架11、舟皿升降機(jī)32、晶片盒搬送裝置15、襯底移載機(jī)構(gòu)24、舟皿26以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示)構(gòu)成的襯底搬送系統(tǒng)211a連接并對(duì)其進(jìn)行控制。尤其是，搬送控制部211構(gòu)成為，經(jīng)由動(dòng)作控制器211a而分別控制舟皿升降機(jī)32、晶片盒搬送裝置15、襯底移載機(jī)構(gòu)24的搬送動(dòng)作。

處理控制部212具備：溫度控制器212a、壓力控制器212b、氣體流量控制器212c、序列發(fā)生器212d。這些溫度控制器212a、壓力控制器212b、氣體流量控制器212c、序列發(fā)生器212d構(gòu)成副控制器，并與處理控制部212電連接，因此能夠進(jìn)行各裝置數(shù)據(jù)的發(fā)送接收、各文件的下載及上傳等。此外，處理控制部212和副控制器以分體部件的形式進(jìn)行了圖示，但也可以是一體結(jié)構(gòu)。

在溫度控制器212a上連接有由加熱器及溫度傳感器等構(gòu)成的加熱機(jī)構(gòu)212a。溫度控制器212a構(gòu)成為，通過對(duì)處理爐28的加熱器的溫度進(jìn)行控制來調(diào)節(jié)處理爐28內(nèi)的溫度。此外，溫度控制器212a構(gòu)成為對(duì)晶閘管進(jìn)行控制并且控制向加熱器導(dǎo)線束供給的電力。

在壓力控制器212b上連接有通過壓力傳感器、作為壓力閥的apc閥及真空泵構(gòu)成的氣體排氣機(jī)構(gòu)212b。壓力控制器212b構(gòu)成為，基于由壓力傳感器檢測(cè)到的壓力值來控制apc閥的開度及真空泵的動(dòng)作，以使得處理室29內(nèi)的壓力在所期望的定時(shí)成為所期望的壓力。

氣體流量控制器212c由mfc(massflowcontroller：質(zhì)量流量控制器)構(gòu)成。序列發(fā)生器212d構(gòu)成為，通過使閥212d開閉而控制來自處理氣體供給管和吹掃氣體供給管的氣體的供給和停止。另外，處理控制部212構(gòu)成為，對(duì)mfc212c、序列發(fā)生器212d進(jìn)行控制，以使得向處理室29內(nèi)供給的氣體的流量在所期望的定時(shí)成為所期望的流量。

另外，本實(shí)施方式的操作部201、搬送控制部211、處理控制部212、裝置管理控制器215能夠不依賴專用系統(tǒng)而是使用通常的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。例如，能夠通過從存儲(chǔ)有用于執(zhí)行上述處理的程序的記錄介質(zhì)(usb存儲(chǔ)器等)向通用計(jì)算機(jī)安裝該程序來構(gòu)成執(zhí)行規(guī)定處理的各控制器。

而且，用于供給這些程序的手段是任意的。除了如上述那樣經(jīng)由規(guī)定的記錄介質(zhì)供給以外，還可以例如經(jīng)由通信線路、通信網(wǎng)絡(luò)、通信系統(tǒng)等來供給。在該情況下，例如，也可以在通信網(wǎng)絡(luò)的公告板上公告該程序，將該程序疊加在載波上并經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)來提供。然后，起動(dòng)像這樣提供的程序，并在os的控制下與其他應(yīng)用程序同樣地執(zhí)行，由此能夠執(zhí)行規(guī)定的處理。

(主控制器(操作部)201的結(jié)構(gòu))

接下來，參照?qǐng)D4說明操作部201的結(jié)構(gòu)。

操作部201構(gòu)成為包括：主控控制部220、作為主控存儲(chǔ)部的硬盤222、包括顯示各種信息的顯示部和受理來自操作者的各種指示的操作部的操作顯示部227、與裝置1內(nèi)外進(jìn)行通信的作為主控通信部的發(fā)送接收模塊228。此外，所謂操作者，除了裝置操作員以外，還包括裝置管理者、裝置工程師、保養(yǎng)員、作業(yè)者。主控控制部220構(gòu)成為包括作為處理部的cpu(中央處理裝置)224和作為臨時(shí)存儲(chǔ)部的存儲(chǔ)器(ram、rom等)226、且具有時(shí)鐘功能(未圖示)的計(jì)算機(jī)。

在硬盤222中保存有：定義了襯底的處理?xiàng)l件及處理順序的配方(recipe)等的各配方文件、用于執(zhí)行這些各配方文件的控制程序文件、定義了用于執(zhí)行配方的參數(shù)的參數(shù)文件、以及報(bào)錯(cuò)處理程序文件及報(bào)錯(cuò)處理的參數(shù)文件，除此之外，還保存有包含輸入處理參數(shù)的輸入畫面的各種畫面文件、各種圖標(biāo)文件等(均未圖示)文件。

構(gòu)成為，在作為顯示裝置的操作顯示部227上顯示用于操作裝置1的操作畫面。操作顯示部227的操作畫面是例如使用了液晶的觸摸面板。另外，操作顯示部227也可以是包括含有液晶顯示器等顯示部以及鍵盤及鼠標(biāo)等器件的用戶界面部等的結(jié)構(gòu)。

操作顯示部227構(gòu)成為包括操作部和顯示部。也可以在操作顯示部227的操作畫面上設(shè)置向襯底搬送系統(tǒng)211a和襯底處理系統(tǒng)(加熱機(jī)構(gòu)212a、氣體排氣機(jī)構(gòu)212b以及氣體供給系統(tǒng)212c)輸入動(dòng)作指示的作為輸入部的各操作按鈕。

操作顯示部227受理來自操作畫面的作業(yè)者進(jìn)行的輸入指示，并將輸入的指示數(shù)據(jù)發(fā)送到操作部201。另外，操作顯示部227受理用于使在存儲(chǔ)器226等中展開的配方、或者在主控存儲(chǔ)部222中保存的多個(gè)配方中任意的襯底處理配方(也稱為工藝配方)等文件執(zhí)行的指示，并向主控控制部220發(fā)送。

在主控通信部228上連接有交換式集線器(switchinghub)等，操作部201構(gòu)成為與外部計(jì)算機(jī)和裝置1內(nèi)的其他控制器等進(jìn)行數(shù)據(jù)的發(fā)送接收。另外，操作部201經(jīng)由未圖示的網(wǎng)絡(luò)對(duì)外部的上級(jí)計(jì)算機(jī)、例如主機(jī)計(jì)算機(jī)發(fā)送裝置1的狀態(tài)等裝置數(shù)據(jù)。

(襯底處理方法)

接下來，對(duì)使用本實(shí)施方式的裝置1來實(shí)施的、具有規(guī)定的處理工序的襯底處理方法進(jìn)行說明。在此，對(duì)于規(guī)定的處理工序，列舉實(shí)施半導(dǎo)體器件的制造工序的工序之一的襯底處理工序(在此為成膜工序)的情況為例。

在實(shí)施襯底處理工序時(shí)，例如從操作部201將與待實(shí)施的襯底處理對(duì)應(yīng)的襯底處理配方(工藝配方)下載到處理控制部212內(nèi)的ram等存儲(chǔ)器中。由此，在配方執(zhí)行過程中，操作部201能夠?qū)μ幚砜刂撇?12和搬送控制部211發(fā)出動(dòng)作指示。此外，襯底處理工序至少具有搬入工序、成膜工序、搬出工序和回收工序。另外，移載工序(也可以包含向裝置1投入襯底的襯底投入工序)也可以包含在襯底處理工序中。

(移載工序)

從操作部201對(duì)搬送控制部211發(fā)出襯底移載機(jī)構(gòu)24的驅(qū)動(dòng)指示。然后，按照來自搬送控制部211的指示，襯底移載機(jī)構(gòu)24開始從作為載置臺(tái)的交接臺(tái)21上的晶片盒9向舟皿26移載襯底18的移載處理。該移載處理一直進(jìn)行到預(yù)定的所有襯底18向舟皿26的裝填完成。

(搬入工序)

在襯底18向舟皿26的裝填結(jié)束后，通過按照來自搬送控制部211的指示而動(dòng)作的舟皿升降機(jī)32，使舟皿26在保持著襯底18的狀態(tài)下上升。舟皿26被裝入到形成于處理爐28內(nèi)的處理室29。構(gòu)成為，當(dāng)舟皿26被完全裝滿后，蓋體34就將設(shè)于處理爐28下部的作為爐口邊緣的歧管(manifold)的下端氣密地封堵。

(成膜工序)

以使處理室29的壓力成為規(guī)定的成膜壓力(真空度)的方式，按照來自壓力控制部212b的指示并基于由壓力傳感器測(cè)定的壓力信息對(duì)壓力調(diào)整裝置進(jìn)行反饋控制。另外，以使處理室29的溫度成為規(guī)定的溫度(成膜溫度)的方式，按照來自溫度控制部212a的指示并基于作為溫度檢測(cè)器的溫度傳感器檢測(cè)到的溫度信息來對(duì)向加熱器的通電情況進(jìn)行反饋控制。

接下來，按照來自搬送控制部211的指示使基于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行的舟皿26及襯底18的旋轉(zhuǎn)開始。然后，在維持為規(guī)定的壓力、規(guī)定的溫度的狀態(tài)下，向舟皿26所保持的多張襯底18供給規(guī)定的氣體(處理氣體)而對(duì)襯底18進(jìn)行規(guī)定的處理(例如成膜處理)。

(搬出工序)

當(dāng)對(duì)載置于舟皿26的襯底18進(jìn)行的成膜工序完成后，按照來自搬送控制部211的指示，之后使基于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行的舟皿26及襯底18的旋轉(zhuǎn)停止，通過舟皿升降機(jī)32使蓋體34下降而使歧管的下端開口，并且將保持著處理完畢的襯底18的舟皿26搬出到處理爐28的外部。

(回收工序)

保持著處理完畢的襯底18的舟皿26被從清潔單元35吹出的清潔氣體36極為有效地冷卻。然后，當(dāng)冷卻到例如150℃以下時(shí)，從舟皿26取出處理完畢的襯底18并移載到晶片盒9中，然后，進(jìn)行未處理的新襯底18向舟皿26的移載。

通過執(zhí)行工藝配方，反復(fù)執(zhí)行以上的各工序，由此本實(shí)施方式的裝置1能夠以高生產(chǎn)能力進(jìn)行例如對(duì)襯底18上的膜形成。

(襯底處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu))

圖5是表示在本實(shí)施方式中使用的襯底處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。如圖5所示那樣，在該襯底處理系統(tǒng)中，主(master，主導(dǎo))裝置1(0)和重復(fù)(repeat)裝置1(1)～1(6)通過網(wǎng)絡(luò)連接。在圖5的例子中，重復(fù)裝置1是裝置1(1)～1(6)這6臺(tái)，但不限于6臺(tái)。

所謂主裝置1(0)是具有成為標(biāo)準(zhǔn)的裝置數(shù)據(jù)和文件的襯底處理裝置(裝置)。主裝置1(0)及重復(fù)裝置具有與裝置同樣的硬件結(jié)構(gòu)，并具有裝置管理控制器215。主裝置1(0)是例如進(jìn)行調(diào)整以使裝置數(shù)據(jù)變?yōu)闇?zhǔn)確恰當(dāng)?shù)难b置1的初號(hào)機(jī)。重復(fù)裝置是例如第2臺(tái)以后的裝置1，經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)從主裝置1(0)接收主裝置1(0)所具有的裝置數(shù)據(jù)和文件的副本，并分別存儲(chǔ)到各重復(fù)裝置的存儲(chǔ)部中。

在本實(shí)施方式中，將裝置管理控制器215設(shè)置在裝置1內(nèi)。另外，通過使分別設(shè)置于主裝置1(0)和各裝置1中的裝置管理控制器215彼此經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接，能夠使各裝置1共享主裝置的裝置數(shù)據(jù)和文件。另外，由于各裝置1能夠共享主裝置1(0)的裝置數(shù)據(jù)和文件，因此成為能夠容易地進(jìn)行文件匹配、異常原因解析和裝置狀態(tài)監(jiān)視等的結(jié)構(gòu)。

由此，各裝置1成為能夠監(jiān)視裝置1是否處于可穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的運(yùn)用狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。也就是說，能夠監(jiān)視裝置1能否持續(xù)正常運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)、另外是否正在接近故障狀態(tài)等。

所謂文件匹配是指，裝置1使該裝置1的各種信息與主裝置1(0)的各種信息匹配，具體而言復(fù)制主裝置1(0)的文件、與裝置1(0)的文件進(jìn)行比較、核對(duì)。另外，文件匹配具有在裝置數(shù)據(jù)的復(fù)制中不需要使用usb存儲(chǔ)器、裝置制造商的保養(yǎng)員能夠容易地進(jìn)行作業(yè)這樣的優(yōu)點(diǎn)。

(裝置管理控制器215的功能結(jié)構(gòu))

圖6是說明在本實(shí)施方式中使用的裝置管理控制器的功能結(jié)構(gòu)的圖。對(duì)裝置1的健康狀態(tài)(裝置的綜合運(yùn)用狀態(tài))進(jìn)行檢查的作為健康檢查控制器的裝置管理控制器215構(gòu)成為，導(dǎo)出對(duì)裝置1的各種運(yùn)用狀態(tài)評(píng)價(jià)的信息(例如，成為裝置1的穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的指標(biāo)的信息，其是從表示對(duì)裝置1與主裝置1(0)之間的裝置數(shù)據(jù)的匹配狀態(tài)、裝置1的裝置數(shù)據(jù)的經(jīng)時(shí)變化量、構(gòu)成裝置1的部件的劣化狀態(tài)、裝置1的故障發(fā)生狀況等進(jìn)行監(jiān)視而得到的結(jié)果的數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)以上導(dǎo)出的)。

裝置管理控制器215可以構(gòu)成為，進(jìn)行對(duì)裝置1的綜合運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息的量化，例如在后述裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面(圖8、圖18)等上進(jìn)行顯示從而能夠一目了然地掌握，另外，還可以構(gòu)成為，基于將對(duì)裝置1的綜合運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息量化而得到的數(shù)值來監(jiān)視裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，在無法穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)或者有無法穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的隱患的情況下，發(fā)出警報(bào)(例如，使警報(bào)音鳴響和/或進(jìn)行顯示等)。

另外，裝置管理控制器215構(gòu)成為，能夠通過裝置1的操作顯示部227操作用于導(dǎo)出裝置1的穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)指標(biāo)所需的后述4個(gè)功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)。

