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薄膜晶體管基底的制作方法

文檔序號(hào):12036464閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
提供一種薄膜晶體管基底,所述薄膜晶體管基底包括:基底;半導(dǎo)體層,設(shè)置在基底上,半導(dǎo)體層包括溝道區(qū)、位于溝道區(qū)的第一側(cè)和第二側(cè)處的源區(qū)和漏區(qū);柵電極,設(shè)置在半導(dǎo)體層上;柵極絕緣層,設(shè)置在柵電極與半導(dǎo)體層之間;第一絕緣層,設(shè)置在基底上,第一絕緣層暴露柵電極的上表面并圍繞柵電極。

技術(shù)研發(fā)人員:李一正;樸永祐;李旺宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者:三星顯示有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.20
技術(shù)公布日:2017.10.24
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