如圖6所示，裝置管理控制器215構(gòu)成為，具備從由畫面顯示部215a、畫面顯示控制部215b、數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f構(gòu)成的組中選擇的多個(gè)控制部、在與操作部201之間進(jìn)行該裝置1的裝置數(shù)據(jù)的發(fā)送接收的通信部215g、至少存儲(chǔ)裝置數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部215h。此外，在本實(shí)施方式中，通過各個(gè)控制部執(zhí)行4個(gè)功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)，但也可以構(gòu)成為使一個(gè)控制部含有所有的功能。另外，在本實(shí)施方式中，不限于4個(gè)功能，只要有多個(gè)功能即可。

裝置管理控制器215構(gòu)成為具有從由以下控制部構(gòu)成的組中選擇的多個(gè)控制部，所述以下控制部為：判定從工廠設(shè)備供給的設(shè)備數(shù)據(jù)的妥當(dāng)性的數(shù)據(jù)匹配控制部215c、對(duì)構(gòu)成裝置的結(jié)構(gòu)部件的狀態(tài)的部件數(shù)據(jù)的劣化以及消耗程度進(jìn)行監(jiān)視的部件管理控制部215d、對(duì)從構(gòu)成裝置的結(jié)構(gòu)部件的動(dòng)作狀態(tài)得到的裝置數(shù)據(jù)的健全性進(jìn)行監(jiān)視的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、以及對(duì)裝置的故障信息的產(chǎn)生狀況進(jìn)行監(jiān)視的數(shù)據(jù)解析控制部215f。

另外，裝置管理控制器215構(gòu)成為，基于從由部件管理控制部215d所獲取的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e所獲取的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、和數(shù)據(jù)匹配控制部215c所判定的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)構(gòu)成的組中選擇的多個(gè)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，來導(dǎo)出對(duì)裝置的運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息。此外，代替存儲(chǔ)部215h，也可以構(gòu)成為使用主控存儲(chǔ)部222和臨時(shí)存儲(chǔ)部226。

另外，如上述那樣，在監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)中含有：表示對(duì)預(yù)先指定的裝置數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)于該裝置數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較的結(jié)果的數(shù)據(jù)即裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)；表示對(duì)裝置所具有的設(shè)備數(shù)據(jù)與成為該設(shè)備數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行核對(duì)的結(jié)果的數(shù)據(jù)即用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)；表示對(duì)裝置數(shù)據(jù)中的示出結(jié)構(gòu)部件的狀態(tài)的部件數(shù)據(jù)與示出保養(yǎng)時(shí)期的閾值數(shù)據(jù)進(jìn)行比較的結(jié)果的數(shù)據(jù)即保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)；以及表示某規(guī)定期間內(nèi)的故障信息數(shù)據(jù)的發(fā)生頻率的故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)。另外，有時(shí)這些監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)也簡(jiǎn)單地總稱為監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)。

裝置管理控制器215構(gòu)成為，在裝置1啟動(dòng)時(shí)等處理開始前執(zhí)行數(shù)據(jù)匹配程序而實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)匹配控制部215c，在裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，執(zhí)行部件管理程序而實(shí)現(xiàn)部件管理控制部215d、并執(zhí)行裝置狀態(tài)監(jiān)視程序而實(shí)現(xiàn)裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e。另外，裝置管理控制器215構(gòu)成為，在裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中和停止中，執(zhí)行報(bào)警監(jiān)視程序和數(shù)據(jù)解析程序而實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)解析控制部(報(bào)警監(jiān)視控制部)215f、并通過執(zhí)行畫面顯示程序而實(shí)現(xiàn)畫面顯示控制部215b。

裝置管理控制器215作為硬件結(jié)構(gòu)而具有與操作部201同樣的結(jié)構(gòu)。裝置管理控制器215也可以具有收集裝置數(shù)據(jù)并蓄積到存儲(chǔ)部215h中的作為數(shù)據(jù)庫的功能，能夠?qū)π罘e的裝置數(shù)據(jù)施以加工而使其圖表化，并顯示到畫面顯示部215a或操作顯示部227上。

此外，在本實(shí)施方式中，與具有襯底處理功能和上級(jí)報(bào)告功能的操作部201另行地設(shè)置裝置管理控制器215，但不限于這樣的方式。例如，當(dāng)然也可以是，操作部201監(jiān)視包含與部件的壽命有關(guān)的部件數(shù)據(jù)、與裝置狀態(tài)的監(jiān)視有關(guān)的裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)、與報(bào)警監(jiān)視有關(guān)的報(bào)警發(fā)生信息數(shù)據(jù)等故障信息數(shù)據(jù)在內(nèi)的裝置數(shù)據(jù)，并且操作部201具有裝置間的數(shù)據(jù)匹配功能。而且，在本實(shí)施方式中，還可以構(gòu)成為，裝置管理控制器215所具有的四個(gè)功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)組入到操作部201、搬送控制部211、處理控制部212中的任一個(gè)的控制器中。

(畫面顯示部215a)

畫面顯示部215a構(gòu)成為，在后述的裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面(圖8、圖18)等上顯示各種數(shù)據(jù)的后述的結(jié)果數(shù)據(jù)。但是，在作為顯示裝置而使用外置的終端或操作顯示部227的情況下，也可以省略畫面顯示部215a。此外，還可以構(gòu)成為，代替畫面顯示部215a而使用操作顯示部227，或者也可以用為了參照畫面而連接的終端等來代替。

(畫面顯示控制部215b)

畫面顯示控制部215b通過執(zhí)行畫面顯示程序而控制成：將裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面等的各種數(shù)據(jù)加工成畫面顯示用的數(shù)據(jù)而生成畫面顯示數(shù)據(jù)并更新，且顯示到操作顯示部227上。

(畫面顯示控制功能)

接下來，使用圖7說明本實(shí)施方式中的畫面顯示控制功能、也就是通過裝置管理控制器215的畫面顯示控制部215b執(zhí)行的畫面顯示程序的處理流程。在本實(shí)施方式中，說明對(duì)后述的裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面(圖8、圖18)進(jìn)行顯示的功能。

如圖7所示那樣，在該畫面顯示程序中，按照匯總畫面顯示工序(圖7的步驟s11)、監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)、數(shù)據(jù)判定工序(s13)、判定結(jié)果顯示工序(s14)的順序執(zhí)行。此外，在本實(shí)施方式中不限于按照上述工序的順序，例如也可以在數(shù)據(jù)判定工序(s13)之后接著進(jìn)行匯總畫面顯示工序(s11)。

首先，執(zhí)行匯總畫面顯示工序(s11)。由此，如圖8及圖18所示那樣的預(yù)先選擇的各畫面被顯示在操作畫面上。

接下來，在監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中，畫面顯示控制部215b從存儲(chǔ)部215h獲取圖6所示的4個(gè)控制部(數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f)輸出的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)中的、為了作為匯總畫面顯示到本實(shí)施方式中的操作顯示部227上所使用的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)。

接下來，執(zhí)行數(shù)據(jù)判定工序(s13)，進(jìn)行在s12中獲取的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的判定和給分。在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，判定由數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f各自輸出的結(jié)果數(shù)據(jù)是正常還是異常、以及異常到何種程度。

被判定為異常的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的給分針對(duì)由數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f分別輸出的每個(gè)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，使用通過預(yù)先決定的規(guī)則所分配的分?jǐn)?shù)而計(jì)算出。

另外，分?jǐn)?shù)分配在各控制部中賦予加權(quán)，在裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e中被判定為異常的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的分配分?jǐn)?shù)比在部件管理控制部215d中被判定為異常的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的分配分?jǐn)?shù)高。

接下來，在判定結(jié)果顯示工序(s14)中，畫面顯示控制部215b根據(jù)數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結(jié)果和給分結(jié)果分別更新并顯示在s11中顯示的裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面。

(數(shù)據(jù)匹配控制部215c)

數(shù)據(jù)匹配控制部215c在裝置1的安裝(setup)時(shí)(例如，第一次啟動(dòng)時(shí))，對(duì)裝置1所具有的與顧客用力(顧客必需能力)有關(guān)的設(shè)備數(shù)據(jù)、和在顧客用力范圍確認(rèn)用的初始值表中示出的作為基準(zhǔn)值(幅度)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行核對(duì)。數(shù)據(jù)匹配控制部215c將裝置1所具有的與用力有關(guān)的項(xiàng)目的實(shí)測(cè)值與基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，根據(jù)相對(duì)于該基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的偏離情況來判定是異常還是正常。該功能在裝置1的設(shè)置時(shí)嵌入到裝置管理控制器215中，并監(jiān)視設(shè)備數(shù)據(jù)。也可以是，在裝置1的設(shè)置時(shí)將主裝置1(0)的當(dāng)前的實(shí)測(cè)值作為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)與裝置1所具有的設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行核對(duì)。

數(shù)據(jù)匹配控制部215c確認(rèn)與用力有關(guān)的設(shè)備數(shù)據(jù)是否進(jìn)入到初始值表所示的基準(zhǔn)值的范圍內(nèi)或者進(jìn)入到主裝置的當(dāng)前值的±3％以內(nèi)，并作為用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)而存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。具體而言，將被診斷為偏離了基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的設(shè)備數(shù)據(jù)和偏離了基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的設(shè)備數(shù)據(jù)的數(shù)量作為用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)而存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。此時(shí)，數(shù)據(jù)匹配控制部215c構(gòu)成為能夠彼此區(qū)分(即，分別能夠識(shí)別)地存儲(chǔ)偏離了基準(zhǔn)值的情況下的數(shù)據(jù)和偏離了主裝置的當(dāng)前值的情況下的數(shù)據(jù)。

另外，數(shù)據(jù)匹配控制部215c在裝置1的處理開始前，將設(shè)備數(shù)據(jù)與基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，由此數(shù)據(jù)匹配控制部215c能夠防止在設(shè)備數(shù)據(jù)異常的狀態(tài)下直接執(zhí)行工藝配方。

此外，也可以構(gòu)成為，在裝置1的處理開始前進(jìn)行的設(shè)備數(shù)據(jù)的監(jiān)視不僅由數(shù)據(jù)匹配控制部215c執(zhí)行，而且還由數(shù)據(jù)匹配控制部215c以外的控制部、例如裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e執(zhí)行。

而且，數(shù)據(jù)匹配控制部215c構(gòu)成為，通過執(zhí)行數(shù)據(jù)匹配程序，而執(zhí)行文件匹配功能，該文件匹配功能為實(shí)施從操作部201接收到的該裝置1的文件與主裝置1(0)的文件之間的復(fù)制和/或比較的功能。該文件匹配功能的詳細(xì)內(nèi)容將在后敘述。

(部件管理控制部215d)

部件管理控制部215d通過執(zhí)行部件管理程序而執(zhí)行保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視功能，基于從操作部201接收到的該裝置1的部件數(shù)據(jù)(例如，部件的使用次數(shù)和使用時(shí)間)而更新存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部215h中的部件數(shù)據(jù)。另外，構(gòu)成為，對(duì)部件管理控制部215d構(gòu)建了如下結(jié)構(gòu)：基于部件的過去的使用次數(shù)和使用時(shí)間的變化來預(yù)測(cè)使用次數(shù)和使用時(shí)間達(dá)到制造商更換推薦值的時(shí)期。

使用圖13對(duì)本實(shí)施方式中的部件管理控制部215d進(jìn)行的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視的處理流程進(jìn)行說明。

如圖13所示，通過處理控制部212以一定周期向操作部201報(bào)告裝置數(shù)據(jù)(圖13的步驟s51)。操作部201從收集到的裝置數(shù)據(jù)提取出作為監(jiān)視對(duì)象的部件數(shù)據(jù)，并將該部件數(shù)據(jù)以一定周期向裝置管理控制器215(部件管理控制部215d)報(bào)告(s52)。此外，也可以是，部件管理控制部215d從裝置數(shù)據(jù)提取出部件數(shù)據(jù)。

部件管理控制部215d針對(duì)收集到的部件數(shù)據(jù)(裝置數(shù)據(jù))，與對(duì)各個(gè)部件數(shù)據(jù)的每一個(gè)設(shè)定的閾值進(jìn)行比較(s53)。該閾值可以是部件生產(chǎn)商的推薦值，也可以是根據(jù)使用的實(shí)際情況而對(duì)推薦值實(shí)施加減而得到的值。在部件數(shù)據(jù)沒有超過該閾值的情況下(s54中為“否”)，返回到s53，并且將對(duì)部件數(shù)據(jù)和與該部件數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的閾值進(jìn)行比較的結(jié)果(正常)作為保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)而存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。

另一方面，在部件數(shù)據(jù)超過了該閾值的情況下(s54中為“是”)，將超過了該閾值這一信息向操作部201通知，并且將對(duì)部件數(shù)據(jù)和與該部件數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的閾值進(jìn)行比較的結(jié)果(異常)作為保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)而存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中(s55)。然后，操作部201將表示保養(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)超過了閾值的警告顯示到操作顯示部227上(s56)。

操作部201參照預(yù)先保存在主控存儲(chǔ)部222中的裝置管理數(shù)據(jù)，來判斷由部件數(shù)據(jù)超過了閾值的保養(yǎng)部件構(gòu)成的模塊的狀態(tài)是否為下一個(gè)動(dòng)作執(zhí)行等待狀態(tài)等能夠指定維護(hù)的狀態(tài)(s57)。若為可轉(zhuǎn)至維護(hù)的狀態(tài)(s57中為“是”)，則發(fā)出指示以指定維護(hù)(s58)。若不為可轉(zhuǎn)至維護(hù)的狀態(tài)(s57中為“否”)，則一直等待直到成為可轉(zhuǎn)至維護(hù)的狀態(tài)。

處理控制部212在從操作部201接收到維護(hù)指定時(shí)，將相應(yīng)的模塊的狀態(tài)轉(zhuǎn)移至維護(hù)等待狀態(tài)(s59)，將已轉(zhuǎn)移到維護(hù)等待狀態(tài)的情況通知給操作部201(s60)，并使得不能執(zhí)行該模塊的下一個(gè)動(dòng)作。此外，所謂模塊是裝置1的結(jié)構(gòu)部位，不必與圖8的“模塊(module)”一致。

操作部201在s58中發(fā)出了維護(hù)指示之后從處理控制部212接收到向維護(hù)等待狀態(tài)的轉(zhuǎn)移時(shí)，對(duì)維護(hù)對(duì)象模塊進(jìn)行維護(hù)指定(s61)。

在維護(hù)指定后，針對(duì)被指定了維護(hù)的處理模塊(processmodule)，執(zhí)行維護(hù)(s62)。例如，處理模塊的累積膜厚異常的情況下，實(shí)施執(zhí)行清洗配方、或者進(jìn)行舟皿26更換等的恢復(fù)處理。在恢復(fù)處理后，進(jìn)行規(guī)定的安裝(setup)作業(yè)，維護(hù)結(jié)束(s63)。

操作者在對(duì)象模塊被維護(hù)之后，通過操作顯示部227的操作畫面進(jìn)行維護(hù)解除指定。于是，操作部201向處理控制部212發(fā)出維護(hù)解除的指令(s64)。處理控制部212將對(duì)象模塊的狀態(tài)變更為下一動(dòng)作執(zhí)行等待狀態(tài)，并將其設(shè)為處理控制部212可使用的模塊(s65)。

操作部201顯示用于催促保養(yǎng)對(duì)象的部件數(shù)據(jù)的初始化的畫面(s66)，并且判定保養(yǎng)對(duì)象的部件數(shù)據(jù)有無初始化(s67)。在沒有初始化必要的情況下(s67中為“否”)，使該流程圖的處理結(jié)束，在存在有初始化必要的部件數(shù)據(jù)的情況下(s67中為“是”)，選擇哪個(gè)部件是初始化對(duì)象部件。

若選擇了初始化對(duì)象部件，則操作部201向部件管理控制部215d指示進(jìn)行與維護(hù)實(shí)施完畢模塊相關(guān)聯(lián)的保養(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)的初始化(s68)。部件管理控制部215d基于來自操作部201的指示進(jìn)行初始化對(duì)象的部件數(shù)據(jù)的初始化(s69)。

例如，使初始化對(duì)象的部件數(shù)據(jù)的監(jiān)視值(例如使用次數(shù))清零(存在也稱為重置的情況)。此外，也可以構(gòu)成為，操作部201能夠從操作顯示部227受理操作員的輸入，來使部件數(shù)據(jù)的監(jiān)視值清零，如此，從監(jiān)視部件壽命這一觀點(diǎn)出發(fā)，能夠更高效地掌握部件的動(dòng)作狀況。

另外，構(gòu)成為，通過該初始化，部件管理控制部215d實(shí)施使s53的閾值比較的結(jié)果是被判定為異常的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)恢復(fù)為正常的處理。

根據(jù)本實(shí)施方式中的部件管理控制部215d的部件管理處理，部件管理控制部215d能夠在保養(yǎng)部件的故障前掌握推薦的保養(yǎng)定時(shí)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)裝置1的更為穩(wěn)定的運(yùn)轉(zhuǎn)及制品襯底的批次作廢比例的降低。

根據(jù)本實(shí)施方式的部件管理控制部215d的部件管理處理，部件管理控制部215d將操作顯示部227切換為對(duì)象模塊的部件保養(yǎng)畫面，并且使與對(duì)象模塊相關(guān)聯(lián)的保養(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)初始化，因此在維護(hù)后使裝置1恢復(fù)為能夠生產(chǎn)的模塊的情況下，能夠可靠地進(jìn)行維護(hù)指定的解除。

根據(jù)本實(shí)施方式中的部件管理控制部215d的部件管理處理，由于部件管理控制部215d能夠?qū)⒈ｐB(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)(例如使用次數(shù))按時(shí)間軸以圖表顯示在操作顯示部227上，因此能夠通過操作顯示部227畫面來預(yù)測(cè)監(jiān)視對(duì)象部件的監(jiān)視值的維護(hù)時(shí)期，從而能夠事先準(zhǔn)備保養(yǎng)部件。

(裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e)

裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e通過執(zhí)行裝置狀態(tài)監(jiān)視程序來執(zhí)行裝置狀態(tài)監(jiān)視功能。裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e時(shí)時(shí)刻刻從操作部201接收到該裝置1的裝置數(shù)據(jù)，并更新在存儲(chǔ)部215h中存儲(chǔ)的裝置數(shù)據(jù)，并且基于從例如主裝置1(0)得到的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)、即裝置1應(yīng)作為目標(biāo)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)(例如，反應(yīng)室溫度的經(jīng)時(shí)波形、上限值、下限值等)來時(shí)時(shí)刻刻進(jìn)行裝置1的裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。也就是說，能夠時(shí)時(shí)刻刻將裝置1的裝置數(shù)據(jù)與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較來監(jiān)視裝置1的裝置數(shù)據(jù)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)誤報(bào)少的裝置狀態(tài)的監(jiān)視。

接下來，使用圖14和圖15對(duì)在裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e中執(zhí)行的裝置狀態(tài)監(jiān)視程序進(jìn)行說明。裝置狀態(tài)監(jiān)視程序保存在裝置管理控制器215的存儲(chǔ)器內(nèi)(例如存儲(chǔ)部215h中)，實(shí)現(xiàn)裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e。

如圖14所示，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e具備：設(shè)定部311、波段生成部312、fdc(faultdetection&classification：故障檢測(cè)和分類)監(jiān)視部313、計(jì)數(shù)顯示部314、以及診斷部315。另外，fdc監(jiān)視部313具備比較部313a、計(jì)數(shù)部313b以及判定部313c。

設(shè)定部311對(duì)波段生成部312、fdc監(jiān)視部313及診斷部315指示進(jìn)行通過來自操作顯示部227的輸入(操作指令的輸入等)等而指定的波段管理的設(shè)定。

波段生成部312基于通過設(shè)定部311設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)、上限的指定值以及下限的指定值而生成波段。在此，所謂波段是指通過使相對(duì)于基于標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)(成為標(biāo)準(zhǔn)的裝置所具有的數(shù)據(jù)，例如，主裝置1(0)的主數(shù)據(jù)(masterdata))的波形具有幅度而規(guī)定的范圍。具體而言，是指通過在構(gòu)成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的各數(shù)據(jù)點(diǎn)的值的基礎(chǔ)上指定上限值、或下限值、或者上限值及下限值而規(guī)定的范圍。

另外，被指定為裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e的監(jiān)視對(duì)象的裝置數(shù)據(jù)為裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)，表示該裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)被裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e監(jiān)視的結(jié)果的數(shù)據(jù)是裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)。以后，將標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)作為主數(shù)據(jù)來進(jìn)行說明。

fdc監(jiān)視部313將波段生成部312所生成的波段和從裝置1時(shí)時(shí)刻刻產(chǎn)生的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))進(jìn)行比較，若裝置數(shù)據(jù)偏離波段預(yù)先規(guī)定的次數(shù)以上，則判斷為裝置數(shù)據(jù)異常。另外，構(gòu)成為，在檢測(cè)到異常的情況下，例如在操作顯示部227上顯示檢測(cè)到異常的主旨。在此，將對(duì)波段和裝置數(shù)據(jù)進(jìn)行比較而偏離波段的數(shù)據(jù)點(diǎn)稱為偏離點(diǎn)。

計(jì)數(shù)顯示部314構(gòu)成為，針對(duì)通過fdc監(jiān)視部313計(jì)數(shù)的偏離點(diǎn)，將每次批處理的偏離點(diǎn)的數(shù)量顯示在操作顯示部227上。診斷部315使用異常診斷規(guī)則來進(jìn)行由偏離點(diǎn)的數(shù)量構(gòu)成的統(tǒng)計(jì)量的診斷。另外，構(gòu)成為，在診斷為異常的情況下，例如在操作顯示部227上顯示檢測(cè)到異常的主旨。

(fdc監(jiān)視部)

fdc監(jiān)視部313將從操作部201接收到的裝置數(shù)據(jù)與基于成為該裝置數(shù)據(jù)的判定基準(zhǔn)的主數(shù)據(jù)而生成的波段進(jìn)行比較，由此進(jìn)行裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。

比較部313a按構(gòu)成主數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)點(diǎn)的間隔(例如，1秒)來比較裝置數(shù)據(jù)是否沒有偏離波段，并將比較結(jié)果保存到存儲(chǔ)部215h中。比較部313a與偏離波段的數(shù)據(jù)點(diǎn)的數(shù)量無關(guān)地，反復(fù)進(jìn)行裝置數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)點(diǎn)與波段的比較直到不再獲取到所指定的裝置數(shù)據(jù)為止。

計(jì)數(shù)部313b在由比較部313a針對(duì)所設(shè)定的裝置數(shù)據(jù)結(jié)束了所有數(shù)據(jù)點(diǎn)的比較后，基于保存在存儲(chǔ)部215h中的比較結(jié)果來對(duì)偏離了波段的點(diǎn)的總數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。另外，計(jì)數(shù)部313b將裝置數(shù)據(jù)的值、主數(shù)據(jù)的值、與該主數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的波段(針對(duì)主數(shù)據(jù)的上限值及下限值)、以及所計(jì)數(shù)得到的計(jì)數(shù)值建立關(guān)聯(lián)，并作為關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)而保存到存儲(chǔ)部215h中。

判定部313c在由計(jì)數(shù)部313b計(jì)數(shù)得到的計(jì)數(shù)值超過預(yù)先設(shè)定的值的情況下，判定為裝置數(shù)據(jù)異常，在為預(yù)先設(shè)定的值以下的情況下，判定為裝置數(shù)據(jù)正常。將該判定的結(jié)果作為裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)而保存到存儲(chǔ)部215h中。

圖15是fdc監(jiān)視部313所進(jìn)行的監(jiān)視的流程圖。以下，利用圖15說明fdc監(jiān)視部313進(jìn)行的監(jiān)視的流程。

在步驟101(s101)中，比較部313a針對(duì)被設(shè)定為監(jiān)視對(duì)象的項(xiàng)目(診斷對(duì)象項(xiàng)目)的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))，從存儲(chǔ)部215h讀出裝置數(shù)據(jù)的值。

在步驟102(s102)中，比較部313a使用基于成為判定監(jiān)視對(duì)象的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))的基準(zhǔn)的主數(shù)據(jù)而生成的波段，對(duì)步驟s101中獲取的裝置數(shù)據(jù)的值與波段進(jìn)行比較。具體而言，比較裝置數(shù)據(jù)的值是否沒有超過被設(shè)定為波段的上限值或下限值。

在比較的結(jié)果為裝置數(shù)據(jù)的值落入波段范圍內(nèi)的情況下，即在裝置數(shù)據(jù)的值為上限值以下且下限值以上的情況下，轉(zhuǎn)移至步驟103。另一方面，在比較的結(jié)果為裝置數(shù)據(jù)的值沒有落入波段范圍內(nèi)的情況下，即在裝置數(shù)據(jù)的值超過了上限值或者低于下限值的情況下，轉(zhuǎn)移至步驟104。

在步驟103(s103)中，比較部313a判定在步驟200中獲取的裝置數(shù)據(jù)的值為正常的正常點(diǎn)，并在存儲(chǔ)部215h中保存比較結(jié)果(ok)。

另一方面，在步驟104(s104)中，比較部313a判定在步驟101中獲取的裝置數(shù)據(jù)的值為異常的偏離點(diǎn)，并在存儲(chǔ)部215h中保存比較結(jié)果(ng)。

在步驟105(s105)中，比較部313a確認(rèn)在存儲(chǔ)部215h中是否保存有作為裝置數(shù)據(jù)的下一個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，在有保存的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟101，在沒有作為裝置數(shù)據(jù)保存的下一個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟106。

在步驟106(s106)中，計(jì)數(shù)部313b基于保存在存儲(chǔ)部215h中的比較結(jié)果對(duì)在步驟104中判定為偏離點(diǎn)的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)。

在步驟107(s107)中，判定部313c對(duì)在步驟106中所計(jì)數(shù)得到的計(jì)數(shù)值和作為預(yù)先設(shè)定的次數(shù)的閾值進(jìn)行比較。在計(jì)數(shù)值為閾值以下的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟108，在計(jì)數(shù)值超過了閾值的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟109。

在步驟108(s108)中，判定部313c判定為裝置數(shù)據(jù)正常，并結(jié)束該裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。

在步驟109(s109)中，判定部313c判定為裝置數(shù)據(jù)異常，并在操作顯示部227上顯示檢測(cè)到異常的主旨，結(jié)束該裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。

此外，在該處理流程中，也可以構(gòu)成為，將裝置數(shù)據(jù)和比較結(jié)果保存到主控存儲(chǔ)部222而非存儲(chǔ)部215h中。

以上，對(duì)由裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e執(zhí)行的fdc之一的波段管理進(jìn)行了說明，但以往的fdc為u.fdc(userfdc：用戶故障檢測(cè)與分類)，著眼于用戶側(cè)(器件制造商側(cè))的數(shù)據(jù)為監(jiān)視對(duì)象，不適于與襯底處理裝置1的結(jié)構(gòu)部件、例如部件的消耗度有關(guān)的監(jiān)視。也就是說，在利用了spc(statisticalprocesscontrol：統(tǒng)計(jì)過程控制)的u.fdc中，作為監(jiān)視裝置狀態(tài)的功能而不充分。于是，在本發(fā)明中，開發(fā)了通過獨(dú)有的fdc(s.fdc(specialfdc：特殊故障檢測(cè)與分類))來監(jiān)視裝置狀態(tài)的技術(shù)，因此在以下進(jìn)行說明。

(mfc(massflowcontroller：質(zhì)量流量控制器)的零點(diǎn)修正)

作為s.fdc，使用圖16說明對(duì)mfc的零點(diǎn)修正的狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)視的實(shí)施例。該監(jiān)視由裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e執(zhí)行。通過該監(jiān)視，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e求出mfc流量電壓相對(duì)于批處理數(shù)的斜度，由此預(yù)測(cè)應(yīng)進(jìn)行零點(diǎn)修正的批次。所謂批次，是指從晶片18被裝填到舟皿26中起，到晶片18在處理室29中被處理后從舟皿26中取出為止。

圖16的縱軸是在mfc中流動(dòng)的氣體的流量為零時(shí)從mfc輸出的流量電壓。該流量電壓表示在mfc中流動(dòng)的氣體的流量的大小，因此原本必須為零。圖16的橫軸表示裝置1的襯底處理批次數(shù)。裝置1的批處理按照批次no999、998、···3、2、1的順序進(jìn)行。

如圖16所示，可知mfc流量電壓隨著批處理的反復(fù)進(jìn)行而增大，也就是說可知mfc的零點(diǎn)發(fā)生了偏離。零點(diǎn)修正用于修正該偏離。成為裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e的監(jiān)視對(duì)象的mfc流量電壓也包含在裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)中。因此，同樣地，表示對(duì)該mfc流量電壓與閾值(上限值)進(jìn)行比較的結(jié)果的數(shù)據(jù)包含在裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)中。

在該實(shí)施例中，將進(jìn)行零點(diǎn)修正的mfc流量電壓的閾值(上限值)設(shè)為0.05v。另外，成為mfc流量電壓的監(jiān)視對(duì)象的僅是裝置1內(nèi)大量存在的mfc中與襯底的品質(zhì)有關(guān)的mfc。此外，雖然在此沒有記載，但也能夠適用于壓力傳感器的零點(diǎn)修正。

裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e在配方開始前的定時(shí)和配方執(zhí)行過程中流動(dòng)于mfc的氣體流量為零的定時(shí)，獲取mfc流量電壓并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中，并且將所獲取的流量電壓與閾值進(jìn)行比較。然后，在所獲取的流量電壓超過了閾值的情況下，作為裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)而將表示監(jiān)視對(duì)象的mfc的流量電壓為異常的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中，并且在配方結(jié)束后進(jìn)行零點(diǎn)修正。此外，也可以構(gòu)成為，不將mfc流量電壓存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中，而是將其存儲(chǔ)到主控存儲(chǔ)部222中。

流動(dòng)于mfc的氣體流量為零的定時(shí)是該mfc的一次側(cè)(氣體流動(dòng)的上游側(cè))開閉閥和二次側(cè)(氣體流動(dòng)的下游側(cè))開閉閥雙方均關(guān)閉時(shí)。裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e預(yù)先計(jì)算出在配方執(zhí)行過程中成為mfc流量零的定時(shí)、也就是一次側(cè)閥和二次側(cè)閥均成為關(guān)閉的時(shí)刻，當(dāng)來到該時(shí)刻時(shí)，從mfc獲取mfc流量電壓，并與閾值進(jìn)行比較。

另外，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e構(gòu)成為，針對(duì)一個(gè)mfc將一次批處理中獲取的多個(gè)mfc流量電壓中最大的流量電壓與閾值進(jìn)行比較。因此，即使一次超過了閾值的情況下，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e也判定為mfc流量電壓異常，并將表示mfc的流量電壓為異常的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。此外，在所獲取的流量電壓沒有達(dá)到閾值的情況下，作為裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)將表示監(jiān)視對(duì)象的mfc的流量電壓為正常的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。

而且，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e針對(duì)一個(gè)mfc將在一個(gè)批處理中獲取的多個(gè)mfc流量電壓中最大的流量電壓存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。然后，針對(duì)每一批次、或者每多個(gè)批次求出mfc流量電壓相對(duì)于批次數(shù)(圖16的橫軸)的斜度，并根據(jù)該斜度預(yù)測(cè)mfc流量電壓達(dá)到閾值的批次、也就是應(yīng)進(jìn)行零點(diǎn)修正的批次，并將預(yù)測(cè)結(jié)果顯示到操作顯示部227上。例如，如圖16所示的虛線圓圈a那樣顯示。圓圈a表示mfc流量電壓達(dá)到閾值的批次。

此外，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e也可以不預(yù)測(cè)mfc流量電壓達(dá)到閾值的批次，而僅將圖16所示的圖表的數(shù)據(jù)發(fā)送到畫面顯示控制部215b。在該情況下，基于從裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e接收到的圖表數(shù)據(jù)，畫面顯示控制部215b使圖16所示的圖表顯示到操作顯示部227上。進(jìn)而，保養(yǎng)員等操作者看到圖表就可判斷應(yīng)進(jìn)行零點(diǎn)修正的批次。

裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e對(duì)與襯底的品質(zhì)有關(guān)的全部mfc進(jìn)行這樣的mfc流量電壓監(jiān)視。另外，上述的mfc流量電壓監(jiān)視也可以組入到配方中。

根據(jù)本實(shí)施方式中的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e的裝置狀態(tài)監(jiān)視處理，由于構(gòu)成為，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e分別使用fdc對(duì)多個(gè)裝置數(shù)據(jù)(反應(yīng)室溫度和壓力等)進(jìn)行基于監(jiān)視對(duì)象的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))的異常診斷，因此能夠?qū)崿F(xiàn)更為準(zhǔn)確的裝置狀態(tài)的監(jiān)視，另外，容易在異常顯現(xiàn)化前的階段掌握異常原因。

另外，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e構(gòu)成為不僅能夠利用裝置1的用戶所使用的數(shù)據(jù)異常診斷方法即公知的u.fdc，而且還能夠利用裝置1的制造商獨(dú)自創(chuàng)建的數(shù)據(jù)異常診斷方法即s.fdc，因此能夠容易地以更大范圍精密地掌握異常原因。

(數(shù)據(jù)解析控制部215f、報(bào)警監(jiān)視控制部)

數(shù)據(jù)解析控制部215f構(gòu)成為，通過執(zhí)行數(shù)據(jù)解析程序，在發(fā)生了異常(例如，作為制造物的襯底的膜厚異常)時(shí)，將用于供保養(yǎng)員解析異常原因的解析數(shù)據(jù)顯示到操作顯示部227上。另外，數(shù)據(jù)解析控制部215f如后述那樣作為報(bào)警監(jiān)視控制部而發(fā)揮功能。

(解析支援功能)

在此，使用圖17說明數(shù)據(jù)解析控制部215f所執(zhí)行的解析支援功能的處理流程。

(數(shù)據(jù)接收工序(s121))

首先，數(shù)據(jù)解析控制部215f經(jīng)由通信部215g從操作部201、處理控制部211、搬送控制部212接收表示工藝配方的推進(jìn)狀況或裝置1的異常狀態(tài)的裝置數(shù)據(jù)(故障信息數(shù)據(jù))，并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。在所接收的故障信息數(shù)據(jù)中附加有用于對(duì)作為數(shù)據(jù)產(chǎn)生源的裝置1的結(jié)構(gòu)部位進(jìn)行特定的構(gòu)成特定信息、對(duì)在數(shù)據(jù)產(chǎn)生時(shí)裝置1所執(zhí)行的配方進(jìn)行特定的配方特定信息、對(duì)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生時(shí)刻進(jìn)行特定的數(shù)據(jù)時(shí)刻信息、和對(duì)異常進(jìn)行特定的異常特定信息。此外，也可以構(gòu)成為，代替存儲(chǔ)部215h而使用主控存儲(chǔ)部222。

(驗(yàn)證項(xiàng)目表的創(chuàng)建工序(s122))

數(shù)據(jù)解析控制部215f在受理包含上述異常特定信息、構(gòu)成特定信息以及配方特定信息在內(nèi)的基本信息的輸入后，參照保存在存儲(chǔ)部215h中的結(jié)構(gòu)部位獲取表來獲取與構(gòu)成特定信息建立了關(guān)聯(lián)的結(jié)構(gòu)部位特定信息。接下來，數(shù)據(jù)解析控制部215f參照保存在存儲(chǔ)部215h中的異常解析信息表來提取出與異常特定信息、結(jié)構(gòu)部位特定信息均建立了關(guān)聯(lián)的驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息。然后，創(chuàng)建驗(yàn)證項(xiàng)目表。

(驗(yàn)證項(xiàng)目表的顯示工序(s123))

然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f使創(chuàng)建的驗(yàn)證項(xiàng)目表顯示到操作顯示部227上。

(配方特定信息的獲取工序(s124))

接下來，數(shù)據(jù)解析控制部215f受理由保養(yǎng)員通過操作顯示部227對(duì)顯示在驗(yàn)證項(xiàng)目表中的驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息的選擇操作。然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f從基本信息獲取配方特定信息。

(從生產(chǎn)歷史信息進(jìn)行的配方檢索工序(s125))

數(shù)據(jù)解析控制部215f參照生產(chǎn)歷史信息并檢索有無保存在基本信息中的配方特定信息。檢索例如如下進(jìn)行：從記錄在生產(chǎn)歷史信息中的多個(gè)配方中最新的配方朝向過去的配方追溯。然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f若從生產(chǎn)歷史信息內(nèi)檢測(cè)到保存在基本信息中的配方特定信息，則分別獲取通過該配方特定信息特定出的配方的開始時(shí)刻及結(jié)束時(shí)刻。

(數(shù)據(jù)讀出工序(s126))

數(shù)據(jù)解析控制部215f將在從獲取的開始時(shí)刻到結(jié)束時(shí)刻的期間產(chǎn)生并與配方特定信息及驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息均建立了關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)作為故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)而從存儲(chǔ)部215h中讀出。

此外，在參照生產(chǎn)歷史信息時(shí)，在通過配方特定信息特定出的配方被實(shí)施了多次的情況下，數(shù)據(jù)解析控制部215f讀出規(guī)定次數(shù)量(例如從最新的配方起追溯的10次量)的故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)。即，數(shù)據(jù)解析控制部215f將工序s126反復(fù)執(zhí)行規(guī)定次數(shù)量。

(圖表創(chuàng)建、顯示工序(s127))

然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f基于與所讀出的故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)建立了關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)時(shí)刻信息，以使配方的開始時(shí)刻一致且在時(shí)序上重合的方式對(duì)該數(shù)據(jù)進(jìn)行圖表化。然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f使創(chuàng)建的時(shí)序圖表顯示在操作顯示部227上。

本實(shí)施方式的數(shù)據(jù)解析控制部215f構(gòu)成為，參照異常解析信息表，提取出與異常特定信息及結(jié)構(gòu)部位特定信息均建立了關(guān)聯(lián)的驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息，并使提取出的驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息顯示，由此創(chuàng)建并顯示驗(yàn)證項(xiàng)目表。由此，保養(yǎng)員能夠毫無遺漏地知曉進(jìn)行異常解析所需的驗(yàn)證項(xiàng)目，能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行異常解析。

另外，在驗(yàn)證項(xiàng)目表中僅記載了與異常特定信息及結(jié)構(gòu)部位特定信息均建立了關(guān)聯(lián)的驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息，因此能夠防止保養(yǎng)員進(jìn)行無需實(shí)施的驗(yàn)證項(xiàng)目，從而能夠避免在異常解析中浪費(fèi)無謂的時(shí)間。

本實(shí)施方式的數(shù)據(jù)解析控制部215f受理在驗(yàn)證項(xiàng)目表中顯示的驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息的選擇操作，從數(shù)據(jù)庫讀出與配方特定信息及驗(yàn)證項(xiàng)目特定信息均建立了關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)(故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù))，并基于數(shù)據(jù)時(shí)刻信息以使配方的開始時(shí)刻一致并在時(shí)序上重合的方式對(duì)所讀出的故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)創(chuàng)建時(shí)序圖表，且顯示到操作顯示部227上。由此，有助于縮短解析時(shí)間以及減輕因保養(yǎng)員的技術(shù)差異而導(dǎo)致的解析錯(cuò)誤。

本實(shí)施方式的數(shù)據(jù)解析控制部215f構(gòu)成為，在創(chuàng)建時(shí)序圖表時(shí)能夠反復(fù)讀出規(guī)定次數(shù)量(例如從最新的配方追溯的10次量)的數(shù)據(jù)。而且，構(gòu)成為，基于數(shù)據(jù)時(shí)刻信息以使配方的開始時(shí)刻一致并在時(shí)序上重合的方式將所讀出的故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)圖表化，由此創(chuàng)建時(shí)序圖表并將時(shí)序圖表顯示到操作顯示部227上。由此，能夠減輕進(jìn)行異常解析的保養(yǎng)員的與數(shù)據(jù)獲取有關(guān)的作業(yè)負(fù)擔(dān)。

(實(shí)施例1)

接下來，基于圖7所示的畫面顯示程序的處理流程，說明使圖8所示的裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面顯示到操作顯示部227上的處理、以及使用圖9所示的診斷方法項(xiàng)目列表導(dǎo)出對(duì)裝置1的運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息的處理。

另外，在本實(shí)施例中構(gòu)成為，分別使用裝置管理控制器215所具有的4個(gè)功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)中的、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)解析控制部215f輸出的故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)來導(dǎo)出表示裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的信息。

首先，執(zhí)行圖7所示的匯總畫面顯示工序(s11)。由此，從存儲(chǔ)部215h讀出例如圖8所示的包含健康檢查視圖(healthcheckview)畫面(異常部位顯示畫面)、供給檢查(supplycheck)畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)、健康概括(healthsummary)畫面(健康狀態(tài)概要顯示畫面)、詳細(xì)信息(detailinformation)畫面(詳細(xì)信息顯示畫面)的圖標(biāo)文件，并將這些各畫面匯總地顯示在操作顯示部227的畫面上。

接下來，在圖7所示的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中，畫面顯示控制部215b根據(jù)圖9所示的診斷方法項(xiàng)目列表的診斷方法項(xiàng)目，根據(jù)需要從存儲(chǔ)部215h獲取數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析支援控制部215f各自輸出的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)(監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù))。以下，即使在沒有特別記載的情況下，也構(gòu)成為各控制部輸出的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)在每次被輸出時(shí)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部215h中。

(詳細(xì)信息畫面中的診斷對(duì)象項(xiàng)目)

首先，參照?qǐng)D8對(duì)裝置狀態(tài)監(jiān)視的對(duì)象進(jìn)行說明。在詳細(xì)信息顯示畫面中，作為裝置1的結(jié)構(gòu)“劃分”而示出了反應(yīng)室、移載室、裝載室、搬送系統(tǒng)、顧客用力。另外，作為反應(yīng)室的“模塊”(module)而示出了溫度、壓力、氣體、排氣壓、水。另外，作為移載室的“模塊”而示出了o2(氧氣)濃度、壓力、溫度。另外，作為裝載室的“模塊”而示出了n2(氮?dú)?排氣量、排氣壓。另外，作為襯底搬送系統(tǒng)的“模塊”而示出了晶片盒開啟器。另外，作為顧客用力的“模塊”而示出了氣體(gas)、壓力、排氣壓、pump、水。

這些“模塊”是部件管理控制部215d和裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e等控制部的監(jiān)視對(duì)象、也就是裝置的健康狀態(tài)的診斷對(duì)象(穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的評(píng)價(jià)對(duì)象)即診斷對(duì)象項(xiàng)目。在圖8的例子中，例如，與作為“結(jié)構(gòu)劃分”的反應(yīng)室有關(guān)的診斷對(duì)象是反應(yīng)室溫度、反應(yīng)室壓力、向反應(yīng)室供給的氣體(處理氣體和稀釋氣體等)的流量、將反應(yīng)室內(nèi)的氣體排出的排氣壓、向反應(yīng)室的結(jié)構(gòu)物供給的冷卻水的流量。

作為“結(jié)構(gòu)劃分”的顧客用力的診斷對(duì)象項(xiàng)目的氣體、壓力分別是從顧客設(shè)備向裝置1供給的氣體(處理氣體和稀釋氣體)的流量、壓力。排氣壓是從裝置1向顧客設(shè)備排氣的壓力，水是從顧客設(shè)備向裝置1供給的冷卻水的流量。顧客用力(顧客必需能力)是與從裝置用戶供給的項(xiàng)目有關(guān)的裝置數(shù)據(jù)，也稱為設(shè)備數(shù)據(jù)(效用數(shù)據(jù))(utilitydata)。

如圖8所示，構(gòu)成為，與顧客用力有關(guān)的診斷對(duì)象項(xiàng)目與其他診斷對(duì)象項(xiàng)目分離并集中地顯示于一處。由此，在產(chǎn)生了裝置異常的情況下，能夠明確地掌握該產(chǎn)生部位是顧客承擔(dān)責(zé)任的與顧客用力有關(guān)的部位、還是裝置制造商承擔(dān)責(zé)任的部位。

(詳細(xì)信息畫面中的診斷方法項(xiàng)目)

接下來，使用圖9說明作為部件管理控制部215d和裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e等控制部診斷裝置數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)的診斷方法項(xiàng)目列表。診斷方法項(xiàng)目列表具有序號(hào)(no)欄、表示診斷方法項(xiàng)目的診斷項(xiàng)目欄、表示診斷方法的內(nèi)容和診斷的施行方式的診斷方式欄、以及分?jǐn)?shù)欄(在圖9的例子中示出減分法)。

序號(hào)1(no.1)及序號(hào)2(no.2)的診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc)是將裝置數(shù)據(jù)的經(jīng)時(shí)變化量的異常與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的上限值或下限值或者上限值及下限值進(jìn)行比較來診斷的項(xiàng)目，由裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e監(jiān)視。fdc是如下技術(shù)：持續(xù)進(jìn)行從裝置1輸出的特性值的監(jiān)視，在檢測(cè)到監(jiān)視值(即裝置數(shù)據(jù))有異常的情況下，即監(jiān)視值相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)偏離規(guī)定值以上的情況下，對(duì)其結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)處理，由此對(duì)異常的種類進(jìn)行分類，即對(duì)異常原因和異常部位進(jìn)行診斷。

在該fdc中不含有后述的零件(parts)、也就是不含有部件壽命(使用次數(shù)和使用時(shí)間)的診斷。由于在通過fdc檢測(cè)到異常的情況下，裝置1尚能運(yùn)轉(zhuǎn)且不會(huì)立即造成制造物的異常，因此不發(fā)出伴隨著蜂鳴器鳴響的報(bào)警。

u.fdc是用于檢查裝置1的狀態(tài)是否是能夠繼續(xù)并正常地維持裝置1的制造物(例如進(jìn)行了成膜的襯底)的品質(zhì)的狀態(tài)的診斷方法項(xiàng)目。u.fdc是裝置1的用戶創(chuàng)建并使用的診斷方法項(xiàng)目，作為使用了通常的spc(statisticalprocesscontrol：統(tǒng)計(jì)過程控制，一種統(tǒng)計(jì)方法)的診斷方法是公知的。u.fdc是直接影響到制造物的品質(zhì)的診斷方法項(xiàng)目，檢查例如反應(yīng)室的溫度、壓力等。

在u.fdc中，診斷反應(yīng)室的溫度是否處于預(yù)先設(shè)定的上限值與下限值之間。在圖9的例子中，u.fdc使用spc的規(guī)則1(超過3σ)來診斷。在u.fdc中，集中于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域所需的最低限度的spc項(xiàng)目(例如，反應(yīng)室的溫度和壓力、襯底移載室的氧濃度等)，用戶僅進(jìn)行指定配方/步驟/項(xiàng)目(溫度等)的簡(jiǎn)單設(shè)定即可，因此易于使用。

s.fdc是用于檢查裝置1的結(jié)構(gòu)物(例如開閉閥、加熱器和/或mfc)的狀態(tài)是否處于正常范圍內(nèi)的診斷方法項(xiàng)目，是裝置1的制造商所創(chuàng)建的診斷方法項(xiàng)目。s.fdc是例如與mfc的零點(diǎn)修正有關(guān)的診斷方法，診斷流量零時(shí)的mfc的流量電壓是否處于預(yù)先設(shè)定的上限值與下限值之間。s.fdc是裝置管理控制器215中標(biāo)準(zhǔn)裝備的、該裝置專用的診斷方法項(xiàng)目，由于是該裝置專用的，所以由適合該裝置的監(jiān)視內(nèi)容構(gòu)成。用戶能夠切換地設(shè)定s.fdc的診斷方法項(xiàng)目的有效、無效來使用，但不能改變?cè)\斷的內(nèi)容。

序號(hào)3(no.3)的零件(parts)是裝置1的制造商創(chuàng)建并使用的診斷方法項(xiàng)目，是用于通過對(duì)與構(gòu)成裝置1的部件壽命相關(guān)聯(lián)的部件數(shù)據(jù)(使用時(shí)間、使用次數(shù)等)和部件生產(chǎn)商的推薦值進(jìn)行比較來診斷部件的保養(yǎng)時(shí)期的項(xiàng)目。例如，將使用次數(shù)達(dá)到部件生產(chǎn)商的推薦值的時(shí)期診斷為保養(yǎng)時(shí)期。另外，也可以構(gòu)成為，基于至此為止的實(shí)際使用情況，將使用次數(shù)達(dá)到部件生產(chǎn)商的推薦值的90％或者120％的時(shí)期診斷為保養(yǎng)時(shí)期。像這樣，基于部件生產(chǎn)商的推薦值來判斷保養(yǎng)時(shí)期。

零件由部件管理控制部215d監(jiān)視。部件管理控制部215d在判斷為使用次數(shù)達(dá)到了部件的保養(yǎng)時(shí)期時(shí)判定為異常，并作為保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。然而，即使在部件管理控制部215d檢測(cè)到基于零件導(dǎo)致的異常的情況下，由于該異常不會(huì)立即造成制造物的異常，因此部件管理控制部215d也不會(huì)發(fā)出伴隨著蜂鳴器鳴響的報(bào)警。

零件的對(duì)象主要是空氣閥、氣缸、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器等驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的部件，例如對(duì)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的部件的使用次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)并同時(shí)監(jiān)視其是否達(dá)到制造商推薦值(閾值)。作為診斷方法項(xiàng)目的零件在裝置1的設(shè)置時(shí)組入到裝置管理控制器215中，在用戶沒有意識(shí)到的情況下自動(dòng)地進(jìn)行管理。

序號(hào)4(no.4)的報(bào)警(alarm)是基于裝置1不能運(yùn)轉(zhuǎn)那樣的異常信息(故障信息)的產(chǎn)生次數(shù)來診斷裝置1的狀態(tài)的診斷方法項(xiàng)目。另外，報(bào)警構(gòu)成為不與上述序號(hào)1～3的u.fdc、s.fdc、零件重疊(也就是說，涉及與序號(hào)1～3的u.fdc、s.fdc、零件不同的異常)，另外，構(gòu)成為僅對(duì)特定的故障進(jìn)行判定，并將因同一原因?qū)е碌墓收闲畔⒌闹貜?fù)排除在外。

報(bào)警伴隨著蜂鳴器鳴響而發(fā)出，例如，在襯底搬送時(shí)襯底沒有載置在舟皿26的規(guī)定位置的情況下，傳感器檢測(cè)到異常而由此發(fā)出報(bào)警。另外，例如，當(dāng)反應(yīng)室溫度在襯底處理開始時(shí)沒有上升到規(guī)定溫度的情況下，傳感器檢測(cè)到異常而由此發(fā)出報(bào)警。另外，例如，在移載室23的門沒有關(guān)閉的情況下，傳感器檢測(cè)到異常而由此發(fā)出報(bào)警。

報(bào)警由裝置管理控制器215以外的裝置1的控制器(操作部201、搬送控制部211、處理控制部212等)監(jiān)視，若檢測(cè)到異常，蜂鳴器就鳴響，向數(shù)據(jù)解析控制部215f通知故障信息數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)解析控制部215f基于接收到的故障信息數(shù)據(jù)，如圖8示出的詳細(xì)信息顯示畫面所示那樣，通過對(duì)象部位的類別(結(jié)構(gòu)劃分和模塊)對(duì)在裝置1中產(chǎn)生的故障信息數(shù)據(jù)進(jìn)行分類，監(jiān)視每個(gè)類別的產(chǎn)生傾向。

該功能在裝置1的設(shè)置時(shí)組入在裝置管理控制器215中，在用戶沒有意識(shí)到的情況下自動(dòng)地進(jìn)行管理。像這樣，數(shù)據(jù)解析控制部215f作為對(duì)裝置1的故障信息數(shù)據(jù)的產(chǎn)生狀況進(jìn)行監(jiān)視的報(bào)警監(jiān)視控制部而發(fā)揮功能。

此外，也可以構(gòu)成為，基于報(bào)警的故障信息數(shù)據(jù)的監(jiān)視由數(shù)據(jù)解析控制部215f以外的控制部進(jìn)行。

(供給檢查畫面中的診斷對(duì)象項(xiàng)目的診斷)

數(shù)據(jù)匹配控制部215c在裝置1的襯底處理開始前，對(duì)在供給狀態(tài)顯示畫面中顯示的診斷對(duì)象項(xiàng)目進(jìn)行診斷。在此，襯底處理開始前也包含裝置交付后的啟動(dòng)時(shí)等的、襯底向裝置內(nèi)的投入前以及襯底的搬送時(shí)。

在圖8所示的供給狀態(tài)顯示畫面中，原料氣體(圖8中表示為前驅(qū)物(precursor))、冷卻水(圖8中表示為冷卻水流量(coolingwterfliow))、向反應(yīng)室的n2氣體供給量(圖8中表示為ltp(lowtemperaturepurge)purge&blower：低溫吹掃)、排氣量(圖8中表示為排出(exhaust))、真空泵的排氣量(圖8中表示為泵(pump))、向移載室的n2氣體流量(圖8中表示為風(fēng)扇(fan))這6個(gè)項(xiàng)目是診斷對(duì)象項(xiàng)目。這6個(gè)項(xiàng)目是設(shè)備數(shù)據(jù)，其一部分與上述詳細(xì)信息顯示畫面的顧客用力的“模塊”、即診斷對(duì)象項(xiàng)目重合。

數(shù)據(jù)匹配控制部215c將顧客用力確認(rèn)用的初始值表中示出的基準(zhǔn)值或者將主裝置1(0)的當(dāng)前的實(shí)測(cè)值設(shè)定為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。例如，在裝置1的處理開始前，對(duì)與圖8所示的診斷對(duì)象項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的設(shè)備數(shù)據(jù)與基準(zhǔn)數(shù)據(jù)分別進(jìn)行比較。各個(gè)項(xiàng)目的實(shí)測(cè)值與基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(顧客用力確認(rèn)用的初始值表中示出的基準(zhǔn)值或主裝置1(0)的實(shí)測(cè)值)進(jìn)行比較，數(shù)據(jù)匹配控制部215c根據(jù)相對(duì)于實(shí)測(cè)值的偏離情況來判定為異常。

畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，針對(duì)每個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目從存儲(chǔ)部215h獲取與u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警有關(guān)的各診斷結(jié)果數(shù)據(jù)。例如，如果為反應(yīng)室溫度，則獲取針對(duì)縱型反應(yīng)室內(nèi)的各區(qū)域(例如，u(上)區(qū)域、cu(中上)區(qū)域、cl(中下)區(qū)域、l(下)區(qū)域)的設(shè)定值(設(shè)定溫度)、當(dāng)前值等與溫度有關(guān)聯(lián)的裝置數(shù)據(jù)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)。

在此，與u.fdc、s.fdc有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)是裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，與零件(部件管理)有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)是保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，與報(bào)警(故障信息管理)有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)是故障信息監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)。

另外，獲取在供給狀態(tài)顯示畫面中使用的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)。該診斷結(jié)果數(shù)據(jù)是如上述那樣對(duì)與來自顧客的用力有關(guān)的設(shè)備數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較得到的結(jié)果數(shù)據(jù)，是與作為診斷對(duì)象項(xiàng)目的、氣體(gas)、壓力、排氣壓、泵(pump)、水、前驅(qū)物、冷卻水流量、低溫吹掃、排出、泵、風(fēng)扇有關(guān)的數(shù)據(jù)。該與來自顧客的用力有關(guān)的設(shè)備數(shù)據(jù)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)是用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)。

接下來，執(zhí)行數(shù)據(jù)判定工序(s13)，執(zhí)行在s12中獲取的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的判定和給分。在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，關(guān)于診斷對(duì)象項(xiàng)目，判定診斷結(jié)果數(shù)據(jù)是正常還是異常，以及異常到何種程度。

(對(duì)詳細(xì)信息畫面的診斷對(duì)象項(xiàng)目的判定)

在對(duì)詳細(xì)信息顯示畫面的診斷對(duì)象項(xiàng)目的判定中，針對(duì)各診斷對(duì)象項(xiàng)目進(jìn)行各診斷結(jié)果數(shù)據(jù)(與u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù))的判定和給分。

例如，在診斷對(duì)象項(xiàng)目為反應(yīng)室溫度的情況下，畫面顯示控制部215b針對(duì)反應(yīng)室溫度，使用從裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e接收并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部215h中的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，按照?qǐng)D9的分?jǐn)?shù)欄的減分法對(duì)診斷結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行判定并給分。

具體而言，畫面顯示控制部215b在圖9所示的診斷方法項(xiàng)目列表中，將異常數(shù)據(jù)為2件以上的情況判定為異常大(×)，從滿分(100分)減去在圖9的分?jǐn)?shù)欄的“×”欄中定義的分?jǐn)?shù)。另外，將異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù))為1件的情況判定為異常小(△)，從滿分減去在圖9的“△”欄中定義的分?jǐn)?shù)。另外，將沒有異常數(shù)據(jù)的情況判定為正常(○)，為滿分。

另外，畫面顯示控制部215b在原本沒有成為診斷對(duì)象的情況、沒有獲取到與診斷對(duì)象項(xiàng)目相關(guān)聯(lián)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)等不存在成為判定對(duì)象的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的情況下，判定為數(shù)據(jù)判定對(duì)象外(―)。判定結(jié)果和給分結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部215h中。

在圖8的例子中，首先進(jìn)行與反應(yīng)室溫度項(xiàng)目有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的判定和給分。關(guān)于反應(yīng)室溫度項(xiàng)目，即使只有一個(gè)表示異常的診斷方法項(xiàng)目，也將反應(yīng)室溫度數(shù)據(jù)判定為異常。另外，將針對(duì)與反應(yīng)室溫度數(shù)據(jù)有關(guān)的所有診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)而沒有異常產(chǎn)生的情況判定為正常。

當(dāng)針對(duì)與反應(yīng)室溫度項(xiàng)目有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的判定和給分結(jié)束時(shí)，對(duì)下一個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目(例如反應(yīng)室壓力)，同樣地針對(duì)與反應(yīng)室壓力有關(guān)的各診斷方法項(xiàng)目進(jìn)行診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的判定和給分。如此，針對(duì)與所有診斷對(duì)象項(xiàng)目有關(guān)的各診斷方法項(xiàng)目，進(jìn)行診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的判定和給分(也就是健康狀態(tài)的量化)。

(詳細(xì)信息畫面和健康概括畫面的給分處理)

在此，詳細(xì)說明詳細(xì)信息顯示畫面和健康狀態(tài)概要顯示畫面的給分處理。在該處理中，通過畫面顯示控制部215b進(jìn)行接下來的s201～s205所示那樣的給分。

(s201)

首先，針對(duì)反應(yīng)室溫度項(xiàng)目，計(jì)算并合計(jì)出u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警各自的負(fù)分?jǐn)?shù)。在圖8的例子中，針對(duì)s.fdc，由于2件以上的數(shù)據(jù)為異常(×)，因此s.fdc的負(fù)分?jǐn)?shù)為30分(參照?qǐng)D9)。

另外，針對(duì)零件，由于1件數(shù)據(jù)為異常(△)，因此零件的負(fù)分?jǐn)?shù)為10分。u.fdc和警報(bào)為無負(fù)分?jǐn)?shù)。因此，針對(duì)反應(yīng)室溫度項(xiàng)目，負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)為40分，分?jǐn)?shù)(score)為60分(100-40)。

(s202)

對(duì)所有診斷對(duì)象項(xiàng)目、即詳細(xì)信息畫面的所有模塊(從圖8所示的反應(yīng)室的溫度到顧客用力的水為止)實(shí)施該判定和計(jì)算，獲取針對(duì)所有診斷對(duì)象項(xiàng)目的分?jǐn)?shù)，并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。

(s203)

接下來，計(jì)算出對(duì)所有診斷對(duì)象項(xiàng)目統(tǒng)計(jì)的、各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)各自的負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)，并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。

例如，針對(duì)u.fdc，計(jì)算所有診斷對(duì)象項(xiàng)目(反應(yīng)室的溫度～顧客用力的水)的負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)。在圖8的例子中，針對(duì)反應(yīng)室排氣壓項(xiàng)目而1件數(shù)據(jù)為異常(△)，針對(duì)顧客用力的排氣壓項(xiàng)目而1件數(shù)據(jù)為異常(△)，因此u.fdc的負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)為30分。

同樣地，計(jì)算出s.fdc的負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)、零件的負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)、報(bào)警的負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)。在圖8的例子中，s.fdc的負(fù)分?jǐn)?shù)為30分，零件的負(fù)分?jǐn)?shù)為20分，報(bào)警的負(fù)分?jǐn)?shù)為5分。

(s204)

接下來，針對(duì)與各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)有關(guān)的負(fù)分?jǐn)?shù)，分別計(jì)算出當(dāng)天的當(dāng)前值、當(dāng)天量的平均值、最近一周的平均值、最近一個(gè)月的平均值，并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。最近一周的平均值是在一周內(nèi)對(duì)1日量的平均值(或者最大值)進(jìn)行平均而得到的值，最近一個(gè)月的平均值是在一個(gè)月內(nèi)對(duì)1日量的平均值(或者最大值)進(jìn)行平均而得到的值。

(s205)

接下來，針對(duì)與各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)有關(guān)的負(fù)分?jǐn)?shù)，對(duì)各自的當(dāng)天的當(dāng)前值進(jìn)行合計(jì)，并從滿分(100分)減去該合計(jì)值，由此計(jì)算出裝置1的健康指數(shù)(裝置的綜合運(yùn)用狀態(tài)的評(píng)價(jià)指數(shù))。在圖8的例子中，在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示了健康指數(shù)為95分。此外，該95分是一個(gè)例示，應(yīng)注意與詳細(xì)信息顯示畫面的分?jǐn)?shù)并不一致。

此外，在實(shí)施例1中，通過異常數(shù)據(jù)的個(gè)數(shù)來劃分為“△”、“×”，但不限于該方式，也可以構(gòu)成為，即使異常為1件以上，也為“×”，即使表示接近異常的警告為1件以上，也定義為“△”。

另外，在上述的說明中，在s203中，計(jì)算出各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)各自的負(fù)分?jǐn)?shù)的合計(jì)，并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部215h中，但也可以構(gòu)成為，計(jì)算出各診斷方法項(xiàng)目的分?jǐn)?shù)(100分-負(fù)分?jǐn)?shù))的合計(jì)，并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。

另外，在上述說明中，在s204中，針對(duì)與各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)有關(guān)的負(fù)分?jǐn)?shù)，分別計(jì)算出當(dāng)天的當(dāng)前值、當(dāng)天量的平均值、最近一周的平均值、最近一個(gè)月的平均值，并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部215h中，但也可以構(gòu)成為，針對(duì)各診斷方法項(xiàng)目的分?jǐn)?shù)(100分-負(fù)分?jǐn)?shù))，分別計(jì)算出當(dāng)天的當(dāng)前值、當(dāng)天量的平均值、最近一周的平均值、最近一個(gè)月的平均值，并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。

(對(duì)供給檢查畫面的診斷對(duì)象項(xiàng)目的判定)

另外，在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，判定在供給狀態(tài)顯示畫面中使用的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)。即，判定各個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目的襯底處理開始時(shí)的實(shí)測(cè)值相對(duì)于初始值表中所示的基準(zhǔn)值或主裝置的值是否超過了規(guī)定的閾值(例如±3％)。

在圖8的例子中，針對(duì)冷卻水流量，裝置1的處理開始時(shí)的值相對(duì)于初始值表所示的基準(zhǔn)值超出了±3％的情況(用a表示)被判定為2件，針對(duì)低溫吹掃，裝置1的處理開始時(shí)的值相對(duì)于主裝置的值超過了±3％的情況(用b表示)被判定為1件，針對(duì)排出，裝置1的處理開始時(shí)的值相對(duì)于初始值表所示的基準(zhǔn)值超過了±3％的情況(用a表示)被判定為1件。

(判定結(jié)果顯示工序：s14)

接下來，在判定結(jié)果顯示工序(s14)中，畫面顯示控制部215b從存儲(chǔ)部215h讀出數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結(jié)果和給分結(jié)果，更新并顯示圖8所示的詳細(xì)信息顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面、供給狀態(tài)顯示畫面。

(詳細(xì)信息畫面的更新)

在詳細(xì)信息顯示畫面的更新中，針對(duì)與各診斷對(duì)象項(xiàng)目有關(guān)的各診斷方法項(xiàng)目欄(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，在詳細(xì)信息畫面的各診斷方法項(xiàng)目欄(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)中，將正常的情況顯示為“○”，將判定為2件以上異常的情況顯示為“×”，將判定為1件異常的情況顯示為“△”，將不存在成為判定對(duì)象的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的情況顯示為“―”。另外，在詳細(xì)信息顯示畫面的分?jǐn)?shù)欄中顯示與各診斷對(duì)象項(xiàng)目有關(guān)的分?jǐn)?shù)。

詳細(xì)而言，在與u.fdc和s.fdc有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)判定為無異常(無異常數(shù)據(jù))的情況下顯示“○”，在1件裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)判定為有異常(有異常數(shù)據(jù))的情況下顯示“△”，在2件以上裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)判定為有異常(有異常數(shù)據(jù))的情況下顯示“×”。由此，能夠容易地掌握與u.fdc、s.fdc有關(guān)的異常狀態(tài)。

另外，在與零件有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)判定為無異常(沒有超過閾值)的情況下顯示“○”，在1件部件數(shù)據(jù)判定為有異常(超過閾值)的情況下顯示“△”，在2件以上部件數(shù)據(jù)判定為有異常(超過閾值)的情況下顯示“×”。由此，能夠容易地掌握與部件壽命有關(guān)的異常狀態(tài)。

另外，關(guān)于與報(bào)警有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，在沒有故障信息數(shù)據(jù)的情況下顯示“○”，在有1件故障信息數(shù)據(jù)的情況下顯示“△”，在有2件以上故障信息數(shù)據(jù)的情況下顯示“×”。在故障信息數(shù)據(jù)的標(biāo)識(shí)符(id)相同的情況下，與報(bào)警的產(chǎn)生數(shù)無關(guān)地診斷為產(chǎn)生了1件故障。由此，能夠容易地掌握與故障信息產(chǎn)生狀態(tài)有關(guān)的異常狀態(tài)。

另外，在詳細(xì)信息顯示畫面中，“×”顯示為紅色、“△”顯示為黃色，分色地進(jìn)行顯示。對(duì)于分?jǐn)?shù)欄也是，若分?jǐn)?shù)不足100分且為80分以上則顯示黃色，若不足80則顯示紅色，分色地進(jìn)行顯示。

此外，在詳細(xì)信息顯示畫面中，構(gòu)成為，若點(diǎn)擊顯示為“×”或“△”的單元，則畫面顯示控制部215b進(jìn)而顯示診斷對(duì)象項(xiàng)目的詳細(xì)信息。由此，例如，在診斷對(duì)象項(xiàng)目為反應(yīng)室溫度的情況下，可知曉反應(yīng)室的哪個(gè)部分(上層、中層、下層等)的溫度成為異常的原因。

(健康檢查畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b也可以構(gòu)成為，顯示裝置1的整體圖，并且為了能夠辨別包含被判定為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的單元(在圖8中示出為結(jié)構(gòu)劃分)和項(xiàng)目(在圖8中示出為模塊)、即被判定為異常的裝置1的結(jié)構(gòu)部位是異常的，而進(jìn)行標(biāo)記或著色，來更新并顯示異常部位顯示畫面。在圖8的例子中，在裝置1的整體立體圖中，反應(yīng)室單元(圖中的a)被以紅色著色來顯示。另外，適當(dāng)設(shè)定異常的辨別顯示，以使得在例如fdc、零件、報(bào)警等診斷方法項(xiàng)目的各自中異常有2個(gè)以上的情況、分?jǐn)?shù)欄的分?jǐn)?shù)在規(guī)定分?jǐn)?shù)以下的情況下進(jìn)行異常的辨別顯示。

(健康概括畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示當(dāng)天或過去一周或過去一個(gè)月的與u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警有關(guān)的健康狀態(tài)的變化。在圖8的例子中，畫面顯示控制部215b關(guān)于各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)如上述那樣分別計(jì)算出當(dāng)天的分?jǐn)?shù)、最近一周的分?jǐn)?shù)的平均值、最近一個(gè)月的分?jǐn)?shù)的平均值，并通過柱狀圖顯示在健康狀態(tài)概要顯示畫面上。柱狀圖的縱軸是用于比較的相對(duì)值，縱軸的0～4相當(dāng)于分?jǐn)?shù)的0～100。

該健康狀態(tài)是從滿分(100分)減去當(dāng)天或過去一周或過去一個(gè)月的u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警的負(fù)分?jǐn)?shù)而得到的。由此，操作者針對(duì)各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)能夠容易地掌握當(dāng)天的裝置健康狀態(tài)、最近一周的健康狀態(tài)、最近一個(gè)月的健康狀態(tài)。

此外，也可以構(gòu)成為，通過柱狀圖在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示當(dāng)天或過去一周或過去一個(gè)月的u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警的件數(shù)和/或負(fù)分?jǐn)?shù)。由此，能夠容易地掌握u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警各自的異常狀態(tài)變化。

另外，畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，將表示裝置的健康狀態(tài)的健康指數(shù)更新并以數(shù)值顯示到健康狀態(tài)概要顯示畫面上。在圖8的例子中，在健康狀態(tài)概要顯示畫面的右上部顯示為“95分”。該健康指數(shù)如上述的s205中所示那樣是集合了各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警、分?jǐn)?shù))的綜合分?jǐn)?shù)。

由此，操作者能夠簡(jiǎn)單且一目了然地掌握當(dāng)天的裝置健康狀態(tài)。此外，也可以不用數(shù)字而是通過包含過去幾周量或幾日量的柱狀圖等來顯示健康指數(shù)。若像這樣進(jìn)行顯示，則容易知曉例如最近一周的裝置健康狀態(tài)的推移。另外，也可以構(gòu)成為，若該健康指數(shù)為規(guī)定的閾值以下，則為了使裝置1的健康狀態(tài)得到確認(rèn)，而使裝置1的蜂鳴器鳴響來發(fā)出警報(bào)。

(供給檢查畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b基于在診斷結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的、與作為診斷對(duì)象項(xiàng)目的前驅(qū)物、冷卻水流量、低溫吹掃、排出、泵、風(fēng)扇有關(guān)的設(shè)備數(shù)據(jù)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，更新并顯示供給狀態(tài)顯示畫面。此時(shí)，畫面顯示控制部215b以設(shè)備數(shù)據(jù)中的被診斷為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量來顯示表示異常產(chǎn)生的圖標(biāo)。

例如，當(dāng)上述診斷對(duì)象項(xiàng)目的實(shí)測(cè)值相對(duì)于初始值表所示的基準(zhǔn)值超過±3％而不同時(shí)，使供給狀態(tài)顯示畫面的相應(yīng)項(xiàng)目對(duì)應(yīng)地顯示表示該主旨的圖標(biāo)a。另外，當(dāng)各個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目的實(shí)測(cè)值相對(duì)于主裝置的值超過±3％而不同時(shí)，使供給狀態(tài)顯示畫面的相應(yīng)項(xiàng)目對(duì)應(yīng)地顯示表示該主旨的圖標(biāo)b。圖標(biāo)a和圖標(biāo)b是將例如將感嘆號(hào)圖形化而得到的，通過使其顏色不同而能夠彼此識(shí)別地顯示。在圖8的例子中，圖標(biāo)a和圖標(biāo)b分別用a和b表示。

像這樣，在判定結(jié)果顯示工序(s14)中構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b基于在診斷結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結(jié)果和給分結(jié)果來對(duì)匯總畫面顯示工序(s11)中獲取的各畫面文件進(jìn)行加工并顯示。

在本實(shí)施例中，畫面顯示控制部215b構(gòu)成為顯示圖8所示的匯總畫面，但圖8的圖示例只不過是用于示出說明本發(fā)明的一例。

例如，在供給狀態(tài)顯示畫面中作為設(shè)備數(shù)據(jù)而定義了6個(gè)項(xiàng)目，但不限于該方式。另外，詳細(xì)信息顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面也同樣地不限于本實(shí)施方式。例如，在詳細(xì)信息顯示畫面中，單元(在圖8中表示為結(jié)構(gòu)劃分)和項(xiàng)目(在圖8中表示為模塊)可任意設(shè)定。另外，也能夠構(gòu)成為，在將顧客用力從裝置1的健康診斷中排除那樣的情況下，從詳細(xì)信息顯示畫面中除去作為結(jié)構(gòu)劃分的顧客用力。

此外，在圖8的例子中，顯示了異常部位顯示畫面、供給狀態(tài)顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面、詳細(xì)信息顯示畫面共計(jì)4個(gè)畫面，但也可以構(gòu)成為顯示這4個(gè)畫面中的任一個(gè)畫面，或者也可以構(gòu)成為顯示這4個(gè)畫面中的任意多個(gè)畫面。

根據(jù)實(shí)施例1中的畫面顯示控制部215b的畫面顯示處理，起到以下所示的一個(gè)或多個(gè)效果。

根據(jù)實(shí)施例1，由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b在健康狀態(tài)概要顯示畫面上針對(duì)各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc、零件、報(bào)警)的每一個(gè)顯示分?jǐn)?shù)或負(fù)分?jǐn)?shù)或者異常件數(shù)，因此能夠針對(duì)各診斷方法項(xiàng)目的每一個(gè)容易地掌握當(dāng)天的裝置健康狀態(tài)、最近一周的裝置健康狀態(tài)、最近一個(gè)月的裝置健康狀態(tài)。

根據(jù)實(shí)施例1，由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b在詳細(xì)信息顯示畫面上對(duì)多個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目分別顯示基于裝置數(shù)據(jù)進(jìn)行異常診斷的診斷方法項(xiàng)目(fdc)的診斷結(jié)果、與構(gòu)成裝置1的部件的使用時(shí)間或使用次數(shù)有關(guān)的診斷方法項(xiàng)目(零件)的診斷結(jié)果、和與裝置1的報(bào)警(故障信息)的產(chǎn)生次數(shù)有關(guān)的診斷方法項(xiàng)目(警報(bào))的診斷結(jié)果，因此能夠容易地掌握針對(duì)各個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目的各診斷方法項(xiàng)目的診斷結(jié)果。

而且，由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b對(duì)各診斷對(duì)象項(xiàng)目顯示表示健康度(正常度)的分?jǐn)?shù)，因此能夠容易地掌握相對(duì)于各個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目的健康度。

(實(shí)施例2)

接下來，基于圖7所示的畫面顯示程序的處理流程分別說明使圖18所示的裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的匯總畫面顯示到操作顯示部227上的處理、以及使用圖18所示的診斷對(duì)象項(xiàng)目導(dǎo)出對(duì)裝置1的運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息的處理。在此，在實(shí)施例2中，圖9中的診斷方法與實(shí)施例1相同。除此以外，對(duì)與實(shí)施例1重復(fù)的部分適當(dāng)省略，以下說明實(shí)施例2。

在本實(shí)施例中，構(gòu)成為，基于裝置管理控制器215所具有的4個(gè)功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)中的、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，來導(dǎo)出表示裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的信息。

首先，執(zhí)行圖7所示的匯總畫面顯示工序(s11)。由此，從存儲(chǔ)部215h讀出包含健康檢查視圖畫面(異常部位顯示畫面)、供給檢查畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)、健康概括畫面(健康狀態(tài)概要顯示畫面)、總分表畫面(詳細(xì)信息顯示畫面)、參數(shù)匹配畫面(文件核對(duì)比較顯示畫面)在內(nèi)的圖標(biāo)文件，且將各畫面例如如圖18所示那樣一并顯示在操作顯示部227的畫面上。

總分表畫面(詳細(xì)信息顯示畫面)是與實(shí)施例1的詳細(xì)信息畫面(詳細(xì)信息顯示畫面)相同的診斷對(duì)象項(xiàng)目，另外，診斷方法(u.fdc、s.fdc、零件)也相同，只是畫面名稱不同。此外，在圖18中作為結(jié)構(gòu)劃分而僅有反應(yīng)室，但能夠通過未圖示的滾動(dòng)部分進(jìn)行滾動(dòng)而在畫面上顯示其他診斷對(duì)象項(xiàng)目。

另外，供給檢查畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)作為項(xiàng)目僅追加了類別(圖18中記載為類別(category))和診斷結(jié)果(圖18中記載為檢查狀態(tài)(checkstatus))，診斷對(duì)象項(xiàng)目相同。此外，該供給檢查畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)也能夠通過未圖示的滾動(dòng)部分進(jìn)行滾動(dòng)來在畫面上顯示其他診斷對(duì)象項(xiàng)目。

另外，健康概括畫面(健康狀態(tài)概要顯示畫面)僅有與實(shí)施例1同樣地顯示對(duì)裝置的綜合運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息的部分，為簡(jiǎn)潔的畫面，健康檢查視圖畫面(異常部位顯示畫面)是與實(shí)施例1同樣的畫面。

參數(shù)匹配(parametermatching)畫面(文件核對(duì)比較顯示畫面)是利用將數(shù)據(jù)匹配控制部215c進(jìn)行了后述文件匹配的結(jié)果(匹配率)保存到裝置1的各控制器(控制部)中的文件來顯示的畫面。此外，該文件匹配的結(jié)果與表示裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的信息的量化無關(guān)。在此，ou表示操作部201，robo表示搬送控制部211，pmc表示處理控制部212，system表示裝置管理控制器215。

接下來，在圖7所示的監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中，與參數(shù)匹配畫面(文件核對(duì)比較顯示畫面)以外的畫面文件有關(guān)的數(shù)據(jù)獲取與實(shí)施例1相同，因此省略記載。

在本實(shí)施例中，構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b根據(jù)需要從存儲(chǔ)部215h獲取由數(shù)據(jù)匹配控制部215c進(jìn)行的文件匹配的結(jié)果。

(工具匹配功能)

接下來，使用圖10～圖12對(duì)由數(shù)據(jù)匹配控制部215c進(jìn)行的工具匹配(toolmatching)功能進(jìn)行說明。

在本實(shí)施方式中，重復(fù)裝置直接與主裝置通信，通過從主裝置獲取所需數(shù)據(jù)的方式，實(shí)現(xiàn)了不依賴于管理裝置和作為上級(jí)計(jì)算機(jī)之一的主機(jī)計(jì)算機(jī)，通過重復(fù)裝置本身就能夠使重復(fù)裝置與主裝置匹配的工具匹配。

如圖10所示，能夠在重復(fù)裝置、例如重復(fù)裝置1(2)的主控存儲(chǔ)部222中設(shè)定作為初始信息的主裝置1(0)的名稱及ip地址(internetprotocoladdress：互聯(lián)網(wǎng)通信協(xié)議地址)。該主裝置1(0)的名稱及ip地址例如由作業(yè)員通過重復(fù)裝置1(2)的操作顯示部227來設(shè)定，但也可以構(gòu)成為從主裝置1(0)向重復(fù)裝置1(2)分發(fā)。在與主裝置1(0)的連接中使用ip地址和名稱這兩個(gè)信息的理由在于，設(shè)置成在與主裝置1(0)之間確立了基于ip地址實(shí)現(xiàn)的通信連接之后，再核對(duì)裝置名稱的結(jié)構(gòu)。由此，能夠防止因ip地址設(shè)定錯(cuò)誤導(dǎo)致的誤連接，能夠使作業(yè)員在不用意識(shí)到主裝置的情況下進(jìn)行匹配(數(shù)據(jù)匹配)作業(yè)。

在圖10所示的數(shù)據(jù)匹配控制中，包含重復(fù)裝置1(2)的裝置1的數(shù)據(jù)匹配控制部215c從主裝置1(0)的主控存儲(chǔ)部222讀出配方文件和參數(shù)文件并將其保存到裝置1的主控存儲(chǔ)部222中，來進(jìn)行文件匹配。

在文件匹配中，復(fù)制主裝置1(0)的配方文件來作為裝置1的配方文件，并進(jìn)行主裝置1(0)的參數(shù)文件與裝置1的參數(shù)文件之間的比較、核對(duì)。

此外，也可以構(gòu)成為不將從主裝置1(0)接收到的配方文件和參數(shù)文件保存到主控存儲(chǔ)部222中，而將其保存到裝置1的存儲(chǔ)部215h中，來進(jìn)行文件匹配。

不復(fù)制參數(shù)文件而是進(jìn)行比較的理由在于，在交付裝置1的初號(hào)機(jī)以后，在運(yùn)用裝置1的過程中用戶獲取最佳的參數(shù)，并將其作為技術(shù)訣竅(know-how)來進(jìn)行管理。在沒有這種情形的情況下，也可以構(gòu)成為不對(duì)參數(shù)文件進(jìn)行比較，而與配方文件同樣地進(jìn)行復(fù)制。相反，也能夠構(gòu)成為，不復(fù)制配方文件而是對(duì)其進(jìn)行比較。

在進(jìn)行數(shù)據(jù)匹配控制(工具匹配)時(shí)，如圖11所示那樣，在操作顯示部227上顯示與主裝置1(0)之間的文件匹配(配方文件從主裝置1(0)復(fù)制，參數(shù)文件與主裝置1(0)進(jìn)行比較)的進(jìn)度表。由此，作業(yè)員能夠容易地知曉配方文件的復(fù)制和參數(shù)的比較作業(yè)的進(jìn)度狀況，還能夠容易地再次開始進(jìn)行配方文件的復(fù)制和參數(shù)的比較作業(yè)。

在圖11的例子中，從主裝置1(0)的相應(yīng)配方文件復(fù)制配方文件1(配方1)～配方文件10(配方10)，并將重復(fù)裝置1(2)的參數(shù)文件1(參數(shù)1)～參數(shù)文件11(參數(shù)11)與主裝置1(0)的相應(yīng)參數(shù)文件進(jìn)行比較。

例如，針對(duì)配方文件1，在文件總數(shù)200中正常復(fù)制了的文件數(shù)為160，正常復(fù)制了的比率(匹配率)為80％。在配方文件1的“匹配率”的欄中，從左側(cè)按順序以柱狀圖顯示正常復(fù)制了的比率(在圖中為右斜的陰影線圖案)、復(fù)制失敗的比率(在圖中為點(diǎn)狀圖案)、不可復(fù)制的比率(在圖中為左斜的陰影線圖案)、復(fù)制未完成的比率(在圖中為白底圖案)。

此外，在實(shí)際的畫面中，優(yōu)選正常復(fù)制了的比率用藍(lán)色顯示、復(fù)制失敗的比率用黃色顯示、不可復(fù)制的比率用紅色顯示、復(fù)制未完成的比率用白色顯示等，分色進(jìn)行顯示。

不可復(fù)制是例如在工藝配方的情況下在復(fù)制目的地的裝置1中不存在組合文件時(shí)產(chǎn)生的。復(fù)制未完成是作業(yè)員中斷復(fù)制時(shí)等產(chǎn)生的。在不可復(fù)制和復(fù)制未完成的情況下，在消除了不可復(fù)制等的原因之后，通過進(jìn)行規(guī)定的操作、例如在操作顯示部227的畫面上點(diǎn)擊“匹配率”欄的未完成區(qū)域，能夠再次開始復(fù)制。

針對(duì)其他配方文件2～10，也以與配方文件1同樣的方式，用柱狀圖顯示“匹配率”欄。并且，作為表示配方文件整體(配方文件1～10)的匹配率的綜合匹配率，在“文件”欄中顯示85％。

另外，例如，針對(duì)參數(shù)文件1，文件總數(shù)244中的、比較結(jié)果為正常(也就是文件內(nèi)容相同)的文件數(shù)為231，比較結(jié)果為正常的比率(匹配率)為大約95％。在參數(shù)文件1的“匹配率”欄中，從左側(cè)按順序用柱狀圖顯示比較結(jié)果為正常的比率(在圖中為右斜的陰影線圖案)、比較結(jié)果為異常的比率(在圖中為左斜的陰影線圖案)。

針對(duì)其他參數(shù)文件2～11也以與參數(shù)文件1同樣的方式，用柱狀圖顯示“匹配率”欄。并且，作為表示參數(shù)文件整體(參數(shù)文件1～11)的匹配率的綜合匹配率，在“參數(shù)”欄中顯示92％。

另外，如在參數(shù)文件9的柱狀圖中標(biāo)示的箭頭所示那樣，在比較結(jié)果為異常的情況下，通過在操作顯示部227的畫面上點(diǎn)擊柱狀圖的異常部分區(qū)域，能夠詳細(xì)地顯示參數(shù)文件的不同點(diǎn)。

圖12是本實(shí)施方式的文件匹配的處理流程圖。該處理流程由數(shù)據(jù)匹配控制部215c執(zhí)行。

首先，進(jìn)行第一個(gè)配方文件的復(fù)制(圖12的步驟s21)。在該配方文件為不可復(fù)制的情況下(s22中為“是”)，將紅色顯示標(biāo)志設(shè)為on(s23)，并轉(zhuǎn)移到步驟s27。在為可復(fù)制的情況下(s22中為“否”)，檢查復(fù)制是否失敗，在復(fù)制失敗的情況下(s24中為“是”)，將黃色顯示標(biāo)志設(shè)為on(s25)，并轉(zhuǎn)移到步驟s27。在復(fù)制沒有失敗的情況下(s24中為“否”)，將藍(lán)色顯示標(biāo)志設(shè)為on(s26)，并轉(zhuǎn)移到步驟s27。

在步驟s27中，檢查是否所有配方文件的復(fù)制均已結(jié)束。在所有配方文件的復(fù)制尚未結(jié)束的情況下(s27中為“否”)，返回到s21，進(jìn)行下一個(gè)配方文件的復(fù)制。

在所有配方文件的復(fù)制均已結(jié)束的情況下(s27中為“是”)，進(jìn)行第一個(gè)參數(shù)文件的比較(s28)。在該參數(shù)文件中存在不同點(diǎn)的情況下(s29中為“是”)，將紅色顯示標(biāo)志設(shè)為on(s30)，轉(zhuǎn)移到步驟s32。在不存在不同點(diǎn)的情況下(s29中為“否”)，將藍(lán)色顯示標(biāo)志設(shè)為on(s31)，并轉(zhuǎn)移到步驟s32。

在步驟s32中，檢查是否所有參數(shù)文件的比較均已結(jié)束。在所有參數(shù)文件的比較尚未結(jié)束的情況下(s32中為“否”)，返回到s28，進(jìn)行下一個(gè)參數(shù)文件的比較。

在所有參數(shù)文件的比較均已結(jié)束的情況下(s32中為“是”)，使圖11所示的匹配進(jìn)度畫面顯示到操作顯示部227的畫面上。此時(shí)，對(duì)于藍(lán)色顯示標(biāo)志、紅色顯示標(biāo)志、黃色顯示標(biāo)志為on的文件，分別用藍(lán)色、紅色、黃色顯示圖11的匹配率欄。另外，對(duì)于未完成的文件，用白色顯示圖11的匹配率欄。之后，結(jié)束本處理。

另外，數(shù)據(jù)匹配控制部215c在上述數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理結(jié)束(s32中為“是”)時(shí)，將包含表示匹配率的綜合匹配率在內(nèi)的匹配處理后的全部結(jié)果存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部215h中。

根據(jù)本實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理，由于構(gòu)成為，數(shù)據(jù)匹配控制部215c進(jìn)行裝置1的文件與主裝置的文件之間的復(fù)制和比較，因此能夠提高裝置1的文件的可靠度。

根據(jù)本實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理，由于構(gòu)成為，數(shù)據(jù)匹配控制部215c顯示文件的不可復(fù)制、復(fù)制失敗、復(fù)制未完成、有無不同點(diǎn)，因此能夠容易地掌握不可復(fù)制、復(fù)制失敗、復(fù)制未完成、有無不同點(diǎn)。

根據(jù)本實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理，由于構(gòu)成為，數(shù)據(jù)匹配控制部215c在表示所顯示的文件的不同點(diǎn)的部分被點(diǎn)擊時(shí)顯示詳細(xì)信息，因此能夠容易地掌握文件不同點(diǎn)的詳細(xì)內(nèi)容。

此外，本實(shí)施方式中的畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，從存儲(chǔ)部215h獲取基于數(shù)據(jù)匹配控制部215c進(jìn)行的對(duì)全部文件進(jìn)行了匹配的綜合匹配率，并顯示文件核對(duì)比較顯示畫面的匹配率(matchingrate)。

接下來，執(zhí)行數(shù)據(jù)判定工序(s13)，進(jìn)行在s12中獲取的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的判定和給分。與實(shí)施例1同樣地，在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，關(guān)于診斷對(duì)象項(xiàng)目，判定診斷結(jié)果數(shù)據(jù)是正常還是異常、以及異常到何種程度。

(對(duì)總分表畫面的診斷對(duì)象項(xiàng)目的判定)

在對(duì)詳細(xì)信息顯示畫面的診斷對(duì)象項(xiàng)目的判定中，針對(duì)各診斷對(duì)象項(xiàng)目進(jìn)行各診斷結(jié)果數(shù)據(jù)(與u.fdc、s.fdc、零件有關(guān)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù))的判定。

具體而言，畫面顯示控制部215b在關(guān)于u.fdc、s.fdc的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)中，在異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù))為5件以上的情況下，判定為異常大(×)，另外，在異常數(shù)據(jù)為1件到4件的情況下，判定為異常小(△)，另外在沒有異常數(shù)據(jù)的情況下，判定為正常(○)。此外，對(duì)一件異常數(shù)據(jù)分配的分?jǐn)?shù)為1分。

另外，畫面顯示控制部215b在原本沒有成為診斷對(duì)象的情況、沒有獲取與診斷對(duì)象項(xiàng)目有關(guān)聯(lián)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)等不存在成為判定對(duì)象的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的情況下，判定為數(shù)據(jù)判定對(duì)象外(―)。以后，存在×是錯(cuò)誤圖標(biāo)、△是警告圖標(biāo)、○正常圖標(biāo)、―是除外圖標(biāo)的情況。此外，判定結(jié)果和給分結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部215h中。關(guān)于給分結(jié)果將在后敘述。

另外，畫面顯示控制部215b構(gòu)成為將判定的結(jié)果顯示在詳細(xì)信息顯示畫面上，在圖18的例子中，表示通過圖9所示的u.fdc對(duì)與項(xiàng)目(模塊)的舟皿有關(guān)的裝置數(shù)據(jù)進(jìn)行診斷的結(jié)果為，異常數(shù)據(jù)為1件。也就是說，在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示了99(100-1)，因此將異常數(shù)據(jù)的個(gè)數(shù)推測(cè)為1個(gè)。

接下來，畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，在關(guān)于零件(部件管理)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)中判定異常數(shù)據(jù)的程度。畫面顯示控制部215b在異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù))為20件以上的情況下，判定為異常大(×)，另外，在異常數(shù)據(jù)為1件到19件的情況下判定為異常小(△)，另外在沒有異常數(shù)據(jù)的情況下判定為正常(○)。此外，在圖18的例子中，由于為數(shù)據(jù)判定對(duì)象外，因此在所有項(xiàng)目中顯示除外圖標(biāo)(―)。

此外，對(duì)于異常數(shù)據(jù)為1件到4件的情況分配的分?jǐn)?shù)為1分，對(duì)于異常數(shù)據(jù)為5件到9件的情況分配的分?jǐn)?shù)為2分，對(duì)異常數(shù)據(jù)為10件到14件的情況分配的分?jǐn)?shù)為3分，對(duì)異常數(shù)據(jù)為15件到19件的情況分配的分?jǐn)?shù)為4分?？傊?，構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b將異常數(shù)據(jù)為20件以前的情況判定為異常小，在詳細(xì)信息顯示畫面上顯示警告圖標(biāo)(△)。

另外，畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，將與部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e分別輸出的被判定為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)相當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)部位以能夠辨別的方式顯示在異常部位顯示畫面上。

(對(duì)供給檢查畫面的診斷對(duì)象項(xiàng)目的判定)

另外，在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，判定數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)(用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù))。即，畫面顯示控制部215b判定各個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目的襯底處理開始時(shí)的實(shí)測(cè)值是否相對(duì)于基準(zhǔn)數(shù)據(jù)超過規(guī)定的閾值(例如±3％)。此外，在圖18的例子中，是對(duì)所有項(xiàng)目的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)落入閾值內(nèi)的例子。

畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，若為裝置1的處理開始時(shí)的值從基準(zhǔn)數(shù)據(jù)(初始值表所示的基準(zhǔn)值)偏離的項(xiàng)目，則在相應(yīng)的判定結(jié)果(核對(duì)狀態(tài))單元中顯示表示產(chǎn)生了異常的圖標(biāo)(a圖標(biāo))。若在畫面上選擇a圖標(biāo)，則顯示與對(duì)象的項(xiàng)目相關(guān)的更為詳細(xì)的信息。例如，構(gòu)成為，對(duì)于一個(gè)項(xiàng)目關(guān)聯(lián)有多個(gè)設(shè)備數(shù)據(jù)，將這些設(shè)備數(shù)據(jù)中的異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù))著色為紅色等而能夠辨別地進(jìn)行顯示。此外，對(duì)一個(gè)該被著色的設(shè)備數(shù)據(jù)(異常數(shù)據(jù))分配的分?jǐn)?shù)為1分。

(健康概括畫面的給分處理)

接下來，詳細(xì)說明健康狀態(tài)概要顯示畫面的給分處理。作為裝置的綜合運(yùn)用狀態(tài)的評(píng)價(jià)指數(shù)的健康指數(shù)，使用例如減法以下式表示。

健康指數(shù)＝滿分(100)-(被判定為異常的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量+被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量(u.fdc)+被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量(s.fdc)+零件減數(shù))。

在此，關(guān)于零件減數(shù)，在被判定為異常的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量為1件到4件時(shí)，減數(shù)為1分，在為5件到9件時(shí)減數(shù)為2分，在為10件到14件時(shí)減數(shù)為3分，在為15件到19件時(shí)減數(shù)為4分，在為20件到24件時(shí)減數(shù)為5分···是依次向上增加的數(shù)，是被判定為異常的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量以大致5倍增加得到的數(shù)。

也就是說，在圖18中，健康指數(shù)為100-(0-1-0-0)＝99。

另外，從被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量和被判定為異常的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)量算出的減數(shù)可以僅數(shù)異常的數(shù)，不需要特別注意，但零件減數(shù)必須在針對(duì)每個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目計(jì)算之后再進(jìn)行合計(jì)，因此需要注意。

接著，在判定結(jié)果顯示工序(s14)中，畫面顯示控制部215b從存儲(chǔ)部215h讀出數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結(jié)果和給分結(jié)果，更新并顯示圖18所示的詳細(xì)信息顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面、供給狀態(tài)顯示畫面。

(總分表畫面的更新)

畫面顯示控制部215b在詳細(xì)信息顯示畫面的更新中，關(guān)于各診斷對(duì)象項(xiàng)目的各診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc)欄的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，在正常的情況下顯示“○”，在判定為5件以上異常的情況下顯示“×”，在判定為1件到4件異常的情況下顯示“△”，在不存在成為判定對(duì)象的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的情況下顯示“―”。

另外，畫面顯示控制部215b針對(duì)詳細(xì)信息顯示畫面的診斷方法項(xiàng)目(零件)欄的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，與診斷方法項(xiàng)目(u.fdc、s.fdc)同樣地顯示“○”、“―”，針對(duì)診斷方法項(xiàng)目(零件)欄的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，在判定為20件以上異常的情況下顯示“×”，在判定為1件到19件異常的情況下顯示“△”。

此外，也可以構(gòu)成為與實(shí)施例1同樣地追加報(bào)警(故障管理)欄來進(jìn)行顯示，還可以構(gòu)成為追加分?jǐn)?shù)欄來顯示關(guān)于各診斷對(duì)象項(xiàng)目的分?jǐn)?shù)。但是，在該情況下，構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b執(zhí)行實(shí)施例1記載的s201至s205。

另外，構(gòu)成為，與實(shí)施例1同樣地，在詳細(xì)信息顯示畫面中，當(dāng)點(diǎn)擊顯示著“×”或“△”的單元時(shí)，畫面顯示控制部215b進(jìn)而顯示診斷對(duì)象項(xiàng)目的詳細(xì)信息。

(健康檢查視圖畫面的更新)

畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，與實(shí)施例1同樣地，顯示裝置1的整體圖，并且以能夠辨別包含被判定為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的單元(在圖18中表示為結(jié)構(gòu)劃分)和項(xiàng)目(在圖18中表示為模塊)、即被判定為異常的裝置1的結(jié)構(gòu)部位是異常的方式進(jìn)行顯示。

(健康概括畫面的更新)

畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，分別使用裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，來導(dǎo)出表示裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的信息。

具體而言，畫面顯示控制部215b構(gòu)成為，使用裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、被判定為異常的部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、被判定為異常的數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，通過減法來顯示裝置1的健康指數(shù)(表示健康狀態(tài)的指數(shù))。

(供給檢查畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b基于在診斷結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的、與作為診斷對(duì)象項(xiàng)目的前驅(qū)物(圖8的前驅(qū)物)、冷卻水(圖8的冷卻水流量)、吹掃溫度(圖8的低溫吹掃)、排氣(圖8的排出)、泵(圖8的泵)相關(guān)的設(shè)備數(shù)據(jù)的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)，更新并顯示供給狀態(tài)顯示畫面。

(參數(shù)匹配畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b基于在診斷結(jié)果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的與作為文件匹配對(duì)象的項(xiàng)目的pmc、system、ou、robo有關(guān)的文件匹配結(jié)果的數(shù)據(jù)中表示綜合匹配率的數(shù)據(jù)，更新并顯示文件比較顯示畫面。

像這樣，根據(jù)實(shí)施例2，構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b在襯底處理開始前顯示對(duì)裝置1(重復(fù)裝置)與主裝置的參數(shù)文件進(jìn)行比較的結(jié)果，因此，在匹配率低的情況下，能夠采取在與主裝置的文件取得匹配以前不開始襯底處理這樣的對(duì)策等。而且，如果是與襯底處理用的配方文件有關(guān)聯(lián)的參數(shù)文件，則在匹配率低的情況下，通過禁止配方的執(zhí)行，能夠抑制批次作廢。

根據(jù)實(shí)施例2，由于畫面顯示控制部215b將表示對(duì)從顧客工廠提供的設(shè)備數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較的結(jié)果的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)用于導(dǎo)出表示裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的信息，因此能夠更高精度地評(píng)價(jià)裝置的綜合運(yùn)用狀態(tài)。

此外，在上述那樣的本實(shí)施方式中，進(jìn)而也可以構(gòu)成為，裝置管理控制器215將表示裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的信息向上級(jí)控制器通知。

另外，在上述那樣的本實(shí)施方式中，例如，在量化地算出表示裝置1的運(yùn)用狀態(tài)的信息的情況下，使用了減法(從滿分減分的方法)，但不限于該計(jì)算方法，例如，也可以與異常數(shù)量相應(yīng)地來加分。

根據(jù)本實(shí)施方式中的裝置管理控制器215，起到以下所示的一個(gè)或多個(gè)效果。

(1)根據(jù)本實(shí)施方式，由于構(gòu)成為，基于從由部件管理控制部215d所獲取的保養(yǎng)時(shí)期監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e所獲取的裝置狀態(tài)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)、和數(shù)據(jù)匹配控制部215c所判定的用力監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)構(gòu)成的組中選擇的多個(gè)監(jiān)視結(jié)果數(shù)據(jù)，來導(dǎo)出對(duì)裝置的運(yùn)用狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)的信息，因此，裝置管理控制器215能夠一元地管理裝置的綜合狀態(tài)，能夠更高精度地評(píng)價(jià)裝置的綜合運(yùn)用狀態(tài)。

(2)由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示健康指數(shù)，因此能夠量化且一目了然地掌握裝置的運(yùn)用狀態(tài)。

(3)由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b以能夠辨別包含被判定為異常的診斷結(jié)果數(shù)據(jù)的裝置1的結(jié)構(gòu)部位是異常的方式在異常部位顯示畫面上進(jìn)行顯示，因此能夠容易地掌握哪個(gè)部位為異常。

(4)由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b在供給狀態(tài)顯示畫面上顯示裝置1的處理開始時(shí)的設(shè)備數(shù)據(jù)的實(shí)測(cè)值相對(duì)于基準(zhǔn)數(shù)據(jù)超過了規(guī)定的閾值這一情況，因此能夠容易地掌握裝置1的處理開始時(shí)的設(shè)備數(shù)據(jù)是異常的這一情況。

(5)而且，由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b在該供給狀態(tài)顯示畫面上相對(duì)于診斷對(duì)象項(xiàng)目另行地顯示設(shè)備數(shù)據(jù)的實(shí)測(cè)值為異常這一情況，因此能夠容易地掌握異常的診斷對(duì)象項(xiàng)目。

(6)而且，由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b針對(duì)基于裝置數(shù)據(jù)的經(jīng)時(shí)變化量與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較來進(jìn)行異常診斷的診斷方法項(xiàng)目，在由裝置1的用戶創(chuàng)建并使用的診斷方法即u.fdc的基礎(chǔ)上還顯示由裝置1的制造商創(chuàng)建并使用的診斷方法即s.fdc，因此能夠容易地掌握對(duì)各診斷對(duì)象項(xiàng)目的s.fdc的診斷結(jié)果。

(7)而且，由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b分為u.fdc和s.fdc來進(jìn)行顯示，因此，能夠容易地掌握對(duì)各診斷對(duì)象項(xiàng)目的u.fdc和s.fdc各自的診斷結(jié)果。

(8)由于構(gòu)成為，畫面顯示控制部215b在詳細(xì)信息顯示畫面上針對(duì)多個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目分別顯示基于裝置數(shù)據(jù)進(jìn)行異常診斷的診斷方法項(xiàng)目(fdc)的診斷結(jié)果、和與構(gòu)成裝置1的部件的使用時(shí)間或使用次數(shù)有關(guān)的診斷方法項(xiàng)目(零件)的診斷結(jié)果，因此能夠容易地掌握對(duì)各個(gè)診斷對(duì)象項(xiàng)目的各診斷方法項(xiàng)目的診斷結(jié)果。

此外，本發(fā)明的實(shí)施方式中的襯底處理裝置1不僅能夠適用于制造半導(dǎo)體的半導(dǎo)體制造裝置，還能夠適用于對(duì)lcd(liquidcrystaldisplay：液晶顯示器)裝置那樣的玻璃基板進(jìn)行處理的裝置。另外，當(dāng)然也能夠適用于曝光裝置、光刻裝置、涂布裝置、利用了等離子體的處理裝置等各種襯底處理裝置中。

而且，在成膜處理中也能夠?qū)嵤ヽvd(chemicalvapordeposition：化學(xué)氣相沉積)、pvd(physicalvapordeposition：物理氣相沉積)等的形成薄膜的處理、形成氧化膜、氮化膜的處理、形成含金屬的膜的處理